JP2844934B2 - 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法 - Google Patents
気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法Info
- Publication number
- JP2844934B2 JP2844934B2 JP2418981A JP41898190A JP2844934B2 JP 2844934 B2 JP2844934 B2 JP 2844934B2 JP 2418981 A JP2418981 A JP 2418981A JP 41898190 A JP41898190 A JP 41898190A JP 2844934 B2 JP2844934 B2 JP 2844934B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cemented carbide
- based cemented
- cutting tool
- sintering
- diamond
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、耐剥離性に優れた気
相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法に関するもの
である。
相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】近年、Ｃｏを結合相形成成分として含有
する通常のＷＣ基超硬合金基体の表面に、気相合成法に
よりダイヤモンド被覆層を形成したダイヤモンド被覆切
削工具が提供されており、このダイヤモンド被覆切削工
具は、主としてＡｌまたはＡｌ合金の切削に用いられて
いる。このダイヤモンド被覆切削工具の表面に形成され
ているダイヤモンド被覆層は、剥離しやすいために工具
寿命が短く、このダイヤモンド被覆切削工具の工具寿命
を延ばすためにはＷＣ基超硬合金基体表面に形成される
ダイヤモンド被覆層の密着強度を向上させる工夫がいろ
いろとなされている。
する通常のＷＣ基超硬合金基体の表面に、気相合成法に
よりダイヤモンド被覆層を形成したダイヤモンド被覆切
削工具が提供されており、このダイヤモンド被覆切削工
具は、主としてＡｌまたはＡｌ合金の切削に用いられて
いる。このダイヤモンド被覆切削工具の表面に形成され
ているダイヤモンド被覆層は、剥離しやすいために工具
寿命が短く、このダイヤモンド被覆切削工具の工具寿命
を延ばすためにはＷＣ基超硬合金基体表面に形成される
ダイヤモンド被覆層の密着強度を向上させる工夫がいろ
いろとなされている。
【０００３】例えば、特開平１−２４６３６１号公報で
は、通常の真空雰囲気中で焼結して得られたＷＣ基超硬
合金焼結体の表面を研削したのち、さらに真空雰囲気中
で液相の発生する温度以上に加熱し、上記ＷＣ基超硬合
金焼結体表面の再結晶化を促進することにより気相合成
ダイヤモンド被覆層の付着強度を向上せしめる方法が提
案されている。得られたＷＣ基超硬合金焼結体熱処理表
面は通常の方法で化学エッチングされ、表面のＣｏを除
去したのち、通常の気相合成法によりダイヤモンド被覆
層が形成されている。
は、通常の真空雰囲気中で焼結して得られたＷＣ基超硬
合金焼結体の表面を研削したのち、さらに真空雰囲気中
で液相の発生する温度以上に加熱し、上記ＷＣ基超硬合
金焼結体表面の再結晶化を促進することにより気相合成
ダイヤモンド被覆層の付着強度を向上せしめる方法が提
案されている。得られたＷＣ基超硬合金焼結体熱処理表
面は通常の方法で化学エッチングされ、表面のＣｏを除
去したのち、通常の気相合成法によりダイヤモンド被覆
層が形成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記特開平１
−２４６３６１号公報記載の製造方法で得られたダイヤ
モンド被覆切削工具のダイヤモンド被覆層は、依然とし
て剥離しやすく、特に断続切削に際して基体に欠損が発
生することもあり、なお一層工具寿命の長いダイヤモン
ド被覆切削工具が求められていた。
−２４６３６１号公報記載の製造方法で得られたダイヤ
モンド被覆切削工具のダイヤモンド被覆層は、依然とし
て剥離しやすく、特に断続切削に際して基体に欠損が発
生することもあり、なお一層工具寿命の長いダイヤモン
ド被覆切削工具が求められていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは、
気相合成ダイヤモンド被覆層の超硬合金基体表面に対す
る付着強度およびＷＣ基超硬合金基体の靭性がともに優
れ、連続および断続切削に際して工具寿命の一層長いダ
イヤモンド被覆切削用工具の製造方法を提供すべく研究
を行った結果、原料粉末を配合し、混合し、プレス成形
して圧粉体を成形し、この圧粉体を通常の真空または低
圧不活性ガス中で一次焼結することにより焼結体を製造
し、この焼結体を所定の形状に研削することによりＷＣ
基超硬合金切削工具を製造し、このＷＣ基超硬合金切削
工具を液相出現温度以上１５００℃の温度範囲内で二次
焼結してＷＣ基超硬合金基体を製造し、二次焼結して得
られたＷＣ基超硬合金基体を焼結処理面のまま通常の化
学エッチングし、この化学エッチングしたＷＣ基超硬合
金基体表面を溶液中で超音波研磨し、ついで超音波研磨
したＷＣ基超硬合金基体の表面に、気相合成法によりダ
イヤモンド被覆層を形成するダイヤモンド被覆切削工具
の製造方法において、上記ＷＣ基超硬合金切削工具を液
相出現温度以上１５００℃の温度範囲内で二次焼結して
ＷＣ基超硬合金基体を製造するに際して、液相出現温度
以上１５００℃の温度範囲内の焼結温度に保持して二次
焼結する際の雰囲気を、始めに１×１０-3Torr未満の高
真空に保持したのち、続いて１〜７６０Torrの低圧また
は常圧不活性ガス雰囲気に切換えて保持し、ついで、炉
冷することにより得られたＷＣ基超硬合金基体の表面
に、通常の気相合成法によりダイヤモンドを被覆する
と、被覆された気相合成ダイヤモンド被覆層の密着強度
は、従来よりも一層優れかつ基体自体の靭性も優れたも
のとなるという知見を得たのである。
気相合成ダイヤモンド被覆層の超硬合金基体表面に対す
る付着強度およびＷＣ基超硬合金基体の靭性がともに優
れ、連続および断続切削に際して工具寿命の一層長いダ
イヤモンド被覆切削用工具の製造方法を提供すべく研究
を行った結果、原料粉末を配合し、混合し、プレス成形
して圧粉体を成形し、この圧粉体を通常の真空または低
圧不活性ガス中で一次焼結することにより焼結体を製造
し、この焼結体を所定の形状に研削することによりＷＣ
基超硬合金切削工具を製造し、このＷＣ基超硬合金切削
工具を液相出現温度以上１５００℃の温度範囲内で二次
焼結してＷＣ基超硬合金基体を製造し、二次焼結して得
られたＷＣ基超硬合金基体を焼結処理面のまま通常の化
学エッチングし、この化学エッチングしたＷＣ基超硬合
金基体表面を溶液中で超音波研磨し、ついで超音波研磨
したＷＣ基超硬合金基体の表面に、気相合成法によりダ
イヤモンド被覆層を形成するダイヤモンド被覆切削工具
の製造方法において、上記ＷＣ基超硬合金切削工具を液
相出現温度以上１５００℃の温度範囲内で二次焼結して
ＷＣ基超硬合金基体を製造するに際して、液相出現温度
以上１５００℃の温度範囲内の焼結温度に保持して二次
焼結する際の雰囲気を、始めに１×１０-3Torr未満の高
真空に保持したのち、続いて１〜７６０Torrの低圧また
は常圧不活性ガス雰囲気に切換えて保持し、ついで、炉
冷することにより得られたＷＣ基超硬合金基体の表面
に、通常の気相合成法によりダイヤモンドを被覆する
と、被覆された気相合成ダイヤモンド被覆層の密着強度
は、従来よりも一層優れかつ基体自体の靭性も優れたも
のとなるという知見を得たのである。
【０００６】この発明は、かかる知見に基づいて成され
たものであって、Ｃｏ：４〜２０重量％を含有し、さら
に必要に応じて、Ｗを除く周期律表の４ａ，５ａ，６ａ
族金属の炭化物、またはこれら炭化物とＷＣとの固溶
体：０．５〜３０重量％を含有し、残り：ＷＣおよび不
可避不純物からなる組成の圧粉体を通常の条件下で一次
焼結することにより焼結体を製造する工程、上記焼結体
を所定の形状に寸法出しの研削を施すことによりＷＣ基
超硬合金切削工具を製造する工程、上記ＷＣ基超硬合金
切削工具を、さらに、液相出現温度以上１５００℃まで
の温度範囲内で二次焼結し、ＷＣ基超硬合金基体を製造
する工程、上記ＷＣ基超硬合金基体の表面を研削するこ
となく焼結処理面のまま通常の方法で化学エッチングす
る工程、ついで、上記超音波研磨したＷＣ基超硬合金基
体の表面に、通常の気相合成法によりダイヤモンド被覆
層を形成する工程、を含む気相合成ダイヤモンド被覆切
削工具の製造法において、上記ＷＣ基超硬合金切削工具
を二次焼結してＷＣ基超硬合金基体を製造する工程にお
ける、液相出現温度以上１５００℃の温度範囲内の所定
の二次焼結温度に保持して二次焼結する際の雰囲気を、
最初、１×１０-3Torr未満の高真空に保持し、続いて１
〜７６０Torrの低圧または常圧不活性ガス雰囲気に切換
えて保持し、ついで、炉冷する、気相合成ダイヤモンド
被覆切削工具の製造法に特徴を有するものである。
たものであって、Ｃｏ：４〜２０重量％を含有し、さら
に必要に応じて、Ｗを除く周期律表の４ａ，５ａ，６ａ
族金属の炭化物、またはこれら炭化物とＷＣとの固溶
体：０．５〜３０重量％を含有し、残り：ＷＣおよび不
可避不純物からなる組成の圧粉体を通常の条件下で一次
焼結することにより焼結体を製造する工程、上記焼結体
を所定の形状に寸法出しの研削を施すことによりＷＣ基
超硬合金切削工具を製造する工程、上記ＷＣ基超硬合金
切削工具を、さらに、液相出現温度以上１５００℃まで
の温度範囲内で二次焼結し、ＷＣ基超硬合金基体を製造
する工程、上記ＷＣ基超硬合金基体の表面を研削するこ
となく焼結処理面のまま通常の方法で化学エッチングす
る工程、ついで、上記超音波研磨したＷＣ基超硬合金基
体の表面に、通常の気相合成法によりダイヤモンド被覆
層を形成する工程、を含む気相合成ダイヤモンド被覆切
削工具の製造法において、上記ＷＣ基超硬合金切削工具
を二次焼結してＷＣ基超硬合金基体を製造する工程にお
ける、液相出現温度以上１５００℃の温度範囲内の所定
の二次焼結温度に保持して二次焼結する際の雰囲気を、
最初、１×１０-3Torr未満の高真空に保持し、続いて１
〜７６０Torrの低圧または常圧不活性ガス雰囲気に切換
えて保持し、ついで、炉冷する、気相合成ダイヤモンド
被覆切削工具の製造法に特徴を有するものである。
【０００７】この発明の気相合成ダイヤモンド被覆切削
工具の製造法に用いるＷＣ基超硬合金基体は、一般に知
られているＣｏ：４〜２０重量％を含有し、さらに必要
に応じて、Ｗを除く周期律表の４ａ，５ａ，６ａ族金属
の炭化物、またはこれら炭化物とＷＣとの固溶体：０．
５〜３０重量％を含有し、残り：ＷＣおよび不可避不純
物からなる組成の圧粉体を通常の条件下で一次焼結する
ことにより焼結体を製造し、この焼結体に寸法出しの研
削を施して得られたＷＣ基超硬合金切削工具をさらに二
次焼結したものを用いる。この二次焼結条件が気相合成
ダイヤモンド被覆層の付着強度に極めて大きな影響を及
ぼすものであり、この発明は、ＷＣ基超硬合金切削工具
の二次焼結条件、特に二次焼結中の圧力条件に特徴を有
するものである。この発明における二次焼結温度は、液
相出現温度以上１５００℃の温度範囲内にあり、この温
度範囲は、通常のＷＣ基超硬合金焼結温度の範囲であ
る。
工具の製造法に用いるＷＣ基超硬合金基体は、一般に知
られているＣｏ：４〜２０重量％を含有し、さらに必要
に応じて、Ｗを除く周期律表の４ａ，５ａ，６ａ族金属
の炭化物、またはこれら炭化物とＷＣとの固溶体：０．
５〜３０重量％を含有し、残り：ＷＣおよび不可避不純
物からなる組成の圧粉体を通常の条件下で一次焼結する
ことにより焼結体を製造し、この焼結体に寸法出しの研
削を施して得られたＷＣ基超硬合金切削工具をさらに二
次焼結したものを用いる。この二次焼結条件が気相合成
ダイヤモンド被覆層の付着強度に極めて大きな影響を及
ぼすものであり、この発明は、ＷＣ基超硬合金切削工具
の二次焼結条件、特に二次焼結中の圧力条件に特徴を有
するものである。この発明における二次焼結温度は、液
相出現温度以上１５００℃の温度範囲内にあり、この温
度範囲は、通常のＷＣ基超硬合金焼結温度の範囲であ
る。
【０００８】この発明において、二次焼結中の雰囲気を
終始１×１０-3Torr未満の高真空に保持すると、得られ
たＷＣ基超硬合金基体の靭性が低下する。そのため、二
次焼結中の雰囲気を１×１０-3Torr未満の高真空から１
〜７６０Torrの低圧または常圧不活性ガス雰囲気に切換
えて保持する必要がある。１Torr未満では、バインダ溶
出が抑えられず、また７６０Torrを越えると加圧装置を
必要とするために大がかりな焼結炉を必要とする。従っ
て、上記不活性ガス雰囲気の圧力は１〜７６０Torrに限
定した。このようにして得られたＷＣ基超硬合金基体
は、５％硝酸水溶液中で通常の方法で化学エッチング
し、表面から３〜１５μｍの深さのＣｏを除去する。
終始１×１０-3Torr未満の高真空に保持すると、得られ
たＷＣ基超硬合金基体の靭性が低下する。そのため、二
次焼結中の雰囲気を１×１０-3Torr未満の高真空から１
〜７６０Torrの低圧または常圧不活性ガス雰囲気に切換
えて保持する必要がある。１Torr未満では、バインダ溶
出が抑えられず、また７６０Torrを越えると加圧装置を
必要とするために大がかりな焼結炉を必要とする。従っ
て、上記不活性ガス雰囲気の圧力は１〜７６０Torrに限
定した。このようにして得られたＷＣ基超硬合金基体
は、５％硝酸水溶液中で通常の方法で化学エッチング
し、表面から３〜１５μｍの深さのＣｏを除去する。
【０００９】上記化学エッチングしたＷＣ基超硬合金基
体は、微細硬質粒子が浮遊分散した溶液中で超音波研磨
され、その表面を活性化する。このとき使用される微細
硬質粒子は、例えば、平均粒径１０μｍのダイヤモンド
粒子が用いられる。上記溶液中に界面活性剤を添加する
と一層効果がある。このようにして得られたＷＣ基超硬
合金基体の表面に通常の低圧気相合成法によりダイヤモ
ンド被覆層が形成される。
体は、微細硬質粒子が浮遊分散した溶液中で超音波研磨
され、その表面を活性化する。このとき使用される微細
硬質粒子は、例えば、平均粒径１０μｍのダイヤモンド
粒子が用いられる。上記溶液中に界面活性剤を添加する
と一層効果がある。このようにして得られたＷＣ基超硬
合金基体の表面に通常の低圧気相合成法によりダイヤモ
ンド被覆層が形成される。
【００１０】この発明の製造法により製造されたＷＣ基
超硬合金基体表面に気相合成法によりダイヤモンド被覆
層を形成すると、極めて付着強度の優れたダイヤモンド
被覆層が形成されかつＷＣ基超硬合金基体自体の靭性も
優れたものが得られるのである。
超硬合金基体表面に気相合成法によりダイヤモンド被覆
層を形成すると、極めて付着強度の優れたダイヤモンド
被覆層が形成されかつＷＣ基超硬合金基体自体の靭性も
優れたものが得られるのである。
【００１１】
【実施例】つぎに、この発明を実施例に基づいて具体的
に説明する。
に説明する。
【００１２】原料粉末としていずれも平均粒径：０．８
μｍのＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＴａＣ粉末およびＣｏ粉
末を用意し、これら原料粉末を表１に示される割合いと
なるように配合し、この配合粉末をボールミルで７２時
間湿式混合し、乾燥したのち、１．５ ton／cm2 の圧力
で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を通常の条件で一
次焼結し、上記配合組成とほぼ同一の成分組成をもつ一
次焼結体Ａ，ＢおよびＣをそれぞれ製造した。これら一
次焼結体Ａ，ＢおよびＣの表面を研削加工し、その形状
をＩＳＯ規格ＳＰＧＮ１２０３０８（Ｋ種）のチップに
形成し、このチップを表２および表３に示される条件で
本発明法１〜１１および比較法１〜６による二次焼結を
実施し、ＷＣ基超硬合金基体を作製し、ついで、このＷ
Ｃ基超硬合金基体を５％ＨＮＯ3 水溶液にて表面のＣｏ
を除去する化学エッチングを行い、さらに、この化学エ
ッチングしたチップを、平均粒径：１０μｍのダイヤモ
ンド微粉末が浮遊分散しているアルキルスルホン酸入り
超音波研磨液に浸漬し、１MHz の超音波をかけて表面を
活性化した。
μｍのＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＴａＣ粉末およびＣｏ粉
末を用意し、これら原料粉末を表１に示される割合いと
なるように配合し、この配合粉末をボールミルで７２時
間湿式混合し、乾燥したのち、１．５ ton／cm2 の圧力
で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を通常の条件で一
次焼結し、上記配合組成とほぼ同一の成分組成をもつ一
次焼結体Ａ，ＢおよびＣをそれぞれ製造した。これら一
次焼結体Ａ，ＢおよびＣの表面を研削加工し、その形状
をＩＳＯ規格ＳＰＧＮ１２０３０８（Ｋ種）のチップに
形成し、このチップを表２および表３に示される条件で
本発明法１〜１１および比較法１〜６による二次焼結を
実施し、ＷＣ基超硬合金基体を作製し、ついで、このＷ
Ｃ基超硬合金基体を５％ＨＮＯ3 水溶液にて表面のＣｏ
を除去する化学エッチングを行い、さらに、この化学エ
ッチングしたチップを、平均粒径：１０μｍのダイヤモ
ンド微粉末が浮遊分散しているアルキルスルホン酸入り
超音波研磨液に浸漬し、１MHz の超音波をかけて表面を
活性化した。
【００１３】
【表１】
【００１４】このようにして得られたチップを、金属Ｗ
フィラメントを備えた石英製反応容器に装入し、 雰囲気圧力：３０Torr、 基体温度：７５０℃、 反応ガス：メタンガス／水素ガス＝１．０の混合ガス、 の条件で、２４時間保持し、気相合成反応を行って平均
層厚：３μｍを有するダイヤモンド被覆チップを作製し
た。
フィラメントを備えた石英製反応容器に装入し、 雰囲気圧力：３０Torr、 基体温度：７５０℃、 反応ガス：メタンガス／水素ガス＝１．０の混合ガス、 の条件で、２４時間保持し、気相合成反応を行って平均
層厚：３μｍを有するダイヤモンド被覆チップを作製し
た。
【００１５】これらダイヤモンド被覆チップを用いて、
被削材 ：Ａｌ−１２％Ｓｉ 切削速度：Ｖ：１０００ｍ／min 、 切込み ：ｄ：３．０mm、 送りＳｚ：０．２mm／rev 、 の条件にて乾式連続切削試験を行い、さらに、 被削材 ：Ａｌ−１２％Ｓｉ 切削速度：Ｖ：１２００ｍ／min 、 切込み ：ｄ：１．５mm、 送りＳｚ：０．２mm／rev 、 の条件にて、湿式フライス切削試験を行い、チップのダ
イヤモンド被覆層がマクロな剥離をすることなく被削材
の面精度が良好に切削できるまでの時間を測定し、その
測定結果を表２および表３に示した。
被削材 ：Ａｌ−１２％Ｓｉ 切削速度：Ｖ：１０００ｍ／min 、 切込み ：ｄ：３．０mm、 送りＳｚ：０．２mm／rev 、 の条件にて乾式連続切削試験を行い、さらに、 被削材 ：Ａｌ−１２％Ｓｉ 切削速度：Ｖ：１２００ｍ／min 、 切込み ：ｄ：１．５mm、 送りＳｚ：０．２mm／rev 、 の条件にて、湿式フライス切削試験を行い、チップのダ
イヤモンド被覆層がマクロな剥離をすることなく被削材
の面精度が良好に切削できるまでの時間を測定し、その
測定結果を表２および表３に示した。
【００１６】表２および表３に示された測定結果から、
本発明法１〜１１により得られたダイヤモンド被覆切削
工具は、ダイヤモンド被覆層が剥離することなく被削材
の面精度を良好に切削できる時間が長く、優れた特性を
示すものであるに対し、比較法１〜６（比較法におい
て、※印を付した値は、この発明の条件から外れた値で
あることを示す。また比較法６は従来法でもある）で作
製されたダイヤモンド被覆切削工具は、ダイヤモンド被
覆層の付着強度が低いために、被削材の面精度が良好に
切削できる時間が短く、基体に欠損を生じることもある
ことがわかる。
本発明法１〜１１により得られたダイヤモンド被覆切削
工具は、ダイヤモンド被覆層が剥離することなく被削材
の面精度を良好に切削できる時間が長く、優れた特性を
示すものであるに対し、比較法１〜６（比較法におい
て、※印を付した値は、この発明の条件から外れた値で
あることを示す。また比較法６は従来法でもある）で作
製されたダイヤモンド被覆切削工具は、ダイヤモンド被
覆層の付着強度が低いために、被削材の面精度が良好に
切削できる時間が短く、基体に欠損を生じることもある
ことがわかる。
【００１７】
【表２】
【００１８】
【表３】
【００１９】
【発明の効果】この発明の製造法によると、従来よりも
一層すぐれた気相合成ダイヤモンド被覆切削工具を提供
することができ、産業上すぐれた効果を奏するものであ
る。
一層すぐれた気相合成ダイヤモンド被覆切削工具を提供
することができ、産業上すぐれた効果を奏するものであ
る。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ２４Ｄ 3/10 Ｃ２３Ｃ 16/02 // Ｃ２２Ｃ 29/08 16/26 Ｃ２３Ｃ 16/02 Ｂ２２Ｆ 3/10 Ｄ 16/26 3/24 １０２Ａ (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C22C 1/05 B22F 3/00 - 5/12 B23B 27/14 B23P 15/28 B24D 3/10 C22C 29/08 C23C 16/02,16/26
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｃｏ：４〜２０重量％を含有し、さらに
必要に応じて、タングステン（以下、Ｗと記す）を除く
周期律表の４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物、またはこ
れら炭化物と炭化タングステン（以下、ＷＣと記す）と
の固溶体：０．５〜３０重量％を含有し、残り：ＷＣお
よび不可避不純物からなる組成の圧粉体を通常の条件下
で一次焼結することにより焼結体を製造する工程、上記
焼結体を所定の形状に寸法出しの研削を施すことにより
ＷＣ基超硬合金切削工具を製造する工程、上記ＷＣ基超
硬合金工具を、さらに、液相出現温度以上１５００℃ま
での温度範囲内で二次焼結し、ＷＣ基超硬合金基体を製
造する工程、上記ＷＣ基超硬合金の表面を研削すること
なく焼結処理面のまま通常の方法で化学エッチングする
工程、この化学エッチングしたＷＣ基超硬合金基体表面
を更に微細硬質粒子が浮遊分散した溶液中で超音波研磨
する工程、ついで、上記超音波研磨したＷＣ基超硬合金
の表面に、通常の気相合成法によりダイヤモンド被覆層
を形成する工程、を含む気相合成ダイヤモンド被覆切削
工具の製造法において、上記ＷＣ基超硬合金切削工具を
二次焼結してＷＣ基超硬合金基体を製造する工程におけ
る、液相出現温度以上１５００℃の温度範囲内の焼結温
度で二次焼結する雰囲気を、最初に１×１０-3Torr未満
の高真空に保持したのち、続いて１〜７６０Torrの低圧
または常圧不活性ガス雰囲気に切換えて保持し、つい
で、炉冷する、ことを特徴とする気相合成ダイヤモンド
被覆切削工具の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2418981A JP2844934B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2418981A JP2844934B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04231428A JPH04231428A (ja) | 1992-08-20 |
| JP2844934B2 true JP2844934B2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=18526717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2418981A Expired - Fee Related JP2844934B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2844934B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69425459T2 (de) * | 1993-05-25 | 2001-04-12 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Substrat auf Keramikbasis und Verfahren zu dessen Herstellung |
| KR20190072497A (ko) * | 2017-12-11 | 2019-06-25 | 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 | 초경 합금 및 절삭 공구 |
| CN118321546B (zh) * | 2024-06-13 | 2024-08-13 | 西安稀有金属材料研究院有限公司 | 一种钛铝基合金及其复合材料的低成本制备方法 |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP2418981A patent/JP2844934B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04231428A (ja) | 1992-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3191878B2 (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法 | |
| EP0445305B1 (en) | Vapor deposited diamond synthesizing method on electrochemically treated substrate | |
| JPH02197569A (ja) | 被覆超硬合金及びその製造方法 | |
| JP2017165637A (ja) | 切削工具用複合焼結体及びこれを利用した切削工具 | |
| JPH09300105A (ja) | 表面被覆超硬合金製スローアウェイインサート | |
| JPH0791651B2 (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ | |
| JPS63100182A (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ | |
| JP2844934B2 (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法 | |
| JP2001293603A (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具 | |
| JP2734157B2 (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金切削工具の製造法 | |
| JP2803379B2 (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具の製造法 | |
| JPH0920590A (ja) | ダイヤモンド膜付き超硬基材の製造方法 | |
| JP2794111B2 (ja) | ダイヤモンド被覆切削工具 | |
| JP3519260B2 (ja) | 耐剥離性に優れたダイヤモンド膜被覆硬質部材 | |
| JP2002275571A (ja) | ｃＢＮ基焼結体およびその被覆工具 | |
| JP2595203B2 (ja) | 高密着性ダイヤモンド被覆焼結合金及びその製造方法 | |
| JPH0354180A (ja) | ダイヤモンド被覆焼結体の製造法 | |
| JPS6345372A (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ | |
| JPH01225774A (ja) | 高硬度多結晶ダイヤモンド工具 | |
| JP2616255B2 (ja) | ダイヤモンド析出用超硬合金基材の製造法 | |
| JPH04275805A (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具 | |
| JPH04202075A (ja) | ダイヤモンド被覆硬質材料の製造方法 | |
| JPS60174876A (ja) | 切削用コ−テイング工具の製造法 | |
| JP3067259B2 (ja) | ダイヤモンド被覆硬質材料及びその製造方法 | |
| JPH0791650B2 (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980929 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071030 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081030 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081030 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091030 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |