JPH03173052A - 電子レンズにおける歪み測定方法 - Google Patents
電子レンズにおける歪み測定方法Info
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- JPH03173052A JPH03173052A JP1312011A JP31201189A JPH03173052A JP H03173052 A JPH03173052 A JP H03173052A JP 1312011 A JP1312011 A JP 1312011A JP 31201189 A JP31201189 A JP 31201189A JP H03173052 A JPH03173052 A JP H03173052A
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Links
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 16
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- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 4
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- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、電子線バイプリズムを利用した電子レンズに
おける歪み測定方法に関する。
おける歪み測定方法に関する。
［従来技術］
磁界型あるいは静電型電子レンズの電磁界の歪みにより
発生する各々の収差が、電子顕微鏡像に歪みを与え、電
子顕微鏡の性能に大きな影響を及ぼしている。磁界型電
子レンズついては、磁場検出素子であるホール素子を２
次元的に例えば格子状にモーター等の駆動手段によって
移動させて、電子レンズの磁界分布を測定し、それに基
づいて歪みの検討を行うことができる。
発生する各々の収差が、電子顕微鏡像に歪みを与え、電
子顕微鏡の性能に大きな影響を及ぼしている。磁界型電
子レンズついては、磁場検出素子であるホール素子を２
次元的に例えば格子状にモーター等の駆動手段によって
移動させて、電子レンズの磁界分布を測定し、それに基
づいて歪みの検討を行うことができる。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、ホール素子を均一な正方格子状に移動さ
せるのは困難であると同時に、ホール素子の大きさに起
因するが、分解能がｌｌｌｌ１１オーダーであるため電
子レンズの磁界分布の測定に関して十分とはいえない。
せるのは困難であると同時に、ホール素子の大きさに起
因するが、分解能がｌｌｌｌ１１オーダーであるため電
子レンズの磁界分布の測定に関して十分とはいえない。
一方、静電型電子レンズについては、レンズ空間内の電
界分布をａｐ＋定する手段がない。
界分布をａｐ＋定する手段がない。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、電界型、
磁界型に拘らず、電子レンズの電磁界の歪みを簡単にａ
ＰＪ定できる方法を提供することを目的とするものであ
る。
磁界型に拘らず、電子レンズの電磁界の歪みを簡単にａ
ＰＪ定できる方法を提供することを目的とするものであ
る。
［問題点を解決するための手段］
前記目的を達成するため、電子レンズにおける歪み測定
方法は、電子線通路上に電子線に直交するようにおかれ
たワイヤと、ワイヤを挟むようにおかれたアース電極と
で構成される電子線バイプリズムを用いて電子レンズの
歪みをＡ１１ｌ定する方法であって、電子線通路上にお
かれる電子レンズの下方に電子線バイプリズムを配置し
、電子レンズとバイプリズムを通過する電子線によって
形成されるホログラムを保持又は記憶し、ワイヤの方向
を異ならせて形成して得たホログラムを前記保持又は記
憶したホログラムに重畳させるようにしたことを特徴と
している。
方法は、電子線通路上に電子線に直交するようにおかれ
たワイヤと、ワイヤを挟むようにおかれたアース電極と
で構成される電子線バイプリズムを用いて電子レンズの
歪みをＡ１１ｌ定する方法であって、電子線通路上にお
かれる電子レンズの下方に電子線バイプリズムを配置し
、電子レンズとバイプリズムを通過する電子線によって
形成されるホログラムを保持又は記憶し、ワイヤの方向
を異ならせて形成して得たホログラムを前記保持又は記
憶したホログラムに重畳させるようにしたことを特徴と
している。
［作用］
本発明の基本的な考え方を以下に説明する。
第３図に示すように、図示しない電子銃から発生した電
子線１は電子レンズとしての対物レンズ２を通り、蛍光
板３へ向けて進行する。図示しない電子銃と蛍光板３の
間には、ワイヤ４およびワイヤ４を挟むように配置され
るアース電極５が設けられており、ワイヤ４の両側に入
射した電子線２は、ワイヤ４に電源６により印加された
正電位によって中央に引き寄せられて下方で重畳し、蛍
光板３に第１のホログラム（縞）が形成される。
子線１は電子レンズとしての対物レンズ２を通り、蛍光
板３へ向けて進行する。図示しない電子銃と蛍光板３の
間には、ワイヤ４およびワイヤ４を挟むように配置され
るアース電極５が設けられており、ワイヤ４の両側に入
射した電子線２は、ワイヤ４に電源６により印加された
正電位によって中央に引き寄せられて下方で重畳し、蛍
光板３に第１のホログラム（縞）が形成される。
次にワイヤ４の方向を９０度異ならせてもう一度Δ−ｊ
定すると、第１のホログラムと直交する第２のホログラ
ム（縞）が形成される。もし、電子レンズの電磁界分布
に歪みがあるとこの縞が乱れるので、電子レンズの電磁
界による歪みの有無について判断できる。
定すると、第１のホログラムと直交する第２のホログラ
ム（縞）が形成される。もし、電子レンズの電磁界分布
に歪みがあるとこの縞が乱れるので、電子レンズの電磁
界による歪みの有無について判断できる。
［実施例］
以下本発明の実施例を添附図面に基づいて詳述する。第
１図は本発明の一実施例電子線バイプリズムの要部を示
した概略図である。第３図で述べた装置と同一の構成要
素には、同一の番号を付している。第３図で述べた装置
と異なるところは、ワイヤ４に対し、接触することなく
直角に交差するようにワイヤ７を設けたことと、ワイヤ
４とワイヤ７に正電位を選択的に印加するためのスイッ
チＳｌ、Ｓ２を設けたことである。
１図は本発明の一実施例電子線バイプリズムの要部を示
した概略図である。第３図で述べた装置と同一の構成要
素には、同一の番号を付している。第３図で述べた装置
と異なるところは、ワイヤ４に対し、接触することなく
直角に交差するようにワイヤ７を設けたことと、ワイヤ
４とワイヤ７に正電位を選択的に印加するためのスイッ
チＳｌ、Ｓ２を設けたことである。
この様な構成において、まず、スイッチＳ１をＯＮにし
てワイヤ４に電源６から例えば１００Ｖ程度の正電位を
与える。そして、第３図で述べたと同様に蛍光板３上に
形成されたホログラムの縞を観察する。そして、Ｓｌを
ＯＦＦにし、このホログラムの残像が残っている間に、
Ｓ２をＯＮにしてワイヤ７に正電位を与える。このワイ
ヤ７によるホログラム（縞）が蛍光板３上に現れ（点線
表示）、ワイヤ４によるホログラムと合成されて格子状
になる。もし、レンズ２の電磁界分布が理想的に対称に
構成されている場合は、第２図（ａ）に示すように蛍光
板３上に形成されるホログラムは正方格子状となる。し
かし、レンズ２の電磁界の対称性が崩れている場合は、
第２図（ｂ）に示すようにホログラムの格子に歪みが発
生する。このようにして、本実施例装置により、簡単に
電子レンズの電磁界分布を観察でき、且つ、分解能も数
百〜数オジグストロームと向上した。
てワイヤ４に電源６から例えば１００Ｖ程度の正電位を
与える。そして、第３図で述べたと同様に蛍光板３上に
形成されたホログラムの縞を観察する。そして、Ｓｌを
ＯＦＦにし、このホログラムの残像が残っている間に、
Ｓ２をＯＮにしてワイヤ７に正電位を与える。このワイ
ヤ７によるホログラム（縞）が蛍光板３上に現れ（点線
表示）、ワイヤ４によるホログラムと合成されて格子状
になる。もし、レンズ２の電磁界分布が理想的に対称に
構成されている場合は、第２図（ａ）に示すように蛍光
板３上に形成されるホログラムは正方格子状となる。し
かし、レンズ２の電磁界の対称性が崩れている場合は、
第２図（ｂ）に示すようにホログラムの格子に歪みが発
生する。このようにして、本実施例装置により、簡単に
電子レンズの電磁界分布を観察でき、且つ、分解能も数
百〜数オジグストロームと向上した。
尚、本実施例装置においては、ワイヤ２本を接触するこ
となく直角に交差するようにして使用したが、１本のワ
イヤを蛍光板に平行して９０度回転させるようにしても
良い。
となく直角に交差するようにして使用したが、１本のワ
イヤを蛍光板に平行して９０度回転させるようにしても
良い。
尚、本実施例装置においては、蛍光板上に残像を利用し
てホログラムの格子を形成させるようにしたが、カメラ
撮影の際に二重露出を行うことにより、ホログラムの格
子をフィルム上に形成させても良い、又、メモリー付き
の撮像管を利用して合成しても良い。
てホログラムの格子を形成させるようにしたが、カメラ
撮影の際に二重露出を行うことにより、ホログラムの格
子をフィルム上に形成させても良い、又、メモリー付き
の撮像管を利用して合成しても良い。
［効果］
以上詳述したように本発明によれば、電子線バイプリズ
ムを利用したことにより、電界型、磁界型に拘らず、電
子レンズにおける歪みをＭ１定できるようになった。
ムを利用したことにより、電界型、磁界型に拘らず、電
子レンズにおける歪みをＭ１定できるようになった。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例装置の要部を示した概略図、第
２図は本発明の実施例装置による動作説明図、第３図は
７ｕ子線バイプリズムの原理を示す概略図である。 に電子線 ２：対物レンズ ３：蛍光板 ４．７：ワイヤ５ ：アース電極 ６：電源
２図は本発明の実施例装置による動作説明図、第３図は
７ｕ子線バイプリズムの原理を示す概略図である。 に電子線 ２：対物レンズ ３：蛍光板 ４．７：ワイヤ５ ：アース電極 ６：電源
Claims (1)
- 電子線通路上に電子線に直交するようにおかれたワイヤ
と、ワイヤを挟むようにおかれたアース電極とで構成さ
れる電子線バイプリズムを用いて電子レンズの歪みを測
定する方法であって、電子線通路上におかれる電子レン
ズの下方に電子線バイプリズムを配置し、電子レンズと
バイプリズムを通過する電子線によって形成されるホロ
グラムを保持又は記憶し、ワイヤの方向を異ならせて形
成して得たホログラムを前記保持又は記憶したホログラ
ムに重畳させるようにしたことを特徴とする電子レンズ
における歪み測定方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1312011A JPH03173052A (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 電子レンズにおける歪み測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1312011A JPH03173052A (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 電子レンズにおける歪み測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03173052A true JPH03173052A (ja) | 1991-07-26 |
Family
ID=18024137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1312011A Pending JPH03173052A (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 電子レンズにおける歪み測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03173052A (ja) |
-
1989
- 1989-11-30 JP JP1312011A patent/JPH03173052A/ja active Pending
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