JPH03219079A - ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金切削工具の製造法 - Google Patents
ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金切削工具の製造法Info
- Publication number
- JPH03219079A JPH03219079A JP1433890A JP1433890A JPH03219079A JP H03219079 A JPH03219079 A JP H03219079A JP 1433890 A JP1433890 A JP 1433890A JP 1433890 A JP1433890 A JP 1433890A JP H03219079 A JPH03219079 A JP H03219079A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- cemented carbide
- based cemented
- coated
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 45
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 14
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title abstract description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000012071 phase Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 41
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 7
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 7
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 6
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 abstract description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 abstract description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 abstract 1
- 238000010189 synthetic method Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 10
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 5
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 241001070941 Castanea Species 0.000 description 1
- 235000014036 Castanea Nutrition 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009837 dry grinding Methods 0.000 description 1
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910000601 superalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、炭化タングステン（以下、ＷＣと記す）超
超硬合金基体の表面に、均一で付着強度の高い人工ダイ
ヤモンドを析出させてなるダイヤモンド被覆炭化タング
ステン基超硬合金切削工具の製造法に関するものである
。
超硬合金基体の表面に、均一で付着強度の高い人工ダイ
ヤモンドを析出させてなるダイヤモンド被覆炭化タング
ステン基超硬合金切削工具の製造法に関するものである
。
一般に、結合相形成成分としてＣｏａｌ〜２５重量％を
含有し、残りが分散相形成成分としてＷＣと不可避不純
物からなる組成を有するＷＣ基超超合金基体表面に気相
合成法により人工ダイヤモンドを析出させ、ダイヤモン
ド被覆ＷＣ基超硬合金切削工具を製造する方法は知られ
ており、上記人工ダイヤモンドをＷＣＣ超超硬合金基体
表面均一に強固に密着させて工具寿命を延ばす工夫もい
ろいろなされている。例えば、 （ａ）ＷＣＣ超超硬合金基体表面砥石または砥粒を用い
て研摩し、ＷＣＣ超超硬合金基体表面さを平均：１．〇
−以下に制御し、人工ダイヤモンドを上記基体表面に強
固に密着させる方法（特開昭６１−１２４５７３号公報
参照）、 （ｂ）ＷＣＩＡ超硬合金基体を化学エツチングすること
により基体表面のＣｏを除去し、ＷＣをＣ。
含有し、残りが分散相形成成分としてＷＣと不可避不純
物からなる組成を有するＷＣ基超超合金基体表面に気相
合成法により人工ダイヤモンドを析出させ、ダイヤモン
ド被覆ＷＣ基超硬合金切削工具を製造する方法は知られ
ており、上記人工ダイヤモンドをＷＣＣ超超硬合金基体
表面均一に強固に密着させて工具寿命を延ばす工夫もい
ろいろなされている。例えば、 （ａ）ＷＣＣ超超硬合金基体表面砥石または砥粒を用い
て研摩し、ＷＣＣ超超硬合金基体表面さを平均：１．〇
−以下に制御し、人工ダイヤモンドを上記基体表面に強
固に密着させる方法（特開昭６１−１２４５７３号公報
参照）、 （ｂ）ＷＣＩＡ超硬合金基体を化学エツチングすること
により基体表面のＣｏを除去し、ＷＣをＣ。
よりも０．０５〜０．５ｔｌｎの段差で突き出したＷＣ
Ｃ超超硬合金基体表面形成し、基体表面のＷＣに人工ダ
イヤモンド被膜が一層付きやすくする方法（特開昭６３
−１４８８９号公報参照）、 （ｃ） 表面研削したＷＣＣ超超硬合金基体熱処理す
ることによりＷＣＣ超超硬合金基体表面粗さを０．３〜
３−とし、基体表面に形成された人工ダイヤモンドの耐
剥離性を向上させる方法（時開゛μｍ−２４６３８１号
公報参照）、 などの方法が提案されている。
Ｃ超超硬合金基体表面形成し、基体表面のＷＣに人工ダ
イヤモンド被膜が一層付きやすくする方法（特開昭６３
−１４８８９号公報参照）、 （ｃ） 表面研削したＷＣＣ超超硬合金基体熱処理す
ることによりＷＣＣ超超硬合金基体表面粗さを０．３〜
３−とし、基体表面に形成された人工ダイヤモンドの耐
剥離性を向上させる方法（時開゛μｍ−２４６３８１号
公報参照）、 などの方法が提案されている。
しかし、上記従来の製造法により製造されたダイヤモン
ド被覆ＷＣ基超硬合金切削工具は、ＷＣＣ超超硬合金基
体表面対するダイヤモンド被覆層の密着強度は十分でな
く、なお−層密着強度の優れたダイヤモンド被１ｗｃ基
超硬合金切削工具が求められていた。
ド被覆ＷＣ基超硬合金切削工具は、ＷＣＣ超超硬合金基
体表面対するダイヤモンド被覆層の密着強度は十分でな
く、なお−層密着強度の優れたダイヤモンド被１ｗｃ基
超硬合金切削工具が求められていた。
そこで、本発明者笠は、ダイヤモンド被覆層のＷＣＣ超
超硬合金基体表面対する密着強度を向上せしめるべく研
究を行った結果、 ＷＣＣ超超硬合金基体表面を研削する工程、この表面研
削したＷＣＣ超超硬合金基体非酸化性雰囲気中で熱処理
する工程、 この熱処理されたＷＣＣ超超硬合金基体化学程、 この表面Ｃｏが除去されたＷＣＣ超超硬合金基体微細硬
質粒子が浮遊分散した分散液中に浸漬し、この分散液に
超音波を作用させて上記表面Ｃｏが除去されたＷＣＣ超
超硬合金基体表面活性化させる工程、 上記表面活性化したＷＣＣ超超硬合金基体表面気相合成
法により人工ダイヤモンドを被覆する工程、 表面に人工ダイヤモンドを被覆したＷＣＣ超超硬合金基
体真空雰囲気中で熱処理する工程、の各工程を経て製造
されたダイヤモンド被覆ＷＣ基超硬合金切削工具のダイ
ヤモンド被覆層の密着強度は優れているという知見を得
たのである。
超硬合金基体表面対する密着強度を向上せしめるべく研
究を行った結果、 ＷＣＣ超超硬合金基体表面を研削する工程、この表面研
削したＷＣＣ超超硬合金基体非酸化性雰囲気中で熱処理
する工程、 この熱処理されたＷＣＣ超超硬合金基体化学程、 この表面Ｃｏが除去されたＷＣＣ超超硬合金基体微細硬
質粒子が浮遊分散した分散液中に浸漬し、この分散液に
超音波を作用させて上記表面Ｃｏが除去されたＷＣＣ超
超硬合金基体表面活性化させる工程、 上記表面活性化したＷＣＣ超超硬合金基体表面気相合成
法により人工ダイヤモンドを被覆する工程、 表面に人工ダイヤモンドを被覆したＷＣＣ超超硬合金基
体真空雰囲気中で熱処理する工程、の各工程を経て製造
されたダイヤモンド被覆ＷＣ基超硬合金切削工具のダイ
ヤモンド被覆層の密着強度は優れているという知見を得
たのである。
この発明は、かかる知見にもとづいてなされたもので、
この発明で用いるＷＣＣ超超硬合金基体、結合相形成成
分としてＣｏａｌ〜２５重量％を自白し、残りＷＣおよ
び不可避不純物からなる通常のＷＣＣ超超硬合金あり、
このＷＣＣ超超硬合金基体表面粗さが平均１．（Ｉｕｒ
Ｍ以下となるように研削する。
この発明で用いるＷＣＣ超超硬合金基体、結合相形成成
分としてＣｏａｌ〜２５重量％を自白し、残りＷＣおよ
び不可避不純物からなる通常のＷＣＣ超超硬合金あり、
このＷＣＣ超超硬合金基体表面粗さが平均１．（Ｉｕｒ
Ｍ以下となるように研削する。
この表面研削されたＷＣＣ超超硬合金、非酸化性雰囲気
中、１０００〜１５００℃の所定の温度に所定時間保持
の熱処理を施したのち、化学エツチング法によりＣｏの
みを溶出し、基体表面から深さ３μｓ以上にわたってＣ
ｏを除去し、Ｃｏ不不足金形成する。この場合、表面研
削されたＷＣＣ超超硬合金基体研削面を直接化学エツチ
ングするよりも上記熱処理したのち化学エツチングする
方がエツチング速度が向上するので好ましい。
中、１０００〜１５００℃の所定の温度に所定時間保持
の熱処理を施したのち、化学エツチング法によりＣｏの
みを溶出し、基体表面から深さ３μｓ以上にわたってＣ
ｏを除去し、Ｃｏ不不足金形成する。この場合、表面研
削されたＷＣＣ超超硬合金基体研削面を直接化学エツチ
ングするよりも上記熱処理したのち化学エツチングする
方がエツチング速度が向上するので好ましい。
一般に、ＷＣＣ超超硬合金基体化学エツチング法により
結合相形成成分であるＣｏを除去し、基体表面にＷＣを
突き出し、このＷＣに気相合成法により人工ダイヤモン
ドを被覆形成させる方法は上記〔従来の技術〕（ｂ）で
述べた如く公知ではあるが、上記従来法によるＣｏ不足
層の深さは０．５−以下であり、この程度のＣｏ不足層
を形成してもダイヤモンド被覆に悪影響を及ぼすＣｏの
影響は回避できない。したがって、この発明では、化学
エツチング法により形成されるＣｏ不足層の厚さを３ｔ
ｌＩ＠以上とした。上記Ｃｏ不足層の厚さを３趨以上と
するとＷＣＣ超超硬合金最表面Ｃｏ量は極めて微量とな
りダイヤモンド析出形成に及ぼすＣｏの悪影響を軽減す
ることができる。
結合相形成成分であるＣｏを除去し、基体表面にＷＣを
突き出し、このＷＣに気相合成法により人工ダイヤモン
ドを被覆形成させる方法は上記〔従来の技術〕（ｂ）で
述べた如く公知ではあるが、上記従来法によるＣｏ不足
層の深さは０．５−以下であり、この程度のＣｏ不足層
を形成してもダイヤモンド被覆に悪影響を及ぼすＣｏの
影響は回避できない。したがって、この発明では、化学
エツチング法により形成されるＣｏ不足層の厚さを３ｔ
ｌＩ＠以上とした。上記Ｃｏ不足層の厚さを３趨以上と
するとＷＣＣ超超硬合金最表面Ｃｏ量は極めて微量とな
りダイヤモンド析出形成に及ぼすＣｏの悪影響を軽減す
ることができる。
つぎに、表面にＣｏ不足層を有するＷＣＣ超超硬合金基
体、平均粒径：ｌ口〜３０μｓ程度の硬質粒子が分散し
た分散液に浸漬し、この分散液に超音波を作用させて上
記Ｃｏ不足層中のＷＣ粒表面を活性化させる。この活性
化処理を行うと、非常に均質な密着性の良い残留応力の
少ないダイヤモンド膜が形成される。
体、平均粒径：ｌ口〜３０μｓ程度の硬質粒子が分散し
た分散液に浸漬し、この分散液に超音波を作用させて上
記Ｃｏ不足層中のＷＣ粒表面を活性化させる。この活性
化処理を行うと、非常に均質な密着性の良い残留応力の
少ないダイヤモンド膜が形成される。
このようにして作製されたダイヤモンド被覆ＷＣ基超硬
合金を切削工具として用いても、３−以上の厚さのＣｏ
不足層があるとＷＣ粒子の結合強度が低下し、切削中に
ＷＣ粒子が脱落することによりダイヤモンドも剥離する
。そのため、上記Ｃｏ不足層を有するダイヤモンド被ｍ
ｗｃ基超硬合金をＩ Ｘ １Ｏ−５Ｔｏｒｒ以上の高真
空中、液相が発生しない温度以下の温度（好ましくは、
６００〜９００℃）で熱処理することが必要である。か
かる高真空中で熱処理することによりＷＣＣ超超硬合金
基体内部Ｃｏが表面に向って同相拡散し、Ｃｏ不足層が
消滅し、ＷＣ粒子の脱落によるダイヤモンドの剥離も解
消される。この場合の熱処理雰囲気は真空雰囲気である
ことが必要であり、例えば水素雰囲気で行っても基体内
部のＣｏは表面に向って移動しない。また、この熱処理
温度は液相が発生しない温度以下の温度で行う必要があ
り、液相が発生する温度ではＣｏがダイヤモンドを食刻
するので好ましくない。
合金を切削工具として用いても、３−以上の厚さのＣｏ
不足層があるとＷＣ粒子の結合強度が低下し、切削中に
ＷＣ粒子が脱落することによりダイヤモンドも剥離する
。そのため、上記Ｃｏ不足層を有するダイヤモンド被ｍ
ｗｃ基超硬合金をＩ Ｘ １Ｏ−５Ｔｏｒｒ以上の高真
空中、液相が発生しない温度以下の温度（好ましくは、
６００〜９００℃）で熱処理することが必要である。か
かる高真空中で熱処理することによりＷＣＣ超超硬合金
基体内部Ｃｏが表面に向って同相拡散し、Ｃｏ不足層が
消滅し、ＷＣ粒子の脱落によるダイヤモンドの剥離も解
消される。この場合の熱処理雰囲気は真空雰囲気である
ことが必要であり、例えば水素雰囲気で行っても基体内
部のＣｏは表面に向って移動しない。また、この熱処理
温度は液相が発生しない温度以下の温度で行う必要があ
り、液相が発生する温度ではＣｏがダイヤモンドを食刻
するので好ましくない。
つぎに、この発明を実施例にもとづいて具体的に説明す
る。
る。
原料粉末として、いずれも０．５〜ｌ０ＥＩ＋の範囲内
の所定の平均粒径を有するＷＣ粉末およびＣｏ粉末を用
意し、これら原料粉末を、 Ｃｏ：６重量％、 残り：ＷＣ となるように配合し、ボールミルで７２時時間式混合し
、乾燥したのち、１．５ｔｏｎ／ｃｊの圧力で圧粉体に
プレス成形し、この圧粉体を１ ｘ １０’Ｔｏｒｒの
真空中、１３５０〜１５００℃の範囲内の所定の温度に
９０分間保持の条件で焼結し、上記配合組成と実質的に
同一の成分組成をもったＷＣＣ超超硬合金基体製造し、
この基体表面に上下面および外周研削機を用いて研削加
工を施し、その形状をＣｌ５（超硬工具協会）規格５Ｐ
Ｐ４２２のスローアウェイチップに形成した。
の所定の平均粒径を有するＷＣ粉末およびＣｏ粉末を用
意し、これら原料粉末を、 Ｃｏ：６重量％、 残り：ＷＣ となるように配合し、ボールミルで７２時時間式混合し
、乾燥したのち、１．５ｔｏｎ／ｃｊの圧力で圧粉体に
プレス成形し、この圧粉体を１ ｘ １０’Ｔｏｒｒの
真空中、１３５０〜１５００℃の範囲内の所定の温度に
９０分間保持の条件で焼結し、上記配合組成と実質的に
同一の成分組成をもったＷＣＣ超超硬合金基体製造し、
この基体表面に上下面および外周研削機を用いて研削加
工を施し、その形状をＣｌ５（超硬工具協会）規格５Ｐ
Ｐ４２２のスローアウェイチップに形成した。
上記スローアウェイチップを、
（１） 水素雰囲気中、温度： １４８０℃、１時間
保持の条件で加熱処理する工程（以下、加熱処理工程と
いう）、 （２）５％硝酸水溶液にて化学エツチングし、スローア
ウェイチップ表面のＣｏを深さ：３ｕＩ＠以上にわたっ
て除去する工程（以下、化学エツチング工程という）、 （３）平均粒径：１５４のダイヤモンド粉末を純水に浮
遊分散さすてなる分散液に浸漬し、Ｉ Ｍｌｌｚの超音
波をかけて表面を活性化する工程（以下、表面活性化工
程という）、 （４）金属Ｗフィラメントを備えた直径： １２０■■
の石英管反応容器内に装入し、 雰囲気圧カニ ３０Ｔｏｒｒ、 基体温度＝７００℃、 反応ガｘ ： ＣＨ４／Ｈ２： １．０ 。
保持の条件で加熱処理する工程（以下、加熱処理工程と
いう）、 （２）５％硝酸水溶液にて化学エツチングし、スローア
ウェイチップ表面のＣｏを深さ：３ｕＩ＠以上にわたっ
て除去する工程（以下、化学エツチング工程という）、 （３）平均粒径：１５４のダイヤモンド粉末を純水に浮
遊分散さすてなる分散液に浸漬し、Ｉ Ｍｌｌｚの超音
波をかけて表面を活性化する工程（以下、表面活性化工
程という）、 （４）金属Ｗフィラメントを備えた直径： １２０■■
の石英管反応容器内に装入し、 雰囲気圧カニ ３０Ｔｏｒｒ、 基体温度＝７００℃、 反応ガｘ ： ＣＨ４／Ｈ２： １．０ 。
反応時間＝５時間、
の気相合成反応を行って、膜厚：３趨のダイヤモンド被
覆層を形成する工程（以下、ダイヤモンド気相合成工程
という）、 （５） １Ｏ−５Ｔｏｒｒノｊａ空雰囲気中、ｉｉ度
： ８００”Ｃ５２時間保持で熱処理し、基体内部のＣ
ｏを表面に固相拡散せしめる工程（以下、真空熱処理工
程という）、 の各工程を経て、第１表の本発明スローアウェイチップ
１を製造し、さらに第１表に示される上記ダイヤモンド
気相合成工程を除く各工程のうち少なくとも１工程を省
略した製造工程またはこの発明の条件から外れた条件を
含む製造工程を経て製造された比較スローアウェイチッ
プ１〜９をそれぞれ製造した（この製造工程においてこ
の発明の条件から外れた条件に栗印を付して示した）。
覆層を形成する工程（以下、ダイヤモンド気相合成工程
という）、 （５） １Ｏ−５Ｔｏｒｒノｊａ空雰囲気中、ｉｉ度
： ８００”Ｃ５２時間保持で熱処理し、基体内部のＣ
ｏを表面に固相拡散せしめる工程（以下、真空熱処理工
程という）、 の各工程を経て、第１表の本発明スローアウェイチップ
１を製造し、さらに第１表に示される上記ダイヤモンド
気相合成工程を除く各工程のうち少なくとも１工程を省
略した製造工程またはこの発明の条件から外れた条件を
含む製造工程を経て製造された比較スローアウェイチッ
プ１〜９をそれぞれ製造した（この製造工程においてこ
の発明の条件から外れた条件に栗印を付して示した）。
第１表に示された製造法により製造された本発明スロー
アウェイチップ１および比較スローアウェイチップ１〜
９を用いて、 被削材： Ａｌ２−１１％ｓｉ合金の丸棒、切削速度：
ｌｏ００ｍ／ｍｌｎ。
アウェイチップ１および比較スローアウェイチップ１〜
９を用いて、 被削材： Ａｌ２−１１％ｓｉ合金の丸棒、切削速度：
ｌｏ００ｍ／ｍｌｎ。
切り込み：１．Ｏｍｍ。
送 リ＝０．１龍／ｒｅｖ。
の乾式連続切削試験、および、
被削材：ＡｊＪ−１１％Ｓｔ合金の溝入り材、切削速度
： １２００ｍ／ｓｉｎ、 切り込み：１．５■■、 送 リ： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ。
： １２００ｍ／ｓｉｎ、 切り込み：１．５■■、 送 リ： ０．２ｍｍ／ｒｅｖ。
の乾式フライス断続試験を行ない、それぞれダイヤモン
ド被覆層が剥離するまでの時間を測定し、それらの測定
結果も第１表に示した。
ド被覆層が剥離するまでの時間を測定し、それらの測定
結果も第１表に示した。
第１表の結果から、ＷＣＣ超超硬合金スローアウェイチ
ップ研削し、ついで、加熱処理工程、化学エツチング工
程、表面活性化工程を施したのちダイヤモンド気相合成
工程によりダイヤモンド被覆し、最終的に真空熱処理を
施すことにより初めて優れた耐剥離性を有するダイヤモ
ンド被覆ＷＣ基超硬合金スローアウェイチップが得られ
、上記工程のうちいずれの工程を省略しても良好な結果
が得られないことがわかる。
ップ研削し、ついで、加熱処理工程、化学エツチング工
程、表面活性化工程を施したのちダイヤモンド気相合成
工程によりダイヤモンド被覆し、最終的に真空熱処理を
施すことにより初めて優れた耐剥離性を有するダイヤモ
ンド被覆ＷＣ基超硬合金スローアウェイチップが得られ
、上記工程のうちいずれの工程を省略しても良好な結果
が得られないことがわかる。
この実施例ではＷＣＣ超超硬合金基体としたダイヤモン
ド被覆スローアウェイチップの製造法について述べたが
、この発明は上記スローアウェイチップの製造法に限定
されるものではなく、その他一般のダイヤモンド被ｚｗ
ｃ４超硬合金切削工具の製造にも適用可能であり、かか
る製造法により、従来よりも一層長寿命のダイヤモンド
被覆ＷＣ基超硬合金切削工具を提供することができる。
ド被覆スローアウェイチップの製造法について述べたが
、この発明は上記スローアウェイチップの製造法に限定
されるものではなく、その他一般のダイヤモンド被ｚｗ
ｃ４超硬合金切削工具の製造にも適用可能であり、かか
る製造法により、従来よりも一層長寿命のダイヤモンド
被覆ＷＣ基超硬合金切削工具を提供することができる。
出
代
願人：
三菱金属株式会社
理人：富
外１名
Claims (1)
- （１）結合相形成成分としてＣｏ：１〜２５重量％を含
有し、残りが分散相形成成分として炭化タングステンと
不可避不純物からなる組成を有する炭化タングステン基
超硬合金基体の表面に人工ダイヤモンドを被覆してなる
ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金切削工具
の製造法において、上記炭化タングステン基超硬合金基
体の表面を研削する工程、 上記表面研削された炭化タングステン基超硬合金基体を
非酸化性雰囲気中で熱処理する工程、上記熱処理された
炭化タングステン基超硬合金基体を化学エッチング法に
より基体表面から深さ３μｍ以上にわたってＣｏを除去
することによりＣｏ不足層を形成する工程、 Ｃｏ不足層を有する炭化タングステン基超硬合金基体を
微細硬質粒子が浮遊分散した分散液中に浸漬し、この分
散液に超音波を作用させて上記炭化タングステン基超硬
合金基体のＣｏ不足層表面を活性化させる工程、 表面活性化した炭化タングステン基超硬合金基体のＣｏ
不足層表面に、気相合成法により人工ダイヤモンドを被
覆させる工程、 上記人工ダイヤモンドを被覆した炭化タングステン基超
硬合金基体を真空雰囲気中、液相が発生しない温度で熱
処理する工程、 の各工程を経て製造することを特徴とするダイヤモンド
被覆炭化タングステン基超硬合金切削工具の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1433890A JP2734157B2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金切削工具の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1433890A JP2734157B2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金切削工具の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03219079A true JPH03219079A (ja) | 1991-09-26 |
| JP2734157B2 JP2734157B2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=11858281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1433890A Expired - Lifetime JP2734157B2 (ja) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金切削工具の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2734157B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993002022A1 (fr) * | 1991-07-22 | 1993-02-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Materiau dur a revetement en diamant et procede de fabrication de ce materiau |
| WO1994013852A1 (en) * | 1992-12-08 | 1994-06-23 | Osaka Diamond Industrial Co., Ltd. | Superhard film-coated material and method of producing the same |
| EP0962431A1 (en) * | 1998-05-27 | 1999-12-08 | Camco International (UK) Limited | Methods of treating preform elements |
| JP2010242227A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Tocalo Co Ltd | 織機用部材およびその製造方法 |
| JP2011089172A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Yoshitaka Mitsuda | ダイヤモンドライクカーボン皮膜形成部材及びその製造方法 |
| CN115229192A (zh) * | 2022-07-28 | 2022-10-25 | 廊坊西波尔钻石技术有限公司 | 一种聚晶金刚石复合片的复合方法 |
-
1990
- 1990-01-24 JP JP1433890A patent/JP2734157B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993002022A1 (fr) * | 1991-07-22 | 1993-02-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Materiau dur a revetement en diamant et procede de fabrication de ce materiau |
| WO1994013852A1 (en) * | 1992-12-08 | 1994-06-23 | Osaka Diamond Industrial Co., Ltd. | Superhard film-coated material and method of producing the same |
| US5955212A (en) * | 1992-12-08 | 1999-09-21 | Osaka Diamond Industrial Co., Ltd. | Superhard film-coated member and method of manufacturing the same |
| EP0962431A1 (en) * | 1998-05-27 | 1999-12-08 | Camco International (UK) Limited | Methods of treating preform elements |
| JP2010242227A (ja) * | 2009-04-01 | 2010-10-28 | Tocalo Co Ltd | 織機用部材およびその製造方法 |
| JP2011089172A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Yoshitaka Mitsuda | ダイヤモンドライクカーボン皮膜形成部材及びその製造方法 |
| TWI504766B (zh) * | 2009-10-22 | 2015-10-21 | Yoshitaka Mitsuda | 具有類鑽碳膜之材料及其製造方法 |
| US9598762B2 (en) | 2009-10-22 | 2017-03-21 | Yoshitaka MITSUDA | Diamond-like carbon film-formed material and method for producing the same |
| CN115229192A (zh) * | 2022-07-28 | 2022-10-25 | 廊坊西波尔钻石技术有限公司 | 一种聚晶金刚石复合片的复合方法 |
| CN115229192B (zh) * | 2022-07-28 | 2024-03-29 | 廊坊西波尔钻石技术有限公司 | 一种聚晶金刚石复合片的复合方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2734157B2 (ja) | 1998-03-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3191878B2 (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法 | |
| US5211726A (en) | Products and process for making multigrain abrasive compacts | |
| EP0445305A1 (en) | Vapor deposited diamond synthesizing method on electrochemically treated substrate | |
| JPS61124573A (ja) | ダイヤモンド被覆基材及びその製造方法 | |
| JPH0791651B2 (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ | |
| JPH03219079A (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金切削工具の製造法 | |
| JPS63100182A (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ | |
| JP2001293603A (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具 | |
| JP4903566B2 (ja) | ホウ素被覆された研磨剤 | |
| JPS6267174A (ja) | 硬質炭素膜被覆超硬合金の製造法 | |
| JP2803379B2 (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法 | |
| JP2844934B2 (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法 | |
| JP2616255B2 (ja) | ダイヤモンド析出用超硬合金基材の製造法 | |
| JP6261000B2 (ja) | 制御された導電性／電気抵抗を有するダイヤモンド及びその製法 | |
| JPH07100858B2 (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ | |
| JP2001322067A (ja) | 金属炭化物被覆超砥粒の製造方法、金属炭化物被覆超砥粒および超砥粒工具 | |
| RU2429195C1 (ru) | Способ получения шероховатости на поверхности алмазных зерен | |
| JP3044944B2 (ja) | 気相合成ダイヤモンド膜形成用基体の製造法 | |
| JPH0557508A (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具 | |
| JPH0791650B2 (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ | |
| JPH0354180A (ja) | ダイヤモンド被覆焼結体の製造法 | |
| JPH0657427A (ja) | 硬質炭素膜被覆超硬合金工具およびその製造方法 | |
| JP2734134B2 (ja) | ダイヤモンドコーティング工具およびその製造方法 | |
| JPH05104307A (ja) | ダイヤモンド被覆切削工具 | |
| JP3067259B2 (ja) | ダイヤモンド被覆硬質材料及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080109 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 12 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 12 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 13 |