JPH03216342A - インクジェットヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッド及びその製造方法Info
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- JPH03216342A JPH03216342A JP1323990A JP1323990A JPH03216342A JP H03216342 A JPH03216342 A JP H03216342A JP 1323990 A JP1323990 A JP 1323990A JP 1323990 A JP1323990 A JP 1323990A JP H03216342 A JPH03216342 A JP H03216342A
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、インク滴を飛翔させ記録紙等の記録媒体上に
インク像を形成するプリンタ等に使用するインクジェッ
トヘッド及びその製造方法に関する。
インク像を形成するプリンタ等に使用するインクジェッ
トヘッド及びその製造方法に関する。
特公昭60−8953号公報等に開示されている従来の
インクジェットヘッドの構成は、複数のノズル開口を有
するノズル形成部材と、その背後に設けられ、インクと
直接接触する圧電変換器とを有するものである。
インクジェットヘッドの構成は、複数のノズル開口を有
するノズル形成部材と、その背後に設けられ、インクと
直接接触する圧電変換器とを有するものである。
従来のインクジェットヘッドの製造方法では、ノズル形
成部材と圧電変換器との接合を、これら両者の間隔を規
定するための金属薄板からなる間隔規制部材を介して行
っていた。また、この接合は、ノズル形成部材と圧電変
換器とをビーム溶接あるいは超音波溶接等の溶接による
接合、はんだなどの金属ろう接合、又は単なる接着剤に
よる接合であった。接着剤による接合の場合、電気的接
続は、圧電変換器の金属層側に配線部材を直接金属ろう
付けすることにより行っていた。
成部材と圧電変換器との接合を、これら両者の間隔を規
定するための金属薄板からなる間隔規制部材を介して行
っていた。また、この接合は、ノズル形成部材と圧電変
換器とをビーム溶接あるいは超音波溶接等の溶接による
接合、はんだなどの金属ろう接合、又は単なる接着剤に
よる接合であった。接着剤による接合の場合、電気的接
続は、圧電変換器の金属層側に配線部材を直接金属ろう
付けすることにより行っていた。
しかしながら、従来技術の溶接による接合方法では、溶
接時の衝撃エネルギーによる間隔規制部材、圧電変換器
、ノズル形成部材の変形、更に著しい場合は破壊を生ず
る。特に、圧電変換器を構成している圧電体は、通常非
常に薄く脆いため、これを破壊させずに接合をすること
が困難であるという課題を有していた。
接時の衝撃エネルギーによる間隔規制部材、圧電変換器
、ノズル形成部材の変形、更に著しい場合は破壊を生ず
る。特に、圧電変換器を構成している圧電体は、通常非
常に薄く脆いため、これを破壊させずに接合をすること
が困難であるという課題を有していた。
また、接着剤や金属ろうによる接合では、接着層の厚さ
制御が困難であるため、梁状に張り出した圧電変換器の
梁部分とノズル形成部材との間隙の制御も困難となる。
制御が困難であるため、梁状に張り出した圧電変換器の
梁部分とノズル形成部材との間隙の制御も困難となる。
即ちノズル形成部材及びこれに対峙する圧電変換器の可
動部分との間隙はインク吐出特性に影響するため、微小
な間隙を貰精度に制御する必要があるが、インク滴の吐
出特性の再現性や精度が得られないという課頚を有して
いた。
動部分との間隙はインク吐出特性に影響するため、微小
な間隙を貰精度に制御する必要があるが、インク滴の吐
出特性の再現性や精度が得られないという課頚を有して
いた。
さらに、金属ろうによる接合方法では、圧電変換器の破
壊やフラックスによる電流のリークが発生し、ノズル形
成部材と圧電変換器との電気的接続では金属ろう付け作
業自体が製造工程を煩雑にするという課題を有していた
。
壊やフラックスによる電流のリークが発生し、ノズル形
成部材と圧電変換器との電気的接続では金属ろう付け作
業自体が製造工程を煩雑にするという課題を有していた
。
そこで、本発明の目的とするところは、これらの課題を
解決して、特性の安定したインクジェットヘッド及びそ
の製造方法を提案することにある。
解決して、特性の安定したインクジェットヘッド及びそ
の製造方法を提案することにある。
問題点を解決するために本発明は、ノズル形成部材と圧
電変換器とを、導電性を有する粒子、又は表面に導電処
理を施した粒子からなる導電性間隔規制粒子を含有した
接着剤により接合することを特徴とする。
電変換器とを、導電性を有する粒子、又は表面に導電処
理を施した粒子からなる導電性間隔規制粒子を含有した
接着剤により接合することを特徴とする。
本発明によれば、導電性間隔規制粒子の粒径を調整する
ことで、ノズル形成部材と圧電変換器との間隙を所望す
る一定の間隔に保つことができる。
ことで、ノズル形成部材と圧電変換器との間隙を所望す
る一定の間隔に保つことができる。
且つ導電性間隔規制粒子により、複数の圧電変換器を一
括してノズル形成部材に電気的に接続することができる
。
括してノズル形成部材に電気的に接続することができる
。
以下に本発明の詳細を実施例に基づいて説明するが、こ
れに限定されるものではない。
れに限定されるものではない。
第1図は、本発明によるインクジェットヘッドを搭載し
た記録装置の斜視図である。同図に於いて記録媒体1は
送りローラ2,3の押圧によって、プラテン4に捲きロ
される。ガイド軸6.7に案内されるキャリッジ8上に
インクジェットヘッド9は搭載され、プラテン4の軸方
向と平行な矢印10方向に往復走行する。インクジェッ
トヘッド9は、オンディマンド型インクジェットヘッド
であり、動作電気信号を加えることで独立にインク滴を
噴出制御可能な複数のノズル開口を有している。そして
、プラテン軸方向に走査され、ノズル開口から選択的に
インク滴を吐出して記録奴体1上にインク像を形成する
。記録媒体1はプラテン4、送りローラ2,3の回転に
より走査方向と直交する副走査方向(矢印5方向)に搬
送され記録媒体1上への印字が行われる。
た記録装置の斜視図である。同図に於いて記録媒体1は
送りローラ2,3の押圧によって、プラテン4に捲きロ
される。ガイド軸6.7に案内されるキャリッジ8上に
インクジェットヘッド9は搭載され、プラテン4の軸方
向と平行な矢印10方向に往復走行する。インクジェッ
トヘッド9は、オンディマンド型インクジェットヘッド
であり、動作電気信号を加えることで独立にインク滴を
噴出制御可能な複数のノズル開口を有している。そして
、プラテン軸方向に走査され、ノズル開口から選択的に
インク滴を吐出して記録奴体1上にインク像を形成する
。記録媒体1はプラテン4、送りローラ2,3の回転に
より走査方向と直交する副走査方向(矢印5方向)に搬
送され記録媒体1上への印字が行われる。
第2図は、本発明によるインクジェットヘッドの一実施
例を示す断面図である。フレーム20にはベース材25
、圧電変換器21、及びノズル形成部材22が積層され
固定されている。ノズル形成部材22は、複数個のノズ
ル開口23を有する金属薄板で構成されている。インク
28は、該インクの表面張力により圧電変換器21とノ
ズル23との間を充す。
例を示す断面図である。フレーム20にはベース材25
、圧電変換器21、及びノズル形成部材22が積層され
固定されている。ノズル形成部材22は、複数個のノズ
ル開口23を有する金属薄板で構成されている。インク
28は、該インクの表面張力により圧電変換器21とノ
ズル23との間を充す。
第3図は、本発明によるインクジェットヘッドの要部を
示す断面斜視図である。
示す断面斜視図である。
第4図は第3図中A−A’における断面図である。圧電
変換器21はPZTなどの圧電体32と、圧電体32の
上面に設けられたAuなどの薄膜金属から形成された電
極層33と、圧電体32の下面に設けられたFe−Ni
合金などの金属層31の三部材からなる積層構造を有し
ている。平行に複数本配設された圧電変換器21と、該
圧電変換器21に対向するノズル形成部材22とが、導
電性間隔規制粒子40を含有した接着剤24により接合
されている。導電性間隔規制粒子40は、接合物である
圧電変換器21とノズル形成部材22との間隔を均一
且つ適正な値とする事ができる。
変換器21はPZTなどの圧電体32と、圧電体32の
上面に設けられたAuなどの薄膜金属から形成された電
極層33と、圧電体32の下面に設けられたFe−Ni
合金などの金属層31の三部材からなる積層構造を有し
ている。平行に複数本配設された圧電変換器21と、該
圧電変換器21に対向するノズル形成部材22とが、導
電性間隔規制粒子40を含有した接着剤24により接合
されている。導電性間隔規制粒子40は、接合物である
圧電変換器21とノズル形成部材22との間隔を均一
且つ適正な値とする事ができる。
導電性間隔規制粒子40は、粒子表面にNiやAUなと
の金属皮膜処理を施したもの、又は粒子自体が導電性を
有したものであり、間隔規制と同時に電気的接続を可能
としたものである。ベース材25と圧電変換器21との
間隔も上記と同様に導電性間隔規制粒子40を含有した
接着剤により接合することができる。この場合、ベース
材25と圧電変換器21との間の接着層34は、導電性
間隔規制粒子40により間隔を一定に確保できる為、圧
電変換器21とノズル形成部材22との間隔をさらに安
定化でき、インク滴吐出特性の再現性及び精度を向上さ
せることができる。また、ベース材250表面にはスト
ライプ状にパターニングされたベース電極35が、複数
本の圧電変換器21に対応するように形成されており、
電気的接続も兼ねている。さらにベース材25上のベー
ス電極35には、ベース電極35に対応するように配線
パターンを有するフレキシブル基板27(第2図参照)
が接続されている。外部からの動作電圧を、フレキシブ
ル基板27を介して、圧電変換器21の電極層33と金
属層31との間に印加すると、電極層33と金属層31
との間にある圧電体32のみが収縮し、曲げモーメント
が生じる。これにより、圧電変換器21の梁部はノズル
形成部材22と反対方向に変位する。電圧を解除すると
、圧電変換器21の復元力により発生する圧力で、ノズ
ル形成部材22と圧電変換器21との間にあるインク2
8(第2図参照)に圧力が加えられ、ノズル開口23よ
りインク滴が吐出する。このようにノズル開口23近傍
のインク27の圧力を高めることでノズル開口23より
インク滴を吐出させるインクジェットヘッドに於いては
、ノズル形成部材22と圧電変換器21との間にある接
着剤24層の厚さばらつきがインク滴の吐出特性に【響
を及ぼす。この為、ノズル形成部材22と圧電変換器2
1間の距離を均一 且つ適正な値としなければならない
が、本実施例によれば、接着剤24に導電性間隔規制粒
子40が含有されているので、これらの条件を満たすこ
とができる。
の金属皮膜処理を施したもの、又は粒子自体が導電性を
有したものであり、間隔規制と同時に電気的接続を可能
としたものである。ベース材25と圧電変換器21との
間隔も上記と同様に導電性間隔規制粒子40を含有した
接着剤により接合することができる。この場合、ベース
材25と圧電変換器21との間の接着層34は、導電性
間隔規制粒子40により間隔を一定に確保できる為、圧
電変換器21とノズル形成部材22との間隔をさらに安
定化でき、インク滴吐出特性の再現性及び精度を向上さ
せることができる。また、ベース材250表面にはスト
ライプ状にパターニングされたベース電極35が、複数
本の圧電変換器21に対応するように形成されており、
電気的接続も兼ねている。さらにベース材25上のベー
ス電極35には、ベース電極35に対応するように配線
パターンを有するフレキシブル基板27(第2図参照)
が接続されている。外部からの動作電圧を、フレキシブ
ル基板27を介して、圧電変換器21の電極層33と金
属層31との間に印加すると、電極層33と金属層31
との間にある圧電体32のみが収縮し、曲げモーメント
が生じる。これにより、圧電変換器21の梁部はノズル
形成部材22と反対方向に変位する。電圧を解除すると
、圧電変換器21の復元力により発生する圧力で、ノズ
ル形成部材22と圧電変換器21との間にあるインク2
8(第2図参照)に圧力が加えられ、ノズル開口23よ
りインク滴が吐出する。このようにノズル開口23近傍
のインク27の圧力を高めることでノズル開口23より
インク滴を吐出させるインクジェットヘッドに於いては
、ノズル形成部材22と圧電変換器21との間にある接
着剤24層の厚さばらつきがインク滴の吐出特性に【響
を及ぼす。この為、ノズル形成部材22と圧電変換器2
1間の距離を均一 且つ適正な値としなければならない
が、本実施例によれば、接着剤24に導電性間隔規制粒
子40が含有されているので、これらの条件を満たすこ
とができる。
なお金属層31にFe−Niを組成とする合金を用いる
のは、圧電変換器21梁部の温度変化による変動の改善
を目的としたためであり、圧電体32の熱膨張係数と一
致するようにFeとNiの合金組成比率を決めることで
ハイメタル効果による変動の低減が図れる。
のは、圧電変換器21梁部の温度変化による変動の改善
を目的としたためであり、圧電体32の熱膨張係数と一
致するようにFeとNiの合金組成比率を決めることで
ハイメタル効果による変動の低減が図れる。
次に本実施例のインクジェットヘッドの製造工程につい
て説明するが、これに限定されるものではない。
て説明するが、これに限定されるものではない。
本実施例に用いられる接着剤24は、接着剤中に導電性
間隔規制粒子40を、これが均一に分散するように混合
撹拌したものであり、その混入量は全体の1〜10%が
好ましい。そして、圧電変換器21の金属層31面とノ
ズル形成部材220両面あるいは、どちらか片面に前記
接着剤24を所定の形状に精密印刷する。このとき導電
性間隔規制粒子40の粒径は均一であることが好ましい
。
間隔規制粒子40を、これが均一に分散するように混合
撹拌したものであり、その混入量は全体の1〜10%が
好ましい。そして、圧電変換器21の金属層31面とノ
ズル形成部材220両面あるいは、どちらか片面に前記
接着剤24を所定の形状に精密印刷する。このとき導電
性間隔規制粒子40の粒径は均一であることが好ましい
。
また、粒子の形状が円柱状、長球状などの場合、最も好
ましい長さ(長径)は、粒径(短径)の3〜6倍である
が、2〜20倍まででも使用可能である。なお、粒子の
形状は球状、円柱状、長球状などが好ましいが、特に球
状が最も好ましく、その材質は、剛性の高いガラスやセ
ラミックなどが適している。しかし、これに限定される
ものではなく、第3図に示した実施例では円柱状の導電
性間隔粒子40を用いた。導電性間隔規制粒子40を均
一に分散した接着剤24で接合することにより、ノズル
形成部材22と圧電変換器21との間隔を均一 且つ適
正な値とすることができ、同時に電気的接続が得られる
。加えて述べると、接着剤を加熱硬化させる際に軟化す
る樹脂あるいは樹脂繊維等の表面に導電処理を施した導
電性間隔規制粒子を用いることは、本来目的とする一定
間隔を確保できない為、避けなければならない。
ましい長さ(長径)は、粒径(短径)の3〜6倍である
が、2〜20倍まででも使用可能である。なお、粒子の
形状は球状、円柱状、長球状などが好ましいが、特に球
状が最も好ましく、その材質は、剛性の高いガラスやセ
ラミックなどが適している。しかし、これに限定される
ものではなく、第3図に示した実施例では円柱状の導電
性間隔粒子40を用いた。導電性間隔規制粒子40を均
一に分散した接着剤24で接合することにより、ノズル
形成部材22と圧電変換器21との間隔を均一 且つ適
正な値とすることができ、同時に電気的接続が得られる
。加えて述べると、接着剤を加熱硬化させる際に軟化す
る樹脂あるいは樹脂繊維等の表面に導電処理を施した導
電性間隔規制粒子を用いることは、本来目的とする一定
間隔を確保できない為、避けなければならない。
なお、圧電変換器21とベース材25との接合でも同様
のことがいえる。
のことがいえる。
つぎに、この圧電変換器21とノズル形成部材22とを
貼合わせて、所定の温度、時間、圧力によって加熱圧締
し、接着剤を硬化させる。このときの最大圧力は、圧電
体32や導電性間隔規制粒子40の破壊、ノズル形成部
材22の変形などにより制約される。一方、最小圧力は
、導電性間隔規制粒子40によりノズル形成部材22と
圧電変換器21との間での電気的接続可能範囲により制
約される。この為前記圧力は、5〜7 0 kg /
cm 2が好ましい。ベース材25と圧電変換器21と
の接合でも同様である。
貼合わせて、所定の温度、時間、圧力によって加熱圧締
し、接着剤を硬化させる。このときの最大圧力は、圧電
体32や導電性間隔規制粒子40の破壊、ノズル形成部
材22の変形などにより制約される。一方、最小圧力は
、導電性間隔規制粒子40によりノズル形成部材22と
圧電変換器21との間での電気的接続可能範囲により制
約される。この為前記圧力は、5〜7 0 kg /
cm 2が好ましい。ベース材25と圧電変換器21と
の接合でも同様である。
本発明に用いる前記接着剤は、特に限定されるものでは
なく、エボキシ、シリコン、ポリエステル、アクリル、
ポリイミド系などの合成樹脂接着剤、または、セラミッ
ク系などの無機接着剤等が使用できる。
なく、エボキシ、シリコン、ポリエステル、アクリル、
ポリイミド系などの合成樹脂接着剤、または、セラミッ
ク系などの無機接着剤等が使用できる。
圧電変換器21の梁部とノズル形成部材22との間隙の
管理がインク滴の吐出特性に重要であり、且つ従来の接
合方法では製造困難であったが、本実施例による導電性
間隔規制粒子40を含有する接着剤24によってノズル
形成部材22と圧電変換器21との間、又はベース材2
5と圧電変換器21との間を接合することにより、確実
に微小な間隙を高精度に制御でき、且つ製造工程の簡素
化ができるという特有の効果を有する。本実施例に於い
ては、粒径が0.02關のガラス繊維にNiメッキを施
した導電性間隔規制粒子40を1%含有した接着剤を用
い、2 0 kg / cm 2で加熱圧締した場合に
、接着剤層の厚さ0.0195mm, ばらつき±0
.0005mmとばらつきが少なく、電気抵抗も1〜2
Ω/ mm 2という実験結果が得られた。さらに同様
の条件でエボキシ樹脂を用いた場合には5〜6 kg
/ +++m2、ポリイミド樹脂を用いた場合には3〜
4 kg / mm 2の剪断強度が得られた。このよ
うに接着剤24層を導電性間隔規制粒子40の1個分の
厚さまで圧縮して導通を得るため、数μm程度のAg粒
子やCu粒子などを50%以上混入する一般的な導電性
接着剤よりも高い接着強度が得られ、耐衝撃性が向上す
るという効果もある。
管理がインク滴の吐出特性に重要であり、且つ従来の接
合方法では製造困難であったが、本実施例による導電性
間隔規制粒子40を含有する接着剤24によってノズル
形成部材22と圧電変換器21との間、又はベース材2
5と圧電変換器21との間を接合することにより、確実
に微小な間隙を高精度に制御でき、且つ製造工程の簡素
化ができるという特有の効果を有する。本実施例に於い
ては、粒径が0.02關のガラス繊維にNiメッキを施
した導電性間隔規制粒子40を1%含有した接着剤を用
い、2 0 kg / cm 2で加熱圧締した場合に
、接着剤層の厚さ0.0195mm, ばらつき±0
.0005mmとばらつきが少なく、電気抵抗も1〜2
Ω/ mm 2という実験結果が得られた。さらに同様
の条件でエボキシ樹脂を用いた場合には5〜6 kg
/ +++m2、ポリイミド樹脂を用いた場合には3〜
4 kg / mm 2の剪断強度が得られた。このよ
うに接着剤24層を導電性間隔規制粒子40の1個分の
厚さまで圧縮して導通を得るため、数μm程度のAg粒
子やCu粒子などを50%以上混入する一般的な導電性
接着剤よりも高い接着強度が得られ、耐衝撃性が向上す
るという効果もある。
なお、本発明の製造方法は前述のような片持ちの梁状圧
電変換器のみならず両端を固定する両持ちの梁状圧電変
換器の場合でも有効であることは明かである。
電変換器のみならず両端を固定する両持ちの梁状圧電変
換器の場合でも有効であることは明かである。
以上述べたように、本発明によれば平行に配設した複数
の圧電変換器とノズル形成部材とを変形や破壊を生じず
に接着でき、該接着層の間隔を一定に確保できるので、
特性安定化のために高精密に管理する必要があるノズル
形成部材と圧電変換器との間隙が安定し、且つ導電性間
隔規制粒子の粒径を所望する任意の大きさにすることで
容易に接着層の間隔を設定できる。また、同接合部の電
霞的培鰺Lオ道雷性間逼短制飴子Cごより一括1,て行
えるため、インク滴の吐出特性が安定したインクジェッ
トヘッドの製造工程を簡素化できる。よって廉価なイン
クジェットヘッドを提供できるという優れた効果を有す
る。
の圧電変換器とノズル形成部材とを変形や破壊を生じず
に接着でき、該接着層の間隔を一定に確保できるので、
特性安定化のために高精密に管理する必要があるノズル
形成部材と圧電変換器との間隙が安定し、且つ導電性間
隔規制粒子の粒径を所望する任意の大きさにすることで
容易に接着層の間隔を設定できる。また、同接合部の電
霞的培鰺Lオ道雷性間逼短制飴子Cごより一括1,て行
えるため、インク滴の吐出特性が安定したインクジェッ
トヘッドの製造工程を簡素化できる。よって廉価なイン
クジェットヘッドを提供できるという優れた効果を有す
る。
第1図は本発明のインクジェットヘッドが搭載された記
録装置の斜視図である。第2図は本発明のインクジェッ
トヘッドの断面図である。第3図は本発明の一実施例を
示すインクジェットヘッド要部の断面斜視図である。 第4図は第3図A−A’における断面図である。 1 ・ 2、 3 ・ 4 ・ 6、 7 ・ 8 ・ 9 ・ 2 0 ・ 記録媒体 送りローラ プラテン ガイド軸 キャリッジ インクジェットヘッド フレーム 25 27 2 8 31 3 2 3 3 3 4 圧電変換器 ノズル形成部材 ノズル開口 導電性間隔規制粒子を 含有する接着剤 ベース材 フレキシブル基板 インク 金属層 圧電体 電極層 導電性間隔規制粒子を 含有する接着剤 ベース電極 導電性間隔規制粒子 以上
録装置の斜視図である。第2図は本発明のインクジェッ
トヘッドの断面図である。第3図は本発明の一実施例を
示すインクジェットヘッド要部の断面斜視図である。 第4図は第3図A−A’における断面図である。 1 ・ 2、 3 ・ 4 ・ 6、 7 ・ 8 ・ 9 ・ 2 0 ・ 記録媒体 送りローラ プラテン ガイド軸 キャリッジ インクジェットヘッド フレーム 25 27 2 8 31 3 2 3 3 3 4 圧電変換器 ノズル形成部材 ノズル開口 導電性間隔規制粒子を 含有する接着剤 ベース材 フレキシブル基板 インク 金属層 圧電体 電極層 導電性間隔規制粒子を 含有する接着剤 ベース電極 導電性間隔規制粒子 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)記録媒体に対向するよう配設され複数のノズル開口
を有するノズル形成部材と、圧電変換器とを有し、ノズ
ル形成部材と圧電変換器との間にインクが充されるごと
く構成されたインクジェットヘッドにおいて、導電性を
有する粒子、又は表面に導電処理を施した粒子からなる
導電性間隔規制粒子を含有した接着剤により、前記ノズ
ル形成部材と圧電変換器とを接合したことを特徴とする
インクジェットヘッド。 2)記録媒体に対向するよう配設され複数のノズル開口
を有するノズル形成部材と、圧電変換器とを有し、ノズ
ル形成部材と圧電変換器との間にインクが充されるごと
く構成されたインクジェットヘッドの製造方法であって
、導電性を有する粒子、又は表面に導電処理を施した粒
子からなる導電性間隔規制粒子を含有した接着剤により
前記ノズル形成部材と圧電変換器とを接合することを特
徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1323990A JPH03216342A (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1323990A JPH03216342A (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03216342A true JPH03216342A (ja) | 1991-09-24 |
Family
ID=11827644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1323990A Pending JPH03216342A (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03216342A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5826333A (en) * | 1994-10-31 | 1998-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing an ink jet head |
US6584687B1 (en) * | 1994-12-21 | 2003-07-01 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink-jet recording head using a thermally fusible film that does not close communication holes |
-
1990
- 1990-01-23 JP JP1323990A patent/JPH03216342A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5826333A (en) * | 1994-10-31 | 1998-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing an ink jet head |
US6499828B1 (en) | 1994-10-31 | 2002-12-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of ink jet head, ink jet head manufactured by same and ink jet device having ink jet head |
US6584687B1 (en) * | 1994-12-21 | 2003-07-01 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink-jet recording head using a thermally fusible film that does not close communication holes |
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