JP2741439B2 - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザビームを受け止
める遮光部を有するレーザ発振器に係り、より詳しく
は、レーザ光を遮断できる安全で信頼性の高いレーザ発
振器に関するものである。
める遮光部を有するレーザ発振器に係り、より詳しく
は、レーザ光を遮断できる安全で信頼性の高いレーザ発
振器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は例えば特開平１−２３２７７９号
公報に開示された従来の三軸直交型のレーザ発振器の一
例を示す構成図である。図において、１はレーザ発振器
である。２は真空容器、３は相対する一対の放電電極、
４は熱交換器、５はブロア、６は例えばガスレーザでは
気体からなるレーザ媒質、７，８はそれぞれ共振器ミラ
ーを構成する全反射鏡及び部分反射鏡で、これらにより
レーザ発振器１が構成されている。また、９は冷却装置
である。１０はコンプレッサー、１１は冷却水用ポン
プ、１２は冷却水用熱交換器、１３は冷却水用ポンプ
で、これらにより冷却装置９が構成されている。
公報に開示された従来の三軸直交型のレーザ発振器の一
例を示す構成図である。図において、１はレーザ発振器
である。２は真空容器、３は相対する一対の放電電極、
４は熱交換器、５はブロア、６は例えばガスレーザでは
気体からなるレーザ媒質、７，８はそれぞれ共振器ミラ
ーを構成する全反射鏡及び部分反射鏡で、これらにより
レーザ発振器１が構成されている。また、９は冷却装置
である。１０はコンプレッサー、１１は冷却水用ポン
プ、１２は冷却水用熱交換器、１３は冷却水用ポンプ
で、これらにより冷却装置９が構成されている。
【０００３】さらに、１４は矢印上下方向に移動できる
遮光部で、被加工物を加工するとき等には開状態にし、
レーザ発振器を調整するとき等には閉状態にする。この
遮光部１４は、特にクラスＩＶのレーザ発振器では設置
することが義務づけられている。なお、１５はクーリン
グタワー、１６は遮光部冷却水である。
遮光部で、被加工物を加工するとき等には開状態にし、
レーザ発振器を調整するとき等には閉状態にする。この
遮光部１４は、特にクラスＩＶのレーザ発振器では設置
することが義務づけられている。なお、１５はクーリン
グタワー、１６は遮光部冷却水である。
【０００４】１７はレーザ発振器１の熱交換器４内に流
す第１の冷却水、１８は全反射鏡７や部分反射鏡８のよ
うな共振器ミラーを冷却するために流す第２の冷却水で
ある。１９は冷却装置９内の第１の冷却水１７を冷却す
る一次側冷却水で、この一次側冷却水では同時に遮光部
１４にも循環する。
す第１の冷却水、１８は全反射鏡７や部分反射鏡８のよ
うな共振器ミラーを冷却するために流す第２の冷却水で
ある。１９は冷却装置９内の第１の冷却水１７を冷却す
る一次側冷却水で、この一次側冷却水では同時に遮光部
１４にも循環する。
【０００５】図９は、図８に示したレーザ発振器のブロ
ック図である。２０はレーザ発振器１の放電電極３，３
間に電圧を印加する電源部である。２１は電源部２０に
接続された制御部で、放電電極３に印加する電圧を手動
または自動で制御したり、ブロア５の回転を制御した
り、遮光部１４の開閉の制御などをおこなう。
ック図である。２０はレーザ発振器１の放電電極３，３
間に電圧を印加する電源部である。２１は電源部２０に
接続された制御部で、放電電極３に印加する電圧を手動
または自動で制御したり、ブロア５の回転を制御した
り、遮光部１４の開閉の制御などをおこなう。
【０００６】次に、上記のように構成した従来のレーザ
発振器を加工や計測等に使用する際の作用を説明する。
まず、一対の放電電極３，３間に電圧を印加して放電が
発生すると、放電電極３，３間のレーザ媒質６が励起さ
れ、光を放出する。この光は全反射鏡７と部分反射鏡８
との間を往復しながら増幅され、部分反射鏡８からレー
ザビームとなって外部に出力される。一方、励起され高
温となったレーザ媒質６はブロア５によって真空容器２
内を循環し、放電電極３，３から熱交換器４に進む。
発振器を加工や計測等に使用する際の作用を説明する。
まず、一対の放電電極３，３間に電圧を印加して放電が
発生すると、放電電極３，３間のレーザ媒質６が励起さ
れ、光を放出する。この光は全反射鏡７と部分反射鏡８
との間を往復しながら増幅され、部分反射鏡８からレー
ザビームとなって外部に出力される。一方、励起され高
温となったレーザ媒質６はブロア５によって真空容器２
内を循環し、放電電極３，３から熱交換器４に進む。
【０００７】一方、高温のレーザ媒質６が通過する熱交
換器４には冷水用ポンプ１１によって冷却水１７が流
れ、ここでレーザ媒質の励起によって発生した熱をレー
ザ発振器１の外部に持ちさり、レーザ媒質を冷却する。
冷却水１７が持ち去った熱はコンプレッサ１０によって
一次側冷却水１９に渡され、クーリングタワー１５を通
して大気中に放出される。なお冷却水１７は、例えば１
０℃前後の比較的低い温度で循環しており、熱の交換効
率を上げてある。
換器４には冷水用ポンプ１１によって冷却水１７が流
れ、ここでレーザ媒質の励起によって発生した熱をレー
ザ発振器１の外部に持ちさり、レーザ媒質を冷却する。
冷却水１７が持ち去った熱はコンプレッサ１０によって
一次側冷却水１９に渡され、クーリングタワー１５を通
して大気中に放出される。なお冷却水１７は、例えば１
０℃前後の比較的低い温度で循環しており、熱の交換効
率を上げてある。
【０００８】また、共振器ミラーの間をレーザビームが
往復すると、全反射鏡７と部分反射鏡８はレーザビーム
の熱を吸収する。この熱は、冷却水用ポンプ１３によっ
て循環される冷却水１８によりレーザ発振器１の外部に
持ち去られ、冷却水用熱交換器１２によって大気中に放
出される。このとき冷却水１８はほぼ気温に近い温度に
冷却されているので、全反射鏡７や部分反射鏡８は結露
しない。なお、上記の冷却水１７，１８中のゴミ等は、
その回路中に設置されたフィルタ等により除去される。
往復すると、全反射鏡７と部分反射鏡８はレーザビーム
の熱を吸収する。この熱は、冷却水用ポンプ１３によっ
て循環される冷却水１８によりレーザ発振器１の外部に
持ち去られ、冷却水用熱交換器１２によって大気中に放
出される。このとき冷却水１８はほぼ気温に近い温度に
冷却されているので、全反射鏡７や部分反射鏡８は結露
しない。なお、上記の冷却水１７，１８中のゴミ等は、
その回路中に設置されたフィルタ等により除去される。
【０００９】上記のように加工や計測を実施している場
合は、遮光部１４を例えば矢印上方向に移動させて遮光
部１４を開状態にしておき、レーザビームを加工部また
は測定部まで導く。
合は、遮光部１４を例えば矢印上方向に移動させて遮光
部１４を開状態にしておき、レーザビームを加工部また
は測定部まで導く。
【００１０】ところで、上記のように構成した従来のレ
ーザ発振器は、加工や計測を行なわないとき又はレーザ
発振器を調整するときに、レーザビームを出力している
状態にする場合がある。この場合は、図８に示すように
遮光部１４を例えば矢印下方向に移動させて閉状態にし
て、遮光部１４によってレーザビームを受け止める。特
に高出力のレーザ発振器では、レーザビームが当ると遮
光部１４は高温となる。このため、コンプレッサー１０
で一次側冷却水１９を循環させ遮光部１４を冷却する。
ーザ発振器は、加工や計測を行なわないとき又はレーザ
発振器を調整するときに、レーザビームを出力している
状態にする場合がある。この場合は、図８に示すように
遮光部１４を例えば矢印下方向に移動させて閉状態にし
て、遮光部１４によってレーザビームを受け止める。特
に高出力のレーザ発振器では、レーザビームが当ると遮
光部１４は高温となる。このため、コンプレッサー１０
で一次側冷却水１９を循環させ遮光部１４を冷却する。
【００１１】上記のようなレーザ発振器１や冷却装置９
は、制御装置２１によって外部から制御される。すなわ
ち、制御装置２１からの指令が電源部２０に送られると
ブロア５が回転し、冷却装置９の冷却水用ポンプ１１，
１３が駆動されて冷却水１７，１８が循環を始める。ま
た、放電電極３，３間には電源部２０から電圧が印加さ
れて放電が発生する。そして電圧を制御することでレー
ザビームをＯＮ，ＯＦＦさせ、あるいはレーザビームの
強度を変える。
は、制御装置２１によって外部から制御される。すなわ
ち、制御装置２１からの指令が電源部２０に送られると
ブロア５が回転し、冷却装置９の冷却水用ポンプ１１，
１３が駆動されて冷却水１７，１８が循環を始める。ま
た、放電電極３，３間には電源部２０から電圧が印加さ
れて放電が発生する。そして電圧を制御することでレー
ザビームをＯＮ，ＯＦＦさせ、あるいはレーザビームの
強度を変える。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成した
従来のレーザ発振器では、遮光部１４を冷却するため遮
光部１４に一次側冷却水１９を循環させていた。しかし
ながら、一次側冷却水１９を循環させるクーリングタワ
ー１５は室外に設置されている場合が多く、メンテナン
スを実施する機会が少ない。従って、一次側冷却水１９
にゴミやカルシュウム等が付着しやすい。そのために、
遮光部１４に通じる一次側冷却水１９の通路が密閉され
てしまい、遮光部１４の冷却不足によって遮光部１４が
破損する場合があった。
従来のレーザ発振器では、遮光部１４を冷却するため遮
光部１４に一次側冷却水１９を循環させていた。しかし
ながら、一次側冷却水１９を循環させるクーリングタワ
ー１５は室外に設置されている場合が多く、メンテナン
スを実施する機会が少ない。従って、一次側冷却水１９
にゴミやカルシュウム等が付着しやすい。そのために、
遮光部１４に通じる一次側冷却水１９の通路が密閉され
てしまい、遮光部１４の冷却不足によって遮光部１４が
破損する場合があった。
【００１３】また、上記のように一次側冷却水を直接遮
光部に循環させるのではなく、反射鏡等を冷却する冷却
水で遮光部を冷却する方法がある。しかしこの方法によ
れば、遮光部を冷却するために冷却水の温度が著しく上
昇し、反射鏡の温度が上昇して、レーザ発振器の性能を
維持できないという問題があった。
光部に循環させるのではなく、反射鏡等を冷却する冷却
水で遮光部を冷却する方法がある。しかしこの方法によ
れば、遮光部を冷却するために冷却水の温度が著しく上
昇し、反射鏡の温度が上昇して、レーザ発振器の性能を
維持できないという問題があった。
【００１４】さらに、特開昭６２−２４３３８２号公報
に開示されているように、冷却媒体の温度、流量を制御
する先行技術文献はあるが、この先行技術によっても上
記問題点は十分に解決されていない。
に開示されているように、冷却媒体の温度、流量を制御
する先行技術文献はあるが、この先行技術によっても上
記問題点は十分に解決されていない。
【００１５】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたもので、冷却水の温度が上昇することがなく、安定
したレーザビームの出力ができるレーザ発振器を得るこ
とを目的とする。
れたもので、冷却水の温度が上昇することがなく、安定
したレーザビームの出力ができるレーザ発振器を得るこ
とを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明にかかるレーザ発
振器は、遮光部の冷却に共振器ミラーを冷却する冷却水
を用い、遮光部がレーザビームを受けている時間を制御
装置で設定し、この設定時間に基いてレーザ発振を制御
するようにしたものである。
振器は、遮光部の冷却に共振器ミラーを冷却する冷却水
を用い、遮光部がレーザビームを受けている時間を制御
装置で設定し、この設定時間に基いてレーザ発振を制御
するようにしたものである。
【００１７】また本発明にかかるレーザ発振器は、遮光
部の冷却に共振器ミラーを冷却する冷却水を用い、遮光
部によりレーザビームを受けとめていた時間に対応する
時間だけレーザ発振（ビームＯＮ）させないように制御
するようにしたものである。
部の冷却に共振器ミラーを冷却する冷却水を用い、遮光
部によりレーザビームを受けとめていた時間に対応する
時間だけレーザ発振（ビームＯＮ）させないように制御
するようにしたものである。
【００１８】さらに本発明にかかるレーザ発振器は、遮
光部の冷却に共振器ミラーを冷却する冷却水を用い、遮
光部によりレーザ光を受けている時間を、冷却水の温度
を検知する検出装置からの信号によってレーザ発振を制
御するようにしたものである。
光部の冷却に共振器ミラーを冷却する冷却水を用い、遮
光部によりレーザ光を受けている時間を、冷却水の温度
を検知する検出装置からの信号によってレーザ発振を制
御するようにしたものである。
【００１９】
【作用】遮光部が閉のときにあらあかじめ定められた時
間のみレザービームを出力するようにし、冷却水の温度
上昇を防ぐ。
間のみレザービームを出力するようにし、冷却水の温度
上昇を防ぐ。
【００２０】遮光部が閉のときにレザービームを出力し
た時間に基づいて定めた時間だけ、レザービームを出力
しないようにし、レーザ発振が停止している間に冷却水
の温度を低下させる。
た時間に基づいて定めた時間だけ、レザービームを出力
しないようにし、レーザ発振が停止している間に冷却水
の温度を低下させる。
【００２１】遮光部を閉じてレザービームを出力したと
きに、前記冷却水の温度があらあかじめ定められた温度
より高くなったときに、レザービームの出力を停止させ
るするようし、冷却水の温度上昇を防ぐ。
きに、前記冷却水の温度があらあかじめ定められた温度
より高くなったときに、レザービームの出力を停止させ
るするようし、冷却水の温度上昇を防ぐ。
【００２２】
【実施例】実施例１． 図１は本発明の第１の実施例を示す構成図、図２は図１
のブロック図である。なお、図８、図９で示した従来例
と同一または相当部分には同じ符号を付し、説明を省略
する。１８ａは比較的洗浄された第２の冷却水１８から
分岐して循環し、遮光部１４の遮光部冷却水１６を冷却
する分岐冷却水である。
のブロック図である。なお、図８、図９で示した従来例
と同一または相当部分には同じ符号を付し、説明を省略
する。１８ａは比較的洗浄された第２の冷却水１８から
分岐して循環し、遮光部１４の遮光部冷却水１６を冷却
する分岐冷却水である。
【００２３】次に上記のように構成した本実施例の作用
を説明する。なお、レーザ発振器のレーザ光の発振作用
等、従来例で示した作用と同様の部分の説明は省略す
る。レーザ発振器１を、加工や計測の必要のないとき
に、又はレーザ発振器を調整するときに、レーザビーム
を出力している状態にする場合がある。このときは、遮
光部１４を例えば矢印下方向に移動させて閉状態にす
る。
を説明する。なお、レーザ発振器のレーザ光の発振作用
等、従来例で示した作用と同様の部分の説明は省略す
る。レーザ発振器１を、加工や計測の必要のないとき
に、又はレーザ発振器を調整するときに、レーザビーム
を出力している状態にする場合がある。このときは、遮
光部１４を例えば矢印下方向に移動させて閉状態にす
る。
【００２４】この状態で共振器ミラーの間をレーザビー
ムが往復すると、全反射鏡７と部分反射鏡８はレーザビ
ームの熱を吸収する。この熱は、冷却水用ポンプ１３に
よって循環される第２の冷却水１８により、冷却水用熱
交換器１２方向に移動する。一方、第２の冷却水１８か
ら分岐して遮光部１４方向に流れた分岐冷却水１８ａ
は、遮光部１４で遮光部冷却水１６となってレーザビー
ムの熱を吸収したのち、全反射鏡７と部分反射鏡８方向
から循環してきた第２の冷却水１８と合流する。合流し
たこれらの冷却水１８及び１８ａに吸収された熱は、一
体となってレーザ発振器１の外部に持ち去られ、冷却装
置９の冷却水用熱交換器１２によって大気中に放出され
る。
ムが往復すると、全反射鏡７と部分反射鏡８はレーザビ
ームの熱を吸収する。この熱は、冷却水用ポンプ１３に
よって循環される第２の冷却水１８により、冷却水用熱
交換器１２方向に移動する。一方、第２の冷却水１８か
ら分岐して遮光部１４方向に流れた分岐冷却水１８ａ
は、遮光部１４で遮光部冷却水１６となってレーザビー
ムの熱を吸収したのち、全反射鏡７と部分反射鏡８方向
から循環してきた第２の冷却水１８と合流する。合流し
たこれらの冷却水１８及び１８ａに吸収された熱は、一
体となってレーザ発振器１の外部に持ち去られ、冷却装
置９の冷却水用熱交換器１２によって大気中に放出され
る。
【００２５】上記のようなレーザ発振器１や冷却装置９
は、図８，図９で示した従来例と同様に制御装置２１に
よって外部から制御される。ただし第１の実施例では、
図３（ビームＯＦＦを制御する判定のフローチャー
ト）、図４（遮光部とビームＯＮ、ＯＦＦの関係を示す
タイミングチャート）に示すように、遮光部１４の閉時
には一定時間のみしかビームオンできないようにしてあ
る。即ち、ビームＯＮされると（Ｓ−１）、遮光部１４
が開か閉かを判定され（Ｓ−２）、閉になっている場合
は時間がカウントされてｔ0 時間だけビームＯＮされ
（Ｓ−３）、そして、冷却水１８，１８ａの温度があま
り上がらないうちに制御装置２１により強制的にビーム
ＯＦＦする（Ｓ−４）。
は、図８，図９で示した従来例と同様に制御装置２１に
よって外部から制御される。ただし第１の実施例では、
図３（ビームＯＦＦを制御する判定のフローチャー
ト）、図４（遮光部とビームＯＮ、ＯＦＦの関係を示す
タイミングチャート）に示すように、遮光部１４の閉時
には一定時間のみしかビームオンできないようにしてあ
る。即ち、ビームＯＮされると（Ｓ−１）、遮光部１４
が開か閉かを判定され（Ｓ−２）、閉になっている場合
は時間がカウントされてｔ0 時間だけビームＯＮされ
（Ｓ−３）、そして、冷却水１８，１８ａの温度があま
り上がらないうちに制御装置２１により強制的にビーム
ＯＦＦする（Ｓ−４）。
【００２６】従って、遮光部１４でレーザビームを受け
加工部や測定部にレーザビームが届いていない間は遮光
部１４でレーザビームを吸収しているが、冷却水１８，
１８ａの温度が上昇することもなく、出力、レーザビー
ムの強度分布やレーザビームの位置精度は変化しない。
さらに、実加工時や測定時には温度影響のない安定なレ
ーザビームによって加工や測定を実施できる。なお、上
記の実施例では遮光部１４は第２の冷却水１８を分岐し
た分岐冷却水１８ａにより冷却されているが、冷却水１
８を直列に供給して遮光部１４を冷却してもよい。
加工部や測定部にレーザビームが届いていない間は遮光
部１４でレーザビームを吸収しているが、冷却水１８，
１８ａの温度が上昇することもなく、出力、レーザビー
ムの強度分布やレーザビームの位置精度は変化しない。
さらに、実加工時や測定時には温度影響のない安定なレ
ーザビームによって加工や測定を実施できる。なお、上
記の実施例では遮光部１４は第２の冷却水１８を分岐し
た分岐冷却水１８ａにより冷却されているが、冷却水１
８を直列に供給して遮光部１４を冷却してもよい。
【００２７】実施例２． 第１の実施例では、遮光部１４により直接レーザビーム
を受け止めて吸収していたが第２の実施例では遮光部を
例えばミラーのようなもので構成し、これを複数回折り
返して吸収体にレーザビームを受け止め吸収させ、かつ
これを冷却水１８ａにより冷却するように構成したもの
である。
を受け止めて吸収していたが第２の実施例では遮光部を
例えばミラーのようなもので構成し、これを複数回折り
返して吸収体にレーザビームを受け止め吸収させ、かつ
これを冷却水１８ａにより冷却するように構成したもの
である。
【００２８】実施例３． 第１の実施例では、強制的にビームＯＦＦさせる時間は
一定であったが、第３の実施例では出力されているレー
ザビームの強度によってビームＯＦＦさせる時間を変化
させるように制御装置２１で制御するようにしたもので
ある。
一定であったが、第３の実施例では出力されているレー
ザビームの強度によってビームＯＦＦさせる時間を変化
させるように制御装置２１で制御するようにしたもので
ある。
【００２９】実施例４． 図５、図６はそれぞれ本発明の第４の実施例のビームＯ
Ｎ制御を示すフローチャート及びタイミングチャートで
ある。なお、第４の実施例の構成図は図１で示した場合
と同様なので説明を省略する。第４の実施例の制御方法
を図５、図６に基づいて説明する。まずビームＯＮされ
ると（Ｓ−１）、遮光部１４が開になっているかどうか
判定される（Ｓ−２）。遮光部１４が閉になっている場
合は時間がカウントされ、ｔ0 時間だけビームＯＮされ
（Ｓ−３）、ｔ0 時間経過するとビームＯＦＦされる
（Ｓ−４）。次にビームＯＮする場合は、ビームＯＦＦ
からｔ0 ′（ｔ0 に対して決められる）の時間が経過し
ないとビームＯＮできない（Ｓ−５）ように制御される
（Ｓ−６），（Ｓ−７）。そのため、遮光部１４閉時の
ビームＯＮで温度上昇した冷却水１８，１８ａは、ビー
ムＯＦＦをしているｔ0 ′時間の間に、レーザ発振前の
温度に低下する。従って、実加工時や測定時には温度影
響のない安定なレーザビームによって加工や計測を実施
できる。
Ｎ制御を示すフローチャート及びタイミングチャートで
ある。なお、第４の実施例の構成図は図１で示した場合
と同様なので説明を省略する。第４の実施例の制御方法
を図５、図６に基づいて説明する。まずビームＯＮされ
ると（Ｓ−１）、遮光部１４が開になっているかどうか
判定される（Ｓ−２）。遮光部１４が閉になっている場
合は時間がカウントされ、ｔ0 時間だけビームＯＮされ
（Ｓ−３）、ｔ0 時間経過するとビームＯＦＦされる
（Ｓ−４）。次にビームＯＮする場合は、ビームＯＦＦ
からｔ0 ′（ｔ0 に対して決められる）の時間が経過し
ないとビームＯＮできない（Ｓ−５）ように制御される
（Ｓ−６），（Ｓ−７）。そのため、遮光部１４閉時の
ビームＯＮで温度上昇した冷却水１８，１８ａは、ビー
ムＯＦＦをしているｔ0 ′時間の間に、レーザ発振前の
温度に低下する。従って、実加工時や測定時には温度影
響のない安定なレーザビームによって加工や計測を実施
できる。
【００３０】実施例５． 本発明の第５の実施例では、第１の実施例で示した分岐
冷却水１８ａに第４の実施例で示した制御方法を組み合
わせた制御を制御装置２１によっておこなうものであ
る。第５の実施例によれば、実加工時や測定時に安定な
レーザ発振を得られるだけでなく、遮光部１４の閉時で
あっても安定なレーザ発振が得られ、きわめて有効であ
る。
冷却水１８ａに第４の実施例で示した制御方法を組み合
わせた制御を制御装置２１によっておこなうものであ
る。第５の実施例によれば、実加工時や測定時に安定な
レーザ発振を得られるだけでなく、遮光部１４の閉時で
あっても安定なレーザ発振が得られ、きわめて有効であ
る。
【００３１】実施例６． 図７は本発明の第６の実施例を示すブロック図である。
２２は第２の冷却水１８の冷却装置９の入口側に取付け
られた例えば熱電対よりなる温度検出器で、この温度検
出器２２で検出された信号は制御装置２１に送られるよ
うになっている。上記のように構成した第６の実施例に
おいては、遮光部１４が閉の状態でビームＯＮすると、
第２の冷却水１８の冷却装置９の入口側の温度が温度検
出器２２によって検出され、この温度は制御装置２１で
モニターされる。前記温度が設定された温度Ｔ0 より高
くなると、制御装置２１の指令で強制的にビームＯＦＦ
される。従って、実加工時や測定時には温度影響のない
安定なレーザビームによって加工や計測を実施すること
ができる。
２２は第２の冷却水１８の冷却装置９の入口側に取付け
られた例えば熱電対よりなる温度検出器で、この温度検
出器２２で検出された信号は制御装置２１に送られるよ
うになっている。上記のように構成した第６の実施例に
おいては、遮光部１４が閉の状態でビームＯＮすると、
第２の冷却水１８の冷却装置９の入口側の温度が温度検
出器２２によって検出され、この温度は制御装置２１で
モニターされる。前記温度が設定された温度Ｔ0 より高
くなると、制御装置２１の指令で強制的にビームＯＦＦ
される。従って、実加工時や測定時には温度影響のない
安定なレーザビームによって加工や計測を実施すること
ができる。
【００３２】実施例７． 第６の実施例では、温度検出器２２によって検出された
温度があらかじめ設定された温度Ｔ0 より高くなったと
き強制的にビームＯＦＦするようにしたが、第７の実施
例では、さらに温度検出器２２からの検出信号が設定さ
れた温度Ｔ0 以下になったときに、遮光部１４が開状態
でビームＯＮするように制御装置２１に制御させる。
温度があらかじめ設定された温度Ｔ0 より高くなったと
き強制的にビームＯＦＦするようにしたが、第７の実施
例では、さらに温度検出器２２からの検出信号が設定さ
れた温度Ｔ0 以下になったときに、遮光部１４が開状態
でビームＯＮするように制御装置２１に制御させる。
【００３３】実施例８． 第６の実施例では、温度検出器２２を冷却装置９の入口
側の第２の冷却水１８に設置したが、冷却装置９の出口
側の冷却水に設置してもよい。
側の第２の冷却水１８に設置したが、冷却装置９の出口
側の冷却水に設置してもよい。
【００３４】実施例９． 第６の実施例では、温度検出器２２を冷却装置９の入口
側に設置した場合を示したが、共振器ミラー７，８側に
設置してもよい。
側に設置した場合を示したが、共振器ミラー７，８側に
設置してもよい。
【００３５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、共振器ミラーと、レーザビームを遮断する遮光部
と、前記共振器ミラー及び前記遮光部を冷却する冷却水
を循環させる冷却装置と、レーザ発振器を制御する制御
装置を有するレーザ発振器において、前記制御装置は、
前記遮光部が閉のときにあらあかじめ定められた時間の
みレザービームを出力するように制御するので、冷却水
の温度が上昇することがなく、安定したレーザビームの
出力を得ることができる。
は、共振器ミラーと、レーザビームを遮断する遮光部
と、前記共振器ミラー及び前記遮光部を冷却する冷却水
を循環させる冷却装置と、レーザ発振器を制御する制御
装置を有するレーザ発振器において、前記制御装置は、
前記遮光部が閉のときにあらあかじめ定められた時間の
みレザービームを出力するように制御するので、冷却水
の温度が上昇することがなく、安定したレーザビームの
出力を得ることができる。
【００３６】また、共振器ミラーと、レーザビームを遮
断する遮光部と、前記共振器ミラー及び前記遮光部を冷
却する冷却水を循環させる冷却装置と、レーザ発振器を
制御する制御装置を有するレーザ発振器において、前記
制御装置は、前記遮光部が閉のときにレザービームを出
力した時間に基づいて定めた時間だけ、レザービームを
出力しないように制御するので、レーザビーム発振中
に、冷却水の温度上昇があっても、レザービーム停止に
より、冷却水の温度がレーザビーム発振前の状態に戻
り、より安定したレーザビームの出力を得ることができ
る。
断する遮光部と、前記共振器ミラー及び前記遮光部を冷
却する冷却水を循環させる冷却装置と、レーザ発振器を
制御する制御装置を有するレーザ発振器において、前記
制御装置は、前記遮光部が閉のときにレザービームを出
力した時間に基づいて定めた時間だけ、レザービームを
出力しないように制御するので、レーザビーム発振中
に、冷却水の温度上昇があっても、レザービーム停止に
より、冷却水の温度がレーザビーム発振前の状態に戻
り、より安定したレーザビームの出力を得ることができ
る。
【００３７】また、共振器ミラーと、レーザビームを遮
断する遮光部と、前記共振器ミラー及び前記遮光部を冷
却する冷却水を循環させる冷却装置と、レーザ発振器を
制御する制御装置と、前記冷却水の温度を検出する温度
検出器とを有するレーザ発振器において、前記制御装置
は、前記遮光部を閉じてレザービームを出力したとき
に、前記冷却水の温度があらあかじめ定められた温度よ
り高くなったときに、レザービームの出力を停止するよ
うに制御するので、冷却水の温度上昇がなく安定したレ
ーザビームの出力を得ることができる。
断する遮光部と、前記共振器ミラー及び前記遮光部を冷
却する冷却水を循環させる冷却装置と、レーザ発振器を
制御する制御装置と、前記冷却水の温度を検出する温度
検出器とを有するレーザ発振器において、前記制御装置
は、前記遮光部を閉じてレザービームを出力したとき
に、前記冷却水の温度があらあかじめ定められた温度よ
り高くなったときに、レザービームの出力を停止するよ
うに制御するので、冷却水の温度上昇がなく安定したレ
ーザビームの出力を得ることができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す構成図である。
【図２】図１のブロック図である。
【図３】本発明の第１の実施例の動作を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図４】本発明の第１の実施例のタイミングチャートで
ある。
ある。
【図５】本発明の第４の実施例の動作を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図６】本発明の第４の実施例のタイミングチャートで
ある。
ある。
【図７】本発明の第６の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
【図８】従来のレーザ発振器の一例を示す構成図であ
る。
る。
【図９】図８のブロック図である。
１ レーザ発振器 ２ 真空容器 ３ 放電電極 ４ 熱交換器 ５ ブロア ６ レーザ媒質 ７ 全反射鏡 ８ 部分反射鏡 ９ 冷却装置 １０ コンプレッサー １１，１３ 冷却水用ポンプ １２ 冷却水用熱交換器 １４ 遮光部 １５ クーリングタワー １６ 遮光部冷却水 １７ 第１の冷却水 １８ 第２の冷却水 １８ａ 分岐冷却水 １９ 一次側冷却水 ２０ 電源部 ２１ 制御部 ２２ 温度検出器
Claims (3)
- 【請求項１】 共振器ミラーと、レーザビームを遮断す
る遮光部と、前記共振器ミラー及び前記遮光部を冷却す
る冷却水を循環させる冷却装置と、レーザ発振器を制御
する制御装置を有するレーザ発振器において、前記制御装置は、前記遮光部が閉のときにあらあかじめ
定められた時間のみレザービームを出力するように 制御
することを特徴とするレーザ発振器。 - 【請求項２】 共振器ミラーと、レーザビームを遮断す
る遮光部と、前記共振器ミラー及び前記遮光部を冷却す
る冷却水を循環させる冷却装置と、レーザ発振器を制御
する制御装置を有するレーザ発振器において、前記制御装置は、前記遮光部が閉のときにレザービーム
を出力した時間に基づいて定めた時間だけ、レザービー
ムを出力しないように制御する ことを特徴とするレーザ
発振器。 - 【請求項３】 共振器ミラーと、レーザビームを遮断す
る遮光部と、前記共振器ミラー及び前記遮光部を冷却す
る冷却水を循環させる冷却装置と、レーザ発振器を制御
する制御装置と、前記冷却水の温度を検出する温度検出
器とを有するレーザ発振器において、前記制御装置は、前記遮光部を閉じてレザービームを出
力したときに、前記冷却水の温度があらあかじめ定めら
れた温度より高くなったときに、レザービームの出力を
停止するように制御することを特徴とするレーザ発振
器 。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3243212A JP2741439B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3243212A JP2741439B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582864A JPH0582864A (ja) | 1993-04-02 |
| JP2741439B2 true JP2741439B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=17100498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3243212A Expired - Lifetime JP2741439B2 (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2741439B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01286377A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Toshiba Corp | レーザ発振器の冷却装置 |
| JP3016363U (ja) * | 1995-03-30 | 1995-10-03 | 農林水産省果樹試験場長 | 排土板の動力走行機への取り付け構造 |
| JP3030451U (ja) * | 1996-04-22 | 1996-11-01 | 武彦 大木 | 指圧兼用筆記具 |
-
1991
- 1991-09-24 JP JP3243212A patent/JP2741439B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0582864A (ja) | 1993-04-02 |
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