JPH03207482A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH03207482A JPH03207482A JP394190A JP394190A JPH03207482A JP H03207482 A JPH03207482 A JP H03207482A JP 394190 A JP394190 A JP 394190A JP 394190 A JP394190 A JP 394190A JP H03207482 A JPH03207482 A JP H03207482A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- tank
- inert gas
- organic solvent
- solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005406 washing Methods 0.000 title abstract 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 59
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 6
- 238000005273 aeration Methods 0.000 claims 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 10
- 238000013459 approach Methods 0.000 abstract description 3
- 239000002360 explosive Substances 0.000 abstract description 3
- 206010061218 Inflammation Diseases 0.000 abstract 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract 1
- 230000004054 inflammatory process Effects 0.000 abstract 1
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000008674 spewing Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産東上の利用分野）
本発明は、例えば半導体装置の製造工程で、プリント配
線板の半田付け後に行うフランクス残渣の除去工程で用
いる洗浄装直に関する．〔従来の技術〕 周知のように、プリント配線板の製造工程では、半田付
けの後工程として半田付けの際にプリント配線板に豐布
したフランクスの残渣を除去するために、アルコール類
などの有機溶剤を洗浄剤としてプリント配線板を洗浄す
るようにしている．ここで用いる洗浄装置の一般構造は
洗浄槽内にアルコール類の有機溶剤を収容したものであ
り、有機溶剤の液中にワーク（プリント配線板）を浸漬
してフラックス残渣を洗浄する． また、前記したアルコール類の有機溶剤は揮発性．可燃
性があり、特に不測な引火に伴う火災発生などの保安面
には十分な配慮が必要であり、このために従来では溶剤
を常温で使用する他、洗浄槽を密閉化して可燃性蒸気の
周囲逸散１槽内への引火をできるだけ抑えるなどの手段
を講じている．〔発明が解決しようとする課題〕 上記のように従来の洗浄装置では引火，火災に対する一
応の保安対策を講じているが、なお保安，洗浄能力の面
で次記のようなｍ題を残している．すなわち、 （１）ワークの洗浄中に有機溶剤が揮発して生じた可燃
性蒸気は洗浄槽内に拡散して酸素を含む空気と混合する
が、この場合に可燃性蒸気の濃度が高まると爆気を形戚
する．このために、万一引火源が近くにあると容易に引
火，爆発して火災を引き起こす危険がある． （２）一方、従来では有機溶剤の温度上昇をできるだけ
避けるように常温で使用しているために、洗浄力が低く
抑えられて有ｍ溶剤の洗浄能力を十分に発揮できない．
これを補うために、従来では前段洗浄として例えば塩素
系溶剤を用いた洗浄工程を追加するようにしている． 本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、前記
した有機溶剤を洗浄剤として用いる洗浄装厘を対象に、
引火，火災に対する保安性の改善、並びに高い保安性を
確保しつつ洗浄能力の向上が図れるようにした洗浄装置
を提供することを目的とする． 〔課題を解決するための手段〕 上記課題を解決するために、本発明の洗浄装置では、 （１）引火，火災に対する保安性の改善を目的に、ワー
ク洗浄時に洗浄槽の液中へ外部より不活性ガスを導入し
て散気する不活性ガス供給手段を備えて構威するものと
する． （２）また、引火，火災に対する高い保安性を確保しつ
つ洗浄能力の向上を目的に、洗浄槽の液中に浸漬配備し
た加熱ヒータと、有機溶剤が万一引火した際にこれを感
知する引火検知センサ，および該センサの検知信号を碁
に洗浄槽内へ向けて消火剤を放出する消火手段とを傭え
て構威するものとする． 〔作用〕 前項（１）に記した本発明の第１の形態では、洗浄槽内
で有機溶剤の液中に導入１散気された不活性ガスは気泡
となって液中を上昇し、液面上に出た後に槽内の上部空
間に拡散して該空間を不活性ガスの雰囲気にガス置換す
る．したがって槽内空間には酸素分が無く有機溶剤の可
燃性蒸気で燦気を形威することがなくなる．したがって
この状態で万一引火源が近かついても引火して火災を発
生する危険性は殆どない． また、前項（２）に記した本発明の第２の形態では、有
機溶剤の液をヒータにより加温するようにしたので洗浄
力が大幅に増大する．これにより前段洗浄工程を追加す
る必要なしにワークを十分に洗浄できる．また、有一溶
剤，ないしその蒸気に万一引火して燃焼した隙には、こ
れを引火検知センサが感知して直ちに消火剤を洗浄槽内
に向け放出して消火するように働く． 〔実施例〕 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する．まず、
第１図は本発明の第１形態による実施例を示したもので
あり、図において１は洗浄槽、２は洗浄槽１内に収容し
たアルコール類の可燃性有ｍ溶剤、３は有機溶剤の液中
に浸漬したプリント配線板などのワークを示す．ここで
、洗浄槽１の槽内底部には敞気管４が配管されており、
該散気ｗ４は図示されてない外部の不活性ガス源に接続
されている．なお、不活性ガスとしては炭酸ガス，窒素
ガスなどが使用される．また、洗浄槽１の上部外周部を
包囲してここに排気バンド５を備えており、この排気バ
ンド５より吸引した排気ガスを排気ファン６，排気ダク
ト７を通じて排気処理系へ導くようにしている． 上記の構威で、ワーク３の洗浄に際して洗浄槽１の底部
より外部から導入した不活性ガスを散気すると、不活性
ガスは気泡となって有機溶剤２の液中を上昇し、液面よ
り出て槽内の上部空間１ａに拡散する．したがって槽内
の上部空間１ａの雰囲気は不活性ガスでガス置換されこ
とになり、この状態で有機溶剤２が揮発して可燃性蒸気
が発生しても槽内の空間には空気が殆ど存在しないので
爆気を形成するおそれはない．これにより、万一引火源
が近づいても有機溶剤．ないしその蒸気に引火して燃焼
する危険性は殆どなく安全である．第２図は本発明の第
２形態による実施例を示すものであり、洗浄槽ｌの槽内
庭部には有Ｉ溶剤２の液中に浸漬して溶剤加温用のヒー
タ８が配備されている、また、洗浄Ｉ！１の槽内上部空
間には溶剤の蒸気を冷却して凝縮させる凝＊ｉｉコイル
９が配管されている。
線板の半田付け後に行うフランクス残渣の除去工程で用
いる洗浄装直に関する．〔従来の技術〕 周知のように、プリント配線板の製造工程では、半田付
けの後工程として半田付けの際にプリント配線板に豐布
したフランクスの残渣を除去するために、アルコール類
などの有機溶剤を洗浄剤としてプリント配線板を洗浄す
るようにしている．ここで用いる洗浄装置の一般構造は
洗浄槽内にアルコール類の有機溶剤を収容したものであ
り、有機溶剤の液中にワーク（プリント配線板）を浸漬
してフラックス残渣を洗浄する． また、前記したアルコール類の有機溶剤は揮発性．可燃
性があり、特に不測な引火に伴う火災発生などの保安面
には十分な配慮が必要であり、このために従来では溶剤
を常温で使用する他、洗浄槽を密閉化して可燃性蒸気の
周囲逸散１槽内への引火をできるだけ抑えるなどの手段
を講じている．〔発明が解決しようとする課題〕 上記のように従来の洗浄装置では引火，火災に対する一
応の保安対策を講じているが、なお保安，洗浄能力の面
で次記のようなｍ題を残している．すなわち、 （１）ワークの洗浄中に有機溶剤が揮発して生じた可燃
性蒸気は洗浄槽内に拡散して酸素を含む空気と混合する
が、この場合に可燃性蒸気の濃度が高まると爆気を形戚
する．このために、万一引火源が近くにあると容易に引
火，爆発して火災を引き起こす危険がある． （２）一方、従来では有機溶剤の温度上昇をできるだけ
避けるように常温で使用しているために、洗浄力が低く
抑えられて有ｍ溶剤の洗浄能力を十分に発揮できない．
これを補うために、従来では前段洗浄として例えば塩素
系溶剤を用いた洗浄工程を追加するようにしている． 本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、前記
した有機溶剤を洗浄剤として用いる洗浄装厘を対象に、
引火，火災に対する保安性の改善、並びに高い保安性を
確保しつつ洗浄能力の向上が図れるようにした洗浄装置
を提供することを目的とする． 〔課題を解決するための手段〕 上記課題を解決するために、本発明の洗浄装置では、 （１）引火，火災に対する保安性の改善を目的に、ワー
ク洗浄時に洗浄槽の液中へ外部より不活性ガスを導入し
て散気する不活性ガス供給手段を備えて構威するものと
する． （２）また、引火，火災に対する高い保安性を確保しつ
つ洗浄能力の向上を目的に、洗浄槽の液中に浸漬配備し
た加熱ヒータと、有機溶剤が万一引火した際にこれを感
知する引火検知センサ，および該センサの検知信号を碁
に洗浄槽内へ向けて消火剤を放出する消火手段とを傭え
て構威するものとする． 〔作用〕 前項（１）に記した本発明の第１の形態では、洗浄槽内
で有機溶剤の液中に導入１散気された不活性ガスは気泡
となって液中を上昇し、液面上に出た後に槽内の上部空
間に拡散して該空間を不活性ガスの雰囲気にガス置換す
る．したがって槽内空間には酸素分が無く有機溶剤の可
燃性蒸気で燦気を形威することがなくなる．したがって
この状態で万一引火源が近かついても引火して火災を発
生する危険性は殆どない． また、前項（２）に記した本発明の第２の形態では、有
機溶剤の液をヒータにより加温するようにしたので洗浄
力が大幅に増大する．これにより前段洗浄工程を追加す
る必要なしにワークを十分に洗浄できる．また、有一溶
剤，ないしその蒸気に万一引火して燃焼した隙には、こ
れを引火検知センサが感知して直ちに消火剤を洗浄槽内
に向け放出して消火するように働く． 〔実施例〕 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する．まず、
第１図は本発明の第１形態による実施例を示したもので
あり、図において１は洗浄槽、２は洗浄槽１内に収容し
たアルコール類の可燃性有ｍ溶剤、３は有機溶剤の液中
に浸漬したプリント配線板などのワークを示す．ここで
、洗浄槽１の槽内底部には敞気管４が配管されており、
該散気ｗ４は図示されてない外部の不活性ガス源に接続
されている．なお、不活性ガスとしては炭酸ガス，窒素
ガスなどが使用される．また、洗浄槽１の上部外周部を
包囲してここに排気バンド５を備えており、この排気バ
ンド５より吸引した排気ガスを排気ファン６，排気ダク
ト７を通じて排気処理系へ導くようにしている． 上記の構威で、ワーク３の洗浄に際して洗浄槽１の底部
より外部から導入した不活性ガスを散気すると、不活性
ガスは気泡となって有機溶剤２の液中を上昇し、液面よ
り出て槽内の上部空間１ａに拡散する．したがって槽内
の上部空間１ａの雰囲気は不活性ガスでガス置換されこ
とになり、この状態で有機溶剤２が揮発して可燃性蒸気
が発生しても槽内の空間には空気が殆ど存在しないので
爆気を形成するおそれはない．これにより、万一引火源
が近づいても有機溶剤．ないしその蒸気に引火して燃焼
する危険性は殆どなく安全である．第２図は本発明の第
２形態による実施例を示すものであり、洗浄槽ｌの槽内
庭部には有Ｉ溶剤２の液中に浸漬して溶剤加温用のヒー
タ８が配備されている、また、洗浄Ｉ！１の槽内上部空
間には溶剤の蒸気を冷却して凝縮させる凝＊ｉｉコイル
９が配管されている。
一方、洗浄槽１の上方には有機溶剤２の引火発生を感知
する引火検知センサとして、温度検出用の熱電対１０，
および赤外線感知センサ１１を備えており、さらに消火
手段として洗浄槽１の槽的に向けて水を注入する放水［
１２。および炭酸ガスなどの消火性ガスを噴出するガス
放出管１３が配管されている。なお、１４． １５は前
記の水．消火性ガス配管に介装１，た電磁弁、１６は熱
電対１０，赤外線感知セン４＋１１の出力信号を碁に電
磁弁１４． １５に動作指令を与える制御部である。
する引火検知センサとして、温度検出用の熱電対１０，
および赤外線感知センサ１１を備えており、さらに消火
手段として洗浄槽１の槽的に向けて水を注入する放水［
１２。および炭酸ガスなどの消火性ガスを噴出するガス
放出管１３が配管されている。なお、１４． １５は前
記の水．消火性ガス配管に介装１，た電磁弁、１６は熱
電対１０，赤外線感知セン４＋１１の出力信号を碁に電
磁弁１４． １５に動作指令を与える制御部である。
かかる構成で、ワーク３の洗浄時にはヒータ８に通電し
て有機溶剤２を昇湿させる．これにより常温使用と比べ
て有機溶剤２の洗浄力が大輻に増大する。また、ヒータ
加熱により洗浄槽１の槽内に発生した有機溶剤２の蒸気
は、ｍ縮器コイル９との熱交換作用によりｉ縮して液徊
に流下するので殆ど槽外に逸出ずることはない。
て有機溶剤２を昇湿させる．これにより常温使用と比べ
て有機溶剤２の洗浄力が大輻に増大する。また、ヒータ
加熱により洗浄槽１の槽内に発生した有機溶剤２の蒸気
は、ｍ縮器コイル９との熱交換作用によりｉ縮して液徊
に流下するので殆ど槽外に逸出ずることはない。
一方、洗浄装置の稼働中に万一可燃性有機溶剤に引火し
て燃焼が発生した場合茫は、洗浄槽ｌの上方に設置した
熱電対１０，赤外線感知七ンザ１１がこれを感知し、制
御郷１６を通じて電磁弁１４． １５を開放する。これ
区より、洗浄ＷＩ１の櫂内に向けて水．炭酸ガスなとの
消火剤が噴出し２、即時区燃焼を抑えて消火する。
て燃焼が発生した場合茫は、洗浄槽ｌの上方に設置した
熱電対１０，赤外線感知七ンザ１１がこれを感知し、制
御郷１６を通じて電磁弁１４． １５を開放する。これ
区より、洗浄ＷＩ１の櫂内に向けて水．炭酸ガスなとの
消火剤が噴出し２、即時区燃焼を抑えて消火する。
なお、第１図の実施例ｔ第２図の実施例とを組合わせて
実施することも可能である。
実施することも可能である。
本発明による洗浄装置は、以上説明したように構威され
ているので、次記の効果を奏する。
ているので、次記の効果を奏する。
（１）ワーク洗浄時に洗浄櫂の液申へ外部より不活性ガ
スを導入して散気する不活性ガス供給手段を傭えたこと
により、洗浄槽内で耀気を形或することがなく、万−に
引火源が近づいても引火して火災になる危険性が少なく
、従来袋置と比べて保安性が向上１る。
スを導入して散気する不活性ガス供給手段を傭えたこと
により、洗浄槽内で耀気を形或することがなく、万−に
引火源が近づいても引火して火災になる危険性が少なく
、従来袋置と比べて保安性が向上１る。
（２）洗浄槽の液中に漫溜配傭した加熱ヒータと、有ｍ
ｉ剤が引火した隙にこれを感知する引火検知七ンサ，お
よび該七ンザの検知信号を基に洗浄槽内へ向けて消火剤
を放出する消火手段とを循えたことにより、引火．火災
に対して高い保安性を確保しつつ、有ｍ溶剤を加温して
その洗浄能力を大幅に高めることができる。
ｉ剤が引火した隙にこれを感知する引火検知七ンサ，お
よび該七ンザの検知信号を基に洗浄槽内へ向けて消火剤
を放出する消火手段とを循えたことにより、引火．火災
に対して高い保安性を確保しつつ、有ｍ溶剤を加温して
その洗浄能力を大幅に高めることができる。
第１図，第２図はそれぞれ本発明の異なる実施例の構或
図である。図において、 ｌ：洗浄槽、２：有機溶剤、３：ワーク、４：不活性ガ
ス散気管、９：有Ｉ湾剤加熱用Ｌ・一夕、ｌＯ：熱電対
、１ｌ：赤外線感知センザ、１２：放水管、第１図
図である。図において、 ｌ：洗浄槽、２：有機溶剤、３：ワーク、４：不活性ガ
ス散気管、９：有Ｉ湾剤加熱用Ｌ・一夕、ｌＯ：熱電対
、１ｌ：赤外線感知センザ、１２：放水管、第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）可燃性有機溶剤を収容した洗浄槽を備え、有機溶剤
の液中にワークを浸漬して洗浄する洗浄装置において、
ワーク洗浄時に洗浄槽の液中へ外部より不活性ガスを導
入して散気する不活性ガス供給手段を備えたことを特徴
とする洗浄装置。 ２）可燃性有機溶剤を収容した洗浄槽を備え、有機溶剤
の液中にワークを浸漬して洗浄する洗浄装置において、
洗浄槽の液中に浸漬配備した加熱ヒータと、有機溶剤が
万一引火した際にこれを感知する引火検知センサ，およ
び該センサの検知信号を基に洗浄槽内へ向けて消火剤を
放出する消火手段とを備えたことを特徴とする洗浄装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP394190A JPH03207482A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP394190A JPH03207482A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03207482A true JPH03207482A (ja) | 1991-09-10 |
Family
ID=11571154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP394190A Pending JPH03207482A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03207482A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0681679U (ja) * | 1993-04-28 | 1994-11-22 | 株式会社カイジョー | 間接加熱式蒸気洗浄装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6348598A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-03-01 | 富士通株式会社 | 単語音声認識装置 |
| JPH0347575A (ja) * | 1989-07-13 | 1991-02-28 | Senju Metal Ind Co Ltd | 洗浄方法および装置 |
-
1990
- 1990-01-11 JP JP394190A patent/JPH03207482A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6348598A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-03-01 | 富士通株式会社 | 単語音声認識装置 |
| JPH0347575A (ja) * | 1989-07-13 | 1991-02-28 | Senju Metal Ind Co Ltd | 洗浄方法および装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0681679U (ja) * | 1993-04-28 | 1994-11-22 | 株式会社カイジョー | 間接加熱式蒸気洗浄装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5027841A (en) | Apparatus to clean printed circuit boards | |
| JP3043489B2 (ja) | 消火装置 | |
| US7444761B2 (en) | Intrinsically safe flammable solvent processing method and system | |
| JPH03207482A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP4827752B2 (ja) | 排ガスの処理方法および排ガスの処理設備 | |
| JP3044381B2 (ja) | 物品の洗浄方法およびその装置 | |
| JP2784157B2 (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2000516334A (ja) | 過熱蒸気ドライヤーシステム | |
| JPH06320123A (ja) | 揮発性可燃液体を用いる品物の処理方法 | |
| JP2001237211A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPS61152020A (ja) | 処理装置 | |
| JP3467587B2 (ja) | 閉囲空間の消火設備 | |
| JPS648640A (en) | Device for inspecting semiconductor | |
| KR101635065B1 (ko) | 사전 수처리 장치를 포함하는 스크러버 | |
| JPH04371367A (ja) | チッソリフロー装置 | |
| JPH05161881A (ja) | 洗浄装置の防火方法およびその装置 | |
| JP2002233691A (ja) | ドライクリーニング用乾燥機爆発防止装置 | |
| JPS61237429A (ja) | 蒸気乾燥洗浄装置 | |
| JPH04327853A (ja) | くん蒸処理設備 | |
| JPH06128777A (ja) | 防火システムを備えた洗浄装置 | |
| JPH0237105Y2 (ja) | ||
| JPH04333361A (ja) | リフロー装置 | |
| KR100187067B1 (ko) | 강제대류형 로타리히터의 소화시 냄새제거방법 | |
| JP2002100859A (ja) | フラックス残渣の処理方法 | |
| JPH0528491B2 (ja) |