JPH03197842A - 薄膜密着強度の測定方法 - Google Patents
薄膜密着強度の測定方法Info
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- JPH03197842A JPH03197842A JP33895289A JP33895289A JPH03197842A JP H03197842 A JPH03197842 A JP H03197842A JP 33895289 A JP33895289 A JP 33895289A JP 33895289 A JP33895289 A JP 33895289A JP H03197842 A JPH03197842 A JP H03197842A
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Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、アルミニウム等の半田付不能な薄膜の引き剥
し法による密着強度の測定法に関する。
し法による密着強度の測定法に関する。
［従来の技術］
基板上に形成された薄膜の特性のなかで、その密着強度
は最も重要なものであり、これまで、（Ａ）引き剥し法
（Ｂ）基板変形法（Ｃ）押し込み破壊法など、いろいろ
な評価方法が提案されてきた。なかでも引き剥し法は、
薄膜ｌ上に剛体棒２等を接合した後、引張り試験を行う
ことにより密着強度を測定する方法（第２図）で、定量
的な測定値が得られることから広く利用されてきた。
は最も重要なものであり、これまで、（Ａ）引き剥し法
（Ｂ）基板変形法（Ｃ）押し込み破壊法など、いろいろ
な評価方法が提案されてきた。なかでも引き剥し法は、
薄膜ｌ上に剛体棒２等を接合した後、引張り試験を行う
ことにより密着強度を測定する方法（第２図）で、定量
的な測定値が得られることから広く利用されてきた。
［発明が解決しようとする問題点コ
前記引き剥し法では、測定範囲の上限は接合材の強度に
よって決まってしまうという欠点があった。また、接合
強度が高く、取り扱いが容易な接合材としては、すず−
鉛系の半田が使用されているが、アルミニウム等の活性
で表面に酸化被膜を形成し易い金属の半田付不能な？Ｓ
膜には使用できなかった。
よって決まってしまうという欠点があった。また、接合
強度が高く、取り扱いが容易な接合材としては、すず−
鉛系の半田が使用されているが、アルミニウム等の活性
で表面に酸化被膜を形成し易い金属の半田付不能な？Ｓ
膜には使用できなかった。
本発明は、こうした事情を憂慮してなされたものであっ
て、アルミニウム等の半田付不能な薄膜の密着強度測定
範囲を半田強度まで向上しようとするものである。
て、アルミニウム等の半田付不能な薄膜の密着強度測定
範囲を半田強度まで向上しようとするものである。
Ｅ問題点を解決する為の手段］
本発明者は、半田付不能な′ａ膜においても、基板上に
形成した薄膜上にニッケル、銅等の半田付可能な膜を形
成することにより、半田を接合材とした引き剥し法を使
用できるようにした。
形成した薄膜上にニッケル、銅等の半田付可能な膜を形
成することにより、半田を接合材とした引き剥し法を使
用できるようにした。
卯ち、薄膜上に湿式あるいは乾式めっきにより、半田付
可能な膜を形成し、さらに剛体棒を半田接合した後、引
張り試験を行うことにより密着強度を測定することを特
徴とする薄膜密着強度の測定方法である。
可能な膜を形成し、さらに剛体棒を半田接合した後、引
張り試験を行うことにより密着強度を測定することを特
徴とする薄膜密着強度の測定方法である。
［作用・効果］
従来、エポキシ糸の接着剤では１〜２ ｋｇｆ／ｍｍ２
で破断してしまったが、本発明法により半田の接合強度
まで測定可能となった。
で破断してしまったが、本発明法により半田の接合強度
まで測定可能となった。
し実施例コ
第１回に示すように、基板３上に蒸若したアルミニラ膜
４の密着強度を測定するために、ニッケル膜５を約３ｕ
ｍ蒲着し、さらに銅製のリードビン６を半ｕｌ ７で接
合した後、引張試験を行った。その結果、破断強度は８
ｋｇｆ／ｍｍ”以上であり、破断箇所は接合材である
半田層であった。即ち、アルミニウム膜の密着強度は８
ｋｌ！ｆ／ｍｍ２以上である。
４の密着強度を測定するために、ニッケル膜５を約３ｕ
ｍ蒲着し、さらに銅製のリードビン６を半ｕｌ ７で接
合した後、引張試験を行った。その結果、破断強度は８
ｋｇｆ／ｍｍ”以上であり、破断箇所は接合材である
半田層であった。即ち、アルミニウム膜の密着強度は８
ｋｌ！ｆ／ｍｍ２以上である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明法による引き剥し法の説明図であり、第
２図は一般的な引き剥し法の説明図である。 １：？ｓ膜 ２：剛体棒 ４ニアルミニウム膜 ６：リードビン ３：基板Ａ ５：ニッケル膜 ７：半田
２図は一般的な引き剥し法の説明図である。 １：？ｓ膜 ２：剛体棒 ４ニアルミニウム膜 ６：リードビン ３：基板Ａ ５：ニッケル膜 ７：半田
Claims (1)
- 基板上に形成した薄膜上に、湿式あるいは乾式めっきに
より半田付可能な膜を形成し、さらに前記膜に剛体棒を
半田接合した後、引張り試験を行うことにより薄膜の密
着強度を測定することを特徴とする薄膜密着強度の測定
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33895289A JPH03197842A (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | 薄膜密着強度の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33895289A JPH03197842A (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | 薄膜密着強度の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03197842A true JPH03197842A (ja) | 1991-08-29 |
Family
ID=18322877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33895289A Pending JPH03197842A (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | 薄膜密着強度の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03197842A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008197055A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Fujitsu Ltd | 密着性評価方法 |
| JP2009063363A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Takiron Co Ltd | 下地面と下地表面層の密着力判定方法及び密着力判定具 |
| JP2019053001A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | アイシン精機株式会社 | 引き剥がし力測定装置及び引き剥がし力測定方法 |
-
1989
- 1989-12-26 JP JP33895289A patent/JPH03197842A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008197055A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Fujitsu Ltd | 密着性評価方法 |
| JP2009063363A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Takiron Co Ltd | 下地面と下地表面層の密着力判定方法及び密着力判定具 |
| JP2019053001A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | アイシン精機株式会社 | 引き剥がし力測定装置及び引き剥がし力測定方法 |
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