JPH03175224A - クリーンルームにおける清浄度制御装置 - Google Patents
クリーンルームにおける清浄度制御装置Info
- Publication number
- JPH03175224A JPH03175224A JP31491889A JP31491889A JPH03175224A JP H03175224 A JPH03175224 A JP H03175224A JP 31491889 A JP31491889 A JP 31491889A JP 31491889 A JP31491889 A JP 31491889A JP H03175224 A JPH03175224 A JP H03175224A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- cleanness
- air
- filter
- damper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims description 23
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 5
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 108010027529 Bio-glue Proteins 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は工業用及びバイオ用のり・リーンルームに使用
されるフィルタユニット内の清浄度制御装置に関するも
のである。
されるフィルタユニット内の清浄度制御装置に関するも
のである。
従来のクリーンルームは空調機とフィルタユニットとの
組み合わせにより必要な清浄度を得るための循環風量を
設定し、システム作りをしていた。このシステムでは必
要な清浄度を満足していても常に一定の風量がフィルタ
を通過するため、より高い清浄度になり、オーバースペ
ックな清浄度になっている例が多く、かつ一定風量が常
にフィルタを通過するため、フィルタの寿命も短くなっ
ていた。
組み合わせにより必要な清浄度を得るための循環風量を
設定し、システム作りをしていた。このシステムでは必
要な清浄度を満足していても常に一定の風量がフィルタ
を通過するため、より高い清浄度になり、オーバースペ
ックな清浄度になっている例が多く、かつ一定風量が常
にフィルタを通過するため、フィルタの寿命も短くなっ
ていた。
従来のシステムにおいては、フィルタ寿命及び清浄度を
制御するために循環風量をインバータ等にて変化させる
方法もあるが、この方法によると室内循環風量が減少し
た場合は、室内の温度分布が悪くなる欠点があった。
制御するために循環風量をインバータ等にて変化させる
方法もあるが、この方法によると室内循環風量が減少し
た場合は、室内の温度分布が悪くなる欠点があった。
本発明では室内循環風量は常に一定であるため、上記の
心配はなく、必要な清浄度に合わせて室内循環風量を制
御するため簡単かつ経済的システムが組めることを目的
とする。
心配はなく、必要な清浄度に合わせて室内循環風量を制
御するため簡単かつ経済的システムが組めることを目的
とする。
クリーンルーム内の循環風量を変えることなく清浄度を
制御するために、フィルタユニット内に設けたバイパス
ダンパーの開度を調整し、このダンパを清浄度の度合い
を測定した信号により比例的に調整することで、より高
い一定精度の清浄度を保持すると共に、クリーンルーム
運転開始時の清浄度立ち上がり時には、バイパスダンパ
ー全閉により、目標清浄度へのより早い到達をも達成さ
れるようになす。
制御するために、フィルタユニット内に設けたバイパス
ダンパーの開度を調整し、このダンパを清浄度の度合い
を測定した信号により比例的に調整することで、より高
い一定精度の清浄度を保持すると共に、クリーンルーム
運転開始時の清浄度立ち上がり時には、バイパスダンパ
ー全閉により、目標清浄度へのより早い到達をも達成さ
れるようになす。
フィルタユニット内に設けたバイパスダンパーは、清浄
度を測定した外部信号によりその開度を調整し、これに
よってクリーンルーム内を循環している空電は一部フィ
ルタを通過せずにそのまま室内へと供給され、これによ
り清浄度をキープするのに必要なろ過空電のみをフィル
タへ通すので、フィルりが目３吉まりしにくくなる。
度を測定した外部信号によりその開度を調整し、これに
よってクリーンルーム内を循環している空電は一部フィ
ルタを通過せずにそのまま室内へと供給され、これによ
り清浄度をキープするのに必要なろ過空電のみをフィル
タへ通すので、フィルりが目３吉まりしにくくなる。
以下本発明を図示の実施例にもとづいて説明する。
図において１は所用の大きさ、用途、目的に合わせて構
成されたクリーンルームで、このクリーンルームｌの上
部又は天井面にフィルタユニット２を配設し、クリーン
ルームｌ内の空気をリターンダクト３を介して吸引し、
このフィルタユニット２内にて清浄かつ必要に応じて冷
却された空気を吹出パンチング板を介して供給される。
成されたクリーンルームで、このクリーンルームｌの上
部又は天井面にフィルタユニット２を配設し、クリーン
ルームｌ内の空気をリターンダクト３を介して吸引し、
このフィルタユニット２内にて清浄かつ必要に応じて冷
却された空気を吹出パンチング板を介して供給される。
このフィルタユニット２は第１図、第２図に詳示するよ
うに所要の大きさを有するケーシング２０内を仕切板２
１にて２室に分割し、その−室内にすなわち大きさ室内
に所要のフィルタ倒えばＨＥＰＡフィルタ２２を設置し
、かつ必要に応じて空：Ａ段４ａ（図示せず）を設け、
このフィルタ設置側の室内にクリーンルーム１内の空気
をリターンダクト３を介して導き入れるようになす。こ
のＨＥＰＡフィルタ２２は大きな室の下部に配置され、
フィルタ上部は空洞とし、リターンダクト３を経て導入
される空気はこのフィルタ上部室内へ導かれ、その後Ｈ
ＥＰＡフィルタ２２内を通過して清浄されるものである
。
うに所要の大きさを有するケーシング２０内を仕切板２
１にて２室に分割し、その−室内にすなわち大きさ室内
に所要のフィルタ倒えばＨＥＰＡフィルタ２２を設置し
、かつ必要に応じて空：Ａ段４ａ（図示せず）を設け、
このフィルタ設置側の室内にクリーンルーム１内の空気
をリターンダクト３を介して導き入れるようになす。こ
のＨＥＰＡフィルタ２２は大きな室の下部に配置され、
フィルタ上部は空洞とし、リターンダクト３を経て導入
される空気はこのフィルタ上部室内へ導かれ、その後Ｈ
ＥＰＡフィルタ２２内を通過して清浄されるものである
。
また仕切板２１にて仕切られた小さい側の室２Ｂ内は大
きなＮ２Ａ内のフィルタ上部室とバイパスダンパー２３
を介して導通されるように、このバイパスダンパー２３
を仕切板２１に組み込まれる。
きなＮ２Ａ内のフィルタ上部室とバイパスダンパー２３
を介して導通されるように、このバイパスダンパー２３
を仕切板２１に組み込まれる。
バイパスダンパー２３はダンパーボックス２４内に設け
たダンパー開閉用モータ（図示せず）にて開閉操作が行
われるようになっており、これはクリーンルームｌ内の
清浄度に応じて自在に開度が制御されるものである。
たダンパー開閉用モータ（図示せず）にて開閉操作が行
われるようになっており、これはクリーンルームｌ内の
清浄度に応じて自在に開度が制御されるものである。
フィルタユニット２０の下部には大きな室側２Ａ、小さ
な室（１１２Ｂともに吹出パンチング板２５が配設され
、フィルタユニット内に導かれた空気はこの吹出パンチ
ング板２５を経て、再びクリーンルームｌ内へ吹き出さ
れるようになす 上述の如く構成される装置において、まずクリーンルー
ム内の空気の清浄度（クリーン度）をセンサーにて測定
し、このセンサーの測定１直信号を変換器を介して電気
信号に変え、これと予め設定された清浄度設定値とを比
較し、この比較信号にてバイパスダンパー開閉用のモー
タを制御してバイパスダンパー２３の開度をｆＪ整する
。リターンダクトを経てフィルタユニット大室２Ａ内に
導かれた空気はバイパスダンパー２３が全閉されている
とき、全ての空気はフィルタ２２を経て再びクリーンル
ームｌ内へ供給される。しかし、クリーンルーム内の清
浄度に応じてバイパスダンパー２３がその開度によって
開いていると、大室２Ａ内の空気の一部はフィルタを通
過しないで大室２Ａよりダンパー２３より小室２Ｂへ導
かれ、そのまま再びクリーンルーム内へ供給される。こ
のフィルタを通過しない空気量はクリーンルーム内の空
気の清浄度によりｒＡｍされ、循環空気の清浄度を常に
設定値に保持されろようになす。
な室（１１２Ｂともに吹出パンチング板２５が配設され
、フィルタユニット内に導かれた空気はこの吹出パンチ
ング板２５を経て、再びクリーンルームｌ内へ吹き出さ
れるようになす 上述の如く構成される装置において、まずクリーンルー
ム内の空気の清浄度（クリーン度）をセンサーにて測定
し、このセンサーの測定１直信号を変換器を介して電気
信号に変え、これと予め設定された清浄度設定値とを比
較し、この比較信号にてバイパスダンパー開閉用のモー
タを制御してバイパスダンパー２３の開度をｆＪ整する
。リターンダクトを経てフィルタユニット大室２Ａ内に
導かれた空気はバイパスダンパー２３が全閉されている
とき、全ての空気はフィルタ２２を経て再びクリーンル
ームｌ内へ供給される。しかし、クリーンルーム内の清
浄度に応じてバイパスダンパー２３がその開度によって
開いていると、大室２Ａ内の空気の一部はフィルタを通
過しないで大室２Ａよりダンパー２３より小室２Ｂへ導
かれ、そのまま再びクリーンルーム内へ供給される。こ
のフィルタを通過しない空気量はクリーンルーム内の空
気の清浄度によりｒＡｍされ、循環空気の清浄度を常に
設定値に保持されろようになす。
本発明によるときは、上述の如く構成されるため、クリ
ーンルーム内を任意の清浄度（クラス１，０００〜１０
０ 、０００）に制御可能となり、かつ室内循環風量が
一定であるので、室内温湿度分布が変動せず、さらにク
リーンルーム運転開始時の立ち上がり時間はダンパー閉
により従来同様に早く到達可能で、不必要な循環空気は
フィルタをバイパスさせるのでフィルタの寿命が長くな
る等の利点を有する。
ーンルーム内を任意の清浄度（クラス１，０００〜１０
０ 、０００）に制御可能となり、かつ室内循環風量が
一定であるので、室内温湿度分布が変動せず、さらにク
リーンルーム運転開始時の立ち上がり時間はダンパー閉
により従来同様に早く到達可能で、不必要な循環空気は
フィルタをバイパスさせるのでフィルタの寿命が長くな
る等の利点を有する。
第１図はフィルタユニットの説明図、第２図は縦断面図
、第３図はクリーンルームの全体の外観図である。 １はクリーンルーム、２はフィルタユニット、２０はケ
ーシング、２１は仕切板、２２はフィルタ、２３はバイ
パスダンパー ２５は吹出パンチング板、３はリターン
ダクト。 第２図 第３図
、第３図はクリーンルームの全体の外観図である。 １はクリーンルーム、２はフィルタユニット、２０はケ
ーシング、２１は仕切板、２２はフィルタ、２３はバイ
パスダンパー ２５は吹出パンチング板、３はリターン
ダクト。 第２図 第３図
Claims (1)
- （１）クリーンルームに設置されるフィルタユニット内
を仕切板及びバイパスダンパーにて仕切り、クリーンル
ームより空気を導入される一方の室内にフィルタを設置
し、他方の室内とフィルタ付室内の底部よりクリーンル
ーム内へ空気を吹き出し、循環するようになし、かつ上
記バイパスダンパーをクリーンルーム内の空気清浄度に
よりその開度を調整するダンパーボックスを備えたこと
を特徴とするクリーンルームにおける清浄度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31491889A JPH03175224A (ja) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | クリーンルームにおける清浄度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31491889A JPH03175224A (ja) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | クリーンルームにおける清浄度制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03175224A true JPH03175224A (ja) | 1991-07-30 |
| JPH0565771B2 JPH0565771B2 (ja) | 1993-09-20 |
Family
ID=18059213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31491889A Granted JPH03175224A (ja) | 1989-12-04 | 1989-12-04 | クリーンルームにおける清浄度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03175224A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0676672A2 (en) * | 1994-04-08 | 1995-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Processing system |
| CN107842969A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-03-27 | 奥普家居股份有限公司 | 一种具有旁通门的新风机 |
| WO2018225298A1 (ja) * | 2017-06-06 | 2018-12-13 | 株式会社日立産機システム | ファンフィルタユニット、無菌装置およびクリーンルーム |
-
1989
- 1989-12-04 JP JP31491889A patent/JPH03175224A/ja active Granted
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0676672A2 (en) * | 1994-04-08 | 1995-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Processing system |
| EP0676672A3 (en) * | 1994-04-08 | 1996-07-10 | Canon Kk | Processing system. |
| US5871587A (en) * | 1994-04-08 | 1999-02-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Processing system for semiconductor device manufacture of otherwise |
| EP1026549A2 (en) * | 1994-04-08 | 2000-08-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Processing system |
| EP1026549A3 (en) * | 1994-04-08 | 2000-08-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Processing system |
| WO2018225298A1 (ja) * | 2017-06-06 | 2018-12-13 | 株式会社日立産機システム | ファンフィルタユニット、無菌装置およびクリーンルーム |
| JP2018204881A (ja) * | 2017-06-06 | 2018-12-27 | 株式会社日立産機システム | ファンフィルタユニット、無菌装置およびクリーンルーム |
| US11112143B2 (en) | 2017-06-06 | 2021-09-07 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. | Fan filter unit, sterilization apparatus and clean room |
| CN107842969A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-03-27 | 奥普家居股份有限公司 | 一种具有旁通门的新风机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0565771B2 (ja) | 1993-09-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |