JPH03228230A - 面振れ量測定装置 - Google Patents
面振れ量測定装置Info
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- JPH03228230A JPH03228230A JP2412490A JP2412490A JPH03228230A JP H03228230 A JPH03228230 A JP H03228230A JP 2412490 A JP2412490 A JP 2412490A JP 2412490 A JP2412490 A JP 2412490A JP H03228230 A JPH03228230 A JP H03228230A
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- Japan
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- signal
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Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 65
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 32
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は面振れ量測定装置、特に、光ディスクの面振れ
量検査に使用する面振れ量測定装置に関する。
量検査に使用する面振れ量測定装置に関する。
従来の面振れ量測定装置について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第３図は、従来の面振れ量測定装置の一例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
第３図に示す面振れ量測定装置は、
（Ａ）被測定物である光ディスクを載せるターンテーブ
ル１、 （Ｂ）ターンテーブル回転指令信号ａに従いターンテー
ブル１を駆動し、インデックス信号すを出力するターン
テーブル回転駆動部２、（Ｃ）ドライブ信号ｐでフォー
カスアクチュエータを駆動し、フォーカスセンサ信号ｄ
を出力する光ヘッド３、 （Ｄ）光ヘッド３を光ディスクの半径方向に移動するス
テージ４、 （Ｅ）ステージ指令信号ｅに従いステージ４を駆動する
ステージ駆動部５、 （Ｆ）測定開始信号ｆとインデックス信号すがら測定ゲ
ート信号ｇと測定完了信号りを出力する測定ゲート生成
回路７、 （Ｇ）検出リセット信号ｒと測定ゲート信号ｇとフォー
カスセンサ信号ｄからフォーカス点検出信号Ｓを出力す
るフォーカス点検出回路１３、（Ｈ）ドライブデータｑ
からドライブ信号ｐを出力するＤ／Ａ変換器１４、 （Ｉ）ステージ指令信号ｅと検出リセット信号ｒとドラ
イブデータｑと測定開始信号ｆとターンテーブル回転指
令信号ａを出力し、フォーカス点検出信号Ｓと測定完了
信号りが入力され、それらを制御することにより面振れ
量を算出する制御部１５、 とを含んで構成される。
ル１、 （Ｂ）ターンテーブル回転指令信号ａに従いターンテー
ブル１を駆動し、インデックス信号すを出力するターン
テーブル回転駆動部２、（Ｃ）ドライブ信号ｐでフォー
カスアクチュエータを駆動し、フォーカスセンサ信号ｄ
を出力する光ヘッド３、 （Ｄ）光ヘッド３を光ディスクの半径方向に移動するス
テージ４、 （Ｅ）ステージ指令信号ｅに従いステージ４を駆動する
ステージ駆動部５、 （Ｆ）測定開始信号ｆとインデックス信号すがら測定ゲ
ート信号ｇと測定完了信号りを出力する測定ゲート生成
回路７、 （Ｇ）検出リセット信号ｒと測定ゲート信号ｇとフォー
カスセンサ信号ｄからフォーカス点検出信号Ｓを出力す
るフォーカス点検出回路１３、（Ｈ）ドライブデータｑ
からドライブ信号ｐを出力するＤ／Ａ変換器１４、 （Ｉ）ステージ指令信号ｅと検出リセット信号ｒとドラ
イブデータｑと測定開始信号ｆとターンテーブル回転指
令信号ａを出力し、フォーカス点検出信号Ｓと測定完了
信号りが入力され、それらを制御することにより面振れ
量を算出する制御部１５、 とを含んで構成される。
ターンテーブル１は、被検査物である光ディスクを載せ
る台である。
る台である。
ターンテーブル回転駆動部２は、制御部１５からのター
ンテーブル回転指令信号ａに従ってターンテーブル１を
回転駆動し、ターンテーブル１が１回転するたびに１パ
ルスのインデックス信号すを出力する。
ンテーブル回転指令信号ａに従ってターンテーブル１を
回転駆動し、ターンテーブル１が１回転するたびに１パ
ルスのインデックス信号すを出力する。
ステージ４は、光ヘッド３を光ディスクの半径方向に移
動する。
動する。
ステージ駆動部５は、制御部１５がらのステージ指令信
号ｅに従ってステージ４を駆動し、光ヘッド３を測定位
置に導く。
号ｅに従ってステージ４を駆動し、光ヘッド３を測定位
置に導く。
Ｄ／Ａ変換器１４は、制御部１５からのドライブデータ
ｑに従ってドライブ信号ｐを出力する。
ｑに従ってドライブ信号ｐを出力する。
ドライブ信号ｐで光ヘッド３のフォーカスアクチュエー
タが駆動され光ヘッド３の焦点位置が変化する。
タが駆動され光ヘッド３の焦点位置が変化する。
測定ゲート生成回路７は、制御部１５からの測定開始信
号ｆをトリガとしてインデックス信号すを用いてターン
テーブル１の１回転分である測定ゲート信号ｇを出力す
る。また、測定ゲート信号ｇがオフされると測定完了信
号りを出力する。
号ｆをトリガとしてインデックス信号すを用いてターン
テーブル１の１回転分である測定ゲート信号ｇを出力す
る。また、測定ゲート信号ｇがオフされると測定完了信
号りを出力する。
フォーカス点検出回路１３は、測定ゲート信号ｇがオン
の間゛に光ヘッド３からのフォーカスセンサ信号ｄによ
って焦点位置が検出されると、フォーカス点検出信号Ｓ
を出力する。このフォーカス点検出信号Ｓは、制御部１
５からの検出リセット信号ｒによってリセットされる。
の間゛に光ヘッド３からのフォーカスセンサ信号ｄによ
って焦点位置が検出されると、フォーカス点検出信号Ｓ
を出力する。このフォーカス点検出信号Ｓは、制御部１
５からの検出リセット信号ｒによってリセットされる。
第４図は、第３図に示す制御部の動作フローである。
ステージ指令信号ｅを出力し、光ヘッド３を測定位置へ
光ディスクの半径方向に移動する（ステツブ４０）。
光ディスクの半径方向に移動する（ステツブ４０）。
ターンテーブル回転指令信号ａを出力し、ターンテーブ
ル１を回転する（ステップ４１）。
ル１を回転する（ステップ４１）。
ドライブデータｑを初期値＝０にする（ステップ４２）
。
。
測定開始信号ｆを出力する（ステップ４３）。
測定が完了したかを測定完了信号りにより判断しくステ
ップ４４）、ステップ４５へ移る。
ップ４４）、ステップ４５へ移る。
フォーカス点検出信号Ｓがオンしたかどうかを判断しく
ステップ４５）、Ｎｏならばドライブデータｑを＋１し
て（ステップ４６）、ステップ４３へ移る。ＹＥＳなら
ばその時のドライブデータｑを記憶して（ステップ４７
）、ステップ４８へ移る。
ステップ４５）、Ｎｏならばドライブデータｑを＋１し
て（ステップ４６）、ステップ４３へ移る。ＹＥＳなら
ばその時のドライブデータｑを記憶して（ステップ４７
）、ステップ４８へ移る。
検出リセット信号ｒを出力して（ステップ４８）、フォ
ーカス点検出信号Ｓをリセットする。
ーカス点検出信号Ｓをリセットする。
ドライブデータｑを＋１する（ステップ４９）。
測定開始信号ｆを出力する（ステップ５０）。
測定を完了したかを測定完了信号りにより判断しくステ
ップ５１）、ステップ５２へ移る。
ップ５１）、ステップ５２へ移る。
フォーカス点検出信号Ｓがオンしたかどうか判断しくス
テップ５２）、Ｎｏならばその時のドライブデータｑを
記憶して（ステップ５３）、ステップ５４へ移る。ＹＥ
Ｓならばステップ４８へ移る。
テップ５２）、Ｎｏならばその時のドライブデータｑを
記憶して（ステップ５３）、ステップ５４へ移る。ＹＥ
Ｓならばステップ４８へ移る。
ステップ４７とステップ５３で記憶したドライブデータ
ｑの差にフォーカスアクチュエータの感度を掛け、面振
れ量を算出する（ステップ５４）。
ｑの差にフォーカスアクチュエータの感度を掛け、面振
れ量を算出する（ステップ５４）。
上述した従来の面振れ量測定装置は、光ヘッドの焦点位
置を変化させ、フォーカス点の有無で測定するので、測
定に長時間を要するという欠点があった。
置を変化させ、フォーカス点の有無で測定するので、測
定に長時間を要するという欠点があった。
本発明の面振れ量測定装置は、
（Ａ）被測定物を搭載するターンテーブル、（Ｂ）ター
ンテーブル回転指令信号にもとづいて前記ターンテーブ
ルを駆動し、インデックス信号を出力するターンテーブ
ル回転駆動部、（Ｃ）測定開始信号と前記インデックス
信号とにもとづいて、測定ゲート信号と測定完了信号と
を出力する測定ゲート生成回路、 （Ｄ）ステージ指令信号にもとづいてステージ駆動信号
を出力するステージ駆動部、 （Ｅ）前記ステージ駆動信号により前記ターンテーブル
の半径方向に移動するステージ、（Ｆ）前記ステージに
取り付けられ、ドライブ信号にもとづいてフォーカスア
クチュエータが駆動され、フォーカスセンサ信号を出力
する光ヘッド、 （Ｇ）フォーカスサーボオン信号と前記フォーカスセン
サ信号とにもとづいて、前記ドライブ信号を前記光ヘッ
ドに向けて送出するフォーカスサーボ回路、 （Ｈ）ホールドクリア信号と前記測定ゲート信号と前記
ドライブ信号とにもとづいて、最大ホールド信号を出力
する第１のピークホールド回路、（１）前記ホールドク
リア信号と前記測定ゲート信号と前記ドライブ信号とに
もとづいて、最小ホールド信号を出力する第２のピーク
ホールド回路、 （Ｊ）選択出力にもとづいて、前記最大ホールド信号あ
るいは前記最小ホールド信号のいづれか一方を選択し選
択信号として出力する選択器、（Ｋ）変換開始信号と前
記選択信号とにもとづいて、変換完了信号と変換データ
を出力するＡ／Ｄ変換器、 （Ｌ）前記測定完了信号と前記変換完了信号と前記変換
データが入力され、前記ステージ指令信号を前記ステー
ジ駆動部に向けて送出し、前記フォーカスサーボオン信
号を前記フォーカスサーボ回路に向けて送出し、前記選
択信号を前記選択器に向けて送出し、前記ホールドクリ
ア信号を前記第１と第２のピークホールド回路に向けて
送出し、前記測定開始信号を前記測定ゲート生成回路に
向けて送出し、それらを制御することにより面振れ量を
算出する制御部、 とを含んで構成される。
ンテーブル回転指令信号にもとづいて前記ターンテーブ
ルを駆動し、インデックス信号を出力するターンテーブ
ル回転駆動部、（Ｃ）測定開始信号と前記インデックス
信号とにもとづいて、測定ゲート信号と測定完了信号と
を出力する測定ゲート生成回路、 （Ｄ）ステージ指令信号にもとづいてステージ駆動信号
を出力するステージ駆動部、 （Ｅ）前記ステージ駆動信号により前記ターンテーブル
の半径方向に移動するステージ、（Ｆ）前記ステージに
取り付けられ、ドライブ信号にもとづいてフォーカスア
クチュエータが駆動され、フォーカスセンサ信号を出力
する光ヘッド、 （Ｇ）フォーカスサーボオン信号と前記フォーカスセン
サ信号とにもとづいて、前記ドライブ信号を前記光ヘッ
ドに向けて送出するフォーカスサーボ回路、 （Ｈ）ホールドクリア信号と前記測定ゲート信号と前記
ドライブ信号とにもとづいて、最大ホールド信号を出力
する第１のピークホールド回路、（１）前記ホールドク
リア信号と前記測定ゲート信号と前記ドライブ信号とに
もとづいて、最小ホールド信号を出力する第２のピーク
ホールド回路、 （Ｊ）選択出力にもとづいて、前記最大ホールド信号あ
るいは前記最小ホールド信号のいづれか一方を選択し選
択信号として出力する選択器、（Ｋ）変換開始信号と前
記選択信号とにもとづいて、変換完了信号と変換データ
を出力するＡ／Ｄ変換器、 （Ｌ）前記測定完了信号と前記変換完了信号と前記変換
データが入力され、前記ステージ指令信号を前記ステー
ジ駆動部に向けて送出し、前記フォーカスサーボオン信
号を前記フォーカスサーボ回路に向けて送出し、前記選
択信号を前記選択器に向けて送出し、前記ホールドクリ
ア信号を前記第１と第２のピークホールド回路に向けて
送出し、前記測定開始信号を前記測定ゲート生成回路に
向けて送出し、それらを制御することにより面振れ量を
算出する制御部、 とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面−を参照して説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示す面振れ量測定装置は、
（Ａ）被測定物である光ディスクを載せるターンテーブ
ル１、 （Ｂ）ターンテーブル回転指令信号ａに従いターンテー
ブル１を駆動し、インデックス信号すを出力するターン
テーブル回転駆動部２、（Ｃ）ドライブ信号Ｃでフォー
カスアクチュエータを駆動し、フォーカスセンサ信号ｄ
を出力する光ヘッド３、 （Ｄ）光ヘッド３を光ディスクの半径方向に移動するス
テージ４、 （Ｅ）ステージ指令信号Ｃに従いステージ４を駆動する
ステージ駆動部５、 （Ｆ）フォーカスサーボオン信号ｔによりフォーカスセ
ンサ信号ｄからドライブ信号Ｃを出力するフォーカスサ
ーボ回路６、 （Ｇ）測定開始信号ｆとインデックス信号すから測定ゲ
ート信号ｇと測定完了信号りを出力する測定ゲート生成
回路７、 （Ｈ）ホールドクリア信号ｉと測定ゲート信号ｇとドラ
イブ信号Ｃから最大値ホールド信号ｊを出力するピーク
ホールド回路８、 （１）ホールドクリア信号ｉと測定ゲート信号ｇとドラ
イブ信号Ｃから最小値ホールド信号ｋを出力するピーク
ホールド回路９、 （Ｊ）選択信号１に従い最大値ホールド信号ｊと最小値
ホールド信号にのどちらかを選択し出力する選択器１０
、 （Ｋ）変換開始信号ｍと選択器１０から変換完了信号ｎ
と変換データ０を出力するＡ／Ｄ変換器１１、 （Ｌ）ステージ指令信号ｅとフォーカスサーボオン信号
ｔと変換開始信号ｍと選択信号１とホールドクリア信号
ｉと測定開始信号ｆとターンテーブル回転指令信号ａを
出力し、変換完了信号ｎと変換データＯの開始完了信号
りか入力され、それらを制御することにより面振れ量を
算出する制御部１２、 とを含んで構成される。
ル１、 （Ｂ）ターンテーブル回転指令信号ａに従いターンテー
ブル１を駆動し、インデックス信号すを出力するターン
テーブル回転駆動部２、（Ｃ）ドライブ信号Ｃでフォー
カスアクチュエータを駆動し、フォーカスセンサ信号ｄ
を出力する光ヘッド３、 （Ｄ）光ヘッド３を光ディスクの半径方向に移動するス
テージ４、 （Ｅ）ステージ指令信号Ｃに従いステージ４を駆動する
ステージ駆動部５、 （Ｆ）フォーカスサーボオン信号ｔによりフォーカスセ
ンサ信号ｄからドライブ信号Ｃを出力するフォーカスサ
ーボ回路６、 （Ｇ）測定開始信号ｆとインデックス信号すから測定ゲ
ート信号ｇと測定完了信号りを出力する測定ゲート生成
回路７、 （Ｈ）ホールドクリア信号ｉと測定ゲート信号ｇとドラ
イブ信号Ｃから最大値ホールド信号ｊを出力するピーク
ホールド回路８、 （１）ホールドクリア信号ｉと測定ゲート信号ｇとドラ
イブ信号Ｃから最小値ホールド信号ｋを出力するピーク
ホールド回路９、 （Ｊ）選択信号１に従い最大値ホールド信号ｊと最小値
ホールド信号にのどちらかを選択し出力する選択器１０
、 （Ｋ）変換開始信号ｍと選択器１０から変換完了信号ｎ
と変換データ０を出力するＡ／Ｄ変換器１１、 （Ｌ）ステージ指令信号ｅとフォーカスサーボオン信号
ｔと変換開始信号ｍと選択信号１とホールドクリア信号
ｉと測定開始信号ｆとターンテーブル回転指令信号ａを
出力し、変換完了信号ｎと変換データＯの開始完了信号
りか入力され、それらを制御することにより面振れ量を
算出する制御部１２、 とを含んで構成される。
次に動作を逐次説明する。
ターンテーブル１は、被検査物である光ディスクを載せ
る台である。
る台である。
ターンテーブル回転駆動駆動部２は、制御部１２からの
ターンテーブル回転指令信号ａに従ってターンテーブル
１を回転駆動し、ターンテーブルｌが１回転するたびに
１パルスのインデックス信号すを出力する。
ターンテーブル回転指令信号ａに従ってターンテーブル
１を回転駆動し、ターンテーブルｌが１回転するたびに
１パルスのインデックス信号すを出力する。
ステージ４は、光ヘッド３を光ディスクの半径方向に移
動する。
動する。
ステージ駆動部５は、制御部１２からのステージ指令信
号ｅに従ってステージ４を駆動し、光ヘッド３を測定位
置に導く。
号ｅに従ってステージ４を駆動し、光ヘッド３を測定位
置に導く。
フォーカスサーボ回路６は、制御部１２からのフォーカ
スサーボオン信号ｔに従って光ヘッド３を光ディスクに
フォーカスサーボをかける。光へラド３からのフォーカ
スセンサ信号ｄによって光ヘッド３と光ディスクとの距
離変動を検出し、それに応じてドライブ信号Ｃを出力す
る。
スサーボオン信号ｔに従って光ヘッド３を光ディスクに
フォーカスサーボをかける。光へラド３からのフォーカ
スセンサ信号ｄによって光ヘッド３と光ディスクとの距
離変動を検出し、それに応じてドライブ信号Ｃを出力す
る。
測定ゲート生成回路７は、制御部１２からの測定開始信
号ｆをトリガとしてインデックス信号すを用いてターン
テーブル１の１回転分である測定ゲート信号ｇを出力す
る。また、測定ゲート信号ｇがオフされると測定完了信
号りを出力する。
号ｆをトリガとしてインデックス信号すを用いてターン
テーブル１の１回転分である測定ゲート信号ｇを出力す
る。また、測定ゲート信号ｇがオフされると測定完了信
号りを出力する。
ピークホールド回路８は、測定ゲート信号ｇがオンの間
のフォーカスサーボ回路６からのドライブ信号Ｃの最大
値をホールドし最大値ホールド信号ｊを出力する。最大
値ホールド信号ｊは制御部１２からのホールドクリア信
号ｉによってリセットされる。
のフォーカスサーボ回路６からのドライブ信号Ｃの最大
値をホールドし最大値ホールド信号ｊを出力する。最大
値ホールド信号ｊは制御部１２からのホールドクリア信
号ｉによってリセットされる。
ピークホールド回路９は、測定ゲート信号ｇがオンの間
のフォーカスサーボ回路６からのドライブ信号Ｃの最小
値をホールドし最小値ホールド信号ｋを出力する。最小
値ホールド信号には制御部１２からのホールドクリア信
号ｉによってリセットされる。
のフォーカスサーボ回路６からのドライブ信号Ｃの最小
値をホールドし最小値ホールド信号ｋを出力する。最小
値ホールド信号には制御部１２からのホールドクリア信
号ｉによってリセットされる。
選択器１０は、制御部１２からの選択信号ｌによって最
大値ホールド信号ｊか最小値ボールド信号ｋを選択し、
出力する。
大値ホールド信号ｊか最小値ボールド信号ｋを選択し、
出力する。
Ａ／Ｄ変換器１１は、制御部１２からの変換開始信号ｍ
によって選択器１０の出力をＡ／Ｄ変換する。変換を完
了すると変換完了信号ｎと変換データ０を出力する。
によって選択器１０の出力をＡ／Ｄ変換する。変換を完
了すると変換完了信号ｎと変換データ０を出力する。
第２図は第１図に示す制御部の動作フロー図である。
ステージ指令信号ｅを出力し、光ヘッド３を測定位置へ
光ディスクの半径方向に移動する（ステップ２０）。
光ディスクの半径方向に移動する（ステップ２０）。
ターンテーブル回転指令信号ａを出力し、ターンテーブ
ル１を回転する（ステップ２１）。
ル１を回転する（ステップ２１）。
フォーカスサーボオン信号ｔを出力しくステップ２２）
、光ヘッド３を光ディスクにフォーカスサーボをかける
。
、光ヘッド３を光ディスクにフォーカスサーボをかける
。
ホールドクリア信号ｉを出力しくステップ２３）、ピー
クホールド回路８とピークホールド回路９をクリアする
。
クホールド回路８とピークホールド回路９をクリアする
。
測定開始信号ｆを出力する（ステップ２４）。
測定が完了したかを測定完了信号りにより判断しくステ
ップ２５〉、ステップ２６へ移る。
ップ２５〉、ステップ２６へ移る。
選択信号１を出力しくステップ２６）、選択器１０で最
大値ホールド信号ｊを選択する。
大値ホールド信号ｊを選択する。
変換開始信号ｍを出力しくステップ２７）、変換完了信
号ｎがオンしたかどうか判断しくステップ２８）、ＹＥ
Ｓならば変換データ０を記憶して（ステップ２９）、ス
テップ３０へ移る。
号ｎがオンしたかどうか判断しくステップ２８）、ＹＥ
Ｓならば変換データ０を記憶して（ステップ２９）、ス
テップ３０へ移る。
選択信号１を出力しくステップ３０）、選択器１０で最
小値ホールド信号ｋを選択する。
小値ホールド信号ｋを選択する。
変換開始信号ｍを出力しくステップ３１）、変換完了信
号ｎがオンしたかどうかを判断しくステップ３２）、Ｙ
ＥＳならば変換データ０を記憶して（ステップ３３）、
ステップ３４へ移る。
号ｎがオンしたかどうかを判断しくステップ３２）、Ｙ
ＥＳならば変換データ０を記憶して（ステップ３３）、
ステップ３４へ移る。
ウテップ２９とステップ３３で記憶した変換データ０の
差にフォーカスアクチュエータの感度を掛け、面振れ量
を算出する（ステップ３４）。
差にフォーカスアクチュエータの感度を掛け、面振れ量
を算出する（ステップ３４）。
本発明の面振れ量測定装置は、光ヘッドを光ディスクに
フォーカスサーボをかけ、フォーカスアクチュエータの
ドライブ信号から面振れ量を測定しているので、測定時
間を短縮できるという効果がある。
フォーカスサーボをかけ、フォーカスアクチュエータの
ドライブ信号から面振れ量を測定しているので、測定時
間を短縮できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図に示す制御部の動作フロー図、第３図は従来の面
振れ量測定装置の一例を示すブロック図、第４図は第３
図に示す制御部の動作フロー図である。 １・・・ターンテーブル、２・・・ターンテーブル回転
駆動部、３・・・光ヘッド、４・・・ステージ、５・・
・ステージ駆動部、６・・・フォーカスサーボ回路、７
・・・測定ゲート生成回路、８・・・ピークホールド回
路、９・・・ピークホールド回路、１０・・・選択器、
１１・・・Ａ／Ｄ変換器、１２・・・制御部、１３・・
・フォーカス点検出回路、１４・・・Ｄ／Ａ変換器、１
５・・・制御部。 ａ・・・ターンテーブル回転指令信号、ｂ・・・インデ
ックス信号、Ｃ・・・ドライブ信号、ｄ・・・フォーカ
スセンサ信号、ｅ・・・ステージ指令信号、ｆ・・・測
定開始信号、ｇ・・・測定ゲート信号、ｈ・・・測定完
了信号、ｉ・・・ホールドクリア信号、ｊ・・・最大値
ホールド信号、ｋ・・・最小値ホールド信号、１・・・
選択信号、ｍ・・・変換開始信号、ｎ・・・変換完了信
号、０・・・変換データ、ｐ・・・ドライブ信号、ｑ・
・・ドライブデータ、ｒ・・・検出リセット信号、Ｓ・
・・フォーカス点検出信号、ｔ・・・フォーカスサーボ
オン信号。
第１図に示す制御部の動作フロー図、第３図は従来の面
振れ量測定装置の一例を示すブロック図、第４図は第３
図に示す制御部の動作フロー図である。 １・・・ターンテーブル、２・・・ターンテーブル回転
駆動部、３・・・光ヘッド、４・・・ステージ、５・・
・ステージ駆動部、６・・・フォーカスサーボ回路、７
・・・測定ゲート生成回路、８・・・ピークホールド回
路、９・・・ピークホールド回路、１０・・・選択器、
１１・・・Ａ／Ｄ変換器、１２・・・制御部、１３・・
・フォーカス点検出回路、１４・・・Ｄ／Ａ変換器、１
５・・・制御部。 ａ・・・ターンテーブル回転指令信号、ｂ・・・インデ
ックス信号、Ｃ・・・ドライブ信号、ｄ・・・フォーカ
スセンサ信号、ｅ・・・ステージ指令信号、ｆ・・・測
定開始信号、ｇ・・・測定ゲート信号、ｈ・・・測定完
了信号、ｉ・・・ホールドクリア信号、ｊ・・・最大値
ホールド信号、ｋ・・・最小値ホールド信号、１・・・
選択信号、ｍ・・・変換開始信号、ｎ・・・変換完了信
号、０・・・変換データ、ｐ・・・ドライブ信号、ｑ・
・・ドライブデータ、ｒ・・・検出リセット信号、Ｓ・
・・フォーカス点検出信号、ｔ・・・フォーカスサーボ
オン信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （Ａ）被測定物を搭載するターンテーブル、（Ｂ）ター
ンテーブル回転指令信号にもとづいて前記ターンテーブ
ルを駆動し、インデックス信号を出力するターンテーブ
ル回転駆動部、 （Ｃ）測定開始信号と前記インデックス信号とにもとづ
いて、測定ゲート信号と測定完了信号とを出力する測定
ゲート生成回路、 （Ｄ）ステージ指令信号にもとづいてステージ駆動信号
を出力するステージ駆動部、 （Ｅ）前記ステージ駆動信号により前記ターンテーブル
の半径方向に移動するステージ、（Ｆ）前記ステージに
取り付けられ、ドライブ信号にもとづいてフォーカスア
クチュエータが駆動され、フォーカスセンサ信号を出力
する光ヘッド、 （Ｇ）フォーカスサーボオン信号と前記フォーカスセン
サ信号とにもとづいて、前記ドライブ信号を前記光ヘッ
ドに向けて送出するフォーカスサーボ回路、 （Ｈ）ホールドクリア信号と前記測定ゲート信号と前記
ドライブ信号とにもとづいて、最大ホールド信号を出力
する第１のピークホールド回路、（Ｉ）前記ホールドク
リア信号と前記測定ゲート信号と前記ドライブ信号とに
もとづいて、最小ホールド信号を出力する第２のピーク
ホールド回路、 （Ｊ）選択出力にもとづいて、前記最大ホールド信号あ
るいは前記最小ホールド信号のいづれか一方を選択し選
択信号として出力する選択器、（Ｋ）変換開始信号と前
記選択信号とにもとづいて、変換完了信号と変換データ
を出力するＡ／Ｄ変換器、 （Ｌ）前記測定完了信号と前記変換完了信号と前記変換
データが入力され、前記ステージ指令信号を前記ステー
ジ駆動部に向けて送出し、前記フォーカスサーボオン信
号を前記フォーカスサーボ回路に向けて送出し、前記選
択信号を前記選択器に向けて送出し、前記ホールドクリ
ア信号を前記第１と第２のピークホールド回路に向けて
送出し、前記測定開始信号を前記測定ゲート生成回路に
向けて送出し、それらを制御することにより面振れ量を
算出する制御部、 とを含むことを特徴とする面振れ量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412490A JPH03228230A (ja) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | 面振れ量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412490A JPH03228230A (ja) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | 面振れ量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03228230A true JPH03228230A (ja) | 1991-10-09 |
Family
ID=12129562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2412490A Pending JPH03228230A (ja) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | 面振れ量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03228230A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03115916U (ja) * | 1990-03-08 | 1991-12-02 | ||
| JPH0590614U (ja) * | 1992-04-27 | 1993-12-10 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 光ディスク装置 |
-
1990
- 1990-02-01 JP JP2412490A patent/JPH03228230A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03115916U (ja) * | 1990-03-08 | 1991-12-02 | ||
| JPH0590614U (ja) * | 1992-04-27 | 1993-12-10 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 光ディスク装置 |
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