CN108994294A - 用于清理和/或更换处理室的激光窗口的方法和设备 - Google Patents

用于清理和/或更换处理室的激光窗口的方法和设备 Download PDF

Info

Publication number
CN108994294A
CN108994294A CN201810574459.0A CN201810574459A CN108994294A CN 108994294 A CN108994294 A CN 108994294A CN 201810574459 A CN201810574459 A CN 201810574459A CN 108994294 A CN108994294 A CN 108994294A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser window
laser
process chamber
opening
wall
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810574459.0A
Other languages
English (en)
Inventor
J.范韦伦贝格
B.沃肯伯格
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
3D Systems Corp
Original Assignee
3D Systems Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 3D Systems Corp filed Critical 3D Systems Corp
Publication of CN108994294A publication Critical patent/CN108994294A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/123—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an atmosphere of particular gases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/20—Direct sintering or melting
    • B22F10/28—Powder bed fusion, e.g. selective laser melting [SLM] or electron beam melting [EBM]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
    • B22F10/30—Process control
    • B22F10/32—Process control of the atmosphere, e.g. composition or pressure in a building chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/22—Driving means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/38—Housings, e.g. machine housings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F12/00—Apparatus or devices specially adapted for additive manufacturing; Auxiliary means for additive manufacturing; Combinations of additive manufacturing apparatus or devices with other processing apparatus or devices
    • B22F12/40—Radiation means
    • B22F12/41—Radiation means characterised by the type, e.g. laser or electron beam
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/1224—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/12—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure
    • B23K26/127—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring in a special atmosphere, e.g. in an enclosure in an enclosure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • B23K26/706—Protective screens
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y10/00—Processes of additive manufacturing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y40/00—Auxiliary operations or equipment, e.g. for material handling
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02041—Cleaning
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/02—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using chambers or hoods covering the area
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00—Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25—Process efficiency

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Sealing Devices (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

提供一种用于清理和/或更换处理室的激光窗口的设备，该处理室由外壁封闭并包含改性气氛，该处理室尤其是用于通过诸如选择性激光烧结（SLS）的技术对3D物体进行分层打印的处理室，其中该设备的特征在于外壁中的开口，该开口装配有激光窗口，并且其中该激光窗口允许来自位于处理室外部的激光源的激光束进入处理室中，其中设置有在外壁与该激光窗口之间延伸的外部密封环。还提供一种清理和/或更换封闭的处理室的外壁的开口中的激光窗口的方法。

Description

用于清理和/或更换处理室的激光窗口的方法和设备
技术领域
本发明涉及一种用于清理和/或更换处理室的激光窗口的设备，该处理室由外壁封闭并包含改性气氛，该处理室尤其是用于通过诸如选择性激光烧结（SLS）的技术对3D物体进行分层打印的处理室，其中该设备的特征在于外壁中的开口，该开口装配有激光窗口，并且其中该激光窗口允许来自位于处理室外部的激光源的激光束进入处理室中，其中设置有在外壁与该激光窗口之间延伸的外部密封环。
本发明还涉及一种清理和/或更换封闭的处理室的外壁的开口中的激光窗口的方法。
背景技术
根据现有技术，激光窗口设置在包含用于诸如“直接金属打印”（SLM，DMLS等）的过程的改性气氛的处理室中，其中金属通过采用激光束处理而被气化。
这些过程对于技术人员是已知的，如在处理室中为此所需要的气氛那样是已知的。供应所期望的气氛非常耗时，因为它必须以各种步骤进行。例如，必须首先将处理室布置在真空中以去除所有的氧等。接下来，通过向该空间供应氮来冲洗该空间，然后在供应所期望的惰性气体以在处理室中产生惰性气氛之前将具有氮气氛的空间再次布置在真空中。根据所应用的过程，处理室中的气氛也可以通过用所期望的惰性气体冲洗来改变，而不必首先将该室布置在真空中。
在此，激光窗口形成处理室与激光源和/或激光扫描器之间的分割区，并且因此必须让激光束通过，同时处理室必须保持封闭以保留改性气氛。因此，激光源和/或激光扫描器通常位于处理室的外部。
例如，由于这些过程中的金属气化，激光窗口会被污染。污染会导致激光功率的部分吸收，并因此也导致激光窗口的加热。这可能会导致所谓的“热透镜效应”。这使得熔化过程不稳定，这表现在所产生的零件的残余孔隙度和粗糙度增加。
为了限制激光窗口的污染，气体流系统连同气体流的连续过滤被建立在激光窗口的内部。
尽管如此，这并不能防止激光窗口内部的污染。因此，诸如在长时间处理的情况下，有必要清理或更换激光窗口。为此，该过程必须被中断很长一段时间。操作者必须打开处理室才能清理内部的激光窗口，这也意味着改性气氛不能被保持在该室内。在清理后，必须重新创建该改性气氛。
发明内容
本发明试图通过提供一种方法和一种设备来提供一种解决方案，该方法和设备能够在处理室中保持改性气氛的情况下清理和/或替换激光窗口。
为此，激光窗口可以相对于开口移动，并且该设备装配有密封板，该密封板根据所附权利要求中的要求延伸到处理室中。
为此，密封板可在打开位置与封闭位置之间移动，其中密封板在封闭位置中将外壁中的开口密封，并且在打开位置中使得外壁中的开口保持畅通，其中设置有内部密封环，当密封板位于密封位置时，该内部密封环在开口周围在密封板与外壁之间延伸到处理室中，其中在该密封位置中，形成由内部密封环、密封板和装配有激光窗口的开口界定的锁定室，并且其中入口和出口延伸到锁定室内，以便将改性气氛供应到锁定室中。
有利地，该设备包含内部引导件，该内部引导件优选地大体平行于开口、激光窗口和/或外壁在打开位置和封闭位置之间引导密封板。
根据该设备的实施例，内部密封环和/或外部密封环包含充气式密封件。
本发明还涉及一种用于清理或更换封闭的处理室的外壁的开口中的激光窗口的方法，如所附权利要求中所要求的。
此外，本发明还提供一下技术方案：
技术方案1：一种具有激光窗口的设备，所述激光窗口装配在封闭的处理室的外壁上，所述处理室包含改性气氛、并特别是借助激光器用于3D物体的分层构造的处理室，
其中该外壁至少特征在于开口，所述开口装配有激光窗口，并且其中该激光窗口使来自位于所述处理室外部的激光源的激光束穿过所述开口并进入该处理室中，以按层构建所述3D物体，
其中设置有外部密封环，所述外部密封环在所述外壁与所述激光窗口之间延伸，
其中所述激光窗口能相对于所述开口移动，
并且，其中设置有密封板，所述密封板延伸到所述处理室中并能在打开位置和封闭位置之间移动，
其中在所述密封板的所述打开位置中，该密封板使得所述外壁中的所述开口畅通，
其中所述密封板的所述封闭位置中：
设置有内部密封环，所述内部密封环在所述开口周围在所述密封板与所述外壁之间延伸到所述处理室中，
所述密封板与所述内部密封环相结合地密封所述处理室的所述开口，
在所述开口周围形成锁定室，所述锁定室至少由所述密封板、所述内部密封环和所述激光窗口界定，
入口和出口，所述入口和出口延伸到锁定室中以用于在该锁定室中供应改性气氛。
技术方案2：根据技术方案1所述的设备，其中，所述出口装配有压力释放阀和/或其中所述出口连接到用于在所述锁定室中产生真空的真空泵。
技术方案3：根据技术方案1所述的设备，其中，所述设备包括内部引导件，所述内部引导件优选地大体平行于所述开口和/或所述外壁在所述密封板的所述打开位置和所述封闭位置之间引导所述密封板。
技术方案4：根据技术方案1所述的设备，其中，所述设备包括外部引导件，所述外部引导件在所述激光窗口的打开位置和封闭位置之间引导所述激光窗口。
技术方案5：根据技术方案1所述的设备，其中，所述内部密封环和/或所述外部密封环包含充气式密封件。
技术方案6：根据技术方案1所述的设备，其中，所述激光窗口包含具有一个或多个激光窗格的接装板。
技术方案7：根据技术方案1所述的设备，其中，设置有驱动装置，所述驱动装置驱动所述密封板以打开所述激光窗口并且在第一步骤中将其从打开位置移动到封闭位置，并且在随后的第二步骤中，相对于所述开口将所述激光窗口移动到打开位置。
技术方案8：根据技术方案1所述的设备，其中，所述入口和所述出口由单个连接管道构成，所述单个连接管道交替地用作入口和出口。
技术方案9：一种清理或更换封闭的处理室的激光窗口的方法，所述封闭的处理室包含改性气氛，并特别是通过诸如选择性激光烧结（SLS）的技术用于3D物体的分层构造的处理室，其中所述处理室的外壁至少特征在于开口，所述开口装配有激光窗口，并且其中该激光窗口使来自位于所述处理室外部的激光源的激光束穿过所述开口并进入该处理室中，以用于所述3D物体的分层构造，其中所述方法包括以下步骤：
- 在所述激光窗口的内侧上在封闭的处理室内放置密封板，使得其完全覆盖装配有所述激光窗口的所述开口；
- 通过在所述外壁与所述密封板之间在具有所述激光窗口的开口周围封闭内部密封环来形成封闭的锁定室；
- 使所述激光窗口相对于所述外壁中的所述开口运动；
- 清理所述激光窗口的所述内侧或用新的激光窗口更换该激光窗口；
- 将已清理的激光窗口或新的激光窗口放置在所述外壁的所述开口上；
- 在所述外壁与所述激光窗口之间在具有所述激光窗口的所述开口周围封闭外部密封环；
- 修改所述锁定室内的气氛；
- 移除所述激光窗口的所述内侧上的所述密封板。
技术方案10：根据技术方案9所述的方法，其中，所述锁定室中的气氛的修改通过供应惰性气体来进行。
技术方案11：根据技术方案9所述的方法，其中，所述锁定室中的气氛的修改通过在所述锁定室中产生真空并随后供应惰性气体来进行。
技术方案12：根据技术方案9所述的方法，其中，所述密封板的放置和移除通过将该密封板引导到内部引导件上来进行。
技术方案13：根据技术方案12所述的方法，其中，所述密封板的引导大体与所述外壁、所述开口和/或所述激光窗口平行地进行。
技术方案14：根据技术方案9所述的方法，其中，所述内部密封环和/或所述外部密封环的封闭通过对充气式密封件充气来进行。
技术方案15：根据技术方案9所述的方法，其中，所述激光窗口相对于所述外壁中的所述开口的移动通过将该激光窗口引导到外部引导件上来进行。
附图说明
本发明的进一步细节和优点将在下面根据本发明的方法和设备的一些具体实施例的描述中指示。此描述仅作为示例给出，并不限制所要求保护的范围；下面使用的参考标记与附图有关。
图1是根据本发明实施例的设备的横截面的示意图，其中激光窗口处于封闭位置，而密封板处于打开位置。
图2是如图1所示的示意图，其中激光窗口和密封板处于封闭位置。
图3是如图1所示的示意图，其中激光窗口位于打开位置并且密封板位于封闭位置。
图4是具有开口的处理室的外壁的外侧的一部分的示意性透视图。
图5是由多个窗格组成的激光窗口的示意图。
在各个附图中，相同的附图标记涉及相同或类似的部件。
具体实施方式
总体上，本发明涉及用于清理和/或更换处理室的激光窗口的设备和方法。更具体地说，本发明涉及一种密封板，该密封板与内部密封环结合可以在处理室内形成锁定室，并且在该锁定室内可以与处理室中的气氛单独地形成气氛。该锁定室围绕外壁中装配有激光窗口的开口形成在处理室内。本发明特别涉及使用本身为技术人员已知的过程和激光器在处理室中分层制造3D物体的应用。
图1至3示出根据本发明的设备的实施例的图。
在该过程的执行期间，如果使用激光按层制造3D物体，则处理室3被完全封闭以便产生制造过程所需的所期望改性气氛。
处理室3的外壁2装配有开口4，该开口4借助激光窗口1和外部密封环5封闭。在此，密封环5紧密地围绕开口封闭并抵靠激光窗口1封闭。
通过在外壁2中设置激光窗口1，可以将激光源16放置在处理室3的外部。窗口1使得激光束15能够进入处理室3。
在此过程期间，激光窗口1在其内侧17上被污染。
为了清理内侧17上的激光窗口1，外壁2的内侧18上的开口4装配有密封板6，如图2所示。
借助机构12，密封板6被放置在开口4的前方。内部密封环7连接在外壁2和密封板6之间，使得开口4与处理室3完全密封。优选地，内部密封环7与外壁2的内侧18相连。
这在开口4周围形成锁定室8。该锁定室8由密封板6、激光窗口1以及内部和外部密封环5和7界定。
如图2所示，当激光窗口1借助例如包含铰链的外部引导机构13移动到打开位置时，锁定室8打开并且改性气氛从锁定室8中消散、而该改性气氛被保留在处理室3中。
在此，激光窗口1的内侧17变为可用于清理，此后，通过将激光窗口1移动到封闭位置，锁定室8可以再次被封闭。在此，也可以用新的激光窗口1代替激光窗口1。
出口10和入口11使得可以进出锁定室8。
当锁定室8再次被封闭时，在锁定室8中产生对应于处理室3的气氛的改性气氛。
为此，借助出口10和与之相连的真空泵9可以在锁定室8中产生真空，此后，经由入口11向锁定室8再填充所期望的气体。
替代性地，入口11和出口10也可以由单个连接件组成，该单个连接件交替地用作入口和出口，以用于产生真空和再次供应气体，图中未示出。
此外，锁定室8内的气氛也可以通过经由入口11和出口10以期望的气体冲洗该室8来改变，而不必在锁定室8中为此产生真空。
最后，密封板6可以移回到如图1所示的打开位置。
根据上述实施例的变型，内部密封环5和外部密封环7优选地包含可被充气以用于密封的可充气式密封环。
根据上述实施例的另一变型，如图5所示，激光窗口1由包含多个激光窗格1、1'、1''的接装板14构成。
根据上述实施例的另一变型，内部和/或外部引导机构12和/或13包含未在图中示出的导轨和驱动单元。驱动单元可以是液压的、气动的和/或电动的等等。优选地，这些机构确保主要平行于外壁2、开口4和/或激光窗口1的引导。
图4示出具有根据本发明的设备的模块，其可以放置在处理室3的外壁2中。内部引导机构12包含一个或多个导轨20和驱动活塞（图中未示出），其使得密封板能够平行于开口4在打开位置和封闭位置之间移动。而且，在该实施例中，开口4被划分成三个子开口4'、4''和4'''。开口4也可以在没有划分或者具有更多或更少划分的情况下实施。
根据上述实施例的可能变型，外部引导机构13包含一个或多个紧固件19和/或可移除铰链，激光窗口1采用该紧固件19和/或可移除铰链可以容易地从外壁2完全分离。
本发明当然不限于上面描述的设备或方法或者不限于附图中提出的实施例。 例如，这些实施例和变型的各种特征可以彼此组合。

Claims (10)

1.一种具有激光窗口的设备，所述激光窗口装配在封闭的处理室的外壁上，所述处理室包含改性气氛、并特别是借助激光器用于3D物体的分层构造的处理室，
其中该外壁至少特征在于开口，所述开口装配有激光窗口，并且其中该激光窗口使来自位于所述处理室外部的激光源的激光束穿过所述开口并进入该处理室中，以按层构建所述3D物体，
其中设置有外部密封环，所述外部密封环在所述外壁与所述激光窗口之间延伸，
其中所述激光窗口能相对于所述开口移动，
并且，其中设置有密封板，所述密封板延伸到所述处理室中并能在打开位置和封闭位置之间移动，
其中在所述密封板的所述打开位置中，该密封板使得所述外壁中的所述开口畅通，
其中所述密封板的所述封闭位置中：
设置有内部密封环，所述内部密封环在所述开口周围在所述密封板与所述外壁之间延伸到所述处理室中，
所述密封板与所述内部密封环相结合地密封所述处理室的所述开口，
在所述开口周围形成锁定室，所述锁定室至少由所述密封板、所述内部密封环和所述激光窗口界定，
入口和出口，所述入口和出口延伸到锁定室中以用于在该锁定室中供应改性气氛。
2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述出口装配有压力释放阀和/或其中所述出口连接到用于在所述锁定室中产生真空的真空泵。
3.根据权利要求1所述的设备，其中，所述设备包括内部引导件，所述内部引导件优选地大体平行于所述开口和/或所述外壁在所述密封板的所述打开位置和所述封闭位置之间引导所述密封板。
4.根据权利要求1所述的设备，其中，所述设备包括外部引导件，所述外部引导件在所述激光窗口的打开位置和封闭位置之间引导所述激光窗口。
5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述内部密封环和/或所述外部密封环包含充气式密封件。
6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述激光窗口包含具有一个或多个激光窗格的接装板。
7.根据权利要求1所述的设备，其中，设置有驱动装置，所述驱动装置驱动所述密封板以打开所述激光窗口并且在第一步骤中将其从打开位置移动到封闭位置，并且在随后的第二步骤中，相对于所述开口将所述激光窗口移动到打开位置。
8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述入口和所述出口由单个连接管道构成，所述单个连接管道交替地用作入口和出口。
9.一种清理或更换封闭的处理室的激光窗口的方法，所述封闭的处理室包含改性气氛，并特别是通过诸如选择性激光烧结（SLS）的技术用于3D物体的分层构造的处理室，其中所述处理室的外壁至少特征在于开口，所述开口装配有激光窗口，并且其中该激光窗口使来自位于所述处理室外部的激光源的激光束穿过所述开口并进入该处理室中，以用于所述3D物体的分层构造，其中所述方法包括以下步骤：
- 在所述激光窗口的内侧上在封闭的处理室内放置密封板，使得其完全覆盖装配有所述激光窗口的所述开口；
- 通过在所述外壁与所述密封板之间在具有所述激光窗口的开口周围封闭内部密封环来形成封闭的锁定室；
- 使所述激光窗口相对于所述外壁中的所述开口运动；
- 清理所述激光窗口的所述内侧或用新的激光窗口更换该激光窗口；
- 将已清理的激光窗口或新的激光窗口放置在所述外壁的所述开口上；
- 在所述外壁与所述激光窗口之间在具有所述激光窗口的所述开口周围封闭外部密封环；
- 修改所述锁定室内的气氛；
- 移除所述激光窗口的所述内侧上的所述密封板。
10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述锁定室中的气氛的修改通过供应惰性气体来进行。
CN201810574459.0A 2017-06-06 2018-06-06 用于清理和/或更换处理室的激光窗口的方法和设备 Pending CN108994294A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BE2017/5402A BE1025304B1 (nl) 2017-06-06 2017-06-06 Werkwijze en inrichting voor het reinigen en/of het vervangen van een laservenster van een proceskamer
BEBE2017/5402 2017-06-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108994294A true CN108994294A (zh) 2018-12-14

Family

ID=59061733

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810574459.0A Pending CN108994294A (zh) 2017-06-06 2018-06-06 用于清理和/或更换处理室的激光窗口的方法和设备

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11090729B2 (zh)
EP (1) EP3412385B1 (zh)
JP (1) JP6807352B2 (zh)
KR (1) KR102153404B1 (zh)
CN (1) CN108994294A (zh)
BE (1) BE1025304B1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11407035B2 (en) * 2019-01-30 2022-08-09 General Electric Company Powder seal assembly for decreasing powder usage in a powder bed additive manufacturing process
JP6885978B2 (ja) * 2019-02-27 2021-06-16 株式会社ソディック 積層造形装置
CN109950427B (zh) * 2019-04-17 2021-11-05 京东方科技集团股份有限公司 真空烧结装置以及有机层烧结工艺
FR3102397B1 (fr) * 2019-10-24 2022-10-14 Addup Machine à faisceau laser comprenant un dispositif d’application d’une couche de gel optique sur une vitre traversée par le faisceau laser.

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03229632A (ja) * 1990-02-05 1991-10-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd ビューイングポート
JPH0456144A (ja) * 1990-06-22 1992-02-24 Toshiba Corp エッチング装置
CN102528034A (zh) * 2012-02-24 2012-07-04 湖南华曙高科技有限责任公司 一种选择性激光烧结窗口镜气帘保护方法
US20130341313A1 (en) * 2012-06-21 2013-12-26 Carl-Zeiss Microscopy GmbH Laser Processing System Having a Laser Shield and a Transmission Window
CN205130419U (zh) * 2015-11-28 2016-04-06 吴江中瑞机电科技有限公司 一种用于3d打印机保护窗口的防尘结构
WO2016103686A1 (ja) * 2014-12-26 2016-06-30 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 三次元形状造形物の製造方法
CN106583723A (zh) * 2016-12-15 2017-04-26 南京中科煜宸激光技术有限公司 一种用于增材制造的摄像装置
CN106738905A (zh) * 2016-12-29 2017-05-31 湖南华曙高科技有限责任公司 三维物体制造设备及其窗口镜清洗方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1138513B (de) * 1958-05-02 1962-10-25 Heraeus Gmbh W C Einblickfenster fuer Vakuumanlagen
JP3797229B2 (ja) * 2002-01-25 2006-07-12 セイコーエプソン株式会社 薄膜半導体の製造装置
DE102006014694B3 (de) * 2006-03-28 2007-10-31 Eos Gmbh Electro Optical Systems Prozesskammer und Verfahren für die Bearbeitung eines Werkstoffs mit einem gerichteten Strahl elektromagnetischer Strahlung, insbesondere für eine Lasersintervorrichtung
JP2008164089A (ja) * 2006-12-28 2008-07-17 Toyota Motor Corp タンク用口金及びこの口金を備えたタンク並びにタンク組付方法
DE202008017990U1 (de) 2007-05-30 2011-02-10 Panasonic Electric Works Co., Ltd., Kadoma-shi Laminier-Formgebungsvorrichtung
DE102013219961A1 (de) * 2013-10-01 2015-04-02 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Additive Fertigungsanlage für die Herstellung von Fahrzeugbauteilen
US11104075B2 (en) * 2018-11-01 2021-08-31 Stratasys, Inc. System for window separation in an additive manufacturing process

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03229632A (ja) * 1990-02-05 1991-10-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd ビューイングポート
JPH0456144A (ja) * 1990-06-22 1992-02-24 Toshiba Corp エッチング装置
CN102528034A (zh) * 2012-02-24 2012-07-04 湖南华曙高科技有限责任公司 一种选择性激光烧结窗口镜气帘保护方法
US20130341313A1 (en) * 2012-06-21 2013-12-26 Carl-Zeiss Microscopy GmbH Laser Processing System Having a Laser Shield and a Transmission Window
WO2016103686A1 (ja) * 2014-12-26 2016-06-30 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 三次元形状造形物の製造方法
CN205130419U (zh) * 2015-11-28 2016-04-06 吴江中瑞机电科技有限公司 一种用于3d打印机保护窗口的防尘结构
CN106583723A (zh) * 2016-12-15 2017-04-26 南京中科煜宸激光技术有限公司 一种用于增材制造的摄像装置
CN106738905A (zh) * 2016-12-29 2017-05-31 湖南华曙高科技有限责任公司 三维物体制造设备及其窗口镜清洗方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3412385B1 (en) 2023-04-12
US20180345375A1 (en) 2018-12-06
US11090729B2 (en) 2021-08-17
JP6807352B2 (ja) 2021-01-06
EP3412385A1 (en) 2018-12-12
JP2018202485A (ja) 2018-12-27
BE1025304A1 (nl) 2019-01-11
BE1025304B1 (nl) 2019-01-17
KR20180133342A (ko) 2018-12-14
KR102153404B1 (ko) 2020-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108994294A (zh) 用于清理和/或更换处理室的激光窗口的方法和设备
CN107000060B (zh) 增材制造装置内的气体流动
US20180297271A1 (en) Sterile environment for additive manufacturing
EP2492084B1 (en) Process for producing three-dimensionally shaped object and device for producing same
US4880581A (en) Means and method for aseptic particle-free production of articles
EP2620241B1 (en) Manufacturing method
CN107363259B (zh) 层叠造型装置
JP4131260B2 (ja) 三次元形状造形物の製造装置
US20150136236A1 (en) Method of operating a valve
WO2019124115A1 (ja) ３次元造形装置
EP1721705A1 (de) Vorrichtung zum abrasiven Strahlen von Werkstücken
CN105290401A (zh) 金属三维打印真空成型腔体结构
DE102010023119A1 (de) Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken
JP6666378B2 (ja) 三次元的な物体を付加的に製造するための装置
US7935391B2 (en) Method and apparatus for radiation curing
JP2006204970A (ja) 活性エネルギー線照射装置
EP3310551B1 (de) Formfüllmaschine
CN107876977A (zh) 接合结构体及该接合结构体的制造方法
JP6666374B2 (ja) ３次元の物体を付加製造する装置向けの粉末モジュール・デバイス
EP3399018B1 (en) Aeration method of isolator system
EP1935563A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Werkstoffbearbeitung
CN115227422B (zh) 一种基于数字化义齿制备的3d打印装置
ATE354049T1 (de) Vielschichtdichtung und verfahren zu dessen herstellung
ITPC20010019A1 (it) Impianto per il taglio di lastre metalliche con dispositivi perfezionati di aspirazione dei fumi, e relativo metodo.
JPH0428485A (ja) 真空処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination