RU2005115359A - Технологическая камера с транспортным боксом - Google Patents
Технологическая камера с транспортным боксом Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005115359A RU2005115359A RU2005115359/06A RU2005115359A RU2005115359A RU 2005115359 A RU2005115359 A RU 2005115359A RU 2005115359/06 A RU2005115359/06 A RU 2005115359/06A RU 2005115359 A RU2005115359 A RU 2005115359A RU 2005115359 A RU2005115359 A RU 2005115359A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- transport box
- chamber
- camera
- technological
- lid
- Prior art date
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Claims (6)
1. Технологическая камера с транспортным боксом, содержащая корпус с выполненными в нем люками, к которым прикреплены защитные перчатки, и смотровым окном, отличающаяся тем, что бокс присоединен непосредственно к камере, корпус камеры снабжен крышкой входного люка с уплотнительной прокладкой, выступающей на заданную высоту от торца крышки и контактирующей при закрытом люке с уплотнительной прокладкой, установленной на кольцевом выступе люка, и торцем крышки бокса, в центральной части крышки выполнено сквозное отверстие с установленным в нем штуцером, на наружной поверхности стенки камеры, обращенной к транспортному боксу выполнен кольцевой паз, в котором размещена выступающая из него на заданную высоту уплотнительная прокладка, контактирующая с торцовой поверхностью фланца транспортного бокса, в стенке корпуса камеры, обращенной к боксу, выполнены два наклонных и пересекающихся между собой отверстия, к одному из которых подсоединен штуцер воздуховода вакуумной системы, а второе отверстие пересекается с наружной поверхностью упомянутой стенки корпуса на диаметре, меньшем, чем внутренний диаметр паза под уплотнительную прокладку, к внутренней поверхности крышки люка камеры присоединен кронштейн тележки, перемещающейся по установленным внутри корпуса камеры направляющим с помощью электропривода и снабженной механизмом поджатия крышки люка, к задней стенке крышки транспортного бокса присоединена полка для обрабатываемого объекта.
2. Технологическая камера с транспортным боксом по п.1, отличающаяся тем, что крышка бокса уплотнена с помощью пружинно-вакуумного устройства и разрезного пружинного упорного кольца.
3. Технологическая камера с транспортным боксом по п.1 или 2, отличающаяся тем, что устройство оборудовано вакуумной системой, общей для камеры и бокса.
4. Технологическая камера с транспортным боксом по п.1, отличающаяся тем, что к торцевым стенкам камеры присоединены направляющие для транспортного бокса
5. Технологическая камера с транспортным боксом по п.1, отличающаяся тем, что корпус камеры выполнен из прозрачного материала.
6. Технологическая камера с транспортным боксом по п.1, отличающаяся тем, что внутри ее корпуса установлена грузоподъемная таль.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2005115359/06A RU2294031C1 (ru) | 2005-05-20 | 2005-05-20 | Технологическая камера с транспортным боксом |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2005115359/06A RU2294031C1 (ru) | 2005-05-20 | 2005-05-20 | Технологическая камера с транспортным боксом |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2005115359A true RU2005115359A (ru) | 2006-11-27 |
RU2294031C1 RU2294031C1 (ru) | 2007-02-20 |
Family
ID=37664211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2005115359/06A RU2294031C1 (ru) | 2005-05-20 | 2005-05-20 | Технологическая камера с транспортным боксом |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2294031C1 (ru) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2920687A1 (fr) * | 2007-09-11 | 2009-03-13 | Cogema | Dispositif de reduction de ronds de sacs de grand diametre |
FR3002362A1 (fr) * | 2013-02-21 | 2014-08-22 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de protection contre les rayonnements ionisants et enceinte de confinement equipee d'un tel dispositif |
RU2611576C1 (ru) * | 2016-02-03 | 2017-02-28 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Способ установки оборудования в перчаточный бокс, загрязненный токсичными веществами |
RU2732518C1 (ru) * | 2019-08-16 | 2020-09-18 | Александр Андреевич Никитин | Герметичный защитный бокс с манипуляторами |
-
2005
- 2005-05-20 RU RU2005115359/06A patent/RU2294031C1/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2294031C1 (ru) | 2007-02-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW200739790A (en) | Lid opening/closing system of an airtight container | |
KR101184583B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 수납용기 | |
KR930023244A (ko) | 가반식(可搬式)밀폐 컨테이너용 가스 퍼지 유니트 | |
JP2010023924A5 (ru) | ||
JP4811809B2 (ja) | 爆発危険性物質のための気密輸送容器 | |
AR055864A1 (es) | Sistema de cierre hermetico de tapa mejorado | |
RU2005115359A (ru) | Технологическая камера с транспортным боксом | |
PE20081672A1 (es) | Recipiente | |
ATE461123T1 (de) | Verschlussmechanismus für behälteröffnungen | |
KR960007383A (ko) | 합성수지제 필퍼프루프 캡 | |
MY142998A (en) | Closure and container having the same | |
KR940003626A (ko) | 에어로졸 캔 폐처리장치 | |
EP1182694A3 (en) | Processing system for substrate | |
RU2012143684A (ru) | Герметичная уплотнительная система для контейнеров | |
CN109573270B (zh) | 光电机构的密封干燥装置 | |
ATE69426T1 (de) | Belueftungsverschluss. | |
JP2014053073A5 (ru) | ||
ATE301505T1 (de) | Lecksicherer verschluss in einer spenderpumpe | |
WO2020016645A3 (de) | Anordnung zum kontaminationsfreien einschleusen eines sterilen objektes aus einem behältnis in ein containment und verfahren dazu | |
RU2009117477A (ru) | Крышки для контейнеров, предназначенных для нескольких компонентов | |
JP2002151373A5 (ru) | ||
TW200512139A (en) | Processing device | |
KR200270678Y1 (ko) | 밀폐용기 | |
US20180195639A1 (en) | Vacuum valve | |
FR3114730B1 (fr) | Dispositif de conditionnement destine au transport de larves de mouches |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20080521 |
|
NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20091210 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20140521 |