JPH03206401A - 回折格子パターンを有するディスプレイの作製方法 - Google Patents

回折格子パターンを有するディスプレイの作製方法

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JPH03206401A
JPH03206401A JP2233105A JP23310590A JPH03206401A JP H03206401 A JPH03206401 A JP H03206401A JP 2233105 A JP2233105 A JP 2233105A JP 23310590 A JP23310590 A JP 23310590A JP H03206401 A JPH03206401 A JP H03206401A
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進 高橋
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敏貴 戸田
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    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S359/00Optical: systems and elements
    • Y10S359/90Methods

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「発明の目的」 (産業上の利用分野) 本発明は、微小な回折格子(グレーティング)をドット
毎に2次元面に配置することにより形成されるディスプ
レイの作製方法に関するものである。
(従来の技術) 従来から、平面状の基板の表面に回折格子からなる複数
の微小なドットを配置することにより、回折格子パター
ンが形成されたディスプレイが多く使用されてきている
。この種の回折格子パターンを有するディスプレイを作
製する方法としては、例えば特開昭60−156004
号公報に開示されているような方法がある。この方法は
、2光束干渉による微小な干渉縞(以下、回折格子とす
る)をそのピッチ、方向、及び光強度を変化させて,、
感光性フィルムに次々と露光するものである。
一方、最近では、例えば電子ビーム露光装置を用い、か
つコンピュータ制御により平面状の基板が載置されたX
−Yステージを移動させて基板の表面に回折格子からな
る複数の微小なドットを配置することにより、ある絵柄
の回折格子パターンが形成されたディスプレイを作製す
る方法が、本発明者によって提案されている。その方法
は、1988年11月25日にファイルされた米国特許
出願シリアル番号第276,469号に開示されている
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、このようなディスプレイの作製方法にお
いては、回折格子パターンを有するディスプレイの絵柄
としては、イメージスキャナ等で入力した画像とか、あ
るいはコンピュータ・グラフィックスにより作製された
2次元的な画像などが使用されている。このため、回折
格子パターンによって表現される絵柄は回折格子が配置
されている基板上の平面に位置するため平面的な絵柄し
か表現できず、立体的な絵柄を表現できないという問題
がある。
本発明は上記課題を解決するために成されたもので、視
差のあるディスプレイを作製することが可能で、その結
果、立体像の観察が可能な、回折格子パターンを有する
ディスプレイの作製方法を提供することを目的とする。
「発明の構成」 (課題を解決するための手段) 上記目的を達成するための本発明の回折格子パターンを
有するディスプレイの作製方法は、(a)被写体を複数
の位置で観察して、複数の平面画像を求め、前記複数の
平面画像の画像データをコンピュータに入力するステッ
プと、(b)前記複数の画像データから第n番目の画像
データを選択するステップと、 (c)再生光源の位置と観察方向とのデータを入力する
ステップと、 (d)第n番目の画像データの所定のドットデータを入
力するステップと、 (e)再生光源の位置と観察方向とのデータ及び前記ド
ットデータとに基づきグレーティングのピッチ、方向及
びドットの大きさを決定するステップと、 (f)前記ドットデータに基づきX−Yステージを所定
の位置に移動し、電子露光装置を用いてグレーティング
を描画するステップと、(g)前記ドットのアドレスを
順次増して、上記ステップ(d)ないし(f)を前記第
n番目の画像データがなくなるまで繰り返すステップと
、(h)次に別の画像データを選択し、上記ステップ(
b)ないし(g)を、すべての画像データがなくなるま
で繰り返すステップとからなることを特徴とする。
上記目的を達成するために、本発明では以下の別の作成
方法を開示する。すなわち、2光束干渉法を用いて回折
格子パターンを有するディスプレイを作製する方法は、 (a)被写体を複数の位置で観察して、複数の平面画像
を求め、前記複数の平面画像の画像データをコンピュー
タに入力するステップと、(b)前記複数の画像データ
から第n番目の画像データを選択するステップと、 (C)再生光源の位置と観察方向とのデータを入力する
ステップと、 (d)第n番目の画像データの所定のドットデータを入
力するステップと、 (e)再生光源の位置と観察方向とのデータ及び前記ド
ットデータとに基づきグレーティングのピッチ、方向及
び露光時間を決定するステップと、(f)前記ドットデ
ータに基づきX−Y−θステージを所定の位置に移動し
、前記2光東干渉法を用いてグレーティングを形成する
ステップと、(g)前記ドットのアドレスを順次増して
、上記ステップ(d)ないし(f)を前記第n番目の画
像データがなくなるまで締り返すステップと、(h)次
に別の画像データを選択し、上記ステップ(b)ないし
(g)を、すべての画像データがなくなるまで繰り返す
ステップとからなることを特徴とする。
また、前記回折格子の方向Ω及びピッチdを、tan 
(Ω) −sin(α) /s1n(θ〉d=λ/√{
sin2(θ) +sin 2(α)により定めること
が好ましい。なお、照明光の入射角度をθ、回折格子の
観察されるべき角度(1次回折光の方向)をα、1次回
折光の波長をλとする。
(作 用) この様にして作製されたディスプレイを観察すると、右
の方向から観察されたときに見えるべき平面画像は右の
方向から観察され、左の方向から観察されたときに見え
るべき平面画像は左の方向から観察されるため、観察者
は左右で視差のある画像を見ることになり立体像を観察
することができる。
従って、本発明の作製方法では、立体物を複数の方向か
ら観察した2次元画像を、一枚の基板上に、微小なドッ
ト状の回折格子の方向とピッチを変えながら描画するこ
とにより、視差のあるディスプレイを作製することが可
能になる。したがって、このディスプレイを観察すると
立体像の観察が可能になる。
また、本発明のようにドット状に回折格子を形成すると
、データのない位置には回折格子は形戊されないので、
不要な回折格子を作戊する必要がなく、従って、ホログ
ラムに比べてノイズが少なくなる。
更に、本発明の方法によれば、デジタル的に理想的な回
折格子を作成できるので、従来のホログラムに比べて明
るい像を再生できる。
(実施例) 第1図乃至第6図を参照して、本発明に係わる回折格子
パターンを有するディスプレイの作製方法を説明する。
この方法では、電子ビームを用いてディスプレイを作製
している。
まず第1図を用いて、複数枚の平面画像の入力方法を説
明する。
立体表示したい物体85の平面画像80を、テレビカメ
ラ81を用いて撮影する。すなわち、1台のテレビカメ
ラ81を、間隔pで規定される複数の位置に配置し、そ
れぞれの位置に対応した物体85の複数枚の平面画像8
5を撮影する。これらの平面画像85のデータを、デジ
タイザ−83を用いてコンピュータ82に入力し、イメ
ージデータとして記憶させる。ところで、これらの平面
画像85のデータをコンピュータ82へ入力するには、
ビデオテープに録画したデータを用いても良いし、写真
や映画のデータを用いても良い。また、立体表示したい
物体85は、実存する物体に限らず、コンピュータ●グ
ラフィックスであっても良い。
次に、第2図及び第3図を参照して、回折格子の方向Ω
と回折格子のピッチdを決定する方法を説明する。
第2図に示すように、本発明の方法によって作製された
、ドット16を有するディスプレイ15を観察者が観察
すると仮定する。第2図に示すように照明光91の入射
角度をθ、回折格子18によって回折された1次回折光
92の方向をα、1次回折光92の波長をλとすると、
第3図に示すように回折格子18の方向Ω及び回折格子
18のピッチd(空間周波数の逆数)は、以下の式で求
めることができる。なお、照明光91はY−Z平面上を
通るとし、回折光はX−Z平面上を通る゜とする。
tan(Ω) − s1n(α) /sin( θ)d
一λ/s1n2(θ) 十s1n 2(α)上式を用い
ることにより、照明光91を任意の方向に回折するため
の、前記回折格子18の方向Ω及びピッチdを求めるこ
とが可能になる。すなわち、照明光91の入射角度θ、
1次回折光92の方向α、1次回折光92の波長λを与
えれば、回折格子18の方向Ω及びピッチdを得ること
ができる。
以下、第4図及び第5図を用いて電子ビーム露光装置に
よる回折格子の描画について説明する。
電子ビーム露光装置は、電子銃50、アライメント52
、プラン力−54、コンデンサーレンズ56、スティグ
メータ58、ディフレクタ−60、対物レンズ62、X
−Yステージ20からなる。
X−Yステージ20上にはEBレジスト(乾板)14が
載置されている。プランカー54、ディフレクタ−60
、及びX−Yステージ20はコントロールインターフェ
ース64を介してコンピュータ66に接続されている。
電子銃50から照射された電子ビームは、コンピュータ
66に制御され乾板14を走査する。
第5図はX−Yステージ20上に載置された乾板14を
示している。電子銃50から発射された電子ビーム70
はドット16を単位として回折格子パターン18を描画
する。X−Yステージ20を移動させることにより、次
々とドット毎に回折格子パターン18を描画する。
以下第6図を参照して操作手順を説明する。
まず、ステップa1において、立体表示したい物体のN
番目の平面画像をテレビカメラを用いて撮影し、その平
面画像から画像データを読み取り、コンピュータに入力
する。または、コンピュータ・グラフィックスの画像デ
ータをコンピュータに入力してもよい。または、立体表
示したい物体の全ての平面画像を、複数の撮影位置で撮
影し、コンピュータに入力した後、この複数の平面画像
のデータの中からN番目の平面画像を選択してもよい。
次にステップb1において、コンピュータに入力された
平面画像は歪やコントラストなどの補正を必要とする場
合が多いので、コンピュータ上で平面画像の修正を行な
う。
ステップC1では、本発明のディスプレイの観察時にお
ける光源の位置と観察する方向をコンピュータに入力す
る。
次にステップd1において、X−Yステージを原点に移
動させ、ステップe1で、N番目の平面画像に関するド
ットデータをデータファイルからコンピュータに入力す
る。このドットデータは、修正した平面画像の画像デー
タのうち、前記ドットの場所、色(波長)、明るさ、そ
してこのドットの含まれる平面画像を取り込んだときの
立体物に対するドットの方向に関するデータである。
そして、それらのデータとステップc1で入゜力した光
源位置と観察方向とを用いて、ステップfl,gl,h
lでグレーティングのピッチ、方向、ドットの大きさを
決定する。グレーティングのピッチ及び方向は前述の式
を用いて求められる。
また、ドットの大きさはドットに対応する物体の部分の
明るさに比例させる。なおステップfl,gl,hlの
順番はこの例に限らずどの様な順番になってもよい。
次にステップi1において、ステップe1で入力したド
ットデータに基づき、描画すべきドットの位置までX−
Yステージを移動し、ステップj1において、そのドッ
トのグレーティングの描画を前述の電子ビーム露光装置
を用いて行なう。
これらの一連のステップにより、一つのドットに対応し
た回折格子の描画が完了する。
次にステップk1において次のドットのデータを参照す
るために、データファイルのアドレスを1だけ増す。そ
してステップ11おいて、このアドレスにおける画像デ
ータが存在するときには、ステップe1に戻り、別のド
ットのデータを入力し、ステップfl,gl,hl,i
l,jl,k1を繰り返す。この一連のステップを、N
番目の平面画像において、ドットに対応した画像データ
がなくなるまで続ける。こうしてN番目の平面画像の画
像データに基づく回折格子パターンの描画が完了する。
次に、ステップIl1において、N番目の平面画像の描
画が終了したと判断されると、ステップm1に進み、N
+1番目の平面画像を参照する。
ステップnlにおいて、N千1番目の平面画像があると
判断されると、ステップa1に戻り、ステップa1から
fI1までのステップを実行し、N+1番目の平面画像
に対応する回折格子パターンを形成する。
このようにして、ステップa1から01までのループを
実行し、ステップn1において平面画像が存在しないと
判断されると、これで回折格子の全ての描画が終了する
このようにして形成させた回折格子パターンを有する乾
板は複製のための原版として使用される。
複製を行なうためにはよく知られているエンボス法が用
いられる。
次に、本発明の第2の実施例を、第7図ないし第10図
を参照して説明する。この実施例は、2光束のレーザビ
ームを干渉させて回折格子のドットを作製する方法であ
る。
第7図は、2光束干渉により、回折格子パターンを有す
るディスプレイを作製する方法を説明するための斜視図
である。すなわち、第7図に示すように、2本のレーザ
ビーム170a,170bを乾板114上で交わらせる
と、ドット116に干渉縞118が形成される。この干
渉縞118の周期は、2本のレーザビーム170a,1
70bの交わる角度を変えることにより、変化させるこ
とが可能である。コンピュータの指示に従って、X−Y
ステージ120および回転(θ)ステージ128を移動
させながら、この干渉縞118のドット116を乾板1
14上に形成する。この場合、赤(R),緑(G),青
(B)の3色を表わす3種のドット116を形成するた
めに、3通りの角度を有するレーザビームを準備する。
このようにして、赤(R),緑(G),青(B)の3色
スポットを、コンピュータの指示にしたがって乾板11
4上の任意の位置に形成する。
第8図は、乾板上にドットを形成するための光学系を示
す図である。すなわち、第8図において、レーザ122
より発したレーザビームは、全反射ミラー124,12
6により光路を変えられて、ハーフミラー132,13
4,136に入射され、4本のレーザビームBl.B2
,B3,B4に分けられる。この時、4本のレーザビー
ムBl,B2,B3,B4は、互いに等しい強度を持つ
ように設定される。そして、3本のレーザビームBl,
B2,B3は、スリット138によって1本に選択され
、レンズ140、ミラー142を通って乾板114上に
入射される。また、リファレンス光となるレーザビーム
B4は、ミラー144,146,を通って乾板114上
に入射される。この場合、4本のレーザビームBl,B
2,B3,B4は、1点に集まるように調整されている
。また、これらの4本のレーザビームBl,B2,B3
,B4が乾板114上に入射する角度は、回折格子から
の回折光が赤(R),緑(G),青(B)の3色の色を
表わすように、予め計算された値に設定されている。
一方、乾板114はX−Yステージ120上に載置され
、さらにX−Yステージ120は回転ステージ128上
に載置されており、これらステージはコンピュータ制御
により移動できるようになっている。また、4本のレー
ザビームBl,B2,B3,B4は、乾板114の直前
に設けられたシャッター148の開閉によって、露光ま
たは非露光が制御される。
次に、第9図を用いて、本実施例の回折格子パターンを
有するディスプレイの作製方広を説明する。
まず、ステップa2において、立体表示したい物体のN
番目の平面画像をテレビカメラを用いて撮影し、その平
面画像から画像データを読み取り、コンピュータに入力
する。または、コンピュータ・グラフィックスの画像デ
ータをコンピュータに入力してもよい。または、立体表
示したい物体の全ての平面画像を、複数の撮影位置で撮
影し、コンピュータに入力した後、この複数の平面画像
のデータの中からN番目の平面画像を選択してもよい。
次にステップb2において、コンピュータに入力された
平面画像は歪やコントラストなどの補正を必要とする場
合が多いので、コンピュータ上で平面画像の修正を行な
う。
ステップC2では、本発明のディスプレイの観察時にお
ける光源の位置と観察する方向をコンピュータに入力す
る。
次にステップd2において、X−Yステージを原点に移
動させ、ステップe2でドットデータをデータファイル
からコンピュータに入力する。このドットデータは、修
正した平面画像の画像デー夕のうち、前記ドットの場所
、色、明るさ、そしてこのドットの含まれる平面画像を
取り込んだときの立体物に対するドットの方向に関する
データである。
そして、それらのデータとステップc2で入力した光源
位置と観察方向とを用いて、ステップf2,g2,h2
でグレーティングのピッチ、方向、露光時間を決定する
。グレーティングの方向は前述の式を用いて求められる
。なお、1次回折光の方向αが小さいときは、回折格子
のピッチは再生する色のみに依存するので、そのドット
の色によってピッチはR,G,Hの3色のうちのどれか
を選択する。また、露光時間は、第8図の露光装置のシ
ャッターが開かれている時間によって設定でき、ドット
に対応する物体の部分の明るさに比例させる。なおステ
ップf2,g2,h2の順番はこの例に限らずどの様な
順番になってもよい。
次にステップ12において、ステップe2で入力したド
ットデータに基づき、露光すべきドットの位置までX−
Yステージを移動し、ステップj2において、そのドッ
トのグレーティングの露光を第8図の2光束干渉装置を
用いて行なう。これらの一連のステップにより、一つの
ドットに対応した回折格子の形成が完了する。
次にステップk2において次のドットのデータを参照す
るために、データファイルのアドレスを1たけ増す。そ
してステップD2おいて、このアドレスにおける画像デ
ータが存在するときには、ステップe2に戻り、別のド
ットのデータを入力し、ステップf2,g2,h2,i
2.j2.k2を繰り返す。この一連のステップを、N
番目の平面画像において、ドットに対応した画像データ
がなくなるまで続ける。こうしてN番目の平面画像の画
像データに基づく回折格子パターンの形或が完了する。
次に、ステップρ2において、N番目の平面画像の形成
が終了したと判断されると、ステップm2に進み、N+
1番目の平面画像を参照する。
ステップn2において、N千1番目の平面画像があると
判断されると、ステップa2に戻り、ステップa2から
g2までのステップを実行し、N+}番目の平面画像に
対応する回折格子パターンを形或する。
このようにして、ステップa2から02までのループを
実行し、ステップn2において平面画像が存在しないと
判断されると、これで回折格子の全ての形成ステップが
終了する。
このようにして形戊させた回折格子パターンを有する乾
板は複製のための原版として使用される。
複製を行なうためにはよく知られているエンボス法が用
いられる。
本発明は上記実施例に限定されない。種々変形して実施
できる。
「発明の効果」 本発明の回折格子パターンを有するディスプレイの作製
方法によれば、再生すべき物体を複数の異なる位置で観
察して、複数の2次元画像を求め、この各2次元画像を
ドットに分解して、ドット状にディスプレイ是板に回折
格子を形成している。
このように複数の2次元画像に基づきディスプレィ基板
に重ね合わせて回折格子を形戊するので、再生すると前
記物体の立体像を再現よく観察することができる。
また、ホログラム等の立体表示よりも明るくノイズの少
ない像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明にかかる原画像の撮影方法の説明図、 第2図は、本発明ににより作成されたディスプレイの観
察方法の説明図、 第3図は、本発明にかかるドットの拡大図、第4図は、
本発明の第1実施例にかかる回折格子パターンを有する
ディスプレイの作製方法に使用される電子ビーム露光装
置の概略図、第5図は、X−Yステージ上に載置された
EBレジストを示す図、 第6図は、本発明の第1実施例に係る作成方法のフロー
チャート、 第7図は、本発明の第2実施例に使用される2光束干渉
法によりドット状の回折格子を形成する方法を説明する
図、 第8図は、2光束干渉法を実施するための光学系の構成
を示す図、 第9図は、本発明の第2実施例に係る作成方法のフロー
チャートである。 14・・・乾板、16・・・ドット、18・・・回折格
子パターン、20・・・X−Yステージ、70・・・電
子ビーム、80・・・平面画像、81・・・テレビカメ
ラ、82・・コンピュータ、83・・・デジタイザ85
・・・物体。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)(a)被写体を複数の位置で観察して複数の平面
    画像を求め、前記複数の平面画像の画像データをコンピ
    ュータに入力するステップと、 (b)前記複数の画像データから第n番目の画像データ
    を選択するステップと、 (c)再生光源の位置と観察方向とのデータを入力する
    ステップと、 (d)第n番目の画像データの所定のドットデータを入
    力するステップと、 (e)再生光源の位置と観察方向とのデータ及び前記ド
    ットデータとに基づきグレーティングのピッチ、方向及
    びドットの大きさを決定するステップと、 (f)前記ドットデータに基づきX−Yステージを所定
    の位置に移動し、電子露光装置を用いてグレーティング
    を描画するステップと、 (g)前記ドットのアドレスを順次増して、上記ステッ
    プ(d)ないし(f)を前記第n番目の画像データがな
    くなるまで繰り返すステップと、 (h)次に別の画像データを選択し、上記ステップ(b
    )ないし(g)を、すべての画像データがなくなるまで
    繰り返すステップとからなることを特徴とする回折格子
    パターンを有するディスプレイの作製方法。
  2. (2)前記回折格子の方向Ω及びピッチdは、tan(
    Ω)=sin(α)/sin(θ)d=λ/√{sin
    ^2(θ)+sin^2(α)}であり、照明光の入射
    角度をθ、回折格子の観察されるべき角度(1次回折光
    の方向)をα、1次回折光の波長をλとする請求項1に
    記載のディスプレイの作製方法。
  3. (3)(a)被写体を複数の位置で観察して複数の平面
    画像を求め、前記複数の平面画像の画像データをコンピ
    ュータに入力するステップと、 (b)前記複数の画像データから第n番目の画像データ
    を選択するステップと、 (c)再生光源の位置と観察方向とのデータを入力する
    ステップと、 (d)第n番目の画像データの所定のドットデータを入
    力するステップと、 (e)再生光源の位置と観察方向とのデータ及び前記ド
    ットデータとに基づきグレーティングのピッチ、方向及
    び露光時間を決定するステップと、 (f)前記ドットデータに基づきX−Y−θステージを
    所定の位置に移動し、前記2光束干渉法を用いてグレー
    ティングを形成するステップと、 (g)前記ドットのアドレスを順次増して、上記ステッ
    プ(d)ないし(f)を前記第n番目の画像データがな
    くなるまで繰り返すステップと、 (h)次に別の画像データを選択し、上記ステップ(b
    )ないし(g)を、すべての画像データがなくなるまで
    繰り返すステップとからなることを特徴とする2光束干
    渉法を用いて回折格子パターンを有するディスプレイを
    作製する方法。
  4. (4)前記回折格子の方向Ω及びピッチdは、tan(
    Ω)=sin(α)/sin(θ)d=λ/√{sin
    ^2(θ)+sin^2(α)}であり、照明光の入射
    角度をθ、回折格子の観察されるべき角度(1次回折光
    の方向)をα、1次回折光の波長をλとする請求項3に
    記載のディスプレイの作製方法。
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