JPH03177008A - 磁器コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、誘電体磁器と少なくとも２つの電極とから成
る単層又は積層構造の磁器コンデンサ及びその製造方法
に関する。

［従来の技術］ 従来、積層磁器コンデンサを製造する際には、誘電体磁
器原料粉末から成るグリーンシート（未焼結磁器シート
）に白金又はパラジウム等の貴金属の導電性ペーストを
所望パターンに印刷し、これを複数枚積み重ねて圧着し
、１３００℃〜１６００°Ｃの酸化性雰囲気中で焼結さ
せた。これにより、誘電体磁器と内部電極とが同時に得
られる。

上述の々ａく、貴金属を使用すれば、酸化性雰囲気中で
高温で焼結させても目的とする内部電極を得ることがで
きる。しかし、白金、パラジウム等の貴金属は高価であ
るため、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高になっ
た。

上述の問題を解決することができるものとして、本件出
願人に係わる特公昭６１−１４６０７号公報には、 （Ｂ　ａ　　　Ｍ　　）　ＯＴ　ｉ　０２　　（但し、
ＭはＭｋ−ＸＸｋ ｇ及びＺｎの内の少なくとも１種）から成る基本成分と
、Ｌｉ　　ＯとＳｉＯ２とから成る添加成分とを含む誘
電体磁器組成物が開示されている。

また、特公昭６１−１４６０８号公報には、上記の特公
昭６１−１４６０７号公報のＬ　１２０とＳ　ｉＯ２の
代りに、Ｌ　ｉ　２０とＳ　ｉ　Ｏ２とＭＯ（但し、Ｍ
ＯはＢａｄ、ＣａＯ及びＳｒＯの内の少なくとも１種）
とから成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示さ
れている。

また、特公昭６１−１４６０９号公報には、（Ｂａ　　
　　　　　　Ｍ　　　　Ｌ　　　　）　　ＯＴｉＯ２Ｎ
旦　し　、　Ｍｋ−ｘ−ｙ　　ｘ　　ｙ　　　ｋ はＭｇ及びＺｎの少なくとも１種、ＬはＳｒ及びＣａの
内の少なくとも１種〉から成る基本成分とＬｌ　０とＳ
　ｉ　Ｏ２とから成る添加成分とを含む誘電体磁器組成
物が開示されている。

また、特公昭６１−１４６１０号公報には、上記の特公
昭６１−１４６０９号公報におけるＬｉ２ＯとＳｉＯの
代りに、Ｌ　ｉ２０とＳｉＯ２とＭＯ（（旦し、ＭＯは
Ｂａｄ、ＣａＯ及びＳｒＯの内の少なくとも１種）とか
ら成る添加成分を含む誘電体磁器組成物が開示されてい
る。

また、特公昭６１−１４６１１号公報には、（Ｂａｋ−
ｘＭｘ）ＯｋＴｉＯ２（但し、ＭはＭｇ、Ｚｎ、Ｓｒ及
びＣａの少なくとＩＪ１種）から成る基本成分と、ＢＯ
と５ｉ０２とから成る添加３ 成分とを含む誘電体磁器組成物か開示されている。

また、特公昭６２−１５９５号公報には、（Ｂａ　ｋ−
ｘ　ＭＸ　）　ＯｋＴ　ｉＯ２（（旦し、ＭはＭｇ、Ｚ
ｎ、Ｓｒ及びＣａの内の少なくとも１種）から成る基本
成分と、Ｂ２Ｏ３とＭＯ＜但しＭＯはＢａＯ，ＭｇＯ１
ＺｎＯ１ＳｒＯ及びＣａＯの少なくとも１種〉とから成
る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている
。

また、特公昭６２−１５９６号公報には、上記の特公昭
６２−１５９５号公報のＢ２Ｏ３とＭＯの代りに、Ｂ２
０３とＳ　Ｉ　Ｏ２とＭＯ（但しＭＯはＢａｄ、ＭｇＯ
，ＺｎＯ，ＳｒＯ及びＣａＯの内の少なくとも１種）と
がら成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示され
ている。

これらに開示されている誘電体磁器組成物は、還元性雰
囲気１２００℃以下の条件の焼成で得ることができ、比
誘電率が２０００以上、静電容量の温度変化率が一２５
℃〜＋８５°Ｃで±１０％の範囲にすることができるも
のである。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、近年の電子回路の高密度化に伴い、積層コン
デンサの小型化の要求が非常に強く、これに対応する為
に、温度変化率を悪化させることなく誘電体の比誘電率
を、上記各公報に開示されている誘電体磁器組成物の比
誘電率よりも更に増大させることが望まれている。

そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気、１２００℃
以下の温度での焼成で得るものであるにも拘らず、高い
誘電率を有し、且つ広い温度範囲にわたって誘電率の温
度変化率か小さい誘電体磁器を備えている磁器コンデン
サ及びその製造方法を提供することにある。

５課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するための本発明は、誘電体磁器と、前
記磁器に接触している少なくとも２つの主極とから成る
磁器コンデンサにおいて、前記磁器が１００．０重１部
の基本成分と、３．０重量部以下の第２の添加成分と、
０．２〜５．０重量部の第２の添加成分とから成り、前
記基本成分が、＜１−α）ｆ（Ｂａ　　　Ｍ　　）Ｏ　
　（Ｔｉ　　　Ｒｋ−ｘｘｋ　　　　１−ｙ ）　Ｏｌ　＋　ａ　Ｃａ　Ｚ　ｒ　Ｏ（但し、Ｍはｙ　
　　２−ｙ／２　　　　　　　　３Ｍｇ、Ｚｎの内の少
なくとも１種の金属、ＲはＳｃ、Ｙ、ＧｄｙＤｙ、Ｈｏ
、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｔｂ、Ｔｍ、Ｌｕの内の少なくとも１種
の金属、αは０゜００５〜０．０４の範囲の数値、ｋは
１．００〜１０５の範囲の数値、Ｘは００１〜０．１０
の範囲の数値、ｙは０．０４以下の０よりも大きい数値
）であり、前記第１の添加成分がＣｒ　２０３とＡＩ　
２０３の内の少なくとも１種の金属酸化物であり、前記
第２の添加成分がＢ２Ｏ３とＳｉＯ２とＭＯ（但し、Ｍ
ＯはＢａｄ、ＳｒＯ，ＣａＯ，ＭｇＯ及びＺｎＯの内の
少なくとも１種の金属酸化物）から成り、且つ前記Ｂ２
Ｏ３と前記５ＩＯ２と前記ＭＯとの組成範囲がこれ等の
組成をモル％で示す三角図における前記８２０３が１モ
ル％、前記Ｓ　ｉＯ２が８０モル％、前記ＭＯが１９モ
ル％の点（Ａ）と、前記Ｂ２Ｏ３が１モル％、前記Ｓ　
ｉ　Ｏ２が３９モル％、前記ＭＯが６０モル％の点（Ｂ
）と、前記Ｂ２Ｏ３が３０モル％、前記Ｓ　１０２が０
モル％、前記ＭＯが７０モル％の点（Ｃ）と、前記Ｂ２
Ｏ３が９０モル％、前記５１０２が０モル％、前記ＭＯ
が１０モル％の点＜Ｄ）と、前記Ｂ２Ｏ３が９０モル％
、前記５ｔ０２が１０モル％、前記ＭＯが０モル％の点
（Ｅ）と、前記ＢＯが２０モル％、前記Ｓ　ｉＯ２が３ ８０モル％、前記ＭＯが０モル％の点（Ｆ）とを順に結
ぶ６本の直線で囲まれた領域内のものであるコンデンサ
に係わるものである。なお、基本成分を示す組成式にお
いて、ｋ−ｘ、ｘ、ｋ、１ｙ、ｙ、２−ｙ／２は勿論そ
れぞれの元素の原子数を示し、（１−α）とαは組成式
の第１項の（ＢａＭ　　）ＯｆＴｉ　　　Ｒ）Ｏ ｋ−ｘ　　Ｘ　　　　ｋ　　　　　１−Ｙ　　Ｙ　　　
　２−ｙ／２　と第２項のＣａＺｒＯ３との割合をモル
で示すものであり、Ｂａはバリウム、０は酸素、Ｔｉは
チタン、Ｍｇはマグネシウム、Ｚｎは亜鉛である。また
、Ｓｃはスカンジウム、Ｙはイツトリウム、Ｇｄはガド
リニウム、Ｄｙはジスプロシウム、Ｈｏはホロニウム、
Ｂｒはエルビウム、Ｙｂはイッテルビウム、Ｔｂはテル
ビウム、Ｔｍはツリウム、Ｌｕはルテチウムである。第
１の添加成分のＣｒ　２０３は酸化クロム、Ａｌ２Ｏ３
は酸化アルミニウムである。第２の添加成分におけるＢ
２Ｏ３は酸化ボロン、Ｓ　ｉＯ２は酸化けい素、Ｂａ０
Ｌｔｆｌ化バリウム、ＳｒＯは酸化ストロンチウム、Ｃ
ａＯは酸化カルシウム、ＭｇＯは酸化マグネシウム、Ｚ
ｎｏは酸化亜鉛である。

製造方法に係わる発明は、上記の基本成分と第１及び第
２の添加成分との混合物を用意する工程と、少なくとも
２つの電極部分を有する前記混合物の成形物を作る工程
と、前記電＠部分を有する前記成形物を非酸化性雰囲気
で焼成する工程と、前記焼成で得られた成形物を酸化性
雰囲気で熟処理する工程とを含む磁器コンデンサの製造
方法に係わるものである。

［作用効果〕 上記発明の磁器コンデンサにおける誘電＃磁器を非酸化
性雰囲気、１２００℃以下の焼成で得ることができる。

従って、ニッケル等の卑金属の導電性ペーストをグリー
ンシートに塗布し、グリーンシートと導電性ペーストと
を同時に焼成する方法によって磁器コンデンサを製造す
ることが可能になる。誘電体ａ器の組成を本発明で特定
された範囲にすることによって、比誘電率が３０００以
上、誘電体損失ｔａｎδが２．５％以下、抵抗率ρがｌ
Ｘ１０６ＭΩ・Ｃ１１以上であり、且つ比誘電率の温度
変化率が一５５℃〜１２５℃で一１５％〜＋１５％（２
５℃を基準）、−２５℃〜８５℃で一１０％〜＋１０％
（２０℃を基準）の範囲に収まる誘電体磁器を備えたコ
ンデンサを提供することができる。

［実施例］ 次に、本発明に従う実施例及び比較例について説明する
。

まず、本発明に従う基本成分の組成式 ％式％ ）Ｏｌ　＋αＣａＺｒＯ３における第１項ｙ　　　２−
ｙ／２ の（Ｂａ　　Ｍ　　）Ｏ（Ｔｉ　　Ｒ）Ｏｋ−ｘ　　Ｘ
　　　ｋ　　　　１−ｙ　　’／　　　２；ｙ／２　（
以下第１基本成分と呼ぶ）を第１表及び第２表の試料Ｎ
ｏ、　１のに−ｘ、　ｘ、　ｙ、　ｋｃｒ）ｌｔｌに示
す割合で得るため、換言すれば、（Ｂａｏ、９６Ｍｏ、
ｏ６）Ｏ　　　（Ｔｉ　　　Ｒ）Ｏ、更に詳細に１．０
２　　　０．９９　０．０１　　１．９９５は、Ｍ　　
　＝Ｍｇ　　　Ｚｎ　　　及びＲ＝ＹｂＯ，０６０，０
５０，０１０，０１ 、。ｏｌであるので、 （Ｂａ　　　　Ｍｇ　　　　Ｚｎ　　　　）Ｏ（ＴｉＯ
，９６０，０５０，０１１，０２０゜９９”　ｂｏ、０
１）　０１．９９５を得るために、純度９つ。

０％以上のＢ　ａ　ＣＯ３（炭酸バリウム）、Ｍｇ０（
酸化マグネシウム）、Ｚｎ０（ｉｌ化亜鉛）、及びＴｉ
Ｏ（酸化チタン）、Ｙｂ２Ｏ３　（酸化インテルビウム
）を用意し、不純物を目方に入れないで ＢａＣ０：１０４１．９６ｇ（０，９６モル部相当） ＭｇＯ：　１１．０９ｇ　（０，０５モル部相当）Ｚｎ
Ｏ：　４．４８ｇ　（０，０１モル部相当）Ｔ１０２　
：　４３５．０６ｇ　＜０．９９モル部相当） Ｙｂ　　Ｏ：１０．８４ｇ（０，００５モル部３ 相当〉を秤量した。

次に、秤量されたこれ等の原料をボットミル（ｐｏｔ　
ｎ１ｌｌ）に入れ、更にアルミナボールと水２゜５Ｊと
を入れ、１５時間湿式攪拌した後、攪拌物をステンレス
ポットに入れて熟風式乾燥器で１５０°Ｃ１４時間乾燥
した６次にこの乾燥物を粗粉砕し、この粗粉砕物をトン
ネル炉にて大気中で１２００℃、２時間仮焼し、上記組
成式の第１基本成分を得た。

また、基本成分の組成式の第２項のＣａＺｒＯ３（以下
、第２基本成分と呼ぶ）を得るために、ＣａＣ０（炭酸
カルシウム）とＺｒＯ２（を化ジルコニウム）とが等モ
ルとなる様に前者を４４８．９６ｇ、後者を５５１．０
４ｇをそれぞれ秤量し、これ等を混合し、乾燥し、粉砕
した後に、約１２５０°Ｃで２時間大気中で仮焼した。

つぎに、第１表の試料Ｎｏ、　１に示すように１−αが
０，９８モル、αが０，０２モルとなるように９８モル
部（９８４，３４ｇ＞の第１基本戒分く””　ａｏ、９
６Ｍｇｏ、０５ＺｎＯ，０１）　０１．０２’　ＴｉＯ
，９９ＹｂＯ，０１＞　０１．９９５の粉末と、２モル
部（１５゜６６ｇ）の第２基本成分（Ｃａ　Ｚ　ｒ　Ｏ
３）の粉末とを混合して１０００ｇの基本成分を得た。

一方、第３表の試料Ｎｏ、　１の第２の添加成分を得る
ために、８２０３を１．０３ｇ　（１モル部）と、Ｓ　
ｚ　Ｏ２を７０．５７ｇ　（８０モル部）と、ＢａＣＯ
３を１１．０３ｇ　（３，８モル部）と、ＣａＣＯ３を
１３．９９ｇ　（９，５モル部）と、ＭｇＯを３．３８
ｇ　（５，７モル部）とをそれぞれ秤量し、この混合物
にアルコールを３００ｃｃ加え、ポリエチレンポットに
てアルミナボールを用いて１０時間撹拌した後、大気中
１０００°Ｃで２時間仮焼成し、これを３００ｃｃの水
と共にアルミナポットに入れ、アルミナボールで１５時
間粉砕し、しかる後、１５Ｑ”Ｃで４時間乾燥させてＢ
　２０３が１モル％、ＳｉＯ２が８０モル％、ＭＯが１
９モル％（ＢａＯ３，８モル％＋Ｃａ０９．５モル％＋
ＭｇＯ５，７モル％）の組成の第２の添加成分の粉末を
得た。なお、ＭＯの内容であるＢａＯとＣａＯとＭｇＯ
との割合は第３表に示すように２０モル％、５０モル％
、３０モル％となる。

次に、１００重量部（１０００ｇ）の基本成分に２重量
部（２０ｇ）の第２の添加成分を添加し、更に、第１の
添加成分として平均粒径が０．５μｍでよく粒の揃った
純度９９．０％以上のＣｒ　２０　とＡ　Ｉ　２０３と
を夫々０．１重量部（１ｇ）添加し、更に、アクリル酸
エステルポリマー、グリセリン、縮合リン酸塩の水溶液
から成る有機バインダを基本成分と第１及び第２の添加
成分との合計重量に対して１５重量％添加し、更に、５
０重量％の水を加え、これ等をボールミルに入れて粉砕
及び混合して磁器原料のスラリーを作製した。

次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡し、この
スラリーをリバースロールコータに入れ、ここから得ら
れる薄膜成形物を長尺なポリエステルフィルム上に連続
して受は取ると共に、同フィルム上でこれを１００’Ｃ
に加熱して乾燥させ、厚さ約２５μｍの未焼結磁器シー
トを得た。このシートは長尺なものであるが、これをｌ
０ＣＩ角の正方形に裁断して使用する。

一方、内部電極用の導電ペーストは、粒径平均１．５μ
ｍのニラゲル粉末１０ｇと、エチルセルロース０．９ｇ
をブチルカルピトール９．１ｇに溶解させたものとを攪
拌機に入れ、１０時間撹拌することにより得た。この導
電ペーストを長さ１４ｍｍ、％ｓ７ｎ＋＋＋のパターン
を５０個有するスクリンを介して上記未焼結磁器シート
の片開に印刷した後、これを乾燥させた。

次に、上記印刷面を上にして未焼結磁器シートを２枚積
層した。この際、隣接する上下のシートにおいて、その
印刷面がパターンの長平方向に約半分程ずれるように配
置した。更に、この積層物の上下両面にそれぞれ４枚ず
つ厚さ６０μｍの未焼結磁器シートを積層した０次いで
、この積層物を約５０℃の温度で厚さ方向に約４（ｌン
の荷重を加えて圧着させた。しかる後、この積層物を格
子状に裁断し、５０個のＭ層チップを得た。

次に、この積層体を雰囲気焼成が可能な炉に入れ、大気
雰囲気中で１００℃／ｈの速度で６００℃まで昇温して
、有機バインダを燃焼させた。しかる後、炉の雰囲気を
大気からＨ２（２体積％）十Ｎ２　（９８＃積％）の雰
囲気に変えた。そして、炉を上述の如き還元性雰囲気と
した状態を保って、積層体加熱温度を６００℃から焼結
温度の１１３０℃まで、１００℃／ｈの速度で昇温しで
１１３０℃（最高温度）を３時間保持した後、１００°
Ｃ／ｈの速度で６００℃まで降温し、雰囲気を大気雰囲
気（酸化性雰囲気）におきかえて、６００℃を３０分間
保持して酸化処理を行い、その後、室温まで冷却して積
層焼結体チップを作製した。

次に、第１図に示す積層磁器コンデンサー０を得るため
に、３つの誘電体磁器層１２と２つの内部なｆｆ１１４
とから成る積層焼結体チップ１５に一対の外部型５１６
を形成した。なお、外部電極１６は、＠極が露出する焼
結体チップ１５の測面に亜鉛とカラスフリット（ｇｌａ
ｓｓ　　ｆｒｉｔ）とビヒクル（ｖｅｈｉｃｌｅ）とか
ら成る導電性ペーストを塗布して乾燥し、これを大気中
で５５０°Ｃの温度で１５分間焼付け、亜鉛電極層１８
を形成し、更にこの上に無電解メンキで法で別層２０を
形成し、更にこの上に電気メンキ法でｐｂ−８ｎ半田層
２２を設けたものから成る。

このコンデンサー０の誘電体ｌ１ｔＦｉ層１２の厚さは
０．０２ｍｍ、一対の内部電極１４の対向面積は５ｍｍ
Ｘ　５ｍｎ＝　２５ｍｍ２である。なお、焼結後の磁器
層１２の組成は、焼結前の基本成分と添加成分との混合
組成と実質的に同じである。

次に、コンデンサー０の電気的特性を測定し、その平均
値を求めたところ、第３表に示す如く、比誘電率ε　が
３７２０、ｔａｎδが１．１％、抵統率ρが３．７Ｘ１
０６ＭΩ・Ｃ陀２５°Ｃの静電容量を基準にした一５５
°Ｃ及び＋１２５℃の静電容量の変化率ΔＣ、ΔＣ１２
５が−１０，５％、５５ ＋４．５％、２０’Ｃの静電容量を基準にした一２５℃
、＋８５℃の静電容量の変化率ΔＣ、Δ２５ Ｃ８５は−６，５％、−３，４％であった。

なお、電気的特性は次の要領で測定した。

（Ａ）　　比誘電率ε、は、温度２０℃、周波数ｌ　ｋ
Ｈｚ、電圧（実効値）１．ＯＶの条件で静電容量を測定
し、この測定値一対の内部電極１４の対向面積２５關２
と一対の内部電極１４間の磁器層１２の厚さ０．０２＋
ｕ＋から計算で求めた。

（Ｂ）　　誘電体損失ｔａｎδ（％）は比誘電率と同一
条件で測定した。

（Ｃ）　　抵抗率ρ（ＭΩ・ＣＩ）は、温度２０°Ｃに
おいてＤＣｌｏｏＶを１分間印加した後に一対の外部電
極１６間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法とに基づ
いて計算で求めた。

（Ｄ）　　静電容量の温度特性は、恒温槽の中に試料を
入れ、−５５℃、−２５’Ｃ１０°Ｃ１＋２０°Ｃ１２
５°Ｃ１＋４０°Ｃ１＋６０°Ｃ５＋　８５　’Ｃ１＋
１０５°Ｃ１＋１２５°Ｃの各温度において、周波数１
　ｋＨｚ、重圧（実効値）１．ＯＶの条件で静電容量を
測定し、２０°Ｃ及び２５°Ｃの時の静電容量に対する
各温度における変化率を求めることによって得た。

以上、試料Ｎｏ　１の作製方法及びその特性について述
べたか、試料Ｎｏ、　２〜９６についても、基本成分及
び添加成分の組成、これ等の割合、及び還元性雰囲気て
゛の焼成温度を第１表〜第４表に示すように変えた他は
、試料Ｎｏ、　１と全く同一の方法で積層磁器コンデン
サを作製し、同一方法で電気的特性を測定した。

第１表には、基本成分を示す組成式における（１−α）
とαとに−ｘとＸが示され、Ｘの欄のＭ’ｇ、Ｚｎは一
般式のＭの内容を示し、Ｍｇ、Ｚｎの欄にはこれ等の原
子数が示され、合計の欄にはこれ等の合計値（Ｘ値）が
示されている。

第２表には基本成分を示す組成式におけるＲの内容と量
及びｋの値が示されている。即ち、ｙの欄のＳｅ、Ｙ、
Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂは一般式のＲの内容を示
し、これ等の欄にはこれ等の原子数が示され、合計の欄
にはこれ等の合計値（ｙ＠）が示されている。

第３表にはそれぞれの試料の第１及び第２の添加成分の
添加量及び組成が示されている。第１及び第２の添加成
分の添加量は基本成分１００重量部に対する重量部で示
されている。第３表の第２の添加成分のＭＯの内容の欄
には、Ｂａｄ、ＭｇＯ１ＺｎＯ，ＳｒＯ，ＣａＯの割合
がモル％で示されている。

第４表は各試料の焼成温度及び電気的特性を示す、この
第４表において、静電容量の温度特性は、２５℃の静電
容量を基準にした一５５℃及び＋１２５゛Ｃの静電容量
変化率ΔＣ（％）及びΔＣ５５ １２５（％）と、２０℃の静電容量を基準にした一２５
℃及び＋８５°Ｃの静電容量変化率ΔＣ−２５（％）及
びΔＣ８，（％）とで示されている。

第１表〜第４表から明らかな如く、本発明に従う試料で
は、非酸化性雰囲気、１２００℃以下の焼成で、比誘電
率ε８が３０００以上、誘電体損失ｔａｎ　６が２．５
％以下、抵抗率ρがＩ×１０６ＭΩ・同以上、静電容量
の温度変化率ΔＣ−５５及びΔＣ１２５が一１５％〜＋
１５％、ΔＣ−２５及びΔＣ８５は一１０％〜＋１０％
の範囲となり、所望特性のコンデンサを得ることが出来
る。一方、試料〜Ｑ１１〜１３．２６．３１．３２．３
６．３７．４０．４１．４９〜５１．５３．５４．５８
．６３．６７．７９．８８．８９．９５．９６では本発
明の目的を達成することができない、従って、これ等は
本発明の範囲外のものである。

第４表にはΔＣ、ΔＣ、ΔＣ−２５、Δ−５５１２５ Ｃ８５のみが示されているが、本発明の範囲に属する試
料の一２５℃〜＋８５°Ｃの範囲の種々の静電へ量の変
化率ΔＣは、−１０％〜＋１０％の範囲に収まり、また
、−５５°Ｃ〜＋１２５℃の範囲の種々の静電容量の変
化率ΔＣは、−１５％〜↓１５％の範囲に収まっている
。

次に、組成の限定理由について述べる。

Ｘの値が、試料ぬ４１．５１に示す如く、零の場合には
、ΔＣ−２５が一１０％〜＋１０％の範囲外、ΔＣ−５
５が一１５％〜＋１５％の範囲外となるが、試料Ｎ０４
２．４３に示す如く、Ｘの値が０゜０１の場合には、所
望の電気的特性を得ることができる。従って、Ｘの値の
下限は０．０１である。

一方、試料Ｎ０４９．５０．５３に示す如く、Ｘの値が
０１１２の場合には、ΔＣ８５が一１０％〜＋１０％の
範囲外となるが、試料ＮＯ，４７，４８，５２に示す如
く、Ｘの値が０．ＩＯの場合には、所望の電気的特性を
得ることができる。従って、Ｘの値の上限はｏ、ｉｏで
ある。なお、Ｍ成分のＭｇとＺｎとはほぼ同様に働き、
これ等から選択された１つを使用しても、又は複数を使
用しても同様な結果が得られる。そして、Ｍ成分の１種
又は複数種の何れの場合においてもＸの値を０．０１〜
０．１０の範囲にすることが望ましい。

ｙの値が、試料Ｎ０６７．７９に示す如く、００６の場
合には緻密な焼結体が得られないが、試料Ｎｏ、　６６
．６８．７１．７２等に示す如く、ｙの値が０．０４の
場合には所望の電気的特性を得ることができる。従って
、ｙの値の上限は０．０４である。なお、Ｒ成分のＳｃ
、Ｙ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｙｂはほぼ同様に働き、これ
等から選択された１つを使用しても、又は複数を使用し
ても同様な結果が得られる。そして、Ｒ成分が１ｓ又は
複数種のいずれの場合に於いてもｙの値を０．０４以下
の範囲にすることが望ましい、また、ｙは０．０４以下
であれば、０に近い微量であってもそれなりの効果があ
る０組成式でＲで示す成分は、静電容量の温度特性の改
善に寄与する。即ち、Ｒ成分の添加によって一５５℃〜
１２５℃の範囲での静電容量の温度変化率ΔＣ−５５〜
ΔＣ１２５を一１５％〜＋１５％の範囲に容易に収める
ことが可能になると共に、−２５℃〜８５℃の範囲での
静電容量の温度変化率△Ｃ〜ΔＣ８５を一１０％２５ 〜＋１０％の範囲に容易に収めることが可能になり、且
つ各温度範囲における静電容量の温度変化率の変動幅を
小さくすることができる。また、Ｒ成分は抵抗率ρを大
きくする作用及び焼結性を高める作用を有する。

αの値が試料Ｎ０３２．３７に示す如く、零の場合には
、ΔＣ−５５が一１５％〜＋１５％の範囲外となるが、
試料ＮＱ３３．３８に示す如く、αの値が０．００５の
場合には、所望の電気的特性を得ることができる。従っ
て、αの値の下限は０．００５である。一方、試料騎３
６．４０に示す如く、αの値が０．０５の場合には、△
Ｃ８５が一１０％〜＋１０％の範囲外となるが、試料Ｎ
０３５．３９に示す如く、αの値が０．０４の場合には
所望の電気的特性を得ることができる。従って、αの値
の上限は０．０４である。

ｋの値が、試料Ｎ０５４に示す如く、１．０よりも小さ
い場合には、ρが１×１０６ＭΩ・Ｃ１未満となり、大
幅に低くなるが、試料ＮＯ，５５に示す如く、ｋの値が
１．００の場合には、所望の電気的特性が得られる。従
って、ｋの値の下限は１，００である。一方、ｋの値が
、試料Ｎα５８に示す如く、１．０５より大きい場合に
は緻密な焼結体が得られないが、試料ＮＱ５７に示す如
く、ｋの値が１．０５の場合には所望の電気的特性が得
られる。

従って、ｋの値の上限は１．０５である。

Ｃｒ　２０３及び／又はＡ１２Ｏ３から成る第１の添加
成分の添加量が試料ＮＯ，８８，８９，９５，９６に示
す如く３．０重量部よりも多い場合には１２５０°Ｃで
焼成しても緻密な焼結体が得られないが、試料Ｎｏ、　
８５．８６．８７．９４に示すタロく添加量が３．０重
ｉ部の場合には所望の特性を得ることができる。従って
第１の添加成分の上限は３．０重量部である。第１の添
加成分は３．０重量部以下の範囲において極微量であっ
てもそれなりの効果を有する。しかし、量産する時の電
気的特性のバラツキを考慮して０．００１重量部以上添
加することが望ましい、なお、第１の添加成分のＣｒ２
Ｏ３とＡｌ２Ｏ３とはほぼ同様に働き、これ等から選択
された１つを使用しても、又は複数を使用しても同様な
結果が得られる。そして、第１の添加成分が１種又は複
数種の何れの場合に於いても、添加量は３．０重量部以
下の範囲にすることが望ましい、この第１の添加成分は
、静電容量の温度特性の改善に寄与する。即ち、第１の
添加成分の添加によって一５５°Ｃ〜１２５°Ｃの範囲
でのｉ！１１電容量の温度変化率△Ｃ−５５〜△Ｃ１２
゜を−１５％〜＋１５％の範囲に容易に収めることが可
能になると共に、−２５°Ｃ〜８５°Ｃの範囲での静電
容量の温度変化率△Ｃ−２５〜△Ｃ８５を一１０％〜＋
１０％の範囲に容易に収めることが可能になり、且つ各
温度範囲における静電容量の温度変化率の変動幅を小さ
くすることができる。また、第１の添加成分は抵抗率ρ
を大きくする作用を若干有する。

第２の添加成分の添加量が零の場合には、試料Ｎｏ、　
２６から明らかな如く、焼成温度が１２５０°Ｃであっ
ても緻密な焼結体が得られないが、試料Ｎ。

２７に示す〃ｕく、添加量が１００重量部の基本成分に
対して０．２重量部の場合には、１１６０°Ｃの焼成で
所望の電気的特性を有する焼結体が得られる。従って、
第２の添加成分の下限は０．：Ｉｌ量部である。一方、
試料Ｎｏ、　３１に示す如く、添加成分の添加量が７．
０重量部の場合には、ε　が３０００未満となり、更に
ΔＣ８５が一１０％〜＋１０％の範囲外となるが、試料
ぬ３０に示す如く、添加量が５．０重量部の場合には所
望特性を得ることができる。従って、添加量の上限は５
．０重量部である。

第２の添加成分の好ましい組成はこ第２図のＢ２Ｂ２０
３−８ｉＯ２−の組成比を示す三角図に基づいて決定す
ることができる。三角図の第１の点（Ａ）は、試料ＮＯ
１／）Ｂ２０３が１モル％、５１０２が８０モル％、Ｍ
Ｏが１９モル％の組成を示し、第２の点（Ｂ）は、試料
１１Ｇ２の８２０３が１モル％、Ｓ　１０２が３９モル
％、ＭＯが６０モル％の組成を示し、第３の点（Ｃ）は
、試料ＮＱ３の８２０３が３０モル％、Ｓ　ｔ　０２が
０モル％、ＭＯが７０モル％の組成を示し、第４の点（
Ｄ）は、試料ＮＯ，４の８２０３が９０モル％、Ｓ　ｓ
　Ｏ２が０モル％、ＭＯが１０モル％の組成を示し、第
５の点（Ｅ）は、試料Ｎ０５のＢ２Ｏ２が９０モル％、
Ｓ　１０２が１０モル％、ＭＯが０モル％の組成を示し
、第６の点（Ｆ）は、試料Ｎｏ　６の８２０３が２０モ
ル％、Ｓ　ｉＯ２が８０モル％、ＭＯが０モル％の組成
を示す。

本発明の範囲に属する試料の第２の添加成分の組成は三
角図の第１〜６の点（Ａ）〜（Ｆ）を順に結ぶ６本の直
線で囲まれた領域内の組成になっている。この領域内の
組成とすれは、所望の電気的特性を得ることができる。

一方、試料Ｎｏ、　１１〜１３のように、第２の添加成
分の組成が本発明で特定しｆＳ範囲外となれば、緻密な
焼結体を得ることができない、なお、ＭＯ酸成分例えば
試料Ｎｏ、　１４〜１８に示す如（Ｂａｄ、ＭｇＯ１Ｚ
ｎＯ，５ｒＯ−ＣａＯのいずれか１つであってもよいし
、又は他の試料で示すように適当な比率としてもよい ［変形例］ 以上、本発明の実施例について述べたが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、例えば次の変形例が可能な
ものである。

＜ａ）　　基本成分の中に、本発明の目的を阻害しない
範囲で微量のＭｎ０２（好ましくは０．０５〜０．１重
量％）等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させてもよい
、また、その他の物質を必要に応じて添加してもよい。

（ｂ）　　出発原料を、実施例で示したちの以外の酸化
物又は水酸化物又はその他の化合物としてもよい。

（ｃ）　　焼成時の非酸化性雰囲気での処理の後の酸化
性雰囲気での処理の温度を６００°Ｃ以外の焼結温度よ
りも低い温度（好ましくは５００°Ｃ〜１０００°Ｃの
範囲）としてもよい、即ち、ニッケル等の電極材料と磁
器の酸化とを考慮して種々変更することが可能である。

（ｄ）　　非酸化性雰囲気中の焼成温度を、電極材料を
考慮して種々変えることができる。ニッケルを内部電極
とする場合には、１０５０℃〜１２００°Ｃの範囲でニ
ッケル粒子の凝集がほとんど生じない。

（ｅ）　　焼結を中性雰囲気で行ってもよい。

（ｆ）　　積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層の磁
器コンデンサにも勿論適用可能である。

＜ｇ）　　組成式におけるＲ成分の中のＴｂ、Ｔｍ、Ｌ
ｕについては特に第１表〜第４表に掲載されていないが
、Ｒ成分の他のものと同様に使用することができること
が確認されている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係わる積層型磁器コンデンサ
を示す断面図、 第２図は添加成分の組成範囲を示す三角図である。 １２・・・磁器層、１４・・・内部電極、１６・・・外
部電極。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］誘電体磁器と、前記磁器に接触している少なくと
   も２つの電極とから成る磁器コンデンサにおいて、 前記磁器が１００．０重量部の基本成分と、３．０重量
   部以下の第１の添加成分と、 ０．２〜５．０重量部の第２の添加成分とから成り、 前記基本成分が、 （１−α）｛（Ｂａ＿ｋ＿−＿ｘＭ＿ｘ）Ｏ＿ｋ（Ｔｉ
   ＿１＿−＿ｙＲ＿ｙ）Ｏ＿２＿−＿ｙ＿／＿２｝＋αＣ
   ａＺｒＯ＿３（但し、ＭはＭｇ、Ｚｎの内の少なくとも
   １種の金属、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、
   Ｙｂ、Ｔｂ、Ｔｍ、Ｌｕの内の少なくとも１種の金属、 αは０．００５〜０．０４の範囲の数値、 ｋは１．００〜１．０５の範囲の数値、 ｘは０．０１〜０．１０の範囲の数値、 ｙは０．０４以下の０よりも大きい数値）であり、 前記第１の添加成分がＣｒ＿２Ｏ＿３とＡｌ＿２Ｏ＿３
   の内の少なくとも１種の金属酸化物であり、前記第２の
   添加成分がＢ＿２Ｏ＿３とＳｉＯ＿２とＭＯ（但し、Ｍ
   ＯはＢａＯ、ＳｒＯ、ＣａＯ、ＭｇＯ及びＺｎＯの内の
   少なくとも１種の金属酸化物）から成り、且つ前記Ｂ＿
   ２Ｏ＿３と前記ＳｉＯ＿２と前記ＭＯとの組成範囲がこ
   れ等の組成をモル％で示す三角図における前記Ｂ＿２Ｏ
   ＿３が１モル％、前記ＳｉＯ＿２が８０モル％、前記Ｍ
   Ｏが１９モル％の点（Ａ）と、前記Ｂ＿２Ｏ＿３が１モ
   ル％、前記ＳｉＯ＿２が３９モル％、前記ＭＯが６０モ
   ル％の点（Ｂ）と、前記Ｂ＿２Ｏ＿３が３０モル％、前
   記ＳｉＯ＿２が０モル％、前記ＭＯが７０モル％の点（
   Ｃ）と、前記Ｂ＿２Ｏ＿３が９０モル％、前記ＳｉＯ＿
   ２が０モル％、前記ＭＯが１０モル％の点（Ｄ）と、前
   記Ｂ＿２Ｏ＿３が９０モル％、前記ＳｉＯ＿２が１０モ
   ル％、前記ＭＯが０モル％の点（Ｅ）と、前記Ｂ＿２Ｏ
   ＿３が２０モル％、前記ＳｉＯ＿２が８０モル％、前記
   ＭＯが０モル％の点（Ｆ）とを順に結ぶ６本の直線で囲
   まれた領域内のものであることを特徴とするコンデンサ
   。 ［２］１００．０重量部の基本成分と、３０重量部以下
   の第１の添加成分と、０．２〜５０重量部の第２の添加
   成分とから成り、前記基本成分が、 （１−α）｛（Ｂａ＿ｋ＿−＿ｘＭ＿ｘ）Ｏ＿ｋ（Ｔｉ
   ＿１＿−＿ｙＲ＿ｙ）Ｏ＿２＿−＿ｙ＿／＿２｝＋αＣ
   ａＺｒＯ＿３（但し、ＭはＭｇ、Ｚｎの内の少なくとも
   １種の金属、ＲはＳｃ、Ｙ、Ｇｄ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、
   Ｙｂ、Ｔｂ、Ｔｍ、Ｌｕの内の少なくとも１種の金属、
   αは０．００５〜０．０４の範囲の数値、ｋは１．００
   〜１．０５の範囲の数値、ｘは０．０１〜０．１０の範
   囲の数値、ｙは０．０４以下の０よりも大きい数値）で
   あり、前記第１の添加成分がＣｒ＿２Ｏ＿３とＡｌ＿２
   Ｏ＿３の内の少なくとも１種の金属酸化物であり、前記
   第２の添加成分がＢ＿２Ｏ＿３とＳｉＯ＿２とＭＯ（但
   し、ＭＯはＢａＯ、ＳｒＯ、ＣａＯ、ＭｇＯ及びＺｎＯ
   の内の少なくとも１種の金属酸化物）から成り、且つ前
   記Ｂ＿２Ｏ＿３と前記ＳｉＯ＿２と前記ＭＯとの組成範
   囲がこれ等の組成をモル％で示す三角図における前記Ｂ
   ＿２Ｏ＿３が１モル％、前記ＳｉＯ＿２が８０モル％、
   前記ＭＯが１９モル％の点（Ａ）と、前記Ｂ＿２Ｏ＿３
   が１モル％、前記ＳｉＯ＿２が３９モル％、前記ＭＯが
   ６０モル％の点（Ｂ）と、前記Ｂ＿２Ｏ＿３が３０モル
   ％、前記ＳｉＯ＿２が０モル％、前記ＭＯが７０モル％
   の点（Ｃ）と、前記Ｂ＿２Ｏ＿３が９０モル％、前記Ｓ
   ｉＯ＿２が０モル％、前記ＭＯが１０モル％の点（Ｄ）
   と、前記Ｂ＿２Ｏ＿３が９０モル％、前記ＳｉＯ＿２が
   １０モル％、前記ＭＯが０モル％の点（Ｅ）と、前記Ｂ
   ＿２Ｏ＿３が２０モル％、前記ＳｉＯ＿２が８０モル％
   、前記ＭＯが０モル％の点（Ｆ）とを順に結ぶ６本の直
   線で囲まれた領域内のものであることを特徴とする混合
   物を用意する工程と、 少なくとも２つの電極部分を有する前記混合物の成形物
   を作る工程と、 前記電極部分を有する前記成形物を非酸化性雰囲気で焼
   成する工程と、 前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理する
   工程とを含む磁器コンデンサの製造方法。