JPH03212820A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｃ産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録媒体の製造装置に関し、特に可撓性
帯状支持体を走行させながら支持体表面に付着した有機
化合物等の異物を除去する洗浄手段を有する磁気記録媒
体の製造装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、走行する可撓性帯状支持体（以下、ウェブと云う
）の洗浄方法としては種々の方法が提案されている。

例えば、ウェブに適当な方法で保持された不織布或いは
ブラシを押しつけることにより表面付着物を不織布或い
はブラシで捕捉するという方法や、バックアップロール
上を走行するウェブに清浄度のよい空気を高速でぶつけ
て、付着物を該ウェブ表面から剥離させ、近設された吸
込口に導いてゆくという方法や、ウェブ表面を直接ダイ
ヤモンドやサファイヤ等の硬い部材で研磨する方法など
の乾式除塵方法、又は、洗浄液槽の中にウェブを導入し
、ここで超音波振動により付着物を剥離させる方法や、
ウェブに水・有機溶剤等の洗浄液を供給した後にドクタ
リング等により付着している異物を前記洗浄剤ごと除去
する方法などの湿式除塵方法等が知られている。

しかしながら、これらの除塵方法では、物理的接触によ
るウェブのスリ傷発生、静電気発生、及び湿式除塵方法
における乾燥ゾーンの設置による設備の大型化等の問題
があり、更に、ウェブ面の有機化合物などの付着物はほ
とんど除去することができなかった。

また近年、高密度磁気記録への要求と共に、ウェブ上に
強磁性金属材料からなる金属薄膜を真空蒸着法、スパッ
タリング法、イオンブレーティング法等で直接被着形成
した強磁性金属薄膜型磁気記録媒体が用いられている。

この強磁性金属薄膜型磁気記録媒体は、磁気特性の点で
数々の利点を有しているが、非常に酸化され易く、更に
記録再生時においてはヘッドとの接触走査により剥離、
ｔｉ傷等を生じ易いという欠点があった。そこで、この
欠点を改善すべく前記強磁性金属薄膜の表面に種々の保
護層を設けることが種々提案されている。

ところが、前記強磁性金属薄膜表面は、有機化合物によ
りかなり汚染されており、該有機化合物による汚染が上
記保護層の密着性に悪影響を与え、また上記保護層を均
一に形成することができない理由の一つとなっていると
いった問題がある。

そこで、特開昭６１−１１９３４号公報に開示されてい
る様に、ウェブ上に強磁性金属薄膜を形成した後、該強
磁性金属薄膜に紫外線を照射することによって紫外線−
オゾン洗浄し、前記強磁性金属薄膜表面の有機化合物を
除去する方法が提案されている。

即ち、紫外線−オゾン洗浄による上記洗浄方法では、空
気中の酸素０□に紫外線を照射することによりオゾンＯ
１の生成、分解を行わせ、その過程において原子状の酸
素Ｏを発生させると共に、前記強磁性金属薄膜表面の有
機化合物に紫外線を照射して光分解し、該有機化合物を
励起状態の遊離基に分解することにより、前記有機化合
物の遊離基を前記原子状の酸素０と反応させて揮発性の
物質に変化させ除去するものである。

〔本発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記特開昭６１−１１９３４号公報に開
示されている紫外線−オゾン洗浄では、低圧水銀灯等の
光源ランプにより放射される紫外線をウェブに照射する
ことにより、オゾン０．の生成、分解を行わせているの
で、前記ウェブ表面のを機化金物を洗浄するためのオゾ
ン０．の濃度が０．６ｇ／ｒｔｉ以下と低い。従って、
前記紫外線−オゾン洗浄において十分な洗浄効果を得よ
うとすると、処理時間が長くなってしまい生産効率が低
下するといった問題があった。また、前記ウェブ表面に
強い付着力で付着した有機化合物を濃度の低いオゾンＯ
ゴで完全に除去することは困難である。

そこで本発明の目的は、上記課題を解消することにあり
、ウェブ表面に付着した有機化合物を効率良く除去し、
磁気特性が良好で耐久性、耐磨耗性にも優れた磁気記録
媒体を得ることができる磁気記録媒体の製造装置を提供
するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の上記目的は、走行している可撓性帯状支持体の
少なくとも片面に対向して配設され、前記支持体表面に
オゾンガスを放射する複数のノズルが支持体走行方向に
沿って設けられた吹き出しチャンバーと、オゾン分解処
理装置に連通した排気手段を有し前記吹き出しチャンバ
ーを囲繞するオゾン洗浄槽とを具備しており、前記吹き
出しチャンバーに供給されたオゾンガスにより前記支持
体表面をオゾン洗浄することを特徴とする磁気記録媒体
の製造装置により達成される。

〔実施態様〕

以下、本発明の一実施態様を添付図面に基づき詳細に説
明する。

第１図は本発明による磁気記録媒体の製造装置の一実施
態様を示す概略断面図である。

強磁性金属薄膜から成る磁性層を形成されたウェブ１５
は、複数本のガイドローラ８間に装架されて、送り出し
ロール６から巻取゛リロール７の方向に一定の速度（３
０〜３００　ｍ／ｎ＋ｉｎ　）をもってオシ洗浄槽１内
を水平に搬送されている。前記送り出しロール６が配設
された送り出し槽２及び巻取りロール７が配設された巻
取り槽３は、それぞれ前記オゾン洗浄槽１とほぼ隔離さ
れており、前記ウェブ１５が通過するためのスリッ目６
．１７のみが連通している。

前記オゾン洗浄槽１内には、前記ウェブ１５を介して互
いに対向する一対の吹・き出しチャンバー４ａ＋４ｂが
配設されており、該吹き出しチャンバー４８４ｂ内には
オゾンガス０３が１〜１５Ｉｌ／ｌ１ｉｎの流量で供給
される。前記吹き出しチャンバー４ａ、４ｂは、第２図
に示す様に、前記ウェブ１５のほぼ幅方向に亘りウェブ
走行方向に延びる略矩形状の中空体であり、前記ウェブ
１５に対向する面には複数の吹き出しノズル５が形成さ
れている。従って、前記ウェブ１５の磁性層及びバック
層には全面にオゾンガスＯ１が吹き付けられ、該ウェブ
１５の近傍には高濃度のオゾン雰囲気が形成される。

前記オゾンガス○、は、周知のオゾナイザ−９によって
酸素０！より製造され、５０〜１５０ｇ／ｒｒｆの濃度
でブロアー１０によって前記吹き出しチャンバー４ａ、
４ｂ内に供給されるが、前記オゾンガス０゜はオゾンガ
スを活性化させて洗浄効果を上げる為に、ヒータ１１に
よってチャンバー直前で８０〜１４０°Ｃに加熱されて
から配管１４を経て前記オゾン洗浄槽１内の吹き出しチ
ャンバー４ａ、４ｂ内に供給されている。

また、前記オゾン洗浄槽１には、オゾン分解装置１３に
連通した排気口１２が設けられており、前記オゾン洗浄
槽１内のオゾンガスＯ１は前記オゾン分解装置１３によ
って酸素Ｏ２に分解された後、図示しない排気ブロアー
によって排出される。

即ち、洗浄すべき前記ウェブ１５の磁性層及びバック層
表面に付着した塵埃等は、前記吹き出しノズル５から吹
き出すオゾンガス０．の吹き出し力によって吹き飛ばさ
れ除去される。

また、前記磁性層及びバック層表面に付着している有機
化合物や該有機化合物によって癒着されている塵埃など
は、前記オゾンガス０３の酸化作用により前記有機化合
物がＣＯ□、ＨｘＯ，Ｎｔ、Ｏｘのような揮発性の物質
に変化して付着表面より除去される。その上、前記オゾ
ナイザ−９によって製造された前記オゾンガスＯ１は、
十分な濃度を存すると共に、走行している前記ウェブ１
５の表裏面に対向して配設されて前記ウェブ１５の走行
方向にそって近設された複数の吹き出しノズル５から吹
き出されることにより、前記ウェブ１５の近傍に高濃度
のオゾン雰囲気を形成することができるので、短い処理
時間で十分な洗浄効果を得ることができる。

更に、前記オゾン洗浄槽１と送り出し槽２及び巻取り槽
３からなる処理ユニットは完全に密閉されていると共に
、前記オゾン洗浄槽ｌ内のオゾンガス０．は前記オゾン
分解装置工３によって酸素Ｏｔに分解された後に排出さ
れるので、人体に有害な前記オゾンガスＯ１が処理ユニ
ット内から漏れる心配が無い。また、第１図においては
図示していないが、前記送り出し槽２及び巻取り槽３内
に清浄空気を送り込むことによって、該送り出し槽２及
び巻取り槽３内に前記オゾンガス０．が流入するのを防
ぐと共に、各槽内を清浄に保つことができる。

尚、上記実施態様においては、前記巻取り槽３内におい
て巻取りロール７にウェブ１５を一時スドックしている
が、直ちに連続的に保ｆｉｔ？！の塗布工程に搬送する
ことにより、密着性が良く厚みの均一な保護層を有する
磁気記録媒体を得ることができる。

また、上記実施態様においては、強磁性金属薄膜から成
る磁性層を形成されたウェブ表裏面の洗浄について述べ
たが、本発明はこれに限定するものではなく、例えば磁
性層塗布前の支持体ベースの洗浄に応用することも可能
である。

更に、本発明の構成は上記実施態様の構成に限らず、種
々の変形が可能であることは勿論である。

例えば、前記オゾン洗浄槽は連続した磁気記録媒体製造
工程の一部として配設することが可能である。又、前記
吹き出しチャンバーは必ずしもウェブの表裏面に配設す
る必要はなく、前記ウェブの走行方向に沿って複数のチ
ャンバーを配設しても良い。

〔発明の効果〕

本発明の磁気記録媒体の製造装置は、走行している可撓
性帯状支持体の少なくとも片面に対向して配設され、前
記支持体表面にオゾンガスを放射する複数のノズルが支
持体走行方向に沿って設けられた吹き出しチャンバーと
、オゾン分解処理装置に連通した排気手段を有し前記吹
き出しチャンバーを囲繞するオゾン洗浄槽とを具備して
おり、前記吹き出しチャンバーに供給されたオゾンガス
により前記支持体表面をオゾン洗浄する。

即ち、周知のオゾナイザ−によって製造されたオゾンガ
ス０３は、十分な濃度を有すると共に、走行している前
記支持体表面に対向して配設されて前記支持体の走行方
向に沿って近設された複数の吹き出しノズルから吹き出
されることにより、前記支持体の近傍に高濃度のオゾン
雰囲気を形成することができるので、短い処理時間で十
分な洗浄効果を得ることができる。

従って、ウェブ表面に付着した存機化合物を効率良く除
去し、磁気特性が良好で耐久性、耐磨耗性にも優れた磁
気記録媒体を得ることができる磁気記録媒体の製造装置
を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による磁気記録媒体の製造装置の一実施
態様を示す概略断面図、第２図は第１図に示した吹き出
しチャンバーのウェブ走行方向に対する幅方向断面図で
ある。 （図中の符号） ｉ−−オゾン洗浄槽 ３−巻取り槽 ４ａ、４ｂ−−一吹き出しチャ ５・−吹き出しノズル ７・−巻取りロール ９・−オゾナイザ− １ｔ−−ヒータ １３−オゾン分解装置 １５−　　ウェブ ２−送り出し槽 ンノマー ６一送り出しロール ８−ガイドローラ １０−・・ブロアー １２・−排気口 １４−配管 １６．１’ｌ−−スリット。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 走行している可撓性帯状支持体の少なくとも片面に対向
   して配設され、前記支持体表面にオゾンガスを放射する
   複数のノズルが支持体走行方向に沿って設けられた吹き
   出しチャンバーと、オゾン分解処理装置に連通した排気
   手段を有し前記吹き出しチャンバーを囲繞するオゾン洗
   浄槽とを具備しており、前記吹き出しチャンバーに供給
   されたオゾンガスにより前記支持体表面をオゾン洗浄す
   ることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。