JPH03159108A - 磁器コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
磁器コンデンサ及びその製造方法Info
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- JPH03159108A JPH03159108A JP1298136A JP29813689A JPH03159108A JP H03159108 A JPH03159108 A JP H03159108A JP 1298136 A JP1298136 A JP 1298136A JP 29813689 A JP29813689 A JP 29813689A JP H03159108 A JPH03159108 A JP H03159108A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、誘電体磁器と少なくとも2つの電極とから成
る単層又は積層構造の磁器コンデンサ及びその製造方法
に関する。
る単層又は積層構造の磁器コンデンサ及びその製造方法
に関する。
[従来の技術]
従来、積層磁器コンデンサを製造する際には、誘電体磁
器原料粉末から成るグリーンシート(未焼結磁器シート
)に白金又はパラジウム等の貴金属の導電性ペーストを
所望パターンに印刷し、これを複数枚積み重ねて圧着し
、1300℃〜1600°Cの酸化性雰囲気中で焼結さ
せた。これにより、誘電体磁器と内部電極とが同時に得
られる。
器原料粉末から成るグリーンシート(未焼結磁器シート
)に白金又はパラジウム等の貴金属の導電性ペーストを
所望パターンに印刷し、これを複数枚積み重ねて圧着し
、1300℃〜1600°Cの酸化性雰囲気中で焼結さ
せた。これにより、誘電体磁器と内部電極とが同時に得
られる。
上述の如く、貴金属を使用すれば、酸化性雰囲気中で高
温で焼結させても目的とする内部電極を得ることかでき
る。しかし、白金、パラジウム等の貴金属は高価である
ため、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高になった
。
温で焼結させても目的とする内部電極を得ることかでき
る。しかし、白金、パラジウム等の貴金属は高価である
ため、必然的に積層磁器コンデンサがコスト高になった
。
上述の問題を解決することができるものとして、本件出
願人に係わる特公昭61−14607号公報には、 (Ba M ) OT i 02 (fflし
、MはM−xxk g及びZnの内の少なくとも1種)から成る基本成分と
、Li OとS iO2とから成る添加成分とを含む
誘電体磁器組成物が開示されている。
願人に係わる特公昭61−14607号公報には、 (Ba M ) OT i 02 (fflし
、MはM−xxk g及びZnの内の少なくとも1種)から成る基本成分と
、Li OとS iO2とから成る添加成分とを含む
誘電体磁器組成物が開示されている。
また、特公昭61−14608号公報には、上記の特公
昭61−14607号公報のL i 20と5i02の
代りに、L l 20とSiO2とMO(但し、MOは
BaO1CaO及びSrOの内の少なくとも1種)とか
ら成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されて
いる。
昭61−14607号公報のL i 20と5i02の
代りに、L l 20とSiO2とMO(但し、MOは
BaO1CaO及びSrOの内の少なくとも1種)とか
ら成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されて
いる。
また、特公昭61−14609号公報には、(Bal<
−x−y MxLy)O,、TiO2(但し、MはMg
及びZnの少なくとも1種、LはSr及びCaの内の少
なくとも1種)から成る基本成分とL 120とS 1
02とがら成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開
示されている。
−x−y MxLy)O,、TiO2(但し、MはMg
及びZnの少なくとも1種、LはSr及びCaの内の少
なくとも1種)から成る基本成分とL 120とS 1
02とがら成る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開
示されている。
また、特公昭61−14610号公報には、上記の特公
昭61−14609号公報におけるLi2OとSiO2
の代りに、L l 20とS i O2トMO(但し、
MOはBad、CaO及びSrOの内の少なくとも1種
)とから成る添加成分を含む誘電体磁器組成物が開示さ
れている。
昭61−14609号公報におけるLi2OとSiO2
の代りに、L l 20とS i O2トMO(但し、
MOはBad、CaO及びSrOの内の少なくとも1種
)とから成る添加成分を含む誘電体磁器組成物が開示さ
れている。
また、特公昭61−14611号公報には、(Ba
M )OTiO2(但し、MはMg、k−XXk Zn、Sr及びCaの少なくとも1種)から成る基本成
分と、B2O3とS i O2とから成る添加成分とを
含む誘電体磁器組成物が開示されている。
M )OTiO2(但し、MはMg、k−XXk Zn、Sr及びCaの少なくとも1種)から成る基本成
分と、B2O3とS i O2とから成る添加成分とを
含む誘電体磁器組成物が開示されている。
また、特公昭62−1595号公報には、(Ba
M ) OT ] 02 (但し、MはMg、Z−X
Xk n、Sr及びCaの内の少なくとも1種)から成る基本
成分と、B2O3とMO(但しMOはBaO,MgO1
ZnO,SrO及びCaOの少なくとも1種)とから成
る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている
。
M ) OT ] 02 (但し、MはMg、Z−X
Xk n、Sr及びCaの内の少なくとも1種)から成る基本
成分と、B2O3とMO(但しMOはBaO,MgO1
ZnO,SrO及びCaOの少なくとも1種)とから成
る添加成分とを含む誘電体磁器組成物が開示されている
。
また、特公昭62−1596号公報には、上記の特公昭
62−1595号公報のCr2O3とMOの代りに、B
OとSiO2とMO(但しMO3 はBad、MgO,ZnO,SrO及びCaOの内の少
なくとも1種)とから成る添加成分とを含む誘電体磁器
組成物が開示されている。
62−1595号公報のCr2O3とMOの代りに、B
OとSiO2とMO(但しMO3 はBad、MgO,ZnO,SrO及びCaOの内の少
なくとも1種)とから成る添加成分とを含む誘電体磁器
組成物が開示されている。
これらに開示されている誘電体磁器組成物は、還元性雰
囲気1200℃以下の条件の焼成で得ることができ、比
誘電率が2000以上、静電容量の温度変化率が一25
°C〜+85°Cで土10%の範囲にすることができる
ものである。
囲気1200℃以下の条件の焼成で得ることができ、比
誘電率が2000以上、静電容量の温度変化率が一25
°C〜+85°Cで土10%の範囲にすることができる
ものである。
[発明が解決しようとする課題]
ところで、近年の電子回路の高密度化に伴い、積層コン
デンサの小型化の要求が非常に強く、これに対応する為
に、温度変化率を悪化させることなく誘電体の比誘電率
を、上記各公報に開示されている誘電体磁器組成物の比
誘電率よりも更に増大させることが望まれている。
デンサの小型化の要求が非常に強く、これに対応する為
に、温度変化率を悪化させることなく誘電体の比誘電率
を、上記各公報に開示されている誘電体磁器組成物の比
誘電率よりも更に増大させることが望まれている。
そこで、本発明の目的は、非酸化性雰囲気、1200℃
以下の温度での焼成で得るものであるにも拘らず、高い
誘電率を有し、且つ広い温度範囲にわたって誘電率の温
度変化率が小さい誘電体磁器を備えている磁器コンデン
サ及びその製造方法を提供することにある。
以下の温度での焼成で得るものであるにも拘らず、高い
誘電率を有し、且つ広い温度範囲にわたって誘電率の温
度変化率が小さい誘電体磁器を備えている磁器コンデン
サ及びその製造方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するための本発明は、誘電体磁器と、前
記磁器に接触している少なくとも2つの電極とから成る
磁器コンデンサにおいて、前記磁器が100.0重量部
の基本成分と、0.01〜3.00重量部の第1の添加
成分と、0.2〜5゜0重量部の第2の添加成分とから
成り、前記基本成分が、(Ba1<−x Mx)OkT
i02 (但し、MはSr、Caの内の少なくとも1
種の金属、kは1,00〜1.05、Xは、0.01〜
0.05の範囲内の数値)であり、少なくとも1種の添
加成分がCr OとA I 203の内の少なくとも
1種3 の金属酸化物であり、前記第2の添加成分がCr2O
とS i O2とMO(但し、MOはBaO1SrOl
Cab、MgO及びZnOの内の少なくと61種の金属
酸化物)から成り、且つ前記B2゜3と前記S 102
と前記MOとの組成範囲がこれ等の組成をモル%で示す
三角図における前記B20 が1モル%、前記5i02
が80モル%、前記MOが19モル%の点(A>と、前
記B2O3が1モル%、前記S s O2が39モル%
、前記MOが60モル%の点(B)と、前記B2O3が
29モル%、前記S 102が1モル%、前記MOが7
0モル%の点(C)と、前記B2O3が90モル%、前
記S iO2が1モル%、前記MOが9モル%の点(D
>と、前記B2O3が90モル%、前記S t O2が
9モル%、前記MOが1モル%の点(E)と、前記B2
O3が19モル%、前記SiO2が80モル%、前記M
Oが1モル%の点(F)とを順に結ぶ6本の直線で囲ま
れた領域内のものであるコンデンサに係わるものである
。なお、基本成分を示す組成式において、k−x、x、
kは勿論それぞれの元素の原子数を示し、Baはバリウ
ム、0は酸素、Tiはチタン、Srはストロンチウム、
Caはカルシウムである。第1の添加成分のCr O
は酸化クロム、AI。03は3 酸化アルミニウムである。第2の添加成分におけるBO
は酸化ホウ素、5i02は酸化けい素、3 BaOは酸化バリウム、SrOは酸化ストロンチウム、
CaOは酸化カルシウム、MgOは酸化マグネシフム、
ZnOは酸化亜鉛である。
記磁器に接触している少なくとも2つの電極とから成る
磁器コンデンサにおいて、前記磁器が100.0重量部
の基本成分と、0.01〜3.00重量部の第1の添加
成分と、0.2〜5゜0重量部の第2の添加成分とから
成り、前記基本成分が、(Ba1<−x Mx)OkT
i02 (但し、MはSr、Caの内の少なくとも1
種の金属、kは1,00〜1.05、Xは、0.01〜
0.05の範囲内の数値)であり、少なくとも1種の添
加成分がCr OとA I 203の内の少なくとも
1種3 の金属酸化物であり、前記第2の添加成分がCr2O
とS i O2とMO(但し、MOはBaO1SrOl
Cab、MgO及びZnOの内の少なくと61種の金属
酸化物)から成り、且つ前記B2゜3と前記S 102
と前記MOとの組成範囲がこれ等の組成をモル%で示す
三角図における前記B20 が1モル%、前記5i02
が80モル%、前記MOが19モル%の点(A>と、前
記B2O3が1モル%、前記S s O2が39モル%
、前記MOが60モル%の点(B)と、前記B2O3が
29モル%、前記S 102が1モル%、前記MOが7
0モル%の点(C)と、前記B2O3が90モル%、前
記S iO2が1モル%、前記MOが9モル%の点(D
>と、前記B2O3が90モル%、前記S t O2が
9モル%、前記MOが1モル%の点(E)と、前記B2
O3が19モル%、前記SiO2が80モル%、前記M
Oが1モル%の点(F)とを順に結ぶ6本の直線で囲ま
れた領域内のものであるコンデンサに係わるものである
。なお、基本成分を示す組成式において、k−x、x、
kは勿論それぞれの元素の原子数を示し、Baはバリウ
ム、0は酸素、Tiはチタン、Srはストロンチウム、
Caはカルシウムである。第1の添加成分のCr O
は酸化クロム、AI。03は3 酸化アルミニウムである。第2の添加成分におけるBO
は酸化ホウ素、5i02は酸化けい素、3 BaOは酸化バリウム、SrOは酸化ストロンチウム、
CaOは酸化カルシウム、MgOは酸化マグネシフム、
ZnOは酸化亜鉛である。
製造方法に係わる発明は、上記の基本成分と添加成分と
の混合物を用意する工程と、少なくとも2つの電極部分
を有する前記混合物の成形物を作る工程と、前記電極部
分を有する前記成形物を非酸化性雰囲気で焼成する工程
と、前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理
する工程とを含む磁器コンデンサの製造方法に係わるも
のである。
の混合物を用意する工程と、少なくとも2つの電極部分
を有する前記混合物の成形物を作る工程と、前記電極部
分を有する前記成形物を非酸化性雰囲気で焼成する工程
と、前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理
する工程とを含む磁器コンデンサの製造方法に係わるも
のである。
[作用効果コ
上記発明の磁器コンデンサにおける誘電体磁器を非酸化
性雰囲気、1200℃以下の焼成で得ることができる。
性雰囲気、1200℃以下の焼成で得ることができる。
従って、ニッケル等の卑金属の導電性ペーストをグリー
ンシートに塗布し、グリーンシートと導電性ペーストと
を同時に焼成する方法によって磁器コンデンサをIl!
達することが可能になる。誘電体磁器の組成を本発明で
特定された範囲にすることによって、比誘電率が300
0以上、誘電体損失tanδが2.5%以下、抵抗率ρ
がlX106MΩ・C1以上であり、且つ比誘電率の温
度変化率が一55℃〜125°Cで一15%〜+15%
(25℃を基準)、−25℃〜85℃で−10%〜+1
0%<20℃を基準)の範囲に収まる誘電体磁器を備え
たコンデンサを提供することができる。
ンシートに塗布し、グリーンシートと導電性ペーストと
を同時に焼成する方法によって磁器コンデンサをIl!
達することが可能になる。誘電体磁器の組成を本発明で
特定された範囲にすることによって、比誘電率が300
0以上、誘電体損失tanδが2.5%以下、抵抗率ρ
がlX106MΩ・C1以上であり、且つ比誘電率の温
度変化率が一55℃〜125°Cで一15%〜+15%
(25℃を基準)、−25℃〜85℃で−10%〜+1
0%<20℃を基準)の範囲に収まる誘電体磁器を備え
たコンデンサを提供することができる。
[実施例]
次に、本発明に従う実施例及び比較例について説明する
。
。
まず、本発明に従う基本成分の組成式
(B a h−、XM、 ) OkT i 02を第1
表の試料面1のx、にの欄に示す割合で得るため、換言
すれば、(BaO,97M0.05)01.02T”
2 、更に詳細には、M =CaO,01S’0.0
4であるので、0.0.5 (BaO,97CaO,018r0.04)01.02
T” 2を得るために、純度99.0%以上のB a
CO3(炭酸バリウム) 、Ca CO3(炭酸カルシ
ウム)、5rCO(炭酸ストロンチウム)及びTiO3 2(酸化チタン)を用意し、不純物を目方に入れないで BaC0:1032.02g(0,97モル部相当) CaCO:5.40g(0,01モル部相当)5rCO
:31.84g(0,04モル部相当) TiO2: 430−75g (1,00モル部相当)
を秤量した。
表の試料面1のx、にの欄に示す割合で得るため、換言
すれば、(BaO,97M0.05)01.02T”
2 、更に詳細には、M =CaO,01S’0.0
4であるので、0.0.5 (BaO,97CaO,018r0.04)01.02
T” 2を得るために、純度99.0%以上のB a
CO3(炭酸バリウム) 、Ca CO3(炭酸カルシ
ウム)、5rCO(炭酸ストロンチウム)及びTiO3 2(酸化チタン)を用意し、不純物を目方に入れないで BaC0:1032.02g(0,97モル部相当) CaCO:5.40g(0,01モル部相当)5rCO
:31.84g(0,04モル部相当) TiO2: 430−75g (1,00モル部相当)
を秤量した。
次に、秤量されたこれ等の原料をポットミル(pot
ll1ll)に入れ、更にアルミナボールと水2.51
とを入れ、15時時間式撹拌した後、攪拌物をステンレ
スポットに入れて熱風式乾燥器で150℃、4時間乾燥
した0次にこの乾燥物を粗粉砕し、この粗粉砕物をトン
ネル炉にて大気中で1200℃、2時間仮焼し、上記組
成式の基本成分を得た。
ll1ll)に入れ、更にアルミナボールと水2.51
とを入れ、15時時間式撹拌した後、攪拌物をステンレ
スポットに入れて熱風式乾燥器で150℃、4時間乾燥
した0次にこの乾燥物を粗粉砕し、この粗粉砕物をトン
ネル炉にて大気中で1200℃、2時間仮焼し、上記組
成式の基本成分を得た。
一方、第2表の試料懇1の第2の添加成分を得るために
、B2O3を0.99g (1モル部)と、S i O
2を68.38g (80モル部)と、BaCO3を1
0.67g (3,8モル部)と、5rCo3を7゜9
8g <3.8モル部〉と、CaCO3を5.41g
(3,8モル部)と、MgOを2.18g (3,8モ
ル部)と、ZnOを4.40g(3,8モル部)をそれ
ぞれ秤量し、この混合物にアルコールを300cc加え
、ポリエチレンポットにてアルミナボールを用いて10
時間攪拌した後、大気中1000℃で2時間仮焼成し、
これを300ccの水と共にアルミナポットに入れ、ア
ルミナボールで15時間粉砕し、しかる後、150℃で
4時間乾燥させてB2O3が1モル%、S t 02が
80モル%、MOが19モル%(Ba03.8モル%+
SrO3,8モル%十CaO3,8モzk%+MgO3
,8モル%+Zn03.8モル%)の組成の添加成分の
粉末を得た。なお、MOの内容であるBaOとSrOと
CaOとMgOとZnOとの割合は第2表に示すように
いずれも20モル%となる。
、B2O3を0.99g (1モル部)と、S i O
2を68.38g (80モル部)と、BaCO3を1
0.67g (3,8モル部)と、5rCo3を7゜9
8g <3.8モル部〉と、CaCO3を5.41g
(3,8モル部)と、MgOを2.18g (3,8モ
ル部)と、ZnOを4.40g(3,8モル部)をそれ
ぞれ秤量し、この混合物にアルコールを300cc加え
、ポリエチレンポットにてアルミナボールを用いて10
時間攪拌した後、大気中1000℃で2時間仮焼成し、
これを300ccの水と共にアルミナポットに入れ、ア
ルミナボールで15時間粉砕し、しかる後、150℃で
4時間乾燥させてB2O3が1モル%、S t 02が
80モル%、MOが19モル%(Ba03.8モル%+
SrO3,8モル%十CaO3,8モzk%+MgO3
,8モル%+Zn03.8モル%)の組成の添加成分の
粉末を得た。なお、MOの内容であるBaOとSrOと
CaOとMgOとZnOとの割合は第2表に示すように
いずれも20モル%となる。
次に、ioo重量部(1000g>の基本成分に2重量
部(20g>の第2の添加成分を添加し、更に、第1の
添加成分として平均粒径が0.51℃mでよく粒の揃っ
た純度99.0%以上のCr 203を0.1重量部(
1g)添加し、更に、アクリル酸エステルポリマー、グ
リセリン、縮合リン酸塩の水溶液から成る有機バインダ
を基本成分と第1及び第2の添加成分との合計重量に対
して15重量%添加し、更に、50重量%の水を加え、
これ等をボールミルに入れて粉砕及び混合して磁器原料
のスラリーを作製した。
部(20g>の第2の添加成分を添加し、更に、第1の
添加成分として平均粒径が0.51℃mでよく粒の揃っ
た純度99.0%以上のCr 203を0.1重量部(
1g)添加し、更に、アクリル酸エステルポリマー、グ
リセリン、縮合リン酸塩の水溶液から成る有機バインダ
を基本成分と第1及び第2の添加成分との合計重量に対
して15重量%添加し、更に、50重量%の水を加え、
これ等をボールミルに入れて粉砕及び混合して磁器原料
のスラリーを作製した。
次に、上記スラリーを真空脱泡機に入れて脱泡し、この
スラリーをリバースロールコータに入れ、ここから得ら
れる薄膜成形物を長尺なポリエステルフィルム上に連続
して受は取ると共に、同フィルム上でこれを100°C
に加熱して乾燥させ、厚さ約25μmの未焼結磁器シー
トを得た。このシートは長尺なものであるが、これを1
0cm角の正方形に裁断して使用する。
スラリーをリバースロールコータに入れ、ここから得ら
れる薄膜成形物を長尺なポリエステルフィルム上に連続
して受は取ると共に、同フィルム上でこれを100°C
に加熱して乾燥させ、厚さ約25μmの未焼結磁器シー
トを得た。このシートは長尺なものであるが、これを1
0cm角の正方形に裁断して使用する。
一方、内部電極用の導電ペーストは、粒径平均1.5μ
mのニッケル粉末10gと、エチルセルロース0.9g
をブチルカルピトール9.1gに溶解させたものとを撹
拌機に入れ、10時間攪拌することにより得た。この導
電ペーストを長さ14關、@7鰭のパターンを50個有
するスクリーンを介して上記未焼結磁器シートの片側に
印刷した後、これを乾燥させた。
mのニッケル粉末10gと、エチルセルロース0.9g
をブチルカルピトール9.1gに溶解させたものとを撹
拌機に入れ、10時間攪拌することにより得た。この導
電ペーストを長さ14關、@7鰭のパターンを50個有
するスクリーンを介して上記未焼結磁器シートの片側に
印刷した後、これを乾燥させた。
次に、上記印刷面を上にして未焼結磁器シートを2枚積
層した。この際、隣接する上下のシートにおいて、その
印刷面がパターンの長手方向に約半分程ずれるように配
置した。更に、この積層物の上下両面にそれぞれ4枚ず
つ厚さ60μmの未焼結磁器シートを積層した0次いで
、この積層物を約50℃の温度で厚さ方向に約40トン
の荷重を加えて圧着させた。しかる後、この積層物を格
子状に裁断し、50個の積層チップを得た。
層した。この際、隣接する上下のシートにおいて、その
印刷面がパターンの長手方向に約半分程ずれるように配
置した。更に、この積層物の上下両面にそれぞれ4枚ず
つ厚さ60μmの未焼結磁器シートを積層した0次いで
、この積層物を約50℃の温度で厚さ方向に約40トン
の荷重を加えて圧着させた。しかる後、この積層物を格
子状に裁断し、50個の積層チップを得た。
次に、この積層体を雰囲気焼成が可能な炉に入れ、大気
雰囲気中で100℃/hの速度で600°Cまで昇温し
て、有機バインダを燃焼させた。しかる後、炉の雰囲気
を大気からH2(2体積%)十N2 (98体積%)の
雰囲気に変えた。そして、炉を上述の如き還元性雰囲気
とした状態を保って、積層体加熱温度を600℃から焼
結温度の1150℃まで、100℃/hの速度で昇温し
て1150°C(最高温度)を3時間保持した後、10
0℃/hの速度で600°Cまで降温し、雰囲気を大気
雰囲気(酸化性雰囲気)におきかえて、600℃を30
分間保持して酸化処理を行い、その後、室温まで冷却し
て積層焼結体チップを作製した。
雰囲気中で100℃/hの速度で600°Cまで昇温し
て、有機バインダを燃焼させた。しかる後、炉の雰囲気
を大気からH2(2体積%)十N2 (98体積%)の
雰囲気に変えた。そして、炉を上述の如き還元性雰囲気
とした状態を保って、積層体加熱温度を600℃から焼
結温度の1150℃まで、100℃/hの速度で昇温し
て1150°C(最高温度)を3時間保持した後、10
0℃/hの速度で600°Cまで降温し、雰囲気を大気
雰囲気(酸化性雰囲気)におきかえて、600℃を30
分間保持して酸化処理を行い、その後、室温まで冷却し
て積層焼結体チップを作製した。
次に、第1図に示す積層磁器コンデンサ10を得るなめ
に、3つの誘電体磁器層12と2つの内部電極14とか
ら成る積層焼結体チップ15に一対の外部な極16を形
成した。なお、外部電極16は、電極が露出する焼結体
チップ15の側面に亜鉛とガラスフリヅト(glass
frit)とビヒクル(vehicle)とから成
る導電性ペーストを塗布して乾燥し、これを大気中で5
50°Cの温度で15分間焼付け、亜鉛電極層18を形
成し、更にこの上に無電解メツキで法で銅層20を形成
し、更にこの上に電気メツキ法でpbSn半田層22を
設けたものから成る。
に、3つの誘電体磁器層12と2つの内部電極14とか
ら成る積層焼結体チップ15に一対の外部な極16を形
成した。なお、外部電極16は、電極が露出する焼結体
チップ15の側面に亜鉛とガラスフリヅト(glass
frit)とビヒクル(vehicle)とから成
る導電性ペーストを塗布して乾燥し、これを大気中で5
50°Cの温度で15分間焼付け、亜鉛電極層18を形
成し、更にこの上に無電解メツキで法で銅層20を形成
し、更にこの上に電気メツキ法でpbSn半田層22を
設けたものから成る。
このコンデンサ10の誘電体磁器/1i12の厚さは0
.O2nm、一対の内部電極14の対向面積は5IWI
×5關=2511I+2である。なお、焼結後の磁器層
12の組成は、焼結前の基本成分と添加成分との混合組
成と実質的に同じである。
.O2nm、一対の内部電極14の対向面積は5IWI
×5關=2511I+2である。なお、焼結後の磁器層
12の組成は、焼結前の基本成分と添加成分との混合組
成と実質的に同じである。
次に、コンデンサ10の電気特性を測定し、その平均値
を求めたところ、第3表に示す如く、比誘電率ε、が3
Cr2O.tanδが1.1%、抵抗率ρが3.9X1
06MΩ・CI、25°Cの静電容量を基準にした一5
5℃及び±125’Cの静電容量の変化率ΔC−55−
ΔC1□5が−10,9%、+3,7%、20℃の静電
容量を基準にした一25°C2+85℃の静電容量の変
化率ΔC、Δ25 C85は−5,1%、−6,9%であった。
を求めたところ、第3表に示す如く、比誘電率ε、が3
Cr2O.tanδが1.1%、抵抗率ρが3.9X1
06MΩ・CI、25°Cの静電容量を基準にした一5
5℃及び±125’Cの静電容量の変化率ΔC−55−
ΔC1□5が−10,9%、+3,7%、20℃の静電
容量を基準にした一25°C2+85℃の静電容量の変
化率ΔC、Δ25 C85は−5,1%、−6,9%であった。
なお、電気的特性は次の要領で測定しな。
(A) 比誘電率ε、は、温度20’C1周波数1
kHz、電圧(実効値’I 1.OVの条件で静電容量
を測定し、この測定値一対の内部電[i14の対向面積
25圓2と一対の内部電極14間の磁器層12の厚さ0
.02mから計算で求めた。
kHz、電圧(実効値’I 1.OVの条件で静電容量
を測定し、この測定値一対の内部電[i14の対向面積
25圓2と一対の内部電極14間の磁器層12の厚さ0
.02mから計算で求めた。
(B) 誘電体損失tanδ(%)は比誘電率と同一
条件で測定した。
条件で測定した。
(C) 抵抗率p<MΩ−cn)は、温度20’Cに
おいてDClooVを1分間印加した後に一対の外部型
′!f!16間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法と
に基づいて計算で求めた。
おいてDClooVを1分間印加した後に一対の外部型
′!f!16間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法と
に基づいて計算で求めた。
(D) 静電容量の温度特性は、恒温槽の中に試料を
入れ、−55℃、−25℃、O’C1十20゛C125
℃、+40″C1+60℃、+85℃、+105℃、+
125℃の各温度において、周波数1 kHz、電圧(
実効値)1.OVの条件で静電容量を測定し、20°C
及び25℃の時の静電容量に対する各温度における変化
率を求めることによって得た。
入れ、−55℃、−25℃、O’C1十20゛C125
℃、+40″C1+60℃、+85℃、+105℃、+
125℃の各温度において、周波数1 kHz、電圧(
実効値)1.OVの条件で静電容量を測定し、20°C
及び25℃の時の静電容量に対する各温度における変化
率を求めることによって得た。
以上、試料順1の作製方法及びその特性について述べた
が、試料11k12〜96についても、基本成分、第1
及び第2の添加成分の組成、これ等の割合、及び還元性
雰囲気での焼成温度を第1表〜第3表に示すように変え
た他は、試料No、 1と全く同一の方法で積層磁器コ
ンデンサを作製し、同一方法で電気的特性を測定した。
が、試料11k12〜96についても、基本成分、第1
及び第2の添加成分の組成、これ等の割合、及び還元性
雰囲気での焼成温度を第1表〜第3表に示すように変え
た他は、試料No、 1と全く同一の方法で積層磁器コ
ンデンサを作製し、同一方法で電気的特性を測定した。
第1表は、それぞれの試料の基本成分と第1の添加成分
の組成及び添加量と第2の添加成分の添加量を示し、第
2表はそれぞれの試料の第2の添加成分の組成を示し、
第3表はそれぞれの試料の焼成温度、及び電気的特性を
示す、なお、第1表の基本成分の欄のx、には組成式の
各元素の原子数、即ちTiの原子数を1とした場合の各
元素の原子数の割合を示す、Xの欄のCa、Srは、般
式のMの内容を示し、これ等の欄にはこれ等の原子数が
示され、この合計の欄にはこれ等の合計値(X値)が示
されている。第1及び第2の添加成分の添加量は基本成
分100重量部に対する重量部で示されている。第2表
の第2の添加成分のMOの内容の欄には、BaOlMg
O,ZnO1SrO1CaOの割合がモル%で示されて
いる。
の組成及び添加量と第2の添加成分の添加量を示し、第
2表はそれぞれの試料の第2の添加成分の組成を示し、
第3表はそれぞれの試料の焼成温度、及び電気的特性を
示す、なお、第1表の基本成分の欄のx、には組成式の
各元素の原子数、即ちTiの原子数を1とした場合の各
元素の原子数の割合を示す、Xの欄のCa、Srは、般
式のMの内容を示し、これ等の欄にはこれ等の原子数が
示され、この合計の欄にはこれ等の合計値(X値)が示
されている。第1及び第2の添加成分の添加量は基本成
分100重量部に対する重量部で示されている。第2表
の第2の添加成分のMOの内容の欄には、BaOlMg
O,ZnO1SrO1CaOの割合がモル%で示されて
いる。
第3表において、静電容量の温度特性は、25°CのW
?電容量を基準にした一55゛C及び十125°Cの静
電容量変化率をΔC(%)ΔC(%)−55125 20°Cの静電容量を基準にした一25℃及び+85℃
の静電容量変化率をΔC(%)、ΔC25 85(%)で示されている。
?電容量を基準にした一55゛C及び十125°Cの静
電容量変化率をΔC(%)ΔC(%)−55125 20°Cの静電容量を基準にした一25℃及び+85℃
の静電容量変化率をΔC(%)、ΔC25 85(%)で示されている。
第1表〜第3表から明らかな如く、本発明に従う試料で
は、非酸化性雰囲気、1200℃以下の焼成で、比誘電
率ε、が3000以上、誘電体損失tan &が2.5
%以下、抵抗率ρがI×106MΩ・C11以上、静電
容量の温度変化率ΔC−55及びΔCが−15%〜+1
5%、ΔC−25及び25 ΔC8、は−10%〜+10%の範囲となり、所望特性
のコンデンサを得ることが出来る。一方、試料No、
7〜10.26.31.32.37.38.45.46
.47.55.56.63〜67.72.73.77.
78.87.88.89.95.96では本発明の目的
を達成することができない。
は、非酸化性雰囲気、1200℃以下の焼成で、比誘電
率ε、が3000以上、誘電体損失tan &が2.5
%以下、抵抗率ρがI×106MΩ・C11以上、静電
容量の温度変化率ΔC−55及びΔCが−15%〜+1
5%、ΔC−25及び25 ΔC8、は−10%〜+10%の範囲となり、所望特性
のコンデンサを得ることが出来る。一方、試料No、
7〜10.26.31.32.37.38.45.46
.47.55.56.63〜67.72.73.77.
78.87.88.89.95.96では本発明の目的
を達成することができない。
従って、これ等は本発明の範囲外のものである。
第3表にはΔC、ΔC、ΔC−25、Δ−55125
C85のみが示されているが、本発明の範囲に属する試
料の一25℃〜+85℃の範囲の種々の静電容量の変化
率ΔCは、−10%〜+10%の範囲に収まり、また、
−55℃〜+125℃の範囲の種々の静電容量の変化率
ΔCは、−15%〜+15%の範囲に収まっている。
料の一25℃〜+85℃の範囲の種々の静電容量の変化
率ΔCは、−10%〜+10%の範囲に収まり、また、
−55℃〜+125℃の範囲の種々の静電容量の変化率
ΔCは、−15%〜+15%の範囲に収まっている。
次に、組成の限定理由について述べる。
Xの値が、試料NQ38.47.56に示す如く、零の
場合には、ΔC−55が一15%〜+15%の範囲外と
なるが、試料・懇39.40.48.49.57.58
に示す如く、Xの値が0.01の場合には、所望の電気
的特性を得ることができる。従って、Xの値の下限は0
.01である。一方、試料NQ45.46.55.63
.64.65.66に示ず如く、Xの値が0.06の場
合には、ΔC8、が−10%〜+10%の範囲外となる
が、試料騎43.44.51.52.53.54.60
.61.62に示す如く、Xの値が0.05の場合には
、所望の電気的特性を得ることができる。従って、Xの
値の上限は0,05である。なお、M成分のCaとSr
とはほぼ同様に働き、これ等から選択された1つを使用
しても、又は複数を使用しても同様な結果が得られる。
場合には、ΔC−55が一15%〜+15%の範囲外と
なるが、試料・懇39.40.48.49.57.58
に示す如く、Xの値が0.01の場合には、所望の電気
的特性を得ることができる。従って、Xの値の下限は0
.01である。一方、試料NQ45.46.55.63
.64.65.66に示ず如く、Xの値が0.06の場
合には、ΔC8、が−10%〜+10%の範囲外となる
が、試料騎43.44.51.52.53.54.60
.61.62に示す如く、Xの値が0.05の場合には
、所望の電気的特性を得ることができる。従って、Xの
値の上限は0,05である。なお、M成分のCaとSr
とはほぼ同様に働き、これ等から選択された1つを使用
しても、又は複数を使用しても同様な結果が得られる。
そして、M成分の1種又は複数種の何れの場合において
もXの値を0.01〜0.05の範囲にすることが望ま
しい。
もXの値を0.01〜0.05の範囲にすることが望ま
しい。
kの値が、試料NQ67.73に示す如く、1゜0より
も小さい場合には、ρがlX106MΩ・Cl11未満
となり、大幅に低くなるが、試料111Q68.74に
示す如く、kの値が1.00の場合には、所望の電気的
特性が得られる。従って、kの値の下限は1.00であ
る。一方、kの値が、試料嵩72.77に示す如く、1
.05より大きい場合には緻密な焼結体が得られないが
、試料11Q71.76に示す如く、kの値が1.05
の場合には所望の電気的特性が得られる6従って、kの
値の上限は1.05である。
も小さい場合には、ρがlX106MΩ・Cl11未満
となり、大幅に低くなるが、試料111Q68.74に
示す如く、kの値が1.00の場合には、所望の電気的
特性が得られる。従って、kの値の下限は1.00であ
る。一方、kの値が、試料嵩72.77に示す如く、1
.05より大きい場合には緻密な焼結体が得られないが
、試料11Q71.76に示す如く、kの値が1.05
の場合には所望の電気的特性が得られる6従って、kの
値の上限は1.05である。
第1の添加成分であるCr2O3及び/又はAl2O3
の添加量が試料漱78.89に示す如く零の場合は、Δ
C−55が一15%以下となるが、試料11Q79.8
0.90.91に示す如く添加量が100重量部の基本
成分に対して0.01重量部の場合には所望の特性を得
ることができる。従って第1の添加成分の下限は0.0
1である。−方、試料No、 87.88.95.96
に示す如く添加量が3.0ffi量部よりも多い場合に
は1250℃で焼成しても緻密な焼結体が得られないが
、試料NQ84.85.86.94に示す如く添加量が
3.0重量部の場合には所望の特性を得ることができる
。従って第1の添加成分の上限は3.0重量部である。
の添加量が試料漱78.89に示す如く零の場合は、Δ
C−55が一15%以下となるが、試料11Q79.8
0.90.91に示す如く添加量が100重量部の基本
成分に対して0.01重量部の場合には所望の特性を得
ることができる。従って第1の添加成分の下限は0.0
1である。−方、試料No、 87.88.95.96
に示す如く添加量が3.0ffi量部よりも多い場合に
は1250℃で焼成しても緻密な焼結体が得られないが
、試料NQ84.85.86.94に示す如く添加量が
3.0重量部の場合には所望の特性を得ることができる
。従って第1の添加成分の上限は3.0重量部である。
なお、第1の添加成分のCr2O3とAl2O3とはほ
ぼ同様に働き、これ等から選択された1つを使用しても
、又は複数を使用しても同様な結果が得られる。そして
、第1の添加成分が1種又は複数種の何れの場合に於い
ても、添加量は0.01〜3.0重量部の範囲にするこ
とが望ましい、なお、この第1の添加成分は、静電容量
の温度特性の改善に寄与する。即ち、第1の添加成分の
添加によって〜55℃〜125℃の範囲での静電容量の
温度変化率ΔC−55〜ΔC125を一15%〜+15
%の範囲に容易に収めることが可能になると共に、−2
5℃〜85℃の範囲での静電容量の温度変化率へC〜Δ
C85を一125 0%〜+10%の範囲に容易に収めることが可能になり
、且つ各温度範囲における静電容量の温度変化率の変動
幅を小さくすることができる。また、第1の添加成分は
抵抗率ρを大きくする作用を若子育する。
ぼ同様に働き、これ等から選択された1つを使用しても
、又は複数を使用しても同様な結果が得られる。そして
、第1の添加成分が1種又は複数種の何れの場合に於い
ても、添加量は0.01〜3.0重量部の範囲にするこ
とが望ましい、なお、この第1の添加成分は、静電容量
の温度特性の改善に寄与する。即ち、第1の添加成分の
添加によって〜55℃〜125℃の範囲での静電容量の
温度変化率ΔC−55〜ΔC125を一15%〜+15
%の範囲に容易に収めることが可能になると共に、−2
5℃〜85℃の範囲での静電容量の温度変化率へC〜Δ
C85を一125 0%〜+10%の範囲に容易に収めることが可能になり
、且つ各温度範囲における静電容量の温度変化率の変動
幅を小さくすることができる。また、第1の添加成分は
抵抗率ρを大きくする作用を若子育する。
第2の添加成分の添加量が零の場合には、試料No、
26.32から明らかな如く、焼成温度が1250°C
であっても緻密な焼結体が得られないが、試料N(12
7,33に示す如く、添加量が100重量部の基本成分
に対して0.2重量部の場合には、1190℃の焼成で
所望の電気的特性を有する焼結体が得られる。従って、
第2の添加成分の下限は0.2重量部である。一方、試
料随31.37に示す如く、第2の添加成分の添加量が
6.0重量部の場合には、ε が3000未満となり、
更にΔC−55が一15%〜+15%の範囲外となるが
、試料NQ30.36に示す如く、添加量が5゜0重量
部の場合には所望特性を得ることができる。
26.32から明らかな如く、焼成温度が1250°C
であっても緻密な焼結体が得られないが、試料N(12
7,33に示す如く、添加量が100重量部の基本成分
に対して0.2重量部の場合には、1190℃の焼成で
所望の電気的特性を有する焼結体が得られる。従って、
第2の添加成分の下限は0.2重量部である。一方、試
料随31.37に示す如く、第2の添加成分の添加量が
6.0重量部の場合には、ε が3000未満となり、
更にΔC−55が一15%〜+15%の範囲外となるが
、試料NQ30.36に示す如く、添加量が5゜0重量
部の場合には所望特性を得ることができる。
従って、添加量の上限は5.0重量部である。
第2の添加成分の好ましい組成は、第2図のB2B20
3−8iO2−の組成比を示す三角図に基づいて決定す
ることができる。三角図の第1の点(A)は、試料NQ
IのCr2O3が1モル%、SiO2が80モル%、M
Oが19モル%の組成を示し、第2の点(B)は、試料
NQ2のCr2O3が1モル%、S iO2が39モル
%、MOが60モル%の組成を示し、第3の点(C)は
、試料No、 3のBOが29モル%、5i02が1モ
ル%、3 MOが70モル%の組成を示し、第4の点(D)は、試
料Nα4のB Oが90モル%、S I O23 が1モル%、MOが9モル%の組成を示し、第5の点(
E)は、試料Nα5のB2O3が90モル%、5i02
が9モル%、MOが1モル%の組成を示し、第6の点(
F)は試料Nα6のB2O3が19モル%、S iO2
が80モル%、MOが1モル%の組成を示す。
3−8iO2−の組成比を示す三角図に基づいて決定す
ることができる。三角図の第1の点(A)は、試料NQ
IのCr2O3が1モル%、SiO2が80モル%、M
Oが19モル%の組成を示し、第2の点(B)は、試料
NQ2のCr2O3が1モル%、S iO2が39モル
%、MOが60モル%の組成を示し、第3の点(C)は
、試料No、 3のBOが29モル%、5i02が1モ
ル%、3 MOが70モル%の組成を示し、第4の点(D)は、試
料Nα4のB Oが90モル%、S I O23 が1モル%、MOが9モル%の組成を示し、第5の点(
E)は、試料Nα5のB2O3が90モル%、5i02
が9モル%、MOが1モル%の組成を示し、第6の点(
F)は試料Nα6のB2O3が19モル%、S iO2
が80モル%、MOが1モル%の組成を示す。
本発明の範囲に属する試料の第2の添加成分の組成は三
角図の第1〜6の点(A)〜(F)を順に結ぶ6本の直
線で囲まれた領域内の組成になっている。この領域内の
組成とすれば、所望の電気的特性を得ることができる。
角図の第1〜6の点(A)〜(F)を順に結ぶ6本の直
線で囲まれた領域内の組成になっている。この領域内の
組成とすれば、所望の電気的特性を得ることができる。
一方、試料No、 7〜lOのように、第2の添加成分
の組成が本発明で特定した範囲外となれば、緻密な焼結
体を得ることができない、なお、MO酸成分例えば試料
No、 17〜21に示す如<Bad、MgO,ZnO
,SrO,CaOのいずれか1つであってもよいし、又
は池の試料で示すように適当な比率としてもよい。
の組成が本発明で特定した範囲外となれば、緻密な焼結
体を得ることができない、なお、MO酸成分例えば試料
No、 17〜21に示す如<Bad、MgO,ZnO
,SrO,CaOのいずれか1つであってもよいし、又
は池の試料で示すように適当な比率としてもよい。
[変形例]
以上、本発明の実施例について述べたが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、例えば次の変形例が可能な
ものである。
に限定されるものではなく、例えば次の変形例が可能な
ものである。
(a) 基本成分の中に、本発明の目的を阻害しない
範囲で微量のMn02(好ましくはOl、05〜0,1
重量%)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させてもよ
い、また、その他の物質を必要に応じて添加してもよい
。
範囲で微量のMn02(好ましくはOl、05〜0,1
重量%)等の鉱化剤を添加し、焼結性を向上させてもよ
い、また、その他の物質を必要に応じて添加してもよい
。
(b) 出発原料を、実施例で示したもの以外の酸化
物又は水酸化物又はその他の化合物としてもよい。
物又は水酸化物又はその他の化合物としてもよい。
(C) 焼成時の非酸化性雰囲気での処理の後の酸化
性雰囲気での処理の温度を600℃以外の焼結温度より
も低い温度(好ましくは500℃〜1000℃の範囲)
としてもよい、即ち、ニッケル等の電極材料と磁器の酸
化とを考慮して種々変更することが可能である。
性雰囲気での処理の温度を600℃以外の焼結温度より
も低い温度(好ましくは500℃〜1000℃の範囲)
としてもよい、即ち、ニッケル等の電極材料と磁器の酸
化とを考慮して種々変更することが可能である。
(d) 非酸化性雰囲気中の焼成温度を、電極材料を
考慮して種々変えることができる。ニッケルを内部″r
!jh[fとする場合には、1050℃〜1200°C
の範囲でニッケル粒子の凝集がほとんど生じない。
考慮して種々変えることができる。ニッケルを内部″r
!jh[fとする場合には、1050℃〜1200°C
の範囲でニッケル粒子の凝集がほとんど生じない。
(e) 焼結を中性雰囲気で行ってもよい。
(f) 積層磁器コンデンサ以外の一般的な単層の磁
器コンデンサにも勿論適用可能である。
器コンデンサにも勿論適用可能である。
第1図は本発明の実施例に係わる積層型磁器コンデンサ
を示す断面図、 第2図は添加成分の組成範囲を示す三角図である。 12・・・磁器層、14・・・内部電極、16・・・外
部電極)
を示す断面図、 第2図は添加成分の組成範囲を示す三角図である。 12・・・磁器層、14・・・内部電極、16・・・外
部電極)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 [1]誘電体磁器と、前記磁器に接触している少なくと
も2つの電極とから成る磁器コンデンサにおいて、 前記磁器が100.0重量部の基本成分と、0.01〜
3.00重量部の第1の添加成分と、0.2〜5.0重
量部の第2の添加成分とから成り、 前記基本成分が、 (Ba_k_−_xM_x)O_kTiO_2(但し、
MはSr、Caの内の少なくとも1種の金属、 kは1.00〜1.05、 xは0.01〜0.05の範囲内の数値)であり、 前記第1の添加成分がCr_2O_3とAl_2O_3
の内の少なくとも1種の金属酸化物であり、前記第2の
添加成分がB_2O_3とSiO_2とMO(但し、M
OはBaO、SrO、CaO、MgO及びZnOの内の
少なくとも1種の金属酸化物)から成り、且つ前記B_
2O_3と前記SiO_2と前記MOとの組成範囲がこ
れ等の組成をモル%で示す三角図における 前記B_2O_3が1モル%、前記SiO_2が80モ
ル%、前記MOが19モル%の点(A)と、前記B_2
O_3が1モル%、前記SiO_2が39モル%、前記
MOが60モル%の点(B)と、前記B_2O_3が2
9モル%、前記SiO_2が1モル%、前記MOが70
モル%の点(C)と、前記B_2O_3が90モル%、
前記SiO_2が1モル%、前記MOが9モル%の点(
D)と、前記B_2O_3が90モル%、前記SiO_
2が9モル%、前記MOが1モル%の点(E)と、前記
B_2O_3が19モル%、前記SiO_2が80モル
%、前記MOが1モル%の点(F) を順に結ぶ6本の直線で囲まれた領域内のものであるこ
とを特徴とするコンデンサ。 [2]100.0重量部の基本成分と、0.01〜3.
00重量部の第1の添加成分と、0.2〜5.0重量部
の第2の添加成分とから成り、前記基本成分が、 (Ba_k_−_xM_x)O_kTiO_2(但し、
MはSr、Caの内の少なくとも1種の金属、kは1.
00〜1.05、xは0.01〜0.05の範囲内の数
値)であり、前記第1の添加成分がCr_2O_3とA
l_2O_3の内の少なくとも1種の金属酸化物であり
、前記第2の添加成分がB_2O_3とSiO_2とM
O(但し、MOはBaO、SrO、CaO、MgO及び
ZnOの内の少なくとも1種の金属酸化物)から成り、
且つ前記B_2O_3と前記SiO_2と前記MOとの
組成範囲がこれ等の組成をモル%で示す三角図における
前記B_2O_3が1モル%、前記SiO_2が80モ
ル%、前記MOが19モル%の点(A)と、前記B_2
O_3が1モル%、前記SiO_2が39モル%、前記
MOが60モル%の点(B)と、前記B_2O_3が2
9モル%、前記SiO_2が1モル%、前記MOが70
モル%の点(C)と、前記B_2O_3が90モル%、
前記SiO_2が1モル%、前記MOが9モル%の点(
D)と、前記B_2O_3が90モル%、前記SiO_
2が9モル%、前記MOが1モル%の点(E)と、前記
B_2O_3が19モル%、前記SiO_2が80モル
%、前記MOが1モル%の点(F)とを順に結ぶ6本の
直線で囲まれた領域内のものであることを特徴とする混
合物を用意する工程と、 少なくとも2つの電極部分を有する前記混合物の成形物
を作る工程と、 前記電極部分を有する前記成形物を非酸化性雰囲気で焼
成する工程と、 前記焼成で得られた成形物を酸化性雰囲気で熱処理する
工程と を含む磁器コンデンサの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1298136A JPH03159108A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
DE69009001T DE69009001T2 (de) | 1989-10-31 | 1990-10-22 | Vollisolierter Kondensator und Verfahren zu seiner Herstellung. |
EP90120257A EP0425971B1 (en) | 1989-10-31 | 1990-10-22 | Solid dielectric capacitor and method of manufacture |
US07/602,105 US5051864A (en) | 1989-10-31 | 1990-10-22 | Solid dielectric capacitor and method of manufacture |
KR1019900017531A KR930004741B1 (ko) | 1989-10-31 | 1990-10-31 | 자기콘덴서 및 그의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1298136A JPH03159108A (ja) | 1989-11-16 | 1989-11-16 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03159108A true JPH03159108A (ja) | 1991-07-09 |
JPH0525376B2 JPH0525376B2 (ja) | 1993-04-12 |
Family
ID=17855651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1298136A Granted JPH03159108A (ja) | 1989-10-31 | 1989-11-16 | 磁器コンデンサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03159108A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002284571A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Kyocera Corp | 温度特性及びdcバイアス特性に優れた誘電体磁器 |
-
1989
- 1989-11-16 JP JP1298136A patent/JPH03159108A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002284571A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Kyocera Corp | 温度特性及びdcバイアス特性に優れた誘電体磁器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0525376B2 (ja) | 1993-04-12 |
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