JPH03171439A - 情報記録媒体 - Google Patents

情報記録媒体

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JPH03171439A
JPH03171439A JP1310066A JP31006689A JPH03171439A JP H03171439 A JPH03171439 A JP H03171439A JP 1310066 A JP1310066 A JP 1310066A JP 31006689 A JP31006689 A JP 31006689A JP H03171439 A JPH03171439 A JP H03171439A
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JP
Japan
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base layer
ratio
recording medium
information recording
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Pending
Application number
JP1310066A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiaki Igata
居▲がた▼ 俊明
Toshiyuki Takao
高尾 俊之
Makoto Nagao
信 長尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の分野] 本発明は、記録層の密着性が優れ耐熱性が良好であり、
そのために情報の記録・再生性能、再生劣化特性、及び
耐久性が共に優れた情報記録媒体に関する。
[発明の技術的背Jλ] 近年において、レーザー光等の高エネルギー密度のビー
ムを用いる情報記録媒体が開発され、実用化されている
。この情報記録媒体は光ディスクと称され、ビデオ・デ
ィスク、オーディオ・ディスク、さらには大容量静止画
像ファイルおよび人容量コンピュータ用ディスク・メモ
リーとして使用され得るものである。
このような情報記録媒体は、基本構造として、プラスチ
ック、ガラス等からなる円盤状の透明基板と、この上に
設けられたBi,Sn,In、Te,Se等の金属また
は半金属からなる記録層とを有する。光ディスクへの情
報の書き込み(記録)は、たとえばレーザビームを光デ
ィスクC照射することにより行なわれ、記録層の照射側
の層の部分がその光を吸収して局所的に温度上昇する結
果、ピット形成等の物理的変化あるいは相変化等の化学
的変化を生じてその光学的特性を変えることにより情報
が記録される。光ディスクからの情報の読み取り(再生
)もまた、レーザビームを光ディスクに照射することな
どにより行なわれ、記録層の光学的特性の変化に応じた
反射光または透過光を検出することにより情報が再生さ
れる。
そして、上記光ディスクへの情報の書き込みおよび読み
取りのためのレーザビームの照射は、通常ディスク表面
の所定の位置に行われる。
このような情報記録媒体において、記録感度の向上と耐
久性の向上のために、基板と記録層との間に、フッ素と
炭素とを主成分とし、炭素原子数(C)に対するフッ素
原子数(F)の比(F/C)が1.0以上1.8以下に
調整された光透過性の下地層を、ポリテトラフルオロエ
チレンのスパッタにより形成させた光情報記録媒体が提
案されている(例えば、特開昭64−7348号公報)
また、特開昭63−74 1 39号公報には、最小ピ
ットサイズを小さくする一方で、高感度及びビット形状
の改善をもたらすものとして、基板上にフルオロカーボ
ン膜からなる下引き層を設け該下引き層]二にTeを含
む穴あけタイプの記録層を配置した光学的記録用媒体に
おいて、上記下引き層の記録層に接・・する側の表面か
ら10nm以内の層の炭素とフッ素の原子数比をESC
A法による測定値として、炭素1に対してフッ素0.8
以上1.4未満としたことを特徴とする光学的記録用媒
体が記載されている。そして、このような下引き層とし
ては、フルオロカーボンのプラズマ重合膜が好ましいと
され、ポリテトラフルオロエチレンのスパッタ膜を下引
き層とした場合、感度は極めて良いものの、付着力か弱
過ぎるために、ビット形状が不揃で、大きな穴しか開か
ず、そのためC/Nの場所むら、記録パワー依存性が大
きく、正確なデジタル信号の記録再生は不可能であった
ことが示されている。
上記のような情報記録媒体において、良好な記録・再生
性能を得るためには、上記下地層の膜厚をある程度以上
、例えば、soo2以上の膜厚にすることが必要である
。また、上記フッ素系樹脂からなる下地層の前記記録層
との密着性を増大させるためには、下地層中の炭素原子
数(C)に対するフッ素原子数(F)の比( F/C 
)を小さくすることが望ましい。下地層の上記F/C比
が大きいと、下地層と記録層との接着性が低下すると共
に、得られる情報記録媒体の記録・再生性能が悪化する
。下地層をフッ素系樹脂のスパッタにより形成させる場
合に、このF/C比を小さくするには、スパッタの際の
電力(パワー)を小さくする必要があり、そのために下
地層の形成速度は小さくなる。従って、・土記F/C比
が小さく膜厚の大きい下地層を形成させるためには、極
めて長時間のスバツタ工程を必要とし、情報記録媒体の
生産性は極めて低いものとなるという問題がある。
[発明の目的] 本発明は、記録層との、又は記録層と基板との接着性が
極めて優れている下地層を有し、そのために、記録・再
生性能、再生劣化特性、及び耐久性が優れており、しか
も高い生産性で製造することができる情報記録媒体を提
供することを目的とする。
[発明の要旨] 本発明は、円盤状基板の表面にフッ素系樹脂からなる下
地層が設けられ、該下地層の上にレーザ光により情報の
記録及び/又は再生が可能な記録層が設けられてなる情
報記録媒体であって、該下地層の該記録層に接触する側
の層の部分の炭素原子数(CA)に対するフッ素原子数
( F A)の比(FA/CA)が、該下地層のその他
の部分の炭素原子数(cn)に対するフッ素原子数(F
n)の比(Fn/CB)よりも小さいものであることを
特徴とする情報記録媒体にある。
本発明はまた、円盤状基板の表面にフッ素系網脂からな
る下地層が設けられ、該下地層の上にレーザ光により情
報の記録及び/又は再生が可能な記録層が設けられてな
る情報記録媒体であって、該下地層の該記録層に接触す
る側の層の部分の炭素原子数(CA)に対するフッ素原
子数( F A)の比(FA/CA)及び該下地層の該
基板に接触する側の層の部分の炭素原子数(CC)に対
するフッ素原子数( F C)の比(FC/CC)が、
該下地層のそれら以外の部分の炭素原子数(CD)に対
するフッ素原子数(Fo)の比(F,/co)よりも小
さいものであることを特徴とする情報記録媒体にある。
本発明の情報記録媒体の好ましい態様は以下の通りであ
る。
1)上記下地層が、原材料としてのフッ素系樹脂のスパ
ッタにより形成されたものであることを特徴とする上記
情報記録媒体。
2)上記下地層を形成させるための原材料フッ素系樹脂
が、ポリテトラフルオロエチレン、デトラフルオロエチ
レンーバーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(
PFA).テトラフルオロエチレンーヘキサフル才ロプ
ロピレン共重合体(FEP)、テトラフルオロエチレン
ーヘキサフルオロブロピレンーパーフルオロアルキルビ
ニルエーテル共重合体(EPE).ポリフツ化ビニル、
ポリ三フッ化エチレン、ポリフツ化ビニリデン、ボリ六
フッ化プロピレン、ポリクロロトリフルオロエチレンお
よびポリカーボンモノフルオライドから選ばれる少なく
とも一種の樹脂であることを特徴とする上記情報記録媒
体。
3)1一記下地居を形成させるための原材料フツ素系樹
脂が、ポリテトラフルオロエチレンであることを特徴と
する上記情報記録媒体。
4)上記下地層の全体層厚が、500〜10000X、
更に好ましくは600〜2000Xの層厚であり、上記
記録層に接触する側の層の部分の層厚(LA)が、50
〜300又であることを特徴とする上記情報記録媒体。
5)F記下地層の全体層厚が、500〜10000X、
更に好ましくは600〜2000Xの層厚であり、上記
記録層に接触する側の層の部分の層厚( L A)が、
50〜300又であり、上記基板に接触する側の層の部
分の層厚(LC)が、50〜1 50Xであることを特
徴とする上記情報記録媒体。
6)上記下地層の上記記録層に接触する側の層の部分の
炭素原子数(CA)に対するフッ素原子数( F A)
の比(FA/CA)が、0.6〜1.2の範囲内の値で
あることを特徴とする−1二記情報記録媒体。
7)1二記下地層の−L記基板に接触する側の層の部分
の炭素原子数(CC)に対するフッ素原子数(Fc)の
比(FC/cc)が、0.6〜1.2の範囲内の値であ
ることを特徴とする上記情報記録媒体。
8)上記下地層の上記記録層に接触する側の層の部分以
外の部分の炭素原子数(CB)に対するフッ素原子数(
FB)の比(FB/cn)、又は、上記記録層に接触す
る側の層の部分及び上記基板に接触する側の層の部分以
外の部分の炭素原子数(co)に対するフッ素原子数(
FIG)の比(FD /CO)が1.3〜2,0の範囲
内の値であることを特徴とする上記情報記録媒体。
9)上記下地層が、原材料としてのフッ素系樹脂のスパ
ッタにより形威されたものであり、下地層の炭素原子数
(C)に対するフッ素原子数(F)の比(F/C)が、
スパツタ時の電力(パワー)を変化させることにより制
御されたものであることを特徴とする上記情報記録媒体
10)上記下地層が、原材料としてのフッ素系樹脂のス
パッタにより形成されたものであり、下地層の炭素原子
数(C)に対するフッ素原子数(F)の比( F/C 
)が、スパッタ時の雰囲気のガスの、種類及び/又は組
成及び/又は流量及び/又は圧力を変化させることによ
り制御されたものであることを特徴とする上記情報記録
媒体。
11)上記下地層が、原材料としてのフッ素系樹脂のス
パッタにより形成されたものであり、下地層の炭素原子
数(C)に対するフッ素原子数(F)の比( F/C 
)が、スパッタ時のターゲット(原材料)とするフッ素
系樹脂の種類を変化させることにより制御されたもので
あることを特徴とする上記情報記録媒体。
12)上記記録層が、レーザ光により情報の記録及び/
又は再生が可能なTeを含むことを特徴とする上記情報
記録媒体。
13)上記記録層が、Te及びSeを含む記録層である
ことを特徴とする上記情報記録媒体。
14)上記記録層が、SeaTebMc (但し、a,
b及びCは原子数%で表わして、2≦a≦35、50≦
b≦98、0≦C≦45の範囲内の値であり、Mは、P
b,In%Ge%S、Sb,  As.  Bi,  
Sn,  All、 Ga,  Tfi,Zn,  C
d,  Au,  Pt,  Ag,  Cu,  N
i,Pd,Rh,Cr,Mo,WおよびTaから選ばれ
る少なくとも一種の金属を表わす〉で表わされる組成を
有することを特徴とする上記情報記録媒体。
15)土記Mで表わされる金属が、pbであることを特
徴とする上記情報記録媒体。
.16)土記Teを含む記録層の上に、二酸化ケイ素、
酸化スズ、弗化マグネシウム、酸化チタン、Tea.(
但し、1≦X≦2)、酸化ジルコニウムおよび酸化亜鉛
から選ばれる少なくとも一種の材料からなる層を積層す
ることを特徴とする上記情報記録媒体。
17)上記記録層の上に、TeaX (1.5≦X≦2
)からなる層を積層することを特徴とする上記情報記録
媒体。
18)上記記録層が、レーザ光により情報の記録及び/
又は再生が可能な色素を含むことを特徴11 とする上記情報記録媒体。
19)該記録層に含まれる色素が、シアニン系色素、ア
ズレニウム系色素、スクワリリウム系色素、フタロシア
ニン系色素、ピリリウム系色素、チオビリリウム系色素
、インドフェノール系色素、インドアニリン系色素、ト
リフェニルメタン系色素、キノン系色素、アミニウム系
色素、ジインモニウム系色素、金属錯塩系色素、などか
ら選ばれる色素の一種又は二種以上からなることを特徴
とする上記情報記録媒体。
20)上記記録層が、更に金属錯体系色素を上記色素又
は色素混合物1モル部に対して0.001〜0.2モル
部含むことを特徴とする上記情報記録媒体。
21)上記記録層の層厚が、500〜2000又の範囲
にあることを特徴とする−L記情報記録媒体及びその製
造方法。
22)上記基板の材料が、ポリカーボネート、ポリオレ
フィンまたはセルキャストボリメチルメタクリレートで
あることを特徴とする上記情報記1 2 録媒体。
[発明の詳細な記述] 本発明の情報記録媒体は、円盤状基板の表面にフッ素系
樹脂からなる下地層が設けられ、該下地層の上にレーザ
光により情報の記録及び/又は再生が可能な記録層が設
けられてなる基本構成を有する情報記録媒体であって、
該下地層の炭素原子数(C)に対するフッ素原子数(F
)の比(F/C)が、前記のように下地層.の厚さ方向
で異なった分布を有することに特徴を有するものである
上記基板は、従来の情報記録媒体の基板として用いられ
ている各種の材料から任意に選択することができる。基
板の光学的特性、平面性、加工性、取扱い性、経時安定
性および製造コストなどの点から、基板材料の例として
は、ソーダ石灰ガラス等のガラス;セルキャストボリメ
チルメタクリレート、射出成形ポリメチルメタクリレー
ト等のアクリル樹脂:ボリ塩化ビニル、塩化ビニル共重
合体等の塩化ビニル系樹脂:エポキシ樹脂:ポリエチレ
ンテレフタレート等ポリエステル類:ボリカーボネート
および非品質ポリオレフィンを挙げることができる。こ
れらのうちで、好ましいものはポリメチルメタクリレー
ト、ポリカーボネート、エポキシ樹脂、非晶質ポリオレ
フィンおよびポリエチレンテレフタレートであり、特に
ポリカーポネートが好ましい。
また、裁板」二にはトラッキング用グループの]−]的
でプレグループが、またはアドレス信号等の情報を表わ
す凹凸の形成等の目的でプレピットが設けられている。
上記プレグループまたはプレピットは、上記基板の表面
に、アクリル酸のエステルのような千ノマー(又はオリ
ゴマー)と光重合開始剤との混合物を用いてプレグルー
プ層を形成させるか、基板が樹脂製である場合には、成
形により基板表面に直接プレグループまたはプレビット
を形成させてもよい。
次に、上記基板の表面に設けられている下地層について
、添付する図面を参照して詳述する。
第1図は、本発明の情報記録媒体の−失施例の断面を模
式的に示す断面図である。
1 5 第1図において、情報記録媒体1は、基板2と、基板2
の表面に設けられた下地層3と、下地層3の上に設けら
れた記録層4とからなっている。
そして、下地層3はフッ素系樹脂からなっており、下地
層3の記録層4に接触する側の下地層3Aの部分の炭素
原子数(CA)に対するフッ素原子数( F A)の比
(FA/CA)が、下地層3のその他の部分の下地層3
Bの炭素原子数( C B)に対するフッ素原子数(F
B)の比(FB/CB)よりも小さくなるように構成さ
れている。
上記比(FA/CA)の値は、上記比(FB/CB)と
の関係が上記の条件を満足する限り特に限定されないが
、記録層4との接着性及び耐熱性を良好にするために、
0.6〜1.2の範囲内の値であることが好ましい。比
(FA/CA)が上記範囲よりも小さいと耐熱性が悪く
なり、かつ、接着力が増加し過ぎるために、記録感度の
低下をもたらす傾向にある。また、上記範囲よりも大き
いと記録層4との接着性が悪くなり記録ビットの不均1
 6 等が生じる傾向にある。
また、−L記比(FB/CB)の値も上記の条件を満足
する限り特に限定されないが、下地層3Bの形成速度を
増大させ、かつ耐熱性を良好にするために、1.3〜2
.0の範囲内の値であることが好ましい。比(FI]/
CB)が上記範囲よりも小さいと、膜の形成速度が遅く
なる条件でしか成膜できず、所望の膜厚を形成するため
に長時間を要する傾向にある。
比(FA/CA)及び比( F n / C B)は、
それぞれ下地層3A及び下地層3B内において均−であ
ってもよいが、これらの比の両者が前記の関係を満足す
る限りにおいて、各層内において連続的に又は段階的に
任意に変化していてもよい。従って、下地層3は、下地
層3Aと下地層3Bとを比( F A / C A)と
比(FB/CB)とが異なる層として区別されるように
設けてもよく、また、下地層3Bから下地層3Aの方へ
炭素原子数(C)に対するフッ素原子数(F)の比( 
F/C )が連続的に低下し、例えば、下地層3の基板
2と接触する側から記録層4に接触する側の方へ次第に
低下し、下地層3Aと下地層3Bとの境界が明瞭でない
ように設けてもよい。
下地層3の全体(3A+3B)の層厚(L)は、500
〜1 0000X、特に600〜2000Xの層厚であ
ることが好ましい。下地層3Aの部分の層厚(LA)は
、50〜300Xであることが好ましい。後記するよう
に、下地層の形成速度を増大させる点から、下地層3A
の部分の層厚(LA)は小さい方が望ましい。上記のよ
うに、下地層3Aと下地層3Bとの境界が明瞭でない場
合もあるが、その場合には、比(FA/CA)の値を考
慮して下地層3Aと下地層3Bとの境界を定めることが
できる。
後述するように、スパッタにより下地層3を形成させる
際に、スパッタ電力を大きくすると、下地層3の炭素原
子数(C)に対するフッ素原子数(F)の比(F/C)
は大きくなり、スパツタ速度も増大し短時間に下地層3
を形成できるので、下地層3Bの比(FR/CI1)を
大きくし、かつ、下地層3Bの層厚L.を大きくするこ
とが、生産性を向上させる点から望ましい。比(FB/
CR)を大きくしても、下地層3Aの比(FA/CA)
及び層厚LAが前記のような範囲の値であれば、情報記
録媒体の品質が低下することはない。
下地層3は、従来樹脂を基板にスパッタしてF地層を形
成させるために使用,されている種々のスパッタ装置、
例えば、イオンビームスパッタ装置、RFグロー放電ス
パッタ装置、DCグロー放電スパッタ装置、マグネトロ
ンスパッタ装置などを使用して、原材料としてのフッ素
系樹脂をターゲットとしてスパッタすることにより形成
することができる。
上記フッ素系樹脂としては、例えばポリテトラフルオロ
エチレン、テトラフルオロエチレンーパーフルオロアル
キルビニルエーテル共重合体(PFA) 、テトラフル
オロエチレンーヘキサフルオロプロピレン共重合体(F
EP)、テトラフルオロエチレンーヘキサフルオロブロ
ビレンーパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
(EP1 9 E)、ポリフッ化ビニル、ポリ三フッ化エチレン、ポリ
フッ化ビニリデン、ポリ六フッ化プロピレン、ポリクロ
ロトリフルオロエチレン、ポリカーボンモノフルオライ
ドおよびポリジカーボンモノフルオライド等を挙げるこ
とができる。夕一ゲットとしての熱的強度の点から、特
に好ましいものはポリテトラフルオロエチレンである。
下地層3を形成するためのスパッタの条件は、それ自体
公知のものを採用することができる。
例えば、RFマグネトロンスパッタ装置によりスパッタ
する場合は、0.1〜100ミリTorrの圧力、10
0〜600Wの電力、50〜180mmのターゲット距
離で、Ar,N2、02、Ne,Kr%xe.H2、こ
れらの混合物などのガスを使用する条件で行うことが好
ましい。
下地層3の炭素原子数(C)に対するフッ素原子数(F
)の比(F/C)を所望の値に制御する手段としては、
スパッタ時の電力(パワー)を変化させる方法、スパッ
タ時の雰囲気のガスの、種類及び/又は組成及び/又は
流量及び/又は圧力を変化させる方法、ターゲット(原
材料)とするフッ素系樹脂の種類を変化させる方法、及
びこれらの方法の組み合わせなどがある。
一般的に、スパッタの電力が大きいほど、下地層3の炭
素原子数(C)に対するフッ素原子数(F)の比( F
/C )は大きくなり、スパッタ速度も増大し短時間に
下地層3を形成することができる。また、一般に、スパ
ッタ時の雰囲気のガスとして、アルゴンのような不活性
ガスに、水素ガス、炭化水素ガス、フッ化炭素ガスなど
を混合したガスを使用すると、水素ガスなどの混入量が
増加するほど上記比( F/C )が小さくなる。また
般に、ターゲットとするフッ素系樹脂としてフッ素原子
含有量の小さいものを使用するほど、上記比(F/C)
が小さくなる。
第2図は、他の本発明の情報記録媒体の一実施例の断面
を模式的に示す断面図である。
第2図において、情報記録媒体11は、基板12と、基
板12の表面に設けられた下地層13と、下地層13の
上に設けられた記録層14とからなっている。
そして、下地層13はフッ素系樹脂からなっており、下
地層13の記録層14に接触する側の下地層13Aの部
分の炭素原子数(CA)に対するフッ素原子数(FA)
の比(FA/CA)、及び下地層13の基板12に接触
する側の下地層13Cの部分の炭素原子数(CC)に対
するフッ素原子数( F C)の比(FC/CC)が、
下地層13のそれら以外の部分の下地層13Dの炭素原
子数(CD)に対するフッ素原子数(Fo)の比(FD
/CD)よりも小さくなるように構成されている。
上記下地層13Aの上記比(FA/CA)は、第1図に
おいて、下地層3Aについて記載した比(FA/CA)
の値と同じ範囲の値であることが好ましい。また、下地
層13Dの比(Fn/CD)は、第1図において、下地
層3Bについて記載した比(FR/cn)の値と同じ範
囲の値であることが好ましい。また、下地層13Cの比
(FC/CC)の値は、上記比(FD/CD)よりも小
さいものである限り特に限定されないが、基板12との
接着性を良好にするために、0.6〜1.2の範囲内の
値であることが好ましい。比(FC/C.,)が上記範
囲よりも小さいと、耐熱性が悪〈なりレーザビームによ
り変形を生じやすくなると同時に、成膜時間も長時間を
要する傾向にある。また、上記範囲よりも大きいと、基
板との接着性が悪くなり、基板とのはがれが生じ、記録
ビットの乱れが生じる傾向にある。更に、比(FA/C
A)と比(FC/CC)との関係は特に限定されず、両
者が同じでもあるいは何れが大きくてもよい。
比(FA/CA)、比(FC/Cc)及び比(F■)/
CD)は、それぞれ下地層13A、下地層13C及び下
地層13D内において均一であってもよいが、これらの
比が前記の関係を満足する限りにおいて、各層内におい
て連続的に又は段階的に任意に変化していてもよい。従
って、下地層13は、下地層13Aと下地層13Dとを
比(FA/CA)と比(Fo/Co)とが異なる層とし
て区別されるように、そして下地層13Cと下地層13
Dとを比(FC/CC)と比(FD/CD)とが異なる
層として区別されるように設けてもよく、また、下地層
13Dから下地層13A及び下地層13Cの方へ炭素原
子数(C)に対するフッ素原子数(F)の比(F/C)
が連続的に低下し、下地層13A又は下地層13Cと下
地層13Dとの境界が明瞭でないように設けてもよい。
下地層13の全体(1 3A+1 3C+1 3D)の
層厚(L)は、100〜3000又、特に300〜20
00Xの層厚であることが好ましい。下地層13Aの部
分の層厚(LA)は、50〜300又であることが好ま
しく、下地層13Cの部分の層厚(Lc)は、50〜1
 50Xであることが好ましい。前記したように、下地
層の形成速度を増大させる点から、下地層13Aの部分
の層厚(LA)及び下地層13Cの部分の層厚(Lc)
は小さい方が望ましい。上記のように、下地層13Aと
下地層13Dとの境界が明瞭でない場合もあるが、その
場合には、比(FA/CA)の値を考慮して下地層13
Aと下地層13Dとの境界を定めることができる。また
下地層13Cと下地層13Dとの境z 3 界が明瞭でない場合もあるが、その場合にも上記と同様
にして境界を定めることができる。
前記したように、スパッタにより下地層13を形成させ
る際に、スパッタ電力を大きくすると、下地層13の炭
素原子数(C)に対するフッ素原子数(F)の比( F
/C )は大きくなり、スパッタ速度も増大し短時間に
下地層3を形成できるので、下地層13Dの比(FD/
Co)を大きくし、かつ、下地層13Dの層厚L。を大
きくすることが、生産性を向上させる点から望ましい。
比(FD/Co)を大きくしても、下地層13Aの比(
FA/CA)及び層厚LAが前記のような範囲の値であ
れば、情報記録媒体の品質が低下することはない。
下地層13を上記のように形成するためのスパッタ装置
、ターゲット材料、スパツタ条件などについては、第1
図について記載したものと同様である。
本発明の情報記録媒体は、上記のようにして形成された
下地層の4一に記録層が設けられている。
2 4 上記記録層の一つは、レーザ光により情報の記録及び/
又は再生が可能なTeを含む記録層である。
上記記録層は、Te及びSeを含む記録層であることが
好ましい。
更に、上記記録層は、Se.Te.,M,(但し、a,
b及びCは原子数%で表わして、2≦a≦35、50≦
b≦98、O≦C≦45の範囲内の値であり、Mは、P
b,In.Ge,S,Sb,As,Bi,Sn,ALL
,Ga,Tl、Zn,Cd,Au,Pt,Ag,Cu,
Ni,Pd,Rh,Cr,Mo、WおよびTaから選ば
れる少なくとも一種の金属を表わす)で表わされる組成
を有することが好ましい。
更にまた、上記記録層は、SeaTe1,Pb,(但し
、a,bEL.Jcは上記の通りである)で表わされる
組成を有することが好ましい。
本発明の情報記録媒体の記録層上には、二酸化ケイ素、
酸化スズ、弗化マグネシウム、酸化チタン、T e O
 X  (但し、l≦X≦2)、酸化ジルコニウムおよ
び酸化亜鉛のいずれかの材料からなる層が積層されてい
ることが好ましい。
これらの材料の中では特に、TeaX (但し、Xは1
≦X≦2の範囲内の数字であり、特に、1.5≦X≦2
の範囲内の数字であることが好ましい〉からなる層が積
層されていることが好ましい。
前記Teを含む記録層は特に記録感度に優れたものであ
るが、記録層の形成後に経時的な感度劣化が起こり易い
。Te単体に比較してSeが混入してることにより耐久
性の向上は見られるが充分ではない。上記一般式中のM
の他の金属を添加した場合には、例えば光吸収性の増加
、反射率の向上また記録層表面の平担性の良化等の効果
があるが、耐久性の向上への寄与は見られない。Teを
含む記録層上にT e O x  (但し、1≦X≦2
〉などからなる層を積層.した場合、耐久性の向上は勿
論のこと、記録感度をほとんど低下させることなく、小
さなビットが形成され易くなることができる。このよう
に小さなビット形成が容易になることにより、特に記録
された情報の分解能が高くなること、また高いC/Nを
得るための記録パワーの適応範囲を表すラチチュードが
広くなるなどの記録再生特性の向上が見られる。さらに
、耐久性の面では、特に繰返し再生した場合でもC/N
の低下が少なく読取り耐久性が、向上している。
記録層の層厚は、情報の書き込みの容易さと反射率との
兼ね合いから、100〜3000Xの範囲が好ましく、
特に好ましくは、200〜1 200Xの範囲である。
またTeOXなどからなる層の層厚は、20〜300X
の範囲が好ましい。
記録層は、上記の記録層材料を用いて蒸着、スパッタリ
ング、イオンプレーティングなどの公知の方法により基
板上に形成される。Tea.などからなる層も記録層と
同じように蒸着、スパッタリング、イオンプレーテイン
グなどの公知の方法により基板上に形成される。
上記記録層の他のものは、レーザ光により情報の記録及
び/又は再生が可能な色素を含む記録層である。上記色
素は特に限定されるものではなく、どのようなものでも
良い。例えば、シアニン系色素、アズレニウム系色素、
スクワリリウム系色素、フタロシアニン系色素、ピリリ
ウム系色素、チオピリリウム系色素、インドフェノール
系色素、インドアニリン系色素、トリフエニルメタン系
色素、キノン系色素、アミニウム系色素、ジインモニウ
ム系色素、金属錯塩系色素、などを挙げることができる
。好ましくは、シアニン系色素及びフタロシアニン系色
素を挙げることができる。
これらのうちでも記録再生用レーザとして近赤外光を発
振する半導体レーザの利用が実用化されている点から、
700〜900nmの近赤外領域の光に対する吸収率が
高い色素が好ましい。
なお、これらの色素は単独でもあるいは二種以上の混合
物として用いてもよい。また、シアニン系色素を用いる
場合に、上記金属錯塩系色素またはアミニウム系色素や
ジインモニウム系色素をクエンチャーとして一緒に用い
ることが好ましい。
その場合、クエンチャーは全色素1モル部に対して0.
01〜0.3モル部含むことが好ましい。
上記色素を含む記録層の形成は、上記色素、さらに所望
により結合剤を溶剤に溶解して塗布液を調製し、次いで
この塗布液を基板表面に塗布してt?.膜を形成したの
ち乾燥することにより行なうことができる。
上記色素塗布液調製用の溶剤としては、酢酸エチル、酢
酸ブチル、セロソルブアセテートなどのエステル、メチ
ルエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルイソブチル
ケトンなどのケトン、ジクロルメタン、1.2−ジクロ
ルエタン、クロロホルムなどのハロゲン化炭化水素、テ
トラヒドロフラン、エチルエーテル、ジオキサンなどの
エーテル、エタノール、n−プロバノール、イソプロパ
ノール、n−ブタノールなどのアルコール、ジメチルホ
ルムアミドなどのアミド、2,2,3.3−テトラフロ
ロプロパノール等フッ素系溶剤などを挙げることができ
る。なお、これらの非炭化水素系有機溶剤は、50容量
%以内である限り、脂肪族炭化水素溶剤、脂環族炭化水
素溶剤、芳香族炭化水素溶剤などの炭化水素系溶媒を含
んでいてもよい。
塗布液中にはさらに酸化防止剤、UV吸収剤、可塑剤、
滑刑なと各種の添加剤を目的に応じて添加してもよい。
結合剤を使用する場合に結合剤としては、例えばゼラチ
ン、ニトロセルロース、酢酸セルロース等のセルロース
誘導体、デキストラン、ロジン、ゴムなどの天然有機高
分子物質;およびポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ
スチレン、ポリイソブチレン等の炭化水素系樹脂、ポリ
塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル・ポ
リ酢酸ビニル共重合体等のビニル系網脂、ポリアクリル
酸メチル、ポリメタクリル酸メチル等のアクリル樹脂、
ポリビニルアルコール、塩素化ポリオレフィン、エポキ
シ樹脂、ブチラール網脂、ゴム誘導体、フェノール・ホ
ルムアルデヒド樹脂等の熱硬化性樹脂の初期縮合物など
の合成4T機高分子物質を挙げることができる。
塗布方法としては、スプレー法、スビンコート法、ディ
ップ法、ロールコート法、ブレードコート法、ドクター
ロール法、スクリーン印刷法などを挙げることができる
。色素の良好な配向状態を形成するためには、スピンコ
ート法を用いることが好ましい。
色素を含む記録層の材料として結合剤を併用する場合に
、結合剤に対する色素の比率は一般に0.01〜99%
(重量比)の範囲にあり、好ましくは1.0〜95%(
重量比)の範囲にある。
上記色素記録層の上に更に金属からなる反射層が設けら
れている。反射層を設けることにより、反射率の向上の
効果、情報に再生時におけるS/Nの向上および記録時
における感度の向上の効果も得ることができる。
反射層の材料としては、Mg.Se,Y、Ti,Zr,
Hf,V,Nb,Ta,Cr,MoW.Mn,Re,F
e,Co,Ni,Ru,Rh,Pd,l r,Pt.C
u,Ag.Au.Zn,Cd,An、Ga,In,Si
,Ge,31 Te,Pb,Po.Sn,Biなどの金属および半金属
を挙げることができる。さらにステンレス鋼などの合金
であってもよい。本発明では、温度400゜Kにおける
熱伝導率が高い、少なくとも10w/m−k以上の金属
からなる反射層が設けられることが好ましい。これによ
り、色素記録層にレーザ光を照射した際の熱を反射層に
急速に伝導することができる。これらの中でもAu、A
g,Cu,Pt%An、Cr,Niおよびステンレス鋼
が特に好ましい。これらの物質は単独で川いてもよいし
、あるいは二種以上の組合せでまたは合金として用いて
もよい。
上記のような記録層の上には保護層が設けられてもよい
。保護層としては、軟質樹脂材料からなる軟質保護層と
硬質樹脂材料からなる硬質保護層との積層体が好ましい
。この積層体は、軟質保護層側を記録層側にして、記録
層上に積層する。軟質樹脂材料の例としては、ポリウレ
タン、ポリ塩化ビニリデン、エヂレン・酢酸ビニル」(
重合体、シリコンゴム、スチレン・ブタジエン・ゴム、
ボ3 2 リ塩化ビニリデン、ポリアクリル酸エステルを挙げるこ
とができる。通常、これらは、溶液塗布、ラテックス′
?IPIji、熔融塗布などの方法により記録層上に塗
布され、必要により乾燥、加熱などの処理を行なって軟
質保護層とされる。軟質保護層の層厚は通常1 00X
〜5μmの範囲にあり、好ましくは0.3〜3μmの範
囲にある。硬質樹脂材料の例としては、紫外線硬化樹脂
、熱硬化樹脂などが挙げられる。通常、これらは、溶液
塗布などの方法により軟質保護層上に塗布され、必要に
より紫外線照射、加熱などの処理を行なって硬質保護層
とされる。硬質保護層の層厚は通常0.1〜10μmの
範囲にあり、好ましくは1〜3μmの範囲にある。
基板の記録層が設けられる側とは反対側の表面には、耐
傷性、防湿性などを高めるために、たとえば二酸化ケイ
素、酸化スズ、弗化マグネシウムそして上記T e O
ウなどの無機物質、あるいは熱可塑性樹脂、光硬化型樹
脂なとの高分子物質からなる薄膜が、真空蒸着、スパッ
タリンクまたは塗布等の方法により設けられていてもよ
い。
本発明の情報記録媒体を用いて、以下に述べるような光
情報記録方法により、情報を記録することができる。本
発明により製造された情報記録媒体は、CDフォーマッ
ト信号の記録に特に適しているため、これを例にとって
説明する。
まず、情報記録媒体を1.2〜1.4m/秒の定線速度
で回転させながら、表面にプレグループを有する基板側
から半導体レーザー光などの記録用の光を、基板側から
該プレグループのグループにレーザー光を照射してCD
フォーマットのEFM信号を、該グループの記録層にピ
ットを形成することにより記録する。一般に、記録光と
しては750〜850nmの範囲の発振波長を有する半
導体レーザービームが用いられる。一般に3〜15mW
のレーザーバワーで記録される。
これにより記録層には長さが0.70〜4.0μmのビ
ットが0.70〜4.0μmの間隔で同心内状もしくは
スバイラル状に形成される。
記録に際しては、上記トラッキング用プレグループを用
いてトラッキング制御を行なわれる。
本発明の情報の記録は、プレグループのグループの底部
の領域に行なわれる。
情報の再生は、記録媒体を上記と同一の定線速度で四転
させながら半導体レーザー光を基板側から照射して、そ
の反射光を検出することにより行なうことができる。
以下余白 3 5 次に本発明の実施例を記載する。ただし、これらの各例
は本発明を制限するものではない。
[実施例1] 基板、下地層及び記゛録層が第1図に示すような構成を
有する情報記録媒体を製造した。
トラッキング用溝を有する円盤状のポリカーボネート基
板(外径:120mm、内径:15m m ,厚さ:1
.2mm,内径4 6 m m〜外径117.mmの範
囲に深さa O O ;,,半値幅0.65μm1ピッ
チ1.6μmの溝がスパイラル状に設けられているもの
)を用意した。
この基板2の表面に、ポリテトラフルオロエチレンを使
用し、スバツタガス:アルゴン、圧力5ミリTorr,
電力400W、ターゲット距@iommの条件で8.5
分間スバツタして、層厚1700Xの下地層3Bを形成
した。
下地層3Bの、炭素原子数(Cll)に対するフッ素原
子数( F R)ノ比(FB/CB)は、xps <x
線光電子分光法)(X−Ray photoelect
ron spectro−scopy)のCIS及びF
+sの信弓一強度から算出した結3 6 果、1.4であった。以下の記載において、炭素原子数
(C)に対するフッ素原子数(F)の比(F/C)は、
上記と同様にして求めた。
次いで、下地層3Bの上に、電力を150Wに変え、ス
パッタ時間を1分間に変えた他は下地層3Bの形成と同
様にスパッタして、層厚100Xの下地層3Aを形成し
た。
下地層3Aの、炭素原子数(CA)に対するフッ素原子
数(FA)の比(FA/CA)は、1.1であった。
次いで、この下地層上に、Te,Seおよびpbをそれ
ぞれ78原子数%:18原子数%:4原子数%の割合で
、スパッタガス:アルゴン、圧力5ミリTorr、電力
125W,ターゲット距離10mmの条件で5分間スパ
ッタを行なって層厚700Xの記録層を形成した。
この記録層上に、スパッタガス:アルゴン、圧力5ミリ
Torr、電力100W、ターゲット距離10mmの条
件で3分間TeO2のスバツタを行なって、層厚100
大のTea,6の層を形成した。
このようにして、基板、下地層、記録層およびT e 
O +. sの層からなる情報記録媒体を製造した。
上記のようにして製造した情報記録媒体に、波長: 7
80nmのレーザ光を使用して、線速度=1.3m/秒
、レーザバワー:5mW、記録イ4クーは、ケンウッド
EFMエンコーダーからの基準信号をコンベンショナル
な方法[3TはT/3を2パルス、4TはT/3を3パ
ルス、すなわち、nTはT/3を(n−1)バルス]で
変調して記録した。
記録された信号の再生を、波長: 780nm、線速度
+1.3m/秒、レーザパワー:0.5mWで行って、
ケンウッド製のCDデコーダーに人力し、C1エラーを
測定した。
その結果を第1表に示す。
[実施例2] 下地層3Bを形成させる際のスバ・ンタ時間を8分間に
変えて下地層3Bの層厚な1 600Xにし、下地層3
Aを形成させる際のスパッタ時間を2分間に変えて下地
層3Aの層厚を200Xにした他は、実施例1における
と同様にして、情報記録媒体を製造した。
下地層3Aの、炭素原子数( C A)に対するフッ素
原子数(FA)の比(FA/CA)は、1.1であり、
下地層3Bの、炭素原子数(CB)に対するフッ素原子
数(F8)の比(FB/CB)は、1.4であった。
得られた情報記録媒体について、実施例1におけると同
じ方法でC1エラーを測定した。その結果を第1表に示
す。
[実施例3] 下地層3Bを形成させる際のスパッタ時間を7.5分間
に変えて下地層3Bの層厚を1500又にし、下地層3
Aを形成させる際のスパッタ時間を3分間に変えて下地
層3Aの層厚を300又にした他は、実施例1における
と同様にして、情報記録媒体を製造した。
下地層3Aの、炭素原子数(CA)に対するフツ3 9 素原子数(FA)の比(FA/CA)は、1.1であり
、下地層3Bの、炭素原子数(CD)に対するフッ素原
子数(FB)の比(FB/Cn)は、1.4であった。
得られた情報記録媒体について、実施例1におけると同
じ方法でC1エラーを測定した。その結果を第1表に示
す。
[比較例1] 下地層3Bを形成させる際のスパッタ時間を9分間に変
えて下地層3Bの層厚を1soo;,にし、下地層3A
を形成させなかった他は、実施例1におけると同様にし
て、情報記録媒体を製造した。
下地層3Bの、炭素原子数(CR)に対するフッ素原子
数( F B)の比(FB/C[l)は、1.4であっ
た。
得られた情報記録媒体について、実施例1におけると同
じ方法で01エラーを測定した。その結果を第1表に示
す。
[実施例4] 4 0 下地層3Bを形成させる際のスパッタ時間を7.5分間
に変えて下地層3Bの層厚を1500大にし、下地層3
Aを形成させる際のスパッタガスをアルゴン85%と水
素15%との混合ガスに変え、電力を400Wに変え、
スパッタ時間を1.5分間に変えて層厚300又の下地
層3Aを形成した他は、実施例1におけると同様にして
情報記録媒体を製造した。
下地層3Aの、炭素原子数(CA)に対するフッ素原子
数(FA)の比(FA/CA)は、1.0であり、下地
層3Bの、炭素原子数(CB)に対す乞フッ素原子数(
FB)の比(FR/CB)は、1.4であった。
得られた情報記録媒体について、実施例1におけると同
じ方法でC1エラーを測定した。その結果を第1表に示
す。
[実施例5] 下地層3Aを形成させる際のスパッタガスをアルゴン9
0%と水素10%との混合ガスに変えたた他は、実施例
4におけると同様にして情報記録媒体を製造した。
下地層3Aの、炭素原子数(CA)に対するフッ素原子
数(FA)の比(FA/CA)は、1.15であり、下
地層3Bの、炭素原子数(Ca)に対するフッ素原子数
(FB)の比(FB/CB)は、1.4であった。
得られた情報記録媒体について、実施例1におけると同
じ方法でC1エラーを測定した。その結果を第1表に示
す。
[実施例6] 基板、下地層及び記録層が第2図に示すような構成を有
する情報記録媒体を製造した。
トラッキング用溝を有する円盤状のポリカーボネート基
板(外径:120mm、内径:15mm,厚さ:1.2
mm,内径46mm〜外径117mmの範囲に深さa 
o O X,半値幅0.65μm、ピッチ1.6μmの
溝がスパイラル状に設けられているもの)を用意した。
この基板12の表面に、ポリテトラフルオロエチレンを
使用し、スパッタガス:アルゴン、圧力5ミリTorr
、電力150W,ターゲット距離10mmの条件で1分
間スパッタして、層厚100Xの下地層13Cを形成し
た。
下地層13Cの、炭素原子数(CC)に対するフッ素原
子数(FC)の比(F(:/CG)は、1.1であった
次いで、下地層13Cの上に、電力を400Wに変え、
スパッタ時間を7分間に変えた他は下地層13Cの形成
と同様にスパッタして、層厚1400Xの下地層13D
を形成した。
ド地層13Dの、炭素原子数( C D)に対するフッ
素原子数( F o)の比(FD/CD)は、1.4で
あった。
次いで、下地層13Dの上に、電力を150Wに変え、
スパッタ時間を3分間に変えた他は下地層130の形成
と同様にスパッタして、層厚300Xの下地層13Aを
形成した。
下地層13Aの、炭素原子数(CA)に対するフッ素原
子数(FA)の比(FA/CA)は、1.1であった。
4 3 次いで、この下地層上に、Te,Seおよびpbをそれ
ぞれ78原子数%=18原子数%:4原子数%の割合で
、スパッタガス:アルゴン、圧力5ミリTorr、電力
125w、ターゲット距離10mmの条件で5分間スパ
ッタを行なって層厚700Xの記録層を形成した。
この記録層上に、スパッタガス:アルゴン、圧力5ミリ
Torr,電力100W,ターゲット距離10mmの条
件で3分間TeO2のスパッタを行なって、層厚100
大のTea,.の層を形成した。
このようにして、基板、下地層、記録層およびT e 
O ++6の層からなる情報記録媒体を製造した。
得られた情報記録媒体について、実施例1におけると同
じ方法でC1エラーを測定した。その結果を第1表に示
す。
4 4 第 1 表 第1表の結果から明らかなように、各実施例で得られた
本発明の情報記録媒体は、下地層の記録層に接触する側
に、炭素原子数(C)に対するフッ素原子数(F)の比
(F/C)の小さい部分を有しない比較例1で得られた
情報記録媒体に比較して、C1エラーが著しく小さく顕
著に優れた性能を有する情報記録媒体である。
[発明の効果] 本発明の情報記録媒体は、下地層の炭素原子数(C)に
対するフッ素原子数(F)の比(F/C)か、下地層の
厚さ方向で異なり、記録層と接触する側、又は記録層と
接触する側と基板と接触する側とが他の部分よりも小さ
くなるように構成されているので、記録層との、又は記
録層と基板との接着性が極めて優れている下地層を有し
、そのために、記録・再生性能、再生劣化特性、及び耐
久性が優れており、しかも高い生産性で製造することが
できる情報記録媒体である。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の情報記録媒体の一実施例の断面を模
式的C示す断面図である。 第2図は、他の本発明の情報記録媒体の一実施例の断面
を模式的に示す断面図である。 1、11:情報記録媒体、 2、12:基板、 3A、3B、13A,13C,13D+下地層4、14
:記録層、

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1。円盤状基板の表面にフッ素系樹脂からなる下地層が
    設けられ、該下地層の上にレーザ光により情報の記録及
    び/又は再生が可能な記録層が設けられてなる情報記録
    媒体であって、該下地層の該記録層に接触する側の層の
    部分の炭素原子数(C_A)に対するフッ素原子数(F
    _A)の比(F_A/C_A)が、該下地層のその他の
    部分の炭素原子数(C_B)に対するフッ素原子数(F
    _B)の比(F_B/C_B)よりも小さいものである
    ことを特徴とする情報記録媒体。 2。円盤状基板の表面にフッ素系樹脂からなる下地層が
    設けられ、該下地層の上にレーザ光により情報の記録及
    び/又は再生が可能な記録層が設けられてなる情報記録
    媒体であって、該下地層の該記録層に接触する側の層の
    部分の炭素原子数(C_A)に対するフッ素原子数(F
    _A)の比(F_A/C_A)及び該下地層の該基板に
    接触する側の層の部分の炭素原子数(C_C)に対する
    フッ素原子数(F_C)の比(F_C/C_C)が、該
    下地層のそれら以外の部分の炭素原子数(C_D)に対
    するフッ素原子数(F_D)の比(F_D/C_D)よ
    りも小さいものであることを特徴とする情報記録媒体。 3。該下地層が、フッ素系樹脂のスパッタにより形成さ
    れたものであることを特徴とする請求項1及び2のいず
    れか一項記載の情報記録媒体。 4。該記録層が、レーザ光により情報の記録及び/又は
    再生が可能なTeを含むことを特徴とする請求項1及び
    2のいずれか一項記載の情報記録媒体。
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