RU2005115359A - Технологическая камера с транспортным боксом - Google Patents

Технологическая камера с транспортным боксом Download PDF

Info

Publication number
RU2005115359A
RU2005115359A RU2005115359/06A RU2005115359A RU2005115359A RU 2005115359 A RU2005115359 A RU 2005115359A RU 2005115359/06 A RU2005115359/06 A RU 2005115359/06A RU 2005115359 A RU2005115359 A RU 2005115359A RU 2005115359 A RU2005115359 A RU 2005115359A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
transport box
chamber
camera
technological
lid
Prior art date
Application number
RU2005115359/06A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2294031C1 (ru
Inventor
Сергей Владимирович Волошин (RU)
Сергей Владимирович Волошин
Александр Владимирович Курнаев (RU)
Александр Владимирович Курнаев
Владимир Васильевич Орешкин (RU)
Владимир Васильевич Орешкин
Сергей Анатольевич Спицин (RU)
Сергей Анатольевич Спицин
Олег Алексеевич Челюк (RU)
Олег Алексеевич Челюк
Original Assignee
Сергей Владимирович Волошин (RU)
Сергей Владимирович Волошин
Александр Владимирович Курнаев (RU)
Александр Владимирович Курнаев
Владимир Васильевич Орешкин (RU)
Владимир Васильевич Орешкин
Сергей Анатольевич Спицин (RU)
Сергей Анатольевич Спицин
Олег Алексеевич Челюк (RU)
Олег Алексеевич Челюк
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сергей Владимирович Волошин (RU), Сергей Владимирович Волошин, Александр Владимирович Курнаев (RU), Александр Владимирович Курнаев, Владимир Васильевич Орешкин (RU), Владимир Васильевич Орешкин, Сергей Анатольевич Спицин (RU), Сергей Анатольевич Спицин, Олег Алексеевич Челюк (RU), Олег Алексеевич Челюк filed Critical Сергей Владимирович Волошин (RU)
Priority to RU2005115359/06A priority Critical patent/RU2294031C1/ru
Publication of RU2005115359A publication Critical patent/RU2005115359A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2294031C1 publication Critical patent/RU2294031C1/ru

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Claims (6)

1. Технологическая камера с транспортным боксом, содержащая корпус с выполненными в нем люками, к которым прикреплены защитные перчатки, и смотровым окном, отличающаяся тем, что бокс присоединен непосредственно к камере, корпус камеры снабжен крышкой входного люка с уплотнительной прокладкой, выступающей на заданную высоту от торца крышки и контактирующей при закрытом люке с уплотнительной прокладкой, установленной на кольцевом выступе люка, и торцем крышки бокса, в центральной части крышки выполнено сквозное отверстие с установленным в нем штуцером, на наружной поверхности стенки камеры, обращенной к транспортному боксу выполнен кольцевой паз, в котором размещена выступающая из него на заданную высоту уплотнительная прокладка, контактирующая с торцовой поверхностью фланца транспортного бокса, в стенке корпуса камеры, обращенной к боксу, выполнены два наклонных и пересекающихся между собой отверстия, к одному из которых подсоединен штуцер воздуховода вакуумной системы, а второе отверстие пересекается с наружной поверхностью упомянутой стенки корпуса на диаметре, меньшем, чем внутренний диаметр паза под уплотнительную прокладку, к внутренней поверхности крышки люка камеры присоединен кронштейн тележки, перемещающейся по установленным внутри корпуса камеры направляющим с помощью электропривода и снабженной механизмом поджатия крышки люка, к задней стенке крышки транспортного бокса присоединена полка для обрабатываемого объекта.
2. Технологическая камера с транспортным боксом по п.1, отличающаяся тем, что крышка бокса уплотнена с помощью пружинно-вакуумного устройства и разрезного пружинного упорного кольца.
3. Технологическая камера с транспортным боксом по п.1 или 2, отличающаяся тем, что устройство оборудовано вакуумной системой, общей для камеры и бокса.
4. Технологическая камера с транспортным боксом по п.1, отличающаяся тем, что к торцевым стенкам камеры присоединены направляющие для транспортного бокса
5. Технологическая камера с транспортным боксом по п.1, отличающаяся тем, что корпус камеры выполнен из прозрачного материала.
6. Технологическая камера с транспортным боксом по п.1, отличающаяся тем, что внутри ее корпуса установлена грузоподъемная таль.
RU2005115359/06A 2005-05-20 2005-05-20 Технологическая камера с транспортным боксом RU2294031C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005115359/06A RU2294031C1 (ru) 2005-05-20 2005-05-20 Технологическая камера с транспортным боксом

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005115359/06A RU2294031C1 (ru) 2005-05-20 2005-05-20 Технологическая камера с транспортным боксом

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005115359A true RU2005115359A (ru) 2006-11-27
RU2294031C1 RU2294031C1 (ru) 2007-02-20

Family

ID=37664211

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005115359/06A RU2294031C1 (ru) 2005-05-20 2005-05-20 Технологическая камера с транспортным боксом

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2294031C1 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2920687A1 (fr) * 2007-09-11 2009-03-13 Cogema Dispositif de reduction de ronds de sacs de grand diametre
FR3002362A1 (fr) * 2013-02-21 2014-08-22 Commissariat Energie Atomique Dispositif de protection contre les rayonnements ionisants et enceinte de confinement equipee d'un tel dispositif
RU2611576C1 (ru) * 2016-02-03 2017-02-28 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Способ установки оборудования в перчаточный бокс, загрязненный токсичными веществами
RU2732518C1 (ru) * 2019-08-16 2020-09-18 Александр Андреевич Никитин Герметичный защитный бокс с манипуляторами

Also Published As

Publication number Publication date
RU2294031C1 (ru) 2007-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200739790A (en) Lid opening/closing system of an airtight container
KR101184583B1 (ko) 반도체 웨이퍼 수납용기
KR930023244A (ko) 가반식(可搬式)밀폐 컨테이너용 가스 퍼지 유니트
JP2010023924A5 (ru)
JP4811809B2 (ja) 爆発危険性物質のための気密輸送容器
AR055864A1 (es) Sistema de cierre hermetico de tapa mejorado
RU2005115359A (ru) Технологическая камера с транспортным боксом
PE20081672A1 (es) Recipiente
ATE461123T1 (de) Verschlussmechanismus für behälteröffnungen
KR960007383A (ko) 합성수지제 필퍼프루프 캡
MY142998A (en) Closure and container having the same
KR940003626A (ko) 에어로졸 캔 폐처리장치
EP1182694A3 (en) Processing system for substrate
RU2012143684A (ru) Герметичная уплотнительная система для контейнеров
CN109573270B (zh) 光电机构的密封干燥装置
ATE69426T1 (de) Belueftungsverschluss.
JP2014053073A5 (ru)
ATE301505T1 (de) Lecksicherer verschluss in einer spenderpumpe
WO2020016645A3 (de) Anordnung zum kontaminationsfreien einschleusen eines sterilen objektes aus einem behältnis in ein containment und verfahren dazu
RU2009117477A (ru) Крышки для контейнеров, предназначенных для нескольких компонентов
JP2002151373A5 (ru)
TW200512139A (en) Processing device
KR200270678Y1 (ko) 밀폐용기
US20180195639A1 (en) Vacuum valve
FR3114730B1 (fr) Dispositif de conditionnement destine au transport de larves de mouches

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20080521

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20091210

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20140521