JPH03218083A - レーザ装置の送風機制御装置 - Google Patents
レーザ装置の送風機制御装置Info
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/102—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/104—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高速回転する送風機及び冷却器によってレーザ
ガスを強制冷却させるレーザ装置の送風機制御方法に関
し、特に、送風機の運転開始時および運転停止時のシー
ケンス制御方法に特徴を有するガスレーザ装置に関する
。
ガスを強制冷却させるレーザ装置の送風機制御方法に関
し、特に、送風機の運転開始時および運転停止時のシー
ケンス制御方法に特徴を有するガスレーザ装置に関する
。
Ｃ０２ガスレーザ等のガスレーザ発振器は高効率で高出
力が得られ、ビーム特性も良いので、数値制御装置と結
合されたＮＣレーザ装置として金属加工等に広く使用さ
れるようになった。
力が得られ、ビーム特性も良いので、数値制御装置と結
合されたＮＣレーザ装置として金属加工等に広く使用さ
れるようになった。
このようなガスレーザ発振器においては、発振効率を向
上させるために、レーザ発振を行って高温になったレー
ザガスを充分再冷却する必要がある。このため、レーザ
ガスを絶えずターボブロア等の高速回転する送風機で冷
却器を通して装置内を循環させている。
上させるために、レーザ発振を行って高温になったレー
ザガスを充分再冷却する必要がある。このため、レーザ
ガスを絶えずターボブロア等の高速回転する送風機で冷
却器を通して装置内を循環させている。
また、この送風機は通常１０．０００回転以上の高速回
転を必要とする為に高周波モータを使用し、駆動回路と
して高周波インバータを使用している。
転を必要とする為に高周波モータを使用し、駆動回路と
して高周波インバータを使用している。
従って、このターボブロアを停止状態から稼働回転数ま
で短時間に駆動させると、高周波インバータがモータか
らのパワーバックによる回生エネルギによりトリップし
てしまう為に、通常６０〜９０ｓｅｃを加速時間として
いる。
で短時間に駆動させると、高周波インバータがモータか
らのパワーバックによる回生エネルギによりトリップし
てしまう為に、通常６０〜９０ｓｅｃを加速時間として
いる。
しかしながら、この十分な加速時間を設けていても、運
転開始状態においてターボブロアが回転状態にあれば、
運転開始時に回生制動運転になり回生エネルギの一部が
インバータ側に逆流され、高周波インバータがトリップ
してしまう。
転開始状態においてターボブロアが回転状態にあれば、
運転開始時に回生制動運転になり回生エネルギの一部が
インバータ側に逆流され、高周波インバータがトリップ
してしまう。
したがって、従来はターボブロアの運転が完全に停止状
態にあるときに限りターボブロアの運転を開始する制御
命令を高周波インバータに指令できるようにしていた。
態にあるときに限りターボブロアの運転を開始する制御
命令を高周波インバータに指令できるようにしていた。
しかし、ターボブロアは高速回転時においても機械的に
非常に損失の少ない機構系を有するものであるために、
ターボブロアの回転はなんらかの機械的、電気的な制動
をかけない限り完全な停止状態は得すらい。一般に、制
動機構のない状態では稼働回転数から完全に停止するま
でに１８０〜２４０ｓｅｃも要する。従って、再度ター
ボブロアを運転開始しようとすると、上記した時間を要
してしまうという欠点を有していた。
非常に損失の少ない機構系を有するものであるために、
ターボブロアの回転はなんらかの機械的、電気的な制動
をかけない限り完全な停止状態は得すらい。一般に、制
動機構のない状態では稼働回転数から完全に停止するま
でに１８０〜２４０ｓｅｃも要する。従って、再度ター
ボブロアを運転開始しようとすると、上記した時間を要
してしまうという欠点を有していた。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、タ
ーボブロアの回転数が高周波インバータのトリップ限界
値より低い場合にのみ、ターボブロアの運転を開始でき
るようにしたレーザ装置の送風機制御方法をを提供する
ことを目的とする。
ーボブロアの回転数が高周波インバータのトリップ限界
値より低い場合にのみ、ターボブロアの運転を開始でき
るようにしたレーザ装置の送風機制御方法をを提供する
ことを目的とする。
また、本発明の他の目的は、ターボブロアの運転停止時
に、高周波インバータのトリップ限界値より低い回転数
にまで、回転数が低下するまで強制的に電気的な制動運
転を行うようにしたレーザ装置の送風機制御方法を提供
することである。
に、高周波インバータのトリップ限界値より低い回転数
にまで、回転数が低下するまで強制的に電気的な制動運
転を行うようにしたレーザ装置の送風機制御方法を提供
することである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明では上記課題を解決するために、高速回転する送
風機及び冷却機によってレーザガスを閉ループで強制循
環して冷却させるレーザ装置の送風機制御方法において
、前記送風機の回転数を検出し、前記送風機の運転開始
時において、前記送風機の回転数が所定の回転数以下か
どうかを判別し、前記送風機の回転数が前記所定の回転
数以下の場合に限り、運転開始動作を行うことを特徴と
するレーザ装置の送風機制御方法が、提供される。
風機及び冷却機によってレーザガスを閉ループで強制循
環して冷却させるレーザ装置の送風機制御方法において
、前記送風機の回転数を検出し、前記送風機の運転開始
時において、前記送風機の回転数が所定の回転数以下か
どうかを判別し、前記送風機の回転数が前記所定の回転
数以下の場合に限り、運転開始動作を行うことを特徴と
するレーザ装置の送風機制御方法が、提供される。
また、高速回転ずる送風機及び冷却機によってレーザガ
スを閉ループで強制循環して冷却させるレーザ装置の送
風機制御方法において、前記送風機の運転停止時に、前
記送風機が所定の回転数に減速するまで、前記送風機の
駆動回路により制動運転を行い、前記送風機の回転数が
前記所定回転数に減速するまで前記駆動回路の制動運転
を、レーザ装置を操作するオペレータからは停止出来な
いようにしたことを特徴とするレーザ装置の送風機制御
方法が、提供される。
スを閉ループで強制循環して冷却させるレーザ装置の送
風機制御方法において、前記送風機の運転停止時に、前
記送風機が所定の回転数に減速するまで、前記送風機の
駆動回路により制動運転を行い、前記送風機の回転数が
前記所定回転数に減速するまで前記駆動回路の制動運転
を、レーザ装置を操作するオペレータからは停止出来な
いようにしたことを特徴とするレーザ装置の送風機制御
方法が、提供される。
レーザ装置の運転開始時に、送風機の回転数を検出し、
その回転数が所定の値以下の場合に回転動作を行うよう
にする。これによって、送風機を駆動するインバータへ
の回生エネルギーによるトリップを防止する。
その回転数が所定の値以下の場合に回転動作を行うよう
にする。これによって、送風機を駆動するインバータへ
の回生エネルギーによるトリップを防止する。
また、レーザ装置の運転停止時に、送風機が停止動作に
入り、送風機が制動運転されているときは、回転数が所
定の回転数まで低下するまで、制動運転を途中で中断さ
せることなく、制動運転を続行させる。これによって、
確実に送風機の回転数を短時間で低下させる。従って、
再開時の送風機の起動時間も短縮される。
入り、送風機が制動運転されているときは、回転数が所
定の回転数まで低下するまで、制動運転を途中で中断さ
せることなく、制動運転を続行させる。これによって、
確実に送風機の回転数を短時間で低下させる。従って、
再開時の送風機の起動時間も短縮される。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第３図は本発明を実施するためのＮＣレーザ装置の構成
を示したブロック図である。図において、プロセッサ１
は図示されていないＲＯＭに格納された制御プログラム
に基づいて、メモリｌＯに格納された加工プログラムを
読みだし、ＮＣレーザ装置全体の動作を制御する。出力
制御回路２は内部にＤ／Ａコンバータを内蔵しており、
プロセッサ１から出力された出力指令値を電流指令値に
変換して出力する。励起用電源３は商用電源を整流した
後、スイッチング動作を行って高周波の電圧を発生し、
電流指令値に応じた高周波電流を放電管４に供給する。
を示したブロック図である。図において、プロセッサ１
は図示されていないＲＯＭに格納された制御プログラム
に基づいて、メモリｌＯに格納された加工プログラムを
読みだし、ＮＣレーザ装置全体の動作を制御する。出力
制御回路２は内部にＤ／Ａコンバータを内蔵しており、
プロセッサ１から出力された出力指令値を電流指令値に
変換して出力する。励起用電源３は商用電源を整流した
後、スイッチング動作を行って高周波の電圧を発生し、
電流指令値に応じた高周波電流を放電管４に供給する。
放電管４の内部にはレーザガス１９が循環しており、レ
ーザ用電源３から高周波電圧が印加されると放電を生じ
てレーザガスｌ９が励起される。
ーザ用電源３から高周波電圧が印加されると放電を生じ
てレーザガスｌ９が励起される。
リア鏡５は反射率９９．５％のゲルマニウム（Ｇｅ）製
の鏡、出力鏡６は反射率６５％のジンクセレン（ＺｎＳ
ｅ）製の鏡であり、これらはファブリペロー型共振器を
構成し、励起されたレーザガス分子から放出される１０
．６μｍの光を増幅して一部を出力鏡６からレーザ光７
として外部に出力する。
の鏡、出力鏡６は反射率６５％のジンクセレン（ＺｎＳ
ｅ）製の鏡であり、これらはファブリペロー型共振器を
構成し、励起されたレーザガス分子から放出される１０
．６μｍの光を増幅して一部を出力鏡６からレーザ光７
として外部に出力する。
出力されたレーザ光７は、後述するシャッタ２３ａが開
いている時には、ペンダミラー８で方向を変え、集光レ
ンズ９によって０．２ｍｍ以下のスポットに集光されて
ワーク１７の表面に照射される。
いている時には、ペンダミラー８で方向を変え、集光レ
ンズ９によって０．２ｍｍ以下のスポットに集光されて
ワーク１７の表面に照射される。
メモＩＪ １ ０は加エブログラ１％ 、各種のパラメ
ータ等を格納する不揮発性メモリであり、バッテリバッ
クアップされたＣＭＯＳが使用される。なお、この他に
システムプログラムを格納するＲＯＭ，一時的にデータ
を格納するＲＡＭがあるが、本図ではこれらを省略して
ある。
ータ等を格納する不揮発性メモリであり、バッテリバッ
クアップされたＣＭＯＳが使用される。なお、この他に
システムプログラムを格納するＲＯＭ，一時的にデータ
を格納するＲＡＭがあるが、本図ではこれらを省略して
ある。
位置制御回路１１はプロセッサ１０指令によってサーボ
アンブ１２を介してサーボモータ１３を回転制御し、ボ
ールスクリュー１４及びナット１５によってテーブルｌ
６の移動を制御し、ワーク１７の位置を制御する。図で
は１軸のみを表示してあるが、実際には複数の制御軸が
ある。表示装置ｌ８にはＣＲＴ或いは液晶表示装置等が
使用される。
アンブ１２を介してサーボモータ１３を回転制御し、ボ
ールスクリュー１４及びナット１５によってテーブルｌ
６の移動を制御し、ワーク１７の位置を制御する。図で
は１軸のみを表示してあるが、実際には複数の制御軸が
ある。表示装置ｌ８にはＣＲＴ或いは液晶表示装置等が
使用される。
送風機としてはターボブロワ２０が使用され、ターボブ
ロワ２０は高周波インバータ２６によって、１００．０
０Ｏｒｐｍで回転する。また、ターボブロア２７には回
転数を検出するタコジェネレータ２７が結合されている
。タコジェネレータ２７はターボブロワ２０の回転数を
検出し、夕一ボブロワ２０の回転始動、あるいは制動運
転のために使用されるが、その詳細は後述する。
ロワ２０は高周波インバータ２６によって、１００．０
０Ｏｒｐｍで回転する。また、ターボブロア２７には回
転数を検出するタコジェネレータ２７が結合されている
。タコジェネレータ２７はターボブロワ２０の回転数を
検出し、夕一ボブロワ２０の回転始動、あるいは制動運
転のために使用されるが、その詳細は後述する。
また、回転数の検出にはタコジェネレータ２７に代えて
、エンコーダあるいはレゾルバを使用することもできる
。
、エンコーダあるいはレゾルバを使用することもできる
。
さらに、回転数の検出にはターボブロワ２０の吸入側お
よび吐出側の圧力差を検出することによりガスの流速を
測定し、間接的にターボブロワ２０の回転数を検出する
ようにすることもできる。
よび吐出側の圧力差を検出することによりガスの流速を
測定し、間接的にターボブロワ２０の回転数を検出する
ようにすることもできる。
ターボブロワ２０はレーザガス１９を冷却器２１ａ及び
２ｌｂを通して循環する。冷却器２１ａはレーザ発振を
行って高温となったレーザガス１９を冷却するための冷
却器であり、冷却器２ｌｂは送風器２０による圧縮熱を
除去するための冷却器である。
２ｌｂを通して循環する。冷却器２１ａはレーザ発振を
行って高温となったレーザガス１９を冷却するための冷
却器であり、冷却器２ｌｂは送風器２０による圧縮熱を
除去するための冷却器である。
シャッタ制御回路２２はプロセッサ１の指令に基づいて
シャッタ２３ａを開閉する。シャッタ２３ａは表面に金
メッキが施された銅板またはアルミ板で構成されており
、閉時には出力鏡６から出力されたレーザ光７を反射し
てビームアブソーバ２３ｂに吸収させる。シャッタ２３
ａを開くとレーザ光７がワーク１７に照射される。
シャッタ２３ａを開閉する。シャッタ２３ａは表面に金
メッキが施された銅板またはアルミ板で構成されており
、閉時には出力鏡６から出力されたレーザ光７を反射し
てビームアブソーバ２３ｂに吸収させる。シャッタ２３
ａを開くとレーザ光７がワーク１７に照射される。
パワーセンサ２４は熱電あるいは光電変換素子等で構成
され、リア鏡５から一部透過して出力されたレーザ光を
入力してレーザ光７の出力パワーを測定する。Ａ／Ｄ変
換器２５はパワーセンサ２４の出力をディジタル値に変
換してプロセッサ１に人力する。
され、リア鏡５から一部透過して出力されたレーザ光を
入力してレーザ光７の出力パワーを測定する。Ａ／Ｄ変
換器２５はパワーセンサ２４の出力をディジタル値に変
換してプロセッサ１に人力する。
第１図は本発明のレーザ装置の送風機制御方法のフロー
チャートである。図において、Ｓに続く数値はステップ
番号を示す。
チャートである。図において、Ｓに続く数値はステップ
番号を示す。
〔Ｓ１〕真空ボンブ（第１図では省略している。
）によって、放電管４内の圧力を下げる。
〔Ｓ２〕放電管４内の圧力が１０Ｔｏｒｒ以下になった
か調べ、なればＳ３へ進む。
か調べ、なればＳ３へ進む。
〔Ｓ３〕ターボブロワ２０の回転数が５００Ｏｒｐｍ以
下か調べ、以下ならＳ４へ進む。ここで、５ ０ ０
０ ｒ ｐｍとはインバータ２６が回生電力によって、
トリップしない回転数である。
下か調べ、以下ならＳ４へ進む。ここで、５ ０ ０
０ ｒ ｐｍとはインバータ２６が回生電力によって、
トリップしない回転数である。
〔Ｓ４〕ターボブロワ２０の回転数Ｎが５０００ｒｐｍ
以下であるので、加速回転指令をインバータ２６に出力
し、ターボブロワ２０の回転数を上げる。
以下であるので、加速回転指令をインバータ２６に出力
し、ターボブロワ２０の回転数を上げる。
もし、ターボブロワ２０の回転数が５００Ｏｒｐｍ以上
である場合に、運転開始命令がされた時には、運転開始
命令を一時的に記憶し、回転数が５００Ｏｒｐｍになっ
たときに、運転開始命令を実行するようにする。
である場合に、運転開始命令がされた時には、運転開始
命令を一時的に記憶し、回転数が５００Ｏｒｐｍになっ
たときに、運転開始命令を実行するようにする。
〔Ｓ５〕ターボブロワ２０の回転数Ｎが定格回転数であ
る１００．００Ｏｒｐｍに達したか、しらべ、達したら
Ｓ６へ進む。
る１００．００Ｏｒｐｍに達したか、しらべ、達したら
Ｓ６へ進む。
〔Ｓ６〕ターボブロワ２０の回転数が定格回転数に達し
たので、放電管４内の圧力を一定するための圧力制御を
關始する。
たので、放電管４内の圧力を一定するための圧力制御を
關始する。
このようにして、ターボブロワ２０の回転数が５００Ｏ
ｒｐｍ以下かどうかを調べて、ターボブロワの運転を開
始するので、回生エネルギによるトリップを防止できる
。
ｒｐｍ以下かどうかを調べて、ターボブロワの運転を開
始するので、回生エネルギによるトリップを防止できる
。
第２図は本発明のレーザ装置の運転を停止する場合のフ
ローチャートである。
ローチャートである。
［Ｓ１１）真空ボンブの運転を停止する。
〔Ｓ１２〕ターボブロワ２０の停止命令を高周波インバ
ータ２６に出力する。ターボブロワ２０は高周波インバ
ータ２６によって、制動運転されて、回転数を落とす。
ータ２６に出力する。ターボブロワ２０は高周波インバ
ータ２６によって、制動運転されて、回転数を落とす。
〔Ｓ１３〕ターボブロワ２０の回転数Ｎは５００Ｑｒｐ
ｍ以下になったか調べ、なっていればＳｌ４へ進む。
ｍ以下になったか調べ、なっていればＳｌ４へ進む。
［３１４］ターボブロワ２０の回転数が５００ｏｒｐｍ
以下になっているので、制動運転を停止できる状態とす
る。すなわち、高周波インバータ２６の動作を停止した
り、電源をオフすることが可能とする。ターボブロワ２
０の回転数が５００ｏｒｐｍ以上のときは、インバータ
２６の制動運転を停止したり、あるいは電源をオフでき
ないようにインターロックをとる。
以下になっているので、制動運転を停止できる状態とす
る。すなわち、高周波インバータ２６の動作を停止した
り、電源をオフすることが可能とする。ターボブロワ２
０の回転数が５００ｏｒｐｍ以上のときは、インバータ
２６の制動運転を停止したり、あるいは電源をオフでき
ないようにインターロックをとる。
［Ｓ１５］制動運転を停止する。これは、高周波インバ
ータ２６の運転を停止したり、あるいは電源をオフにす
ることによって行う。
ータ２６の運転を停止したり、あるいは電源をオフにす
ることによって行う。
このように、ターボブロワ２０の停止時に、回転数が５
０ ０ ０ ｒ ｐｍより、低くなるまでは制動運転
を強制的に行うようにしたので、短時間で回転数を低速
まで低下させることができる。また、ターボブロワ２０
を再起動する場合も５０００ｒｐｍ以下に回転数が低下
していれば、インバータ２６のトリップ等の現象を生じ
ることなく再起動ができる。
０ ０ ０ ｒ ｐｍより、低くなるまでは制動運転
を強制的に行うようにしたので、短時間で回転数を低速
まで低下させることができる。また、ターボブロワ２０
を再起動する場合も５０００ｒｐｍ以下に回転数が低下
していれば、インバータ２６のトリップ等の現象を生じ
ることなく再起動ができる。
なお、上記の定格回転数あるいは所定の回転数は単なる
例であり、これらの数値は実際のレーザ装置に合わせて
決定することは言うまでもない。
例であり、これらの数値は実際のレーザ装置に合わせて
決定することは言うまでもない。
以上説明したように本発明では、送風機であるターボブ
ロアの運転開始時にターボブロアの回転数を検出し、運
転可能な回転数以下であるときに限り運転を開始するよ
うにしたので、運転開始時におけるターボブロアの駆動
回路ののトリップ現象を防止できる。
ロアの運転開始時にターボブロアの回転数を検出し、運
転可能な回転数以下であるときに限り運転を開始するよ
うにしたので、運転開始時におけるターボブロアの駆動
回路ののトリップ現象を防止できる。
また、ターボブロアの運転を停止する場合には、ターボ
ブロアが規定の回転数に到達するまで、自動的に送風機
の駆動回路により制動運転を行うと同時に、送風機の回
転数が所定の回転数に減速しない限り送風機の駆動電源
の制動運転を、レーザ装置を操作するオペレータからは
停止出来ないようにしたので、短時間で確実に送風機の
回転数を低下させることができ、運転開始時におけるタ
ーボブロアの駆動回路のトリップ現象を防止でき、待ち
時間を大幅に短縮できる。
ブロアが規定の回転数に到達するまで、自動的に送風機
の駆動回路により制動運転を行うと同時に、送風機の回
転数が所定の回転数に減速しない限り送風機の駆動電源
の制動運転を、レーザ装置を操作するオペレータからは
停止出来ないようにしたので、短時間で確実に送風機の
回転数を低下させることができ、運転開始時におけるタ
ーボブロアの駆動回路のトリップ現象を防止でき、待ち
時間を大幅に短縮できる。
第１図は本発明のレーザ装置の送風機制御方法のフロー
チャート、 第２図は本発明のレーザ装置の運転を停止する場合のフ
ローチャート、 第３図は本発明を実施するためのＮＣレーザ装置の構成
を示したブロック図である。 １ プロセッサ ４ 放電管 １０ ゜ メモリ ２０ ２６ ２７ ターボブロワ 高周波インバータ タコジェネレータ
チャート、 第２図は本発明のレーザ装置の運転を停止する場合のフ
ローチャート、 第３図は本発明を実施するためのＮＣレーザ装置の構成
を示したブロック図である。 １ プロセッサ ４ 放電管 １０ ゜ メモリ ２０ ２６ ２７ ターボブロワ 高周波インバータ タコジェネレータ
Claims (8)
- （１）高速回転する送風機及び冷却機によってレーザガ
スを閉ループで強制循環して冷却させるレーザ装置の送
風機制御方法において、 前記送風機の回転数を検出し、 前記送風機の運転開始時において、前記送風機の回転数
が所定の回転数以下かどうかを判別し、前記送風機の回
転数が前記所定の回転数以下の場合に限り、運転開始動
作を行うことを特徴とするレーザ装置の送風機制御方法
。 - （２）前記送風機の回転数が前記所定の回転数以上であ
る場合に、前記送風機への運転開始命令がされた時には
、前記運転開始命令を一時的に記憶し、前記送風機の回
転数が前記所定の回転数以下になったときに、運転開始
命令を実行するようにしたことを特徴とする請求項１記
載のレーザ装置の送風機制御方法。 - （３）高速回転する送風機及び冷却機によってレーザガ
スを閉ループで強制循環して冷却させるレーザ装置の送
風機制御方法において、 前記送風機の運転停止時に、前記送風機が所定の回転数
に減速するまで、前記送風機の駆動回路により制動運転
を行い、 前記送風機の回転数が前記所定回転数に減速するまで前
記駆動回路の制動運転を、レーザ装置を操作するオペレ
ータからは停止出来ないようにしたことを特徴とするレ
ーザ装置の送風機制御方法。 - （４）前記送風機の回転数と前記所定の回転数との比較
演算および前記送風機への運転指令は前記レーザ装置を
制御する数値制御装置が行うようにしたことを特徴とす
る請求項１又は請求項３記載のレーザ装置の送風機制御
方法。 - （５）前記送風機の回転数の検出は、前記送風機に設け
られたタコジェネレータによって検出することを特徴と
する請求項１又は請求項３記載のレーザ装置の送風機制
御方法。 - （６）前記送風機の回転数の検出は、前記送風機に設け
られたエンコーダによって検出することを特徴とする請
求項１又は請求項３記載のレーザ装置の送風機制御方法
。 - （７）前記送風機の回転数の検出は、前記送風機に設け
られたレゾルバによって検出することを特徴とする請求
項１又は請求項３記載のレーザ装置の送風機制御方法。 - （８）前記送風機の回転数の検出は、送風機の吸入側お
よび吐出側の圧力差を検出することによりガスの流速を
測定し、間接的に前記送風機の回転数を検出することを
特徴とする請求項１又は請求項３記載のレーザ装置の送
風機制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013012A JP2698678B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | レーザ装置の送風機制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013012A JP2698678B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | レーザ装置の送風機制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03218083A true JPH03218083A (ja) | 1991-09-25 |
| JP2698678B2 JP2698678B2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=11821252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013012A Expired - Fee Related JP2698678B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | レーザ装置の送風機制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2698678B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105098568A (zh) * | 2014-05-23 | 2015-11-25 | 发那科株式会社 | 具备送风机的激光振荡器 |
| US10050402B2 (en) | 2009-11-24 | 2018-08-14 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Gas laser oscillation device and gas laser processing machine |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6115595A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | インバ−タの制御回路 |
| JPH01321671A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-27 | Fanuc Ltd | Ｎｃレーザ装置 |
-
1990
- 1990-01-23 JP JP2013012A patent/JP2698678B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6115595A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | インバ−タの制御回路 |
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| DE102015006192A1 (de) | 2014-05-23 | 2015-11-26 | Fanuc Corporation | Laseroszillator mit Gebläse |
| JP2015222791A (ja) * | 2014-05-23 | 2015-12-10 | ファナック株式会社 | 送風機を備えるレーザ発振器 |
| US9419406B2 (en) | 2014-05-23 | 2016-08-16 | Fanuc Corporation | Laser oscillator provided with blower |
| DE102015006192B4 (de) | 2014-05-23 | 2018-06-14 | Fanuc Corporation | Laseroszillator mit Gebläse |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2698678B2 (ja) | 1998-01-19 |
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