JPH03209089A - 回転機械部材への流体供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は回転機械部材、とくに工作機械の１１． １０． スピンドルに流体を供給する装置に関し、該装置は、回
転しないように取付けられたノ＼ウジングと、その内部
に回転可能に取付けられた中空軸をもつハウジングを有
し、該ハウジングは内端が滑りリングシールを介してハ
ウジングの入口ダクトに結合され、外端が回転機械部材
に結合されている。

従来の技術 回転機械部材に流体を供給する装置は、「回転導流装置
Ｊとも称されて極めて多くの種類のものが知られ、その
うち最も広い目的に用いられているものに、Ｄｅｕｂｌ
ｉｎ　ＧｍｂＨ，　Ｄ−６２３８　Ｈｏｆｈｅｉｍ−Ｗ
ａｌｌａｕによって出版されたカタログＤＩ１２５Ｄｒ
ＤＥＵＢＬＩＮ　Ｒｏｔａｔｉｎｇ　ＵＮＩＯＮＳＪの
第２７．２８頁に記載されたものがある。そのような装
置は、たとえば、工作機械スピンドルと組合わせて用い
られ、その中空軸の外端は、工作機械のスピンドル内に
同心的に配置された工作機械スピンドルまたは引き棒に
固定的に結合されている．この場合、この装置は工具に
冷却潤滑油を給送するのに用いられる。工作機械スピン
ドルまたは締付手段に結合された中空軸の回転中に前記
流体の供給が行われる限り、滑りリングシールは流体に
よって潤滑されて発生した摩擦熱は除去されるから、何
等の問題も起らない。しかし、もし冷却潤滑油なしで加
工物の加工が実施される場合は、普通の回転導流装置は
この目的には不適当である。事実、もし冷却潤滑油が滑
りリングシールに存在しなければ、このシールは潤滑、
とくに冷却の不足のために、とくに高いスピンドル速度
では急速に破損される。ゆえに、特殊の回転導流装置が
開発され、ここにおいて、流体の導流がなくても、滑り
リングシールの冷却および潤滑は保証される。

このため、公知の回転導流装置（ＤＥ　３５４２０１４
Ｃｌ）において、例えば乾式機械加工（乾式加工）、す
なわち回転導流装置を通って流体が供給されない場合、
滑りリングシールの１つの滑りリングは他方の滑りリン
グから上げ離される．公知の回転導流装置においては、
この現象は１つの滑りリングがハウジング内で軸方向に
滑動できる中空のプランジャ上に配置されているという
事実によって起こる。中空のプランジャはこれを他の滑
りリングから離す方向に負荷するばねによって作用され
る。そのうえ、流体の反流動方向へばね負荷された止め
弁が中空プランジャ内に配置されている。この止め弁の
閉じ状態において、ブランジャはまずプランジャばねの
作用力に抗する方向の流体の圧力によって移動され、２
つの滑りリングの密封表面はこれによって接触状態にも
たらされる。これによって始めて止め弁が開いて流量を
解放する。しかし、もし乾式加工において密封表面の一
方が他方から上げ離されて、何回も繰返し再使用される
とくに冷却潤滑油を含む流体内に含有されるほこり粒は
、これらの密封表面間に滞留する．滑りリングシール内
では密封表面は極めて硬度の平坦度を示し、かつ極めて
高い硬度を示す．もし、滑りリングが上り離れた状態で
は、小さい異粒体がこれらの表面間に喰込み、その結果
互いに何回も押圧され、この異粒体は滑りリングシール
の急速な破損を起こす。このように、わずかな汚染物が
流体中に存在するだけで、滑りリングの寿命は著るしく
短縮される。さらに、乾式加工の場合で、導流装置を通
って冷却潤滑油が全く流通されなくても、中空軸は工作
機械スピンドルとともに回転する。とくにスピンドルが
高速回転している場合には、この状況では中空軸をハウ
ジングに取付けている玉軸受の不必要な摩耗を起こさせ
る。そのうえ、回転導流装置から騒音と振動が発生する
。

別の種類の回転導流装置においては、乾式運転中の滑り
リングの潤滑および冷却問題は無くされ、この場合、外
部から補助冷却および潤滑油が滑りリングに供給されて
いる。しかしこの方法では、補助冷却および潤滑油は滑
りリング区域への供給および除去が絶えず行われなけれ
ばならず、その結果、滑りリングに発生された摩耗熱を
連続的に無くさなければならないから、予想外な設計経
費が要求される。乾式加工において、玉軸受および滑り
リングの不必要な摩耗および効率の不必要な損失が起こ
る。さらに上述の騒音および騒音から起こる振動も著る
しい。

発明が解決しようとする課題 ゆえに、この発明が取上げる課題は、回転機械部材、と
くに工作機械スピンドルに流体を供給するための、文頭
において述べられた形式の装置を提供することであって
、該装置は、流体の導流を行なわない、乾式加工におい
て、滑りリングが一方のものから他方のものに上げ離さ
れず、摩耗、軸受摩耗および振動が避けられ、しかも別
体の冷却手段の配設を要しない装置を提供する。

課題を解決するための手段 この発明によって提案された第１の解決手段によれば、
中空軸と同軸で該軸に対して回転しないように結合され
た連結チューブが、中空粕の外端において軸方向に移動
可能に配置され、中空軸の外端において滑動可能な中空
プランジャとして設計された連結チューブが、戻しばね
の作用力に抗して回転機械部材に向って流体の圧力によ
って移動され、中間に配設された密封手段を用いて、流
体中での加工作業中に、連結チューブの回転機械部材へ
の軸方向移動によって、回転機械部材と係合され、かつ
流体無しの加工中は、連結チューブの回転機械部材から
の離反運動によって該部材から解放されるように配置さ
れている。

この発明によれば、上述の課題の第２の解決手段は、中
空軸と同軸でかつ該中空軸に固定された連結チューブが
中空軸の外端に配設され、サーボモータの作用を受けて
、ハウジングが回転機械部材に対して軸方向に移動可能
であり、連結チューブが流体中で、加工中には連結チュ
ーブが回転機械部材へ向うハウジングの軸方向運動によ
って回転機械部材と係合され、また、流体の存在しない
加工中には、連結チューブが回転部材から離れる方向へ
、ハウジングが軸方向運動をすることによって、回転機
械部材から解放されるように、連結チューブが中間に配
設された密封手段と係合されるように構成されている。

よって、各場合において、この発明はその解放思想は乾
式加工中において、す々わち回転機械部材に流体が供給
されていないとき、回転機械部材から全回転機械部材を
解放する。最初の提案解決手段においては、解放動作は
、流体の供給が中断されているとき、中空軸の外端内を
出入式に滑動可能な連結チューブは、戻しばねの作用力
によって回転機械部材から離れる方向に動かされること
によって実施される。また、係合動作は、連結チューブ
が戻しばねの作用力に抗する流体の圧力を受けて、回転
機械部材に向って動かされることによって実施される。

この発明の第２の提案手段においては、係合および解放
は、サーボモータによって回転導流装置を含む全ハウジ
ングの軸方向運動によって実施される。両方の場合とも
回転機械部材には流体が給送されずに、全回転導流装置
は回転機械部材から解放される。乾式加工中には、工作
機械スピンドルが回転しており、解放された中空軸は休
止状態にある。したがって、滑りリングの摩耗も軸受摩
耗も起り得ない。振動も避けられる。滑りリングシール
の冷却用の補助冷却手段も不要である．乾式加工中に、
滑りリングの上げ離れに配慮する必要もなく、それに伴
う不利点も避けられる．全体として、この装置は乾式加
工中の作用とは無縁であるから、回転導流装置は長期間
の寿命を保つことができる。

回転機械部材に加圧流体を供給する装置もまた知られて
おり（ＦＲ　１５０５０４１）、この装置では、中空軸
が静止ハウジングに回転可能であって．ハウジング内の
ばねの作用力に抗して軸方向へ滑動可能に取付けられて
いる。中空軸の一部分はプランジャの形状をちっている
。回転プランジャと静止ハウジングとの間の密封作用は
、プランジャとハウジング内でこの目的のために形威さ
れた円筒形中心孔との間の円筒形密封表面の媒体を介し
て実施される。プランジャと円筒形中心孔との間のクリ
アランスは、これら２つの部分間の密封を達成するため
にできる限り小さくなければならない。このために、極
めて高い製造精度が必要である。密封作用は僅かな摩耗
があっても、プランジャの表面は円筒形中心孔に対して
は弾性的には押接されないから大いに劣化する。この密
封方法では、かなりの摩耗が予測されるので，低回転用
としてのみに使用される。この公知の装置において、中
空紬の軸方向の運動は、ブランジャ内に設けられた回転
軸線に関して偏心している流動中心孔をちつ弁装置によ
って実施される。弁座のまわりの表面は円錐形をなして
いるから、回転軸線に対して垂直に延びかつ中空軸が静
止状態において、弁球は任意の所定時点で円錐形表面の
最下点に転動して、そこに設けられた流動中心孔を閉じ
る。

もし下庄流体がプランジャに供給されると、その結果と
して、中空軸全体はばねの作用力に抗して軸方向に摺動
される。この軸方向運動の結果、中空軸の外端は回転機
械部材と係合される．中空軸は、それによって回転状態
となり、偏心的に作用する弁ボールは、遠心力の作用を
受けて弁ボールを半径方向外方へ動かしてボールを弁座
から上げ離す。この結果、流れが開通する．上述の弁装
置を用いることによって、流体の搬送は回転の場合にお
いてのみ可能となる．この文献はこの発明の要旨を規定
するものではなく、その理由は、もし円筒形の密封表面
が軸方向の滑り面をちり滑りリングシールと置換された
としても、これらの表面は中空軸の軸方向運動時に互い
に上げ離され、既述の文献ＤＥ　３５４２０１４Ｃ１に
よる回転導流装置で生じたものと同じ欠点をあらわすで
あろう。

別の公知の回転導流装置（ＧＢ　１３６５６４０）にお
いては、回転機械部材は中空軸と一体に形成されている
．中空チューブ内に移送チューブが配設され、該チュー
ブはばねによって回転滑りリングに押圧され、このリン
グを静止滑りリングに当接させる。この結果、滑り表面
の軸方向接触がもたらされる。移送チューブは回転滑り
リングと常時押圧状態となり、２つの滑りリング内の中
心孔を通過する第１流体を流通させるのに用いられる。

滑りリングはその中心孔と平行に、１つの共通円上に配
置された複数個の流通孔をもち、これらの流通孔を第２
流体が流通する．この第２流体はつぎに、移送チューブ
と中空軸の内側との間に形成された中間スペースを流通
する。移送チューブは流体を流通させると同時に、滑り
リングの表面を接触状態に軸方向へ押接させるのに用い
られるから、圧力ばねによって静止滑りリングに対し常
に押圧されている。

回転導流装置全体を取外す場合以外は、ともに回転する
胴部から、または回転滑りリングから解放できない。不
必要な摩耗を避けるために、この文献では、流体を正常
は静止しているハウジング部分内に供給するのに用いら
れる結合部材を、この静止ハウジング部分から除去する
ことを提案しており、それによってこの静止部分はとち
に回転接合できる。結合部材の除去は、しかし、時間が
かかって厄介なものであり、かなりの時間消費の費用を
必要とする．基本的に、この発明の課題とする事項はこ
の公知の回転導流装置で解決できるが、その他に別の複
雑な問題を含んでいる．移送チューブは軸方向には移動
可能でなくかつ回転導流装置の動作中および該装置が静
止状態にあるときは、任意の隣接する部分から取外しで
きないから、この文献の装置は、プロトタイプへの期待
としてこの発明を想到できるものではない。

図面に示す実施例を参照して、この発明を以下に詳細に
説明する。

実施例 図面において、回転方向に関しては固定され、第１図お
よび第３図に示された実施例においては軸方向にも固定
されているハウジング１が示されている。ハウジング１
内には、玉軸受３によって中空１［１１２が回転可能に
取付けられている。

中空軸２の内端２ａとハウジング１に形成された入口ダ
クト４との間には、２つの滑りリングが公知の方法で取
付けられた滑りリングシール５が配置されている．中空
軸２の他端、すなわち外端２ｂは、ハウジング１から突
出している．回転する機械部材６が、中空軸２の回転軸
線Ａと同軸に配置され，これは例えば、工作機械スピン
ドル内に配置された連結手段の引き棒におけるような問
題が考えられる。

中空軸２の外端２ｂには連結チューブ７が配置され、こ
の連結チューブ７は中空紬２の軸線Ａと同軸に、回転す
る機械部材６に対して軸方向に滑動的に配置されている
。連結チューブ７はその軸方向の運動によって機械部材
６と係合および解放され、機械部材６に対して連結チュ
ーブ７を密封するために密封部材８が設けられている．
第１．３．４図においては、チューブ７と機械部材６と
の係合状態が右方に、および解放状態が左方にそれぞれ
示されている。

連結チューブ７はその自由端に、回転機械部材６の対応
する中心孔９内に押入される延長部分７ａをちっている
。この延長部分７ａは円筒形状をもつことが好適である
。係合状態において、この円筒形延長部分を囲む２つの
Ｏリングシール８が中心孔９内に配設されている。

延長部分７ａは、截頭円錐形部分７ｂと接続している。

回転機械部材６内には、これと対応する截頭円錐形表面
ｌＯが形威され、この截頭円錐形表面１０に対して前記
截頭円錐部分が係合位置に押入される。この接触圧力に
よって、機械部材６と連結チューブ７との係合位置にお
けるトルク伝達が保証され、それに伴ってＯリング８の
摩耗が避けられる。

第１．２．３図に示された実施例において、連結チュー
ブ７は中空のプランジャ形態を有し、戻しばねｌ１の偏
倚力に抗して流体の圧力を受けて回転機械部材６に向っ
て移動できる。第１．２図に示された実施例において、
連結チューブ７内で軸方向に滑動できるオーバーフロー
チューブ１２が配設され、このオーバーフローチューブ
１２の外端＋２ａは連結チューブ７の延長部分７ａから
突出している。オーバーフローチューブ１２の他方の内
端１２ｂは、流体の流動方向に閉じる止め弁のばね負荷
型弁体１３と圧接する．そのうえ、オーバーフローチュ
ーブ１２内には、その内端１２ｂの近傍に、複数のオー
バーフロー開口ｌ４が設けられ、これらの開口は連結チ
ューブ７によって解放位置において覆われている。プラ
ンジャ形態の連結チューブ７はさらに、中空軸２の外端
２ｂにおいてシリンダｌ５内を軸方向に移動できるが、
中空軸２には、回転不能に結合されている．このために
、連結チューブ７はその中央部分に２つの平坦表面１６
をもち、かつ外端２ｂ内に押入されたリング１８内の対
応する穴１７内に回転不能に案内される． 第１図は、その左方において、たとえば冷却潤滑油のよ
うな流体が入口ダクト４内で無圧力状態で存在するとき
の非結合位置を示す。戻しばねｌ１の作用を受けて、延
長部分７ａは中心孔９からそれがＯリング８と接触しな
い位置まで部分的に引抜かれる。回転機械部材６と連結
チューブ７との間には結合状態が存在しないから，連結
チューブ７との回転導入部のすべての部品は休止状態に
ある。

もし冷却？１ｓｌ滑油が回転機械部材６に供給されると
、加圧状態で入口ダクト４に導入される。

弁体１３は弁座１３ｂに着座しているから、この流体は
連結チューブ７で阻止されている。したがって、この実
施例ではプランジャ形態の連結チューブ７は、戻しばね
１ｌの作用力に抗して、流体圧力によってその延長部７
ａを中心孔９に押入される。この延長部７ａが下方のＯ
リング８内に押入されてから少し経って、オーバーフロ
ーチューブ１２の外端１２ａは中心孔９の肩部９ｂと当
接する。もし連結チューブ７が流体の圧力を受けて回転
機械部材６に向ってさらに移動されると、オーバーフロ
ーチューブ１２の内端１２ｂは弁体１３を弁座１３ｂか
ら離させる。しかし、ブランジャの相対的に大きい環状
面積のゆえに、連結部材７は截頭円錐形部分７ｂが截頭
円錐形表面１０と当接するまで回転機械部材６に向って
さらに移動される。この結果、トルクは連結チューブ７
に回転機械部材６から伝達され、リング１８を介して該
チューブから中空軸２に伝達される。弁体１３は上方結
合状態において弁座１３ｂから離れて移動され、流体は
オーバーフロー開口ｌ４を介して何等の妨げも受けずに
オーバーフローチューブ１２に流入でき、そこから回転
機械部材６に流入する。もし流体の圧力が無くなると、
戻しばね１１が連結チューブ７を再びその解放位置に動
かす。

第３図に示された実施例が第１，２図の実施例と相違す
るところは、止め弁の設計だけである。既述の実施例に
用いられた符号が同一機能部品に与えられ、上述の説明
は第３図に示された実施例にも同等に適用される。第３
図に示された実施例には、オーバーフローチューブ１２
は設けられていない． この実施例において、偏倚ばね２０の力に抗する流体の
流動方向に開口している止め弁２１は、連結部材７内に
配置されている。弁体２２は弁の閉じ位置において弁座
２４と当接する密封リング２３を有している。この偏倚
ばねの偏倚力は、截頭円錐形部分７ｂが截頭円錐形表面
ｌＯと当接したときにのみ、弁体２２が弁座２４から解
放されるように選定される．この実施例において、止め
弁２１は圧力に応じて開き、既述の実施例のようにその
位置に緊停されない。

流体の流れの中の止め弁は、若干の問題を提起する。こ
のために、第４図は、そのような止め弁を使用せずに動
作できる実施例を示している。この実施例における連結
チューブ７′は中空軸２′の外端２ｂに固定結合されて
いる。連結チューブ７′および中空軸２′は図示のよう
に一体に形成することもできる。ハウジング１′はサー
ボモー夕の作用を受けて回転機械部材６に対して軸方向
に移動できる。図示の実施例において、ハウジング１′
は、環状のピストン２５を具備していてハウジングを同
心的に囲んでいるシリンダ２６内を清動できる．この実
施例において，別設の圧力媒体によって環状のピストン
の両側面に、油圧または空圧力が作用される．圧力流体
を下方の第１供給中心孔２７内に導入することによって
、ハウジング１′は回転機械部材６に向って軸方向に移
動される．この結果、連結チューブ７′は第４図の左方
に示された解放位置から、第４図の右方に示された係合
位置に到達する．第２供給中心孔２８に圧力媒体を導入
することによって、ハウジング１′は回転機械部材６か
ら離れる反対方向に移動され、それにより連結チューブ
７′は回転機械部材６から解放される。文頭において述
べられた実施例とその機能が相当するすべての残りの部
分には同一の符号が付与されているから、第１、第２図
に示された実施例もまたそのまま、第４図に示された実
施例に対して同様に適用できる．必要ならば、環状のピ
ストン２５の一方の側のみに圧力を受けさせることもで
き、その復帰動作はばねによって実施できる．さらに、
環状のピストン２５の代りに、ハウジング１′に完全に
別体のサーボモータＭを作用させることもでき、このた
めに別のピストン・シリンダユニットあるいは電磁石さ
えも配設することができる。最後に、連結チューブはそ
の延長部分の代りに、回転機械部材上にこれと対応する
延長部分上に押しかぶされるスリーブを備えることもで
きる．

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の第１実施例の縦断正面図、第２図
は、第１図における線■一■に沿った半径方向断面図、
第３図は、この発明の第２実施例の縦断正面図、第４図
は、この発明の第３実施例の縦断正面図である。 １．１′・・・ハウジング　　　２．２′・・・中空軸
６・・・回転機械部材　　　　７．７′・・・連結チュ
ーブ８．８′・・・密封部材　　　９・・・中心孔１０
・・・截頭円錐形表面　　　１１・・・戻しばね１２・
・・オーバーフローチューブ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、とくに工作機械スピンドル用に適した回転機械部材
   に流体を給送する装置であつて、該装置は、回転しない
   ように固定されたハウジングと、その内部に回転可能に
   取付けられた中空軸とを有し、該ハウジングは内端が滑
   りリングシールを介してハウジングの入口ダクトに結合
   され、外端が回転機械部材に結合されており、中空軸（
   ２）と同軸でかつそれに対して回転しないように結合さ
   れた連結チューブ（７）が、中空軸（２）の外端（２を
   ）内を軸方向に滑動するように配置され、連結チューブ
   （７）が、中空軸（２）の外端（２ｂ）内を滑動できる
   中空プランジャからなり、戻しばね（１１）の作用力に
   抗して回転機械部材に向って流体の圧力を受けて移動さ
   れ、流体によって動作中はこの連結チューブ（７）が回
   転機械部材（６）と、これに向う軸方向運動によって係
   合され、また流体の存在しない動作中は、回転機械部材
   （６）から離れる軸方向運動によって該部材から解放さ
   れるように、中間に配設された密封部材（８）によつて
   この回転機械部材と係合されることを特徴とする回転機
   械部材への流体給送装置。 ２、とくに工作機械スピンドル用に適した回転機械部材
   に流体を給送する装置であって、該装置は回転しないよ
   うに結合されかつその内部に回転可能に取付けられ中空
   軸をもつハウジングを有し、該ハウジングは内端が滑り
   リングシールを介してハウジングの入口ダクトに結合さ
   れ、外端が回転機械部材に結合されており、中空軸（２
   ′）と同軸でかつそれに対して回転しないように結合さ
   れた連結チューブ（７′）が、中空軸（２′）の外端（
   ２ｂ）に設けられ、ハウジング（１′）がサーボモータ
   （２５，２６；Ｍ）の作用を受けて回転機械部材（６）
   に対して軸方向に移動可能であり、連結チューブ（７′
   ）が、流体によって作動中は、回転機械部材（６）とこ
   れに向うハウジング（１′）の軸方向運動によって回転
   機械部材（６）と係合され、また流体の存在しない運動
   中は回転機械部材から離れるハウジング（１′）の軸方
   向運動によって該回転機械部材から解放されるように、
   中間に配設された密封部材（８′）によって回転機械部
   材（６）と係合されることを特徴とする回転機械部材へ
   の流体供給装置。 ３、連結チューブ（７，７′）がその自由端において、
   回転機械部材（６）の対向する中心孔（９）内に押入可
   能な延長部分（７ａ）をもっていることを特徴とする請
   求項１または２に記載の流体供給装置。 ４、延長部分（７ａ）が円筒形であることを特徴とする
   請求項３に記載の流体供給装置。５、延長部分（７ａ）
   を係合位置において囲む少くとも１つのＯリングシール
   （８）が中心孔（９）内に配置されていることを特徴と
   する請求項３または４に記載の流体供給装置。 ６、延長部分（７ａ）が回転機械部材（６）との係合位
   置において、回転機械部材（６）の截頭円錐形表面（１
   ０）と当接される截頭円錐形部分（７ｂ）によって連接
   されていることを特徴とする請求項４または５に記載の
   流体供給装置。 ７、オーバーフローチューブ（１２）が連結チューブ（
   ７）内で軸方向に移動可能であり、該オーバーフローチ
   ューブの一端、すなわち外端 （１２ａ）が連結チューブ（７）の延長部分（７ａ）か
   ら突出し、その他端、すなわち内端（１２ｂ）が流体の
   流れを閉じる方向の止め弁のばね偏倚型弁体（１３）と
   当接し、かつ連結チューブ（７）の回転機械部材（６）
   に向う前進運動の大部分中に、弁体（１３）がその弁座
   （１３ｂ）と当接し、オーバーフローチューブ（１２）
   の外端（１２ａ）が回転機械部材（６）の肩部（９ｂ）
   と当接したときにのみ、その内端（１２ｂ）によって弁
   座（１３ｂ）から離れ動かされるように、オーバーフロ
   ーチューブ（１２）の内端（１２ｂ）の近傍において少
   くとも１つのオーバーフロー開口（１４）がオーバーフ
   ローチューブ（１２）に配設されていることを特徴とす
   る請求項１に記載の流体供給装置。 ８、偏倚ばね（２０）の作用力に抗して流体の流れの方
   向に開口する止め弁（２１）が連結チューブ（７）内に
   配設されていることを特徴とする請求項１に記載の流体
   供給装置。９、サーボモータがピストン・シリンダユニ
   ット（２５，２６；Ｍ）であることを特徴とする請求項
   ２に記載の装置。 １０、ハウジング（１′）が環状のピストン（２５）を
   有し、ハウジングを同心的に囲むシリンダ（２６）内で
   滑動可能であることを特徴とする請求項９に記載の流体
   供給装置。１１、連結チューブの自由端に、回転機械部
   材の対応する延長部分に押しかぶされるスリーブをもっ
   ていることを特徴とする請求項１または２に記載の流体
   供給装置。