JPH03197328A - 光学素子製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は光学素子の製造装置に関し、特に光学機能面を
有する光学素子を成形用素材から直接プレス成形により
得るための装置に関する。

［従来の技術及び発明が解決しようとする課題］近年、
所定の表面精度を有する成形用型内に光学素子成形用の
素材たとえばある程度の形状及び表面精度に予備成形さ
れたガラスブランクを収容して加熱下でプレス成形する
ことにより、研削及び研摩等の後加工を不要とした、高
精度光学機能面を有する光学素子を製造する方法が開発
されている。

この様なプレス成形法では、一般に成形用上型部材と成
形用下型部材とをそれぞれ成形周胴型部材内に摺動可能
に対向配置し、これら上型部材、下型部材及び用型部材
により形成されるキャビティ内に成形用素材を導入し、
型部材の酸化防止のため雰囲気を非酸化性雰囲気たとえ
ば窒素雰囲気として、成形可能温度たとえば成形用素材
が１０８〜１０１２ポアズとなる温度まで型部材を加熱
し、型を閉じ適宜の時間プレスして型部材表面形状を成
形用素材表面に転写し、そして型部材温度を成形用素材
のガラス転移温度より十分低い温度まで冷却し、プレス
圧力を除去し、型を開いて成形済光学素子を取出す。

尚、型部材内に導入する前に成形用素材を適宜の温度ま
で予備加熱したり、あるいは成形用素材を成形可能温度
まで加熱してから型部材内に導入することもできる。更
に、型部材とともに成形用素材を搬送しながら、それぞ
れ所定の場所で加熱、プレス及び冷却を行い、連続化及
び高速化をはかることもできる。

以上の様な光学素子プレス成形法及びその装置は、たと
えば特開昭５８−８４１３４号公報、特開昭４９−９７
００９号公報、イギリス国特許第３７８１９９号公報、
特開昭６３−１１５２９号公報、特開昭５９−１５０７
２８号公報及び特開昭６１−２６５２８号公報等に開示
されている。

ところで、以上の様な光学素子のプレス成形においては
、成形時の高温下で成形用素材と型部材とが融着するこ
とがある。ひとたび融着が発生すると、プレス後の冷却
時において成形済光学素子と型部材との熱膨張係数の差
に基づき該素子に作用する引っ張り力により該素子にヒ
ビやワレが生じたり、型内から成形済光学素子を取出す
際に該素子の一部が型部材に付着して残留し以後の成形
に悪影響を及ぼしたりすることがある。

上記融着の防止のためには離型剤を使用することが考え
られるが、光学素子の場合には特に光学機能面が高度の
平滑性を要求されるところ、離型剤の使用はその残留に
より平滑性低下及び透明性低下等の品質低下をもたらす
ので、離型剤の使用は好ましくない。

また、上記融着の発生しにくい型部材の材質も研究され
ているが、型部材材質による融着防止は該型部材の選択
の幅を狭めることになり、この点で不利がある。

そこで、本発明は、成形用素材及び成形済光学素子と型
部材との融着の発生を低減させて良好な成形を行うこと
のできる光学素子製造装置を提供することを目的とする
ものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、上記目的を達成するものとして、 成形用型部材を備えたプレス部を含んでなる成形室と該
成形室に第１の密閉可能ゲートを介して連通可能に接続
された置換室とを有し、該置換室には外部から成形用素
材を送入し及び外部へ成形済光学素子を取出すための第
２の密閉可能ゲートが備えられており、上記置換室から
上記成形室へと成形用素材を搬送する手段及び上記成形
室から上記置換室へと成形済光学素子を搬送する手段を
備えており、更に上記置換室内を減圧する手段と上記置
換室内にある成形用素材を加熱する手段とを有すること
を特徴とする、光学素子製造装置、 が提供される。

本発明においては、上記置換室内にある成形用素材を加
熱する手段が、上記置換室から成形室へと成形用素材を
搬送する手段に設けられている形態がある。

本発明においては、上記成形室内に非酸化性ガスを導入
する手段を有する形態がある。

本発明においては、上記置換室内に非酸化性ガスを導入
する手段を有する形態がある。

［実施例］ 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

第１図は本発明による光学素子製造装置の一実施例の概
略構成を示す縦断面模式図であり、第２図はそのＡ−Ｂ
−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ断面模式図である。

図において、２はケーシングであり、４ａ、４ｂはその
支持脚である。上記ケーシングにより外気と遮断可能に
成形室６及び置換室８が形成されている。９は置換室８
を減圧するための真空ポンプである。成形室６と置換室
８とはその間に設けられた密閉可能なゲートバルブ１０
により区画されており、ちょうど成形室６の側方に置換
室８が付設された形態とされている。該置換室８の下部
には外部との間に密閉可能なゲートバルブ１２が設けら
れている。

該ゲートバルブ１２の下方には、外部から置換室８内へ
と成形用素材を送入し更に該置換室８内から外部へと成
形済光学素子を取出すための送入取出し手段２０が配置
されている。

上記置換室８の近傍には、該置換室８内の成形用素材を
上記成形室６内へと搬送し更に該成形室６内から置換室
８内へと成形済光学素子を搬送する搬送手段２２が配置
されている。

上記成形室６内には、加熱部２４．移送部２６及びプレ
ス部２８が配設されている。

尚、本実施例では、第２図に示されている様に、２つの
同等なプレス部ｐ、、ｐｇが設けられている。

上記加熱部２４は、上記搬送手段２２により成形室６内
に搬送される成形用素材を受取り該素材を適宜の温度に
加熱し、更に上記移送部２６から成形済光学素子を受取
る。

上記移送部２６は、上記加熱部２４にある成形用素材を
上記プレス部２８へと移送し、更に該プレス部にある成
形済光学素子を上記加熱部２４へと移送する。

上記プレス部２８は、上記移送部２６により移送されて
きた成形用素材を適宜の温度にまで加熱した上で成形用
型部材によりプレスする。

以下、各部の詳細につき説明する。

上記送入取出し手段２０において、シリンダ３２が支持
脚３４ａ、３４ｂにより支持されて上下方向に配置され
ている。３６はシリンダ３６により上下移動せしめられ
るピストンロッドであり、その上端には成形用素材また
は成形済光学素子を載置するための載置台３８が取付け
られている。

該載置台３８は、上記成形室６内に２つのプレス部２８
　（ＰＩ　、　ｐｍ　）が設けられてていることに対応
して、成形用素材または成形済光学素子が２つ載置され
る様に第１図の紙面に垂直の方向に２つの載置部が併設
されている。

上記載置台３８は、その上下移動ストロークの上下両端
位置が上記置換室８内及び該置換室外となる様に設定さ
れている。もちろん、載置台３８の上下移動の際には、
置換室８に付設されたゲートバルブ１２が開状態とされ
る。

上記搬送手段２２において、ロッドレスシリンダ４２が
ロッドレスシリンダ支持脚４４ａ、４４ｂにより支持さ
れて上記置換室８の方を向いて水平方向に配置されてい
る。４６は上記ロッドレスシリンダ４２により水平往復
移動せしめられる軸受は部材であり、該軸受は部材には
その移動方向と平行な水平方向の搬送軸４８の一端部が
該軸方向のまわりに回動可能に取付けられている。該搬
送軸の他端部は上記置換室８内まで延びており、その先
端には成形用素材または成形済光学素子を吸着するため
の吸着手段５０が取付けられている。一方、上記軸受は
部材４６には回転シリンダ５２が取付けられており、５
４はその出力ギヤである。また、上記搬送軸４８の先端
部には、上記ギヤ５４と噛み合うギヤ５６が固定されて
おり、従って上記回転シリンダ５２により搬送軸４８を
回動させることができる。

上記吸着手段５０には上下両面にそれぞれ２っづつ吸着
部が設けられており、その配置は上記載置台３８の２つ
の載置部の配置と対応している（第２図参照）。該上下
各面の吸着部は、上記搬送軸４８の１８０°回動により
、上下反転せしめられる。尚、吸着手段５０にはヒータ
が内蔵されている。

上記搬送軸４８に取付けられた吸着手段５０の水平方向
移動は、上記載置台３８の上方の置換室８内の位置（第
１図に示される位置）から上記成形室６内の加熱部２４
の位置まで行う。もちろん、吸着手段５０の水平移動の
際には、置換室８と成形室６との間のゲートバルブ１０
が開状態とされる。

字素子を載置するための載置台６６が取付けられている
。該載置台６６は成形用素材または成形済光学素子が２
つ載置される様に第１図の紙面に垂直の方向に２つの載
置部が併設されている（第２図参照）。

上記載置台６６の上方には加熱筒体６８が支持部材７０
により吊されて配置されている。該筒体６８は下方が開
放されており、その内面にはヒータ７２が取付けられて
いる。

上記載置台６６の上下移動は、上記吸着手段５０が到来
する位置より下方の位置（第１図に示される位置）から
上記加熱筒体６８内の位置まで行う。

上記加熱部２４において、シリンダ６２が成形室６外に
てケーシング２に取付けられており、上下方向に配置さ
れている。６４はシリンダ６２により上下移動せしめら
れるピストンロッドであり、ケーシング２を貫通して成
形室６内まで延びており、その上端には成形用素材また
は成形済光上記移送部２６において、シリンダ８２が成
形室６外にてケーシング２に取付けられており、上下方
向に配置されている。８４はシリンダ８２により上下移
動せしめられるピストンロッドであり、ケーシング２を
貫通して成形室６内まで延びており、その外面には上下
方向のまわりに相対回動自在に回転スリーブ８６が取付
けられている。

該スリーブはケーシング２を貫通しており、その上端に
は水平方向に延びた２股のアーム８８ａ。

８８ｂが付設されている。これらアームの先端には、そ
れぞれ吸着手段９０ａ、９０ｂが取付けられている。一
方の吸着手段９０ａはプレス部Ｐ１に対応しており、他
方の吸着手段９０ｂはプレス部Ｐ２に対応している。各
吸着手段の下面には吸着部が設けられている。また、９
２は上記スリーブ８６をピストンロッド８４に対し回動
させるための駆動手段である。

該スリーブ８６の回動に基づ（上記吸着手段９０ａの回
動は上記加熱部２４の載置台６６上方の位置から第２図
に示される中間位置を含む上記プレス部２８　（ＰＩ　
）の位置まで行うことが必要であり、上記吸着手段９０
ｂの回動は上記加熱部２４の載置台６６上方の位置から
第２図に示される中間位置を含む上記プレス部２８（Ｐ
、）の位置まで行うことが必要である。

上記プレス部２８には、上下方向の固定筒１０２がケー
シング２に固定されている。シリンダ１０４が成形室６
外において上記固定筒１０２の下端部に取付けられてお
り、上下方向に配置されている。１０６はシリンダ１０
４のピストンロッドに接続され上下移動せしめられる下
軸であり、該下軸は上記固定筒１０２内に上下方向に摺
動可能な様に収容されている。

上記固定筒１０２の上端上にはリング状のヒータプレー
ト１０８を介して筒状の調型部材１１０の下端が載置さ
れており、該下端が押えリング１１２により上記固定筒
１０２に対し固定されている。また、上記下軸１０．６
の上端上には下型部材１１４が配置されている。該下型
部材は調型部材１１０内に収容されており、該調型部材
に対し上下方向に摺動可能である。

また、シリンダ１２２が成形室６外においてケーシング
２に対し取付けられており、上下方向に配置されている
。１２４はシリンダ１２２のピストンロッドに接続され
上下移動せしめられる上軸であり、該上軸は上記下軸１
０２の上方において該下軸と同軸状に配置されている。

上軸１２４の下端面は凸球面形状とされており、１２６
は該凸球面形状に対応する凹球面形状の上面を有する球
面座である。該球面座１２６はプレスの際の自動調心の
機能を発揮する。該球面座１２６の下側には上型部材１
２８の上端フランジ部が配置されており、該上端フラン
ジ部が上軸固定の押えリング１３０により係止されてい
る。上型部材１２８は調型部材１１０内に収容されてお
り、該調型部材に対し上下方向に摺動可能である。

尚、上記下型部材１１４の上端面及び上記上型部材１２
８の下端面は成形すべき光学素子の光学機能面形成のた
めの転写面であり、所望の表面精度に仕上げられている
。

上記下軸１０６及び上軸１２４内にはそれぞれ冷媒流通
経路Ｃ，，Ｃ，が設けられている。また、上記ヒータプ
レート１０８、調型部材１１０及び上軸１２４下部には
それぞれヒータＨ１゜Ｈｉ、Ｈａが内蔵されている。

次に、上記本発明実施例装置の動作について説明する。

第３図は各部の動作タイミングを示す図である。

不図示の窒素ガス供給系により成形室６内を窒素雰囲気
で満たしておく。当初、ゲートバルブ１０．１２は閉じ
ている。

先ず、ゲートバルブ１２を開き（”ｒｏ　）　、第１図
に示される下方位置にある載置台３８上に２つの成形用
素材を載置して、該載置台３８をシリンダ３２により上
昇させ、ゲートバルブ１２を通って置換室８内へと導入
する（Ｔ１）。該置換室内において、上記成形用素材は
吸着手段５０の下面側吸着部により吸着される。この時
の吸着手段５０の回動位置を基準状態とし、これから１
８０゜回動した状態を反転状態とする。該吸着は不図示
のエアー吸引手段によりなされる。

次に、載置台３８を少し下降させ、回転シリンダ５２に
より搬送軸４８を１８００回転させ、置換室８内におい
て吸着手段５０を上下反転させる（”ｒｉ、これにより
、成形用素材は吸着手段５０の上面側に位置することに
なる。

次いで、上記載置台３８を置換室８内の位置から該置換
室外の下方位置まで下降させる（Ｔ、）。

次に、ゲートバルブ１２を閉じ（Ｔ、）　、真空ポンプ
９により置換室８内を減圧し、吸着手段５０に内蔵され
ているヒータにより成形用素材を予備加熱する。

この予備加熱は、真空度をたとえば１０Ｔｏ　ｒｒ以下
、好ましくはＩＴｏｒｒ以下、より好ましくは０．ＩＴ
ｏｒｒ以下で行う。更に、該予備加熱は、たとえば１０
０℃以上の温度で行う。また、該予備加熱は、たとえば
１０秒間以上、好ましくは３０秒間以上、より好ましく
は１分間以上行う。

この予備加熱により、成形用素材の表面に吸着されてい
る異物を除去する。

次いで、置換室８内に不図示の窒素ガス供給系により窒
素ガスを供給し、該置換室８内を窒素雰囲気で満たした
後、ゲートバルブ１０を開く（Ｔ、）。

そして、シリンダ４２により搬送軸４８を成形室６の方
へと移動させ、吸着手段５０を成形室６内の加熱部２４
の下限位置の載置台６６の上方に位置させる（’ｒｓ　
）　。

次に、この位置で、回転シリンダ５２により搬送軸４８
を１８０°回転させ、吸着手段５０を上下反転させる（
Ｔ、）。

そして、加熱部のシリンダ６２により載置台６６を少し
上昇させ、上記吸着手段５０の下面側に吸着されている
成形用素材を吸着解除により載置台６６上に置く。

尚、該載置台６６は上記吸着手段５０の到来に先立って
、シリンダ６２により上限位置まで上昇せしめられ（Ｔ
、）　、加熱筒体６８内に適宜の時間配置されることに
より、適宜の温度まで加熱され、しかる後に第１図で示
される下方位置まで下降せしめられ（ＴＩ、）でいる、
従って、該載置台６６上に成形用素材が置かれた時に、
該素材が温度ショックで割れる様なことがない。

次に、載置台６６を下限位置まで少し下降させて搬送軸
４８を水平方向に移動させることにより吸着手段５０を
置換室８まで後退させ（Ｉ６）、ゲートバルブ１０を閉
じる（Ｔ、）。

尚、成形用素材の載置された載置台６６は上記Ｔ６より
後且つＴ、より前において、シリンダ６２により上限位
置まで上昇せしめられ（Ｔｃ）、加熱筒体６８内に適宜
の時間配置されることにより、適宜の温度差で加熱され
、Ｉ９より後において第１図で示される下方位置まで下
降せしめられる（Ｔ、）。

次いで、回動駆動手段９２によりアーム８８ａ、８８ｂ
を回動させて、先ず吸着手段９０ａを上記載置台６６の
上方に位置させ（Ｔ、。）、加熱部のシリンダ６２によ
り載置台６６を少し上昇させ、該載置台６６上の第１の
成形用素材を上記吸着手段９０ａに吸着させ、再び載置
台６６を少し下降させる。該吸着は不図示のエアー吸引
手段によりなされる。

次に、回動駆動手段９２によりアーム８８ａ。

８８ｂを回動させて、吸着手段９０ａを第１のプレス部
Ｐ１へと移動させる（Ｔ、、）。ここで、吸着手段９０
ａにより吸着されている成形用素材Ｇ１は胴壁部材１１
０の側部に設けられた開口１１１を通って調型部材内部
へと導入され（第４図（ａ））、ここで移送部のシリン
ダ８２により吸着手段９０ａが少し下降せしめられ（第
４図（ｂ、）　）　、下型部材１１４上に成形用素材が
置かれる（第４図（ｃ））。

尚、上記Ｔ１゜において吸着手段９０ｂは上記第２のプ
レス部Ｐ８へと移動せしめられ、上記Ｔｌｌにおいて吸
着手段９０ｂは上記載置台６６の上方に位置せしめられ
る。そして、Ｔｌｌにおいて加熱部のシリンダ６２によ
り載置台６６を少し上昇させ、該載置台６６上の第２の
成形用素材を上記吸着手段９０ｂに吸着させ、再び載置
台６６を少し下降させる。

続いて、上記アーム８８ａ、８８ｂを回動させて、吸着
手段９０ｂを第２のプレス部Ｐ、へと移動させる（Ｔ＋
ｓ）−ここで、上記第１のプレス部Ｐ、の場合と同様に
、吸着手段９０ｂにより吸着されている成形用素材は胴
壁部材１１０の側面に設けられた開口を通って調型部材
内部へと導入され、ここでシリンダ８２により吸着手段
９０ｂが少し下降せしめられ、下型部材１１４上に成形
用素材が置かれる。

次に、アーム８８ａ、８８ｂを回動させて、吸着手段９
０ｂを第２のプレス部から中間位置に戻す（Ｔ、、）、
尚、上記Ｔ１８において吸着手段９０ａは上記載置台６
６の上方に位置せしめられ、上記Ｔ　Ｉ４において吸着
手段９０ａは中間位置に戻る。

かくして第２図に示される状態とする。

次に、２つのプレス部２８　（ＰＩ　、　ＰＩ　）にお
いて、プレス成形が実行される。

尚、上記旧型部材１１０内への成形用素材Ｇ１の導入時
には、上軸１２４はシリンダ１２２により上方へと引き
上げられており、これにより、上記第４図（ａ）〜（ｃ
）に示される様に、上型部材１２８が旧型部材１１０内
で上方位置へと移動しており、これにより上記胴壁部材
側部の開口１１１が型部材内のキャビティと連通してい
て、ここからキャビティ内に成形用素材Ｇ、が導入され
る。

プレス時には、上記シリンダ１２２により上軸１２４が
下方へと移動せしめられ、上型部材１２８が上記胴壁部
材１１０の開口１１１をふさぎ、キャビティが閉塞され
、更に上型部材１２８が下方へと押圧されることにより
キャビティ内の成形用素材がプレス成形され、光学素子
Ｇ２が形成される（第４図（ｄ））、尚、上型部材１２
８は押えリング１３０の下端が胴壁部材１１０の上端に
当接するまで下方に移動する。

該プレス成形は、ヒータＨ＋　、Ｈｓ　、Ｈｓにより成
形用素材を成形可能な粘度となるまで加熱した上で適宜
の時間行い、キャビティ形状に成形した後に、冷媒流通
経路Ｃ，，Ｃ，に冷媒を通して、成形済光学素子を冷却
する。該冷却過程では、シリンダ１０４により下型部材
１１４を上方へと適度の圧力（但し、シリンダ１２２に
よる上型部材１２８の下方への押圧力より小さい圧力）
で押圧して、光学素子の収縮に伴うヒケの発生を防止す
る。

しかる後に、上軸１２４を上昇させ、旧型部材側部の開
口１１１を開く。

そして、上記プレス部２８への成形用素材の導入時とほ
ぼ逆の順序で、移送部２６の吸着手段９０ａ、９０ｂを
移動させ、第１のプレス部Ｐ、及び第２のプレス部Ｐ８
の成形済光学素子をそれぞれ吸着して取出し、順次加熱
部２４の載置台６６上に置き、最後に吸着手段９０ａ、
９０ｂを第２図に示される中間位置に置＜（Ｔ＋ｓ〜Ｔ
＋Ｊ。

尚、上記Ｔ１ｍより後且つＴ１６より前において、シリ
ンダ６２により載置台６６を上昇させ（Ｔ、）て加熱筒
体６８内に移動させ、適宜の温度に加熱を行った後に、
第１図に示される下方位置へと移動させ（Ｔ、）でおく
、これは、上記Ｔ、〜Ｔ、と同様の工程である。

他方、上記Ｔ０〜Ｔ、と同様にして、ゲートバルブ１２
を開き、載置台３８上の新たな成形用素材を置換室８内
にて吸着手段５０により吸着し、予備加熱して、成形室
６内の加熱部２４へと搬送する（Ｔ、。〜Ｔ、。）。

尚、上記ＴＩは上記ＴＩより後となる様にタイミングが
調整されている。

そして、上記載置台６６を少し上昇させ、該載置台上に
ある成形済光学素子を吸着手段５０の下側吸着部により
吸着し、上記載置台６６を少し下降させた後に、上記吸
着手段５０を反転させ（Ｔｚ、）、次いで上記載置台６
６を少し上昇させ、新たに下側となった吸着部に吸着さ
れている成形用素材を載置台６６上に置く。

そして、上記Ｔ、〜Ｔ１と同様にして、吸着手段５０を
加熱部２４から置換室８内へと移動させ（Ｔａｍ）た後
に、ゲートバルブ１０を閉じる（”ｒｓｓ）。

尚、上記Ｔ、−Ｔ、と同様にして、成形用素材の載置さ
れた載置台６６は上記Ｔｓｓより後且つＴよ。より前に
おいて、シリンダ６２により上限位置まで上昇せしめら
れ（ＴＩ）、加熱筒体６８内に適宜の時間配置されるこ
とにより、適宜の温度まで加熱され、Ｔ、。より後にお
いて第１図で示される下方位置まで下降せしめられる（
’ｒｈ）。

以下、移送部２６及びプレス部２８において、上記Ｔ１
゜〜Ｔ１゜と同様の工程が実行される。

一方、ゲートバルブ１２を開き（Ｔ、。）、更なる新た
な成形用素材を載置した載置台３８を上昇させ（Ｔ□）
、置換室８内にて吸着手段５０の下側吸着部により吸着
した後に、該載置台３８を少し下降させ、次に回転シリ
ンダ５２により搬送軸４８を１８０°回転させ、吸着手
段５０を上下反転させ（Ｔａｍ）、載置台３８を少し上
昇させ、新たに下側となった吸着部に吸着されている成
形済光学素子を載置台３８上に置く０次に、該載置台３
８を置換室８外まで下降させ（”ｒｓ、）　、ゲートバ
ルブ１２を閉じる（１口）。

以上により、載置台３８上に置いた成形用素材がプレス
成形されて、該載置台上に回収される。

以下、同様に繰り返すことにより、連続的にプレス成形
を行うことができる。

上記置換室８内での予備加熱処理は、成形用素材の表面
に吸着されている水分、有機物等の異物を揮散させ除去
するために行うのであり、減圧下で加熱するものである
。

上記置換室８内での予備加熱条件を変化させて直径２６
ｍｍのレンズを製造した。

ここで用いた成形用素材はＳＦ８であり、また成形用型
部材として超硬合金製母材の表面にスパッタリングで窒
化チタン（ＴｉＮ）の薄膜（厚さ１μｍ）を付与したも
のを用いた。プレス時の温度は５２０℃であり、プレス
圧力（全圧）は６００Ｋｇとした。

上記置換室８内での予備加熱処理を、以下の４条件で行
った（各１００個）。

（１）真空度：１０−’Ｔｏｒｒ 加熱温度：３００℃ 加熱時間；３分間 （２）真空度：１０−’Ｔｏｒｒ 加熱温度：４００℃ 加熱時間＝１分間 （３）真空度：　５Ｘ　１０−”Ｔｏｒｒ加熱温度：３
００℃ 加熱時間：３分間 （４）真空度：５Ｘ１０−″Ｔｏｒｒ 加熱温度７４００℃ 加熱時間＝１分間 その結果、いずれの条件を用いた場合も、光学素子のヒ
ビ、ワレ等の破損や融着等の発生はなかった。

比較のために、上記置換室８内での予備加熱処理を行わ
ずにプレス成形したところ、得られた光学素子の５８％
にヒビ、ワレが発生した。

以上の様な置換室８内での予備加熱処理の効果は、（１
）成形用素材の表面から水分を除去することにより、プ
レス時に該型部材が酸化されるのを防止でき、これによ
り型部材表面酸化に基づ（融着発生を抑制しく融着発生
の一因は型部材表面の酸化のせいである）、更に、（２
）成形用素材の表面から水分を除去することにより、型
部材及び成形済光学素子の強度が向上し、これにより該
素材及び光学素子の破砕を抑制している（成形用素材の
表面には多くのマイクロクラックがあり、該クラック内
の水分等の異物の存在が強度低下の一因である）、こと
に基づくと考えられる。

尚、上記本発明実施例においては置換室８内での予備加
熱処理を吸着手段５０に内蔵されているヒータを用いて
行っているが、置換室８自体にヒータを備えておき、こ
れにより予備加熱処理を行うこともできる。

【発明の効果］ 以上説明した様に、本発明装置によれば、成形室内の雰
囲気と外気との置換を行う置換室を減圧下での予備加熱
処理室として利用し、該予備加熱処理した後にプレス成
形を行うことにより、装置を大型化することなしに、成
形用素材の表面に吸着している異物を除去しプレス時の
高温下でも該素材及び成形済光学素子と型部材との融着
の発生を抑制し該素材及び成形済光学素子の破砕を防止
することができ、これにより光学素子製造の歩留まりが
向上し、型部材の寿命が長くなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による光学素子製造装置の一実施例の概
略構成を示す縦断面模式図であり、第２図はそのＡ−Ｂ
−Ｃ−Ｄ−Ｅ−Ｆ断面模式図である。 第３図は本発明実施例装置の各部の動作タイミングを示
す図である。 第４図（ａ）〜（ｄ）はいずれも本発明実施例装置のプ
レス部の断面概略図である。 ６：成形室、　　８：置換室、 ９：真空ポンプ、 １０．１２：ゲートバルブ、 ２０；送入取出し手段、 ２２：搬送手段、　　２４：加熱部、 ２６：移送部、　　２８ニブレス部、 ３８：載置台、　　　４８：搬送軸、 ５０：吸着手段、　　６６：載置台、 ６８：加熱筒体、 ９０ａ、９０ｂ：吸着手段、 １０６：下軸、　　　１１０：旧型部材、１１４：下型
部材、　　　１２４：上軸、１２８二上型部材、 Ｈ，ＮＨ，：ヒータ、 ＣＩ、Ｃａ：冷媒流通経路、 Ｐｔ＋Ｐ＊’プレス部。 第 ４ 図 （Ｑ） （ｂ） （Ｃ） （ｄ） ■０

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）成形用型部材を備えたプレス部を含んでなる成形
   室と該成形室に第１の密閉可能ゲートを介して連通可能
   に接続された置換室とを有し、該置換室には外部から成
   形用素材を送入し及び外部へ成形済光学素子を取出すた
   めの第２の密閉可能ゲートが備えられており、上記置換
   室から上記成形室へと成形用素材を搬送する手段及び上
   記成形室から上記置換室へと成形済光学素子を搬送する
   手段を備えており、更に上記置換室内を減圧する手段と
   上記置換室内にある成形用素材を加熱する手段とを有す
   ることを特徴とする、光学素子製造装置。
2. （２）上記置換室内にある成形用素材を加熱する手段が
   、上記置換室から成形室へと成形用素材を搬送する手段
   に設けられている、請求項１に記載の光学素子製造装置
   。
3. （３）上記成形室内に非酸化性ガスを導入する手段を有
   する、請求項１に記載の光学素子製造装置。
4. （４）上記置換室内に非酸化性ガスを導入する手段を有
   する、請求項１に記載の光学素子製造装置。