JPH03186369A - 薬液噴霧ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造装置に使用する薬液噴霧ノズルに関
する。

〔従来の技術〕

従来、この種の薬液噴霧ノズルとしては、第３図の縦断
面図に示すものと第４図の構成図に示すものがある。第
３図に示す二流体式薬液噴霧ノズルは、薬液導入口１１
から薬液を、又、エアー導入口１２からエアーを導入し
、薬液噴出口１３から薬液を、又、エアー噴出口１４か
らエアーを噴出させることにより、薬液を噴霧状にする
ものである。また、第４図に示す回転板式薬液噴霧ノズ
ルは、モーター２で回転板３を高速回転させ、約液導入
管１５から薬液を高速回転した回転板３の上に滴下する
ことにより薬液を噴霧状にし、エアー導入口１２から導
入されたエアーで、薬液を薬液噴霧噴出口９から噴霧状
にして噴出させるものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の薬液噴霧ノズルは、第３図に示したもの
の場合、薬液噴霧の流量が最大０．５ｇ／ｍｉｎ程度し
かとれないという欠点がある。また、第４図に示したも
のの場合、薬液を回転板上に滴下し、その薬液を噴霧状
にするため、回転板を５〜７万ｒｐｍで高速回転させる
必要があり、大型モーターを使用するためノズル機構が
大きくなるという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の薬液噴霧ノズルは、薬液をスプレー状にするた
めのスプレーノズルと、該スプレー状薬液を噴霧化する
ための回転板とを有している。

〔実施例〕

戚 次に本発明について図面を参照して専明する。

第１図は本発明の第一の実施例の構成図である。

第１図に示すように本実施例では、薬液噴霧ノズル本体
１内に、モーター２に接続された回転板３を取付け、ポ
ンプ４で圧送した薬液をスプレー状にする薬液スプレー
ノズル５及びエアー導入管６を回転板３に近接させて取
付ける。本実施例の薬液噴霧ノズルは、かかる構造を有
していることにより、薬液スプレー噴出ロアから噴出さ
れた薬液スプレーが高速で回転している回転板３に噴射
されて噴霧状になり、エアー噴出口８から噴出するエア
ーにより、薬液噴霧噴出口９より噴霧状の薬液が噴出す
る０本実施例の薬液噴霧ノズルは、薬液をスプレー状に
して回転板に噴射するため、回転板の回転が３０００〜
５０００ｒｐｍで薬液を噴霧状にすることができる。第
２図（Ａ）は本発明の第２の実施例の構成図、第２図（
Ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。この実施例では、回転
板３に羽根１０を取付けである。従って、回転している
羽根１０に向けて噴射した薬液スプレーが噴霧状になる
と、回転する羽の風圧により、薬液噴霧が薬液噴霧噴出
口９から噴出するため、高圧エアーが不要となり、ラン
ニングコストが削減できるという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、スプレー状にした薬液を
回転板に噴射することにより、従来の薬液噴霧スプレー
の２〜３倍の薬液噴霧流量を得ることができ、半導体ウ
ェハの洗浄、剥離を短時間で、しかも均一に行うことが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第一の実施例の構成図、第２図は本発
明の第２の実施例を示す図で、図（Ａ）は構成図、図（
Ｂ）はそのＡ−Ａ断面図、第３図は従来の二流体式薬液
噴霧ノズルの縦断面図、・第４図は従来の回転板式薬液
噴霧ノズルの構成図である。 １・・・薬液噴霧ノズル本体、２・・・モーター、３・
・・回転板、４・・・ポンプ、５・・・薬液スプレーノ
ズル、６・・・エアー導入管、７・・・薬液スプレー噴
出口、８・・・エアー噴出口、９・・・薬液噴霧噴出口
、１０・・・羽根、１１・・・薬液導入口、１２・・・
エアー導入口、１３・・・薬液噴出口、１４・・・エア
ー噴出口、１５・・・薬液導入管。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体装置の製造に使用する薬液噴霧ノズルにおいて
   、薬液をスプーレ状にして噴射する薬液スプレーノズル
   と、このスプレー状薬液を吹きつけて噴霧状にする回転
   板とを備えたことを特徴とする薬液噴霧ノズル。