JPH03211706A - 抵抗器 - Google Patents
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- JPH03211706A JPH03211706A JP2006600A JP660090A JPH03211706A JP H03211706 A JPH03211706 A JP H03211706A JP 2006600 A JP2006600 A JP 2006600A JP 660090 A JP660090 A JP 660090A JP H03211706 A JPH03211706 A JP H03211706A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 26
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 5
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 abstract description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 abstract description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000007736 thin film deposition technique Methods 0.000 abstract 1
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 5
- GTOFXGPXYNYBEC-UHFFFAOYSA-K 2-ethylhexanoate;ruthenium(3+) Chemical compound [Ru+3].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O GTOFXGPXYNYBEC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 3
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 3
- OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexanoic acid Chemical class CCCCC(CC)C(O)=O OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- -1 organic acid salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 2
- FHRAKXJVEOBCBQ-UHFFFAOYSA-L 2-ethylhexanoate;manganese(2+) Chemical compound [Mn+2].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O FHRAKXJVEOBCBQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- BTXXTMOWISPQSJ-UHFFFAOYSA-N 4,4,4-trifluorobutan-2-one Chemical compound CC(=O)CC(F)(F)F BTXXTMOWISPQSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQACOLQNOUYJCE-FYZZASKESA-N Abietic acid Natural products CC(C)C1=CC2=CC[C@]3(C)[C@](C)(CCC[C@@]3(C)C(=O)O)[C@H]2CC1 BQACOLQNOUYJCE-FYZZASKESA-N 0.000 description 1
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- VJFFDDQGMMQGTQ-UHFFFAOYSA-L barium(2+);2-ethylhexanoate Chemical compound [Ba+2].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O VJFFDDQGMMQGTQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 description 1
- SHZIWNPUGXLXDT-UHFFFAOYSA-N caproic acid ethyl ester Natural products CCCCCC(=O)OCC SHZIWNPUGXLXDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- QAEKNCDIHIGLFI-UHFFFAOYSA-L cobalt(2+);2-ethylhexanoate Chemical compound [Co+2].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O QAEKNCDIHIGLFI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Adjustable Resistors (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は各種電子回路に使用される抵抗器に関するもの
であり、特(−1可変抵抗器用として適した抵抗器に関
するものである。
であり、特(−1可変抵抗器用として適した抵抗器に関
するものである。
従来の技術
従来より、抵抗膜材料としては各種の材料が使用されて
きた。このなかで、ルテニウム酸化物およびその誘導体
をガラス中に分散した厚膜抵抗体は信頼性に優れ産業用
に広く使用されている。しかし、従来のこれら厚膜抵抗
体は、抵抗材料を絶縁物であるガラス中に分散した構造
であるため、ノイズ特性、パルス特性などが悪(、改良
が望まれてきた。
きた。このなかで、ルテニウム酸化物およびその誘導体
をガラス中に分散した厚膜抵抗体は信頼性に優れ産業用
に広く使用されている。しかし、従来のこれら厚膜抵抗
体は、抵抗材料を絶縁物であるガラス中に分散した構造
であるため、ノイズ特性、パルス特性などが悪(、改良
が望まれてきた。
これに対し真空法で作られる薄膜抵抗体はノイズ特性、
パルス特性などは良好なものの、製造コストが高く、量
産性に劣る欠点を有していた。
パルス特性などは良好なものの、製造コストが高く、量
産性に劣る欠点を有していた。
本発明者らは、上記従来の抵抗体の欠点を解決するため
に、ルテニウム酸化物およびその誘導体からなる抵抗体
薄膜をルテニウムおよび他の金属を含有する有機化合物
の熱分解により製造する方法を既に発明した。
に、ルテニウム酸化物およびその誘導体からなる抵抗体
薄膜をルテニウムおよび他の金属を含有する有機化合物
の熱分解により製造する方法を既に発明した。
発明が解決しようとする課題
上記熱分解法によるルテニウム酸化物およびその誘導体
からなる抵抗体薄膜は安価に生産でき、かつ良好なノイ
ズ特性、パルス特性を示すため固定抵抗器としては優れ
た特性を示すものの、可変抵抗器のように抵抗体が空気
中に露出して使用される場合は雰囲気ガスの影響を受け
て抵抗値が変化し、また、摺動ブラシにより薄膜が摩耗
するなどの問題点を有していた。
からなる抵抗体薄膜は安価に生産でき、かつ良好なノイ
ズ特性、パルス特性を示すため固定抵抗器としては優れ
た特性を示すものの、可変抵抗器のように抵抗体が空気
中に露出して使用される場合は雰囲気ガスの影響を受け
て抵抗値が変化し、また、摺動ブラシにより薄膜が摩耗
するなどの問題点を有していた。
本発明は上記熱分解法によるルテニウム酸化物およびそ
の誘導体からなる抵抗体薄膜の問題点を解決した抵抗器
を提供することを目的とするものである。
の誘導体からなる抵抗体薄膜の問題点を解決した抵抗器
を提供することを目的とするものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために本発明はルテニウム酸化物お
よびその誘導体を主体とする抵抗薄膜上にカーボンレジ
ン゛系抵抗膜を種薯した構成とするものである。
よびその誘導体を主体とする抵抗薄膜上にカーボンレジ
ン゛系抵抗膜を種薯した構成とするものである。
作用
以上のようにルテニウム酸化物およびその誘導体を主体
とする抵抗薄膜上にカーボンレジン系抵抗膜を積饗して
抵抗器とすることにより、抵抗値が雰囲気ガスにより変
化することがなくなり、なおかつ、ブラシなどに対する
摺動特性に優れた可変抵抗器用に適した抵抗体が得られ
る。
とする抵抗薄膜上にカーボンレジン系抵抗膜を積饗して
抵抗器とすることにより、抵抗値が雰囲気ガスにより変
化することがなくなり、なおかつ、ブラシなどに対する
摺動特性に優れた可変抵抗器用に適した抵抗体が得られ
る。
実施例
以下本発明の概要につき第1図を用いて説明する。
第1図においてlは絶縁性基板、2はルテニウム酸化物
およびその誘導体を主体とする抵抗薄膜、3はこの抵抗
薄膜2上に形成したカーボンレジン系抵抗膜である。
およびその誘導体を主体とする抵抗薄膜、3はこの抵抗
薄膜2上に形成したカーボンレジン系抵抗膜である。
本発明に使用されるルテニウム酸化物およびその誘導体
を主体とする抵抗薄膜2とは酸化ルテニウム、ルテニウ
ム酸ビスマス、ルテニウム酸バリウム、ルテニウム酸鉛
等に代表される各種ルテニウム酸塩および抵抗温度係数
を調整するための各種金属酸化物からなる薄膜であって
、スパッタ。
を主体とする抵抗薄膜2とは酸化ルテニウム、ルテニウ
ム酸ビスマス、ルテニウム酸バリウム、ルテニウム酸鉛
等に代表される各種ルテニウム酸塩および抵抗温度係数
を調整するための各種金属酸化物からなる薄膜であって
、スパッタ。
蒸着、CVD等、従来公知の各種薄膜形成方法により形
成される。またこの他に、ルテニウム、ビスマス、バリ
ウム、鉛その他の金属を含有する有機化合物を溶媒に溶
解し、必要により増粘剤などと混合してペーストとし、
絶縁性基板1上に塗布、熱分解することにより安価に製
造されるものである。ここに使用されるルテニウム、ビ
スマス、バリウム、鉛その他の金属を含有する有機化合
物の例七しては、上記金属の有機酸塩、有機金属化合物
、金属アルコキシド、有機金属錯体なとがあり、溶媒や
使用方法に応じて任意に選択可能であるが、ペーストの
保存安定性、入手の容易性などを勘案すると上記金属の
樹脂酸塩、2−エチルヘキサン酸塩などに代表される有
機酸塩を使用することが好ましい。
成される。またこの他に、ルテニウム、ビスマス、バリ
ウム、鉛その他の金属を含有する有機化合物を溶媒に溶
解し、必要により増粘剤などと混合してペーストとし、
絶縁性基板1上に塗布、熱分解することにより安価に製
造されるものである。ここに使用されるルテニウム、ビ
スマス、バリウム、鉛その他の金属を含有する有機化合
物の例七しては、上記金属の有機酸塩、有機金属化合物
、金属アルコキシド、有機金属錯体なとがあり、溶媒や
使用方法に応じて任意に選択可能であるが、ペーストの
保存安定性、入手の容易性などを勘案すると上記金属の
樹脂酸塩、2−エチルヘキサン酸塩などに代表される有
機酸塩を使用することが好ましい。
上記抵抗薄膜2上に積層するカーボンレジン系抵抗膜3
とは、各種カーボン微粒子を樹脂中に均一に分散させて
なるものであり、各種の抵抗値のものがあるが、本発明
に使用されるものとしては上記抵抗薄膜2の面積抵抗値
の10倍ないし1000倍の面積抵抗値を有するものが
好ましい。カーボンレジン系抵抗膜3の面積抵抗値が抵
抗薄膜2の面積抵抗値の10倍以下であると抵抗薄膜2
に比して電気特性の劣るカーボンレジン系抵抗膜3の影
響で本発明の抵抗体の特性が劣ったものとなり、逆に、
カーボンレシン系抵抗膜3の面積抵抗値が抵抗薄膜2の
面積抵抗値の1000倍以上であると抵抗膜と摺動ブラ
シとの接触抵抗が大きくなって使用に際して不都合であ
る。
とは、各種カーボン微粒子を樹脂中に均一に分散させて
なるものであり、各種の抵抗値のものがあるが、本発明
に使用されるものとしては上記抵抗薄膜2の面積抵抗値
の10倍ないし1000倍の面積抵抗値を有するものが
好ましい。カーボンレジン系抵抗膜3の面積抵抗値が抵
抗薄膜2の面積抵抗値の10倍以下であると抵抗薄膜2
に比して電気特性の劣るカーボンレジン系抵抗膜3の影
響で本発明の抵抗体の特性が劣ったものとなり、逆に、
カーボンレシン系抵抗膜3の面積抵抗値が抵抗薄膜2の
面積抵抗値の1000倍以上であると抵抗膜と摺動ブラ
シとの接触抵抗が大きくなって使用に際して不都合であ
る。
以下具体的な実施例により説明する。
(実施例1)
2−エチルヘキサン酸ルテニウム75モル%。
2−エチルヘキサン酸コバルト25モル%からなる抵抗
形成材料をアルコール系溶媒に溶解し、増粘剤としてア
ビエチン酸を添加して抵抗形成用ペーストを製造した。
形成材料をアルコール系溶媒に溶解し、増粘剤としてア
ビエチン酸を添加して抵抗形成用ペーストを製造した。
本ペーストをグレーズガラスコートしたアルミナ基板(
以下グレーズドアルミナと記述)上にスクリーン印刷し
、乾燥の後、650℃で熱分解して厚さ500Aの薄膜
抵抗を製造した。本抵抗膜は100Ω/口の面積抵抗を
有するものであった。本抵抗膜の上に30%のカーボン
微粉末を含有する面積抵抗値IKΩ/口のカーボンレジ
ン系抵抗体を印刷、硬化して抵抗器を製造した。本抵抗
体の25℃ないし125℃の抵抗温度係数を測定したと
ころ、その値は=50ppm以内であった。また、本抵
抗体を60℃。
以下グレーズドアルミナと記述)上にスクリーン印刷し
、乾燥の後、650℃で熱分解して厚さ500Aの薄膜
抵抗を製造した。本抵抗膜は100Ω/口の面積抵抗を
有するものであった。本抵抗膜の上に30%のカーボン
微粉末を含有する面積抵抗値IKΩ/口のカーボンレジ
ン系抵抗体を印刷、硬化して抵抗器を製造した。本抵抗
体の25℃ないし125℃の抵抗温度係数を測定したと
ころ、その値は=50ppm以内であった。また、本抵
抗体を60℃。
95%の耐湿試験および125℃の耐熱試験にかけた結
果、その抵抗値変化は1000時間後においても0.5
%以下であり、薄膜抵抗として十分な特性を示した。
果、その抵抗値変化は1000時間後においても0.5
%以下であり、薄膜抵抗として十分な特性を示した。
比較のため、上記抵抗薄膜の上にカーボンレジン系抵抗
体を設けない抵抗膜について同じ試験を行ったところ、
体温試験および体熱試験においてそれぞれ5%を越える
抵抗値変化を示し、また、抵抗温度係数の測定において
25℃の抵抗値に復帰せず測定不能であった。この結果
より、薄膜抵抗の上にカーボンレジン系抵抗体を設ける
ことにより抵抗膜の電気特性が安定することが明らかと
なった。さらに、本実施例にかかる抵抗器およびカーボ
ンレシン系抵抗体を設けない抵抗膜を可変抵抗器に組み
込み、比較試験を行ったところ、カーボンレジン系抵抗
体を設けない抵抗膜は100回の摺動て摩耗したのに対
し、本実施例にかかる抵抗器は2万回の摺動に対しても
異常を示さなかった。
体を設けない抵抗膜について同じ試験を行ったところ、
体温試験および体熱試験においてそれぞれ5%を越える
抵抗値変化を示し、また、抵抗温度係数の測定において
25℃の抵抗値に復帰せず測定不能であった。この結果
より、薄膜抵抗の上にカーボンレジン系抵抗体を設ける
ことにより抵抗膜の電気特性が安定することが明らかと
なった。さらに、本実施例にかかる抵抗器およびカーボ
ンレシン系抵抗体を設けない抵抗膜を可変抵抗器に組み
込み、比較試験を行ったところ、カーボンレジン系抵抗
体を設けない抵抗膜は100回の摺動て摩耗したのに対
し、本実施例にかかる抵抗器は2万回の摺動に対しても
異常を示さなかった。
(実施例2)
実施例1において面積抵抗値10にΩ/口のカーボンレ
ジン系抵抗体を使用した場合は耐湿、耐熱両試験におい
て抵抗値変化は0.1%以下であった。本抵抗体を可変
抵抗器に組み込み、接触抵抗を測定したところその値は
6%以下であった。さらに、カーボンレジン系抵抗体の
面積抵抗値を100KΩ/口にした場合は抵抗値変化は
変わらず、接触抵抗は15%となった。
ジン系抵抗体を使用した場合は耐湿、耐熱両試験におい
て抵抗値変化は0.1%以下であった。本抵抗体を可変
抵抗器に組み込み、接触抵抗を測定したところその値は
6%以下であった。さらに、カーボンレジン系抵抗体の
面積抵抗値を100KΩ/口にした場合は抵抗値変化は
変わらず、接触抵抗は15%となった。
(実施例3)
2−エチルへキサン酸ルテニウム60モル%、チタン酸
n−ブチル40モル%をメチルエチルケトンに溶解し、
スピナーを用いてグレーズドアルミナ上に塗布し、乾燥
の後650℃で熱分解して厚さ100OAの抵抗薄膜を
形成した。この薄膜よIKΩ/口の面積抵抗値を有する
ものであった。本抵抗膜の上に面積抵抗値10にΩ/′
口のカーボンレシン系抵抗体を印刷、硬化して抵抗器を
製造した。ここに得られた抵抗器の抵抗温度係数は±5
0ppm以内であった。また、本抵抗体を60℃、95
%の耐湿試験および125℃の耐熱試験にかけた結果、
その抵抗値変化は1000時間後においても0.5%以
下であり、薄膜抵抗として十分な特性を示した。
n−ブチル40モル%をメチルエチルケトンに溶解し、
スピナーを用いてグレーズドアルミナ上に塗布し、乾燥
の後650℃で熱分解して厚さ100OAの抵抗薄膜を
形成した。この薄膜よIKΩ/口の面積抵抗値を有する
ものであった。本抵抗膜の上に面積抵抗値10にΩ/′
口のカーボンレシン系抵抗体を印刷、硬化して抵抗器を
製造した。ここに得られた抵抗器の抵抗温度係数は±5
0ppm以内であった。また、本抵抗体を60℃、95
%の耐湿試験および125℃の耐熱試験にかけた結果、
その抵抗値変化は1000時間後においても0.5%以
下であり、薄膜抵抗として十分な特性を示した。
(実施例4)
実施例3において面積抵抗値100にΩ/口のカーボン
レジン系抵抗体を使用した場合は耐湿。
レジン系抵抗体を使用した場合は耐湿。
耐熱両試験において抵抗値変化は0.1%以下であった
。
。
(実施例5)
2−エチルヘキサン酸ルテニウム50モル%、2−エチ
ルヘキサン酸鉛50モル%をメチルエチルケトンに溶解
し、スピナーを用いてグレーズドアルミナ上に塗布し、
乾燥の後は650℃で熱分解して厚さ100OAの抵抗
薄膜を形成した。この薄膜は3にΩ/口の面積抵抗値を
有するものであった。本抵抗膜の上に面積抵抗値50に
Ω/口のカーボンレシン系抵抗体を印刷、硬化して抵抗
器を製造した。ここに得られた抵抗器の抵抗温度係数は
一150ppmであった。また、本抵抗体を60℃、9
5’6の耐湿試験および125℃の耐熱試験にかけた結
果、その抵抗値変化は1000時間後においても0.5
%以下であり、薄膜抵抗として十分な特性を示した。
ルヘキサン酸鉛50モル%をメチルエチルケトンに溶解
し、スピナーを用いてグレーズドアルミナ上に塗布し、
乾燥の後は650℃で熱分解して厚さ100OAの抵抗
薄膜を形成した。この薄膜は3にΩ/口の面積抵抗値を
有するものであった。本抵抗膜の上に面積抵抗値50に
Ω/口のカーボンレシン系抵抗体を印刷、硬化して抵抗
器を製造した。ここに得られた抵抗器の抵抗温度係数は
一150ppmであった。また、本抵抗体を60℃、9
5’6の耐湿試験および125℃の耐熱試験にかけた結
果、その抵抗値変化は1000時間後においても0.5
%以下であり、薄膜抵抗として十分な特性を示した。
(実施例6)
2−エチルヘキサン酸ルテニウム45モル%。
2−エチルヘキサン酸バリウム45モル%、2一エチル
ヘキサン酸マンガン10モル%をメチルエチルケトンに
溶解し、スピナーを用いてグレーズドアルミナ上に塗布
し、乾燥の後650℃で熱分解して厚さ100OAの抵
抗薄膜を形成した。この薄膜は5にΩ/口の面積抵抗値
を有するものであった。本抵抗膜の上に面積抵抗値50
にΩ/口のカーボンレジン系抵抗体を印刷、硬化して抵
抗器を製造した。ここに得られた抵抗器の抵抗温度係数
は±50ppm以内であった。また、本抵抗体を60℃
、95%の耐湿試験および125℃の耐熱試験にかけた
結果、その抵抗値変化は1000時間後においても0.
5%以下であり、薄膜抵抗として十分な特性を示した。
ヘキサン酸マンガン10モル%をメチルエチルケトンに
溶解し、スピナーを用いてグレーズドアルミナ上に塗布
し、乾燥の後650℃で熱分解して厚さ100OAの抵
抗薄膜を形成した。この薄膜は5にΩ/口の面積抵抗値
を有するものであった。本抵抗膜の上に面積抵抗値50
にΩ/口のカーボンレジン系抵抗体を印刷、硬化して抵
抗器を製造した。ここに得られた抵抗器の抵抗温度係数
は±50ppm以内であった。また、本抵抗体を60℃
、95%の耐湿試験および125℃の耐熱試験にかけた
結果、その抵抗値変化は1000時間後においても0.
5%以下であり、薄膜抵抗として十分な特性を示した。
発明の詳細
な説明のごと(、本発明にかかる抵抗器は抵抗値が雰囲
気ガスにより変化することがなくなり、なおかっ、ブラ
シなどに対する摺動特性に優れた可変抵抗器用に適した
抵抗体が得られるもので産業上の効果大なるものである
。
気ガスにより変化することがなくなり、なおかっ、ブラ
シなどに対する摺動特性に優れた可変抵抗器用に適した
抵抗体が得られるもので産業上の効果大なるものである
。
第1図は本発明の抵抗器の一実施例を示す断面図である
。 1・・・・・・絶縁性基板、2・・・・・・抵抗薄膜、
3・・・・・・カーボンレジン系抵抗膜。
。 1・・・・・・絶縁性基板、2・・・・・・抵抗薄膜、
3・・・・・・カーボンレジン系抵抗膜。
Claims (2)
- (1)ルテニウム酸化物およびその誘導体を主体とする
抵抗薄膜上に上記抵抗薄膜の面積抵抗値の10倍ないし
1000倍の面積抵抗値を有するカーボンレジン系抵抗
膜を積層してなる抵抗器。 - (2)ルテニウム酸化物およびその誘電体を主体とする
抵抗薄膜が金属を含有する有機化合物の熱分解により製
造されたものを用いる請求項1記載の抵抗器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006600A JPH03211706A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 抵抗器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006600A JPH03211706A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 抵抗器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03211706A true JPH03211706A (ja) | 1991-09-17 |
Family
ID=11642829
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006600A Pending JPH03211706A (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 抵抗器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03211706A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1202294A2 (en) * | 2000-10-31 | 2002-05-02 | Alps Electric Co., Ltd. | Precision Resistor |
US7079005B2 (en) * | 2003-12-01 | 2006-07-18 | Cochran Gary D | Mechanically buffered contact wiper |
-
1990
- 1990-01-16 JP JP2006600A patent/JPH03211706A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1202294A2 (en) * | 2000-10-31 | 2002-05-02 | Alps Electric Co., Ltd. | Precision Resistor |
EP1202294A3 (en) * | 2000-10-31 | 2004-07-14 | Alps Electric Co., Ltd. | Precision Resistor |
US7079005B2 (en) * | 2003-12-01 | 2006-07-18 | Cochran Gary D | Mechanically buffered contact wiper |
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