JPH03169278A - 静電アクチュエータ - Google Patents
静電アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH03169278A JPH03169278A JP30979089A JP30979089A JPH03169278A JP H03169278 A JPH03169278 A JP H03169278A JP 30979089 A JP30979089 A JP 30979089A JP 30979089 A JP30979089 A JP 30979089A JP H03169278 A JPH03169278 A JP H03169278A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- moving element
- stator
- mover
- stators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 9
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 abstract 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 241001414489 Hyas Species 0.000 description 1
- 229910001219 R-phase Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000018199 S phase Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、マイクロロポッ１・やマイクロザージェリな
どに使用できる静電アクヂコエータの制御に関する。
どに使用できる静電アクヂコエータの制御に関する。
［従来の技術］
静電アクチコエー夕は、所定のピッヂで複数個の固定子
電極を配列した固定子と、この固定子に対向させ固定子
電極に対し適切な位置関係に配列した可動子電極を設（
ノて強誘電体部と低誘電体部を形成した可動子とをそな
え、前記固定子電極を順次に充電あるいは放電させ、強
誘電体で構成された可動子電極を静電力によって吸引移
動させるようにしており、たとえば特開昭６２−４．４
０７９号などに示されている。
電極を配列した固定子と、この固定子に対向させ固定子
電極に対し適切な位置関係に配列した可動子電極を設（
ノて強誘電体部と低誘電体部を形成した可動子とをそな
え、前記固定子電極を順次に充電あるいは放電させ、強
誘電体で構成された可動子電極を静電力によって吸引移
動させるようにしており、たとえば特開昭６２−４．４
０７９号などに示されている。
しかし、静電アクチュエータの発生トルクは、電磁アク
ヂコエータに較べると非常に小さく、このため、固定子
と可動子を非接触で支持させて接触摺動をな＜４゛よう
１こずることか望ましく、本出願人は先に、可動ｒと固
定子との対向而に圧縮空気を吹き出させたり、永久磁石
などにより磁気的あろい（Ｊ電気的に反発または吸引作
用を発生さ０て、可動ｒを両１１１＋１の固定子間１こ
非接触状態で保持させるギャップ保持機構と、非接触の
ため可動子の１２動方向を保つために移動方向に沿って
静電吸引電極を設ζノで可動子を吸引し、所定の移動方
向以外への逸走を防ぐ移動方向保持機構とを設（」た静
電アクチコエー夕を提案した。
ヂコエータに較べると非常に小さく、このため、固定子
と可動子を非接触で支持させて接触摺動をな＜４゛よう
１こずることか望ましく、本出願人は先に、可動ｒと固
定子との対向而に圧縮空気を吹き出させたり、永久磁石
などにより磁気的あろい（Ｊ電気的に反発または吸引作
用を発生さ０て、可動ｒを両１１１＋１の固定子間１こ
非接触状態で保持させるギャップ保持機構と、非接触の
ため可動子の１２動方向を保つために移動方向に沿って
静電吸引電極を設ζノで可動子を吸引し、所定の移動方
向以外への逸走を防ぐ移動方向保持機構とを設（」た静
電アクチコエー夕を提案した。
［発明が解決しようとする課Ｍｊ
しかるに、この種のアクチュエータにおいては小形化が
重要な課題であり、とくに可動子を小形軽量化する必要
かある。したがって、推力発生用の静電電極のほかに、
可動子を非接触状態に保持するためのギャップ保持機構
と、非接触の可動子を拘束して移動方向を規制する移動
方向保持機構を設ｌチること（よ、小形化、微細化を妨
げろ要因になっている。
重要な課題であり、とくに可動子を小形軽量化する必要
かある。したがって、推力発生用の静電電極のほかに、
可動子を非接触状態に保持するためのギャップ保持機構
と、非接触の可動子を拘束して移動方向を規制する移動
方向保持機構を設ｌチること（よ、小形化、微細化を妨
げろ要因になっている。
３
［課題を解決するための手段ｊ
このため、可動子の両側に固定子を配置させ、両側の固
定子電極と可動子市極相１７′間の静電吸弓力により推
力を発生ざせるとともに、同じ電極によって両側の静電
吸引力を甲衡さυてｉ’ｉＪ動子を非接触状態に保持さ
せるようにして４３り、たどえは、固定子に設けた各電
極のすべてにバイアス電圧を印加して平衡した静電力を
発生させ、可動子を非接触状態に支持させるとともに、
必要な電極に躯動用の電圧を重畳ずることによって推力
を発生させるようにしている。
定子電極と可動子市極相１７′間の静電吸弓力により推
力を発生ざせるとともに、同じ電極によって両側の静電
吸引力を甲衡さυてｉ’ｉＪ動子を非接触状態に保持さ
せるようにして４３り、たどえは、固定子に設けた各電
極のすべてにバイアス電圧を印加して平衡した静電力を
発生させ、可動子を非接触状態に支持させるとともに、
必要な電極に躯動用の電圧を重畳ずることによって推力
を発生させるようにしている。
なお、この駆動用電圧はバイアス電圧の（ＶＴＩ）倍以
］二にすることが望ましい。また、ギ−１・ップを適正
に保持させるため、固定子ど可動子との間に設ｌノノと
ギャップセンザの検出値？こよりハイアス電圧を制御す
るようにしてある。
］二にすることが望ましい。また、ギ−１・ップを適正
に保持させるため、固定子ど可動子との間に設ｌノノと
ギャップセンザの検出値？こよりハイアス電圧を制御す
るようにしてある。
［作用］
したがって、可動子に推力を発生させる電極によって、
可動子を非接触状態に保持させるどともに、可動子の｛
２動方向を現制し、別個のギャップ保持機構や移動方向
保持機構が不要になり、微細化がｉｉＪ能になる。
可動子を非接触状態に保持させるどともに、可動子の｛
２動方向を現制し、別個のギャップ保持機構や移動方向
保持機構が不要になり、微細化がｉｉＪ能になる。
１実施例コ
これを図に示す実施例について説明ずろ。
Ｉはカラスなどの絶縁体からなる固定子で、可動子２と
対向する而に、アルミニウムなどで形成した複数の固定
子電極１１を可動子２の移動方向に一定のピッチで配列
させており、一方側部にギヤップセンザ電極Ｉ２を設け
ていろ。可動子２は板状の単結晶シリコンの絶縁支持体
で構成し、エッヂンク処理により固定子との対向面にア
ルミニウムなどで作られた強誘電体の可動子電極２１を
前記固定Ｔ−電極１１と所定の位置関係に配列させてあ
る。２２（Ｊ可動子電極相互を短絡する接続片、２３（
』両面の可動子電極を連結する電極結合部、２イはキャ
ップセンザ電極＋２ｉこ対向して設けたギヤップセンザ
ターケットてあろ。
対向する而に、アルミニウムなどで形成した複数の固定
子電極１１を可動子２の移動方向に一定のピッチで配列
させており、一方側部にギヤップセンザ電極Ｉ２を設け
ていろ。可動子２は板状の単結晶シリコンの絶縁支持体
で構成し、エッヂンク処理により固定子との対向面にア
ルミニウムなどで作られた強誘電体の可動子電極２１を
前記固定Ｔ−電極１１と所定の位置関係に配列させてあ
る。２２（Ｊ可動子電極相互を短絡する接続片、２３（
』両面の可動子電極を連結する電極結合部、２イはキャ
ップセンザ電極＋２ｉこ対向して設けたギヤップセンザ
ターケットてあろ。
Ｌ側固定子の固定子電極Ｉ＋と可動子電極２１との１１
Ｘ］にハイアス電厘Ｅ。１を、下側固定子の固定ｒ↑ｌ
ｉＦＩ”： Ｉ Ｉと１す動子電棒２１との問にハイア
ス電４ 圧Ｅ。２を印加して、可動子２の両面に吸引力を完生さ
せ、この吸引力が平衡して可動子両面のギャップｄ１・
ｄ２が一定になるように、ギヤップセンザ電極Ｉ２とギ
ヤップセンザターゲッ１・２４の検出値？こより前記バ
イアス電圧を調整するととも７こ、各固定子電極に順次
に駆動用電圧を重畳させ、駆動用電圧を荷電した電極と
所定の位置関係にある可動子電極を吸引し、推力を発生
させる。
Ｘ］にハイアス電厘Ｅ。１を、下側固定子の固定ｒ↑ｌ
ｉＦＩ”： Ｉ Ｉと１す動子電棒２１との問にハイア
ス電４ 圧Ｅ。２を印加して、可動子２の両面に吸引力を完生さ
せ、この吸引力が平衡して可動子両面のギャップｄ１・
ｄ２が一定になるように、ギヤップセンザ電極Ｉ２とギ
ヤップセンザターゲッ１・２４の検出値？こより前記バ
イアス電圧を調整するととも７こ、各固定子電極に順次
に駆動用電圧を重畳させ、駆動用電圧を荷電した電極と
所定の位置関係にある可動子電極を吸引し、推力を発生
させる。
これを３相駆動の場合を示す第２図について説明する。
なお、上下の固定子について（Ｊ、同様であるため、上
｛ＩＩ１の固定子Ｉと可動子２についてのみ説明する。
｛ＩＩ１の固定子Ｉと可動子２についてのみ説明する。
第２図の状態からＲ相が荷電され、可動子２が距離Ｘ移
動した際の各相の静電エネルギーを求める。
動した際の各相の静電エネルギーを求める。
固定子１と可動子２のギャップをｄ，、可動子２の半分
の厚さをｈとし、ギャップｄ．の誘電率をε、可動子絶
縁体の誘電率をε１、電極郎の誘電率をε，とする。ま
た、電極の幅をａ、長さを１）、ｒｚ相−Ｓ｛−ｒｌｆ
，−おＩｆ ；Ｓ固定了電イ韻と可動ＴＴ［ｉ ｐ４の
電なった部分の幅をａ。、各相の固定子電極ＩＩとＴ’
ｌＴ動子電極２１間に印加するバイアス電圧を１Σ。、
駆動用電圧をＲとする。
の厚さをｈとし、ギャップｄ．の誘電率をε、可動子絶
縁体の誘電率をε１、電極郎の誘電率をε，とする。ま
た、電極の幅をａ、長さを１）、ｒｚ相−Ｓ｛−ｒｌｆ
，−おＩｆ ；Ｓ固定了電イ韻と可動ＴＴ［ｉ ｐ４の
電なった部分の幅をａ。、各相の固定子電極ＩＩとＴ’
ｌＴ動子電極２１間に印加するバイアス電圧を１Σ。、
駆動用電圧をＲとする。
Ｒ相の固定子電極ＩＩと可動子電極２１間に印加ずる電
ＩＪＦ． ｖ ＋＋ ＋ｊ、ハイアス電圧Ｅ。に駆動用
電圧Ｅを加えた値（Ｅｏ十Ｅ）であり、Ｓ相・Ｔ相の囚
定子電極Ｉ１と可動子電極２１間に印加される電圧Ｖｓ
ないしＶ，は、バイアス電圧Ｅ。のみである。
ＩＪＦ． ｖ ＋＋ ＋ｊ、ハイアス電圧Ｅ。に駆動用
電圧Ｅを加えた値（Ｅｏ十Ｅ）であり、Ｓ相・Ｔ相の囚
定子電極Ｉ１と可動子電極２１間に印加される電圧Ｖｓ
ないしＶ，は、バイアス電圧Ｅ。のみである。
■（相にＪ’； ＋：ｌろ固定子と可動了の＝ｌノデン
ザ容量ＣＲ（ｘ）は 他相ら同様に ７ （ａ−ａ。）ｂε ｈε／εｌ ａｌ〕ε ｈε／ ５ ｐ ａａｂε したがって、 静電エネルギーはそれぞれの相に おいて 推力Ｆ（ｘ）は、靜雷エネルギーをＸで微分することに
よー・て得られるので、（１）（２）（３）式を微分し
て、その総和を求めろと、 Ｘ （ （Ｅｏ十Ｅ） ２ ２Ｅｏ’） ”’
”’ （４）（４）式より推力Ｆ（χ）が正であるため
の駆動電圧Ｅｉ：ｌｉ， Ｅ〉（仔−Ｊ）Ｅｏ でな（Ｊればならないことがイつかる。
ザ容量ＣＲ（ｘ）は 他相ら同様に ７ （ａ−ａ。）ｂε ｈε／εｌ ａｌ〕ε ｈε／ ５ ｐ ａａｂε したがって、 静電エネルギーはそれぞれの相に おいて 推力Ｆ（ｘ）は、靜雷エネルギーをＸで微分することに
よー・て得られるので、（１）（２）（３）式を微分し
て、その総和を求めろと、 Ｘ （ （Ｅｏ十Ｅ） ２ ２Ｅｏ’） ”’
”’ （４）（４）式より推力Ｆ（χ）が正であるため
の駆動電圧Ｅｉ：ｌｉ， Ｅ〉（仔−Ｊ）Ｅｏ でな（Ｊればならないことがイつかる。
８
これζこよー》で、静電アクチュエータは、Ｘ方向に一
定の推力が得られる。
定の推力が得られる。
この吸引力Ｆｐ（ｘ）は、静電ユ゛ネルギー＝をギャッ
プｄ，で微分することによって得られる。したかー〕で
、（］．０２Ｘ３）式をｄ，で微分し７て、その総和を
求めると、 移動粗離Ｘによｑて吸引力は変化−４る結果となるが、
この変化が、との稈度のオーダかを例をとって示すと、 ａ［ｌ−・−０．２５ａ、Ｉコ／ｄ＋＝５０、ε／ε．
−Ｉ／１０、ε／ε，−０、Ｅ ＝ Ｅｏとすると、 Ｘ−０ とＸ −’ ＋ｌ ｉｌ ｏのＦ，，（ｘ）
の比串＋Ｊ．、約１ ＋ ７．７となる。
プｄ，で微分することによって得られる。したかー〕で
、（］．０２Ｘ３）式をｄ，で微分し７て、その総和を
求めると、 移動粗離Ｘによｑて吸引力は変化−４る結果となるが、
この変化が、との稈度のオーダかを例をとって示すと、 ａ［ｌ−・−０．２５ａ、Ｉコ／ｄ＋＝５０、ε／ε．
−Ｉ／１０、ε／ε，−０、Ｅ ＝ Ｅｏとすると、 Ｘ−０ とＸ −’ ＋ｌ ｉｌ ｏのＦ，，（ｘ）
の比串＋Ｊ．、約１ ＋ ７．７となる。
このように、吸引力は移動距ＭＸによって異なるが、Ｊ
：下の電極で同時に吸引−ａるため、その力の差は小さ
い。
：下の電極で同時に吸引−ａるため、その力の差は小さ
い。
したがって、可動子を非接触状態に浮上保持させるため
には、ギャップｄｌ−ｄ，をキャップセンザにより検出
して、Ｅｏの値を変えることで達戊できる。
には、ギャップｄｌ−ｄ，をキャップセンザにより検出
して、Ｅｏの値を変えることで達戊できる。
これを実現するための回路を第３図に模式的に示す３，
ギャップの変動に応じた電汀（（］ｏ＋−ｄ＋）と、ブ
リバイアス電圧ＩＣｏ１を加算１，ノ．・ハイアス電Ｉ
１：．を各相の固定子電極に５え、このハイアス電圧Ｅ
０を利用して駆動電圧Ｅを となるようにし、 各相に順次に切り換えて重骨さ Ｕる。
リバイアス電圧ＩＣｏ１を加算１，ノ．・ハイアス電Ｉ
１：．を各相の固定子電極に５え、このハイアス電圧Ｅ
０を利用して駆動電圧Ｅを となるようにし、 各相に順次に切り換えて重骨さ Ｕる。
したがって、第２図の場合（」、
ＶＲ＝ （Ｅｏ＋Ｅ）” Ｒ３１／Ｒ３０Ｖ５−Ｅｏ−
Ｒ３ｌ／Ｒ３ｏ ＶＴ＝ＥＯ−Ｒ３１／Ｒ３０ が、それぞれの固定子電極に与えられる。
Ｒ３ｌ／Ｒ３ｏ ＶＴ＝ＥＯ−Ｒ３１／Ｒ３０ が、それぞれの固定子電極に与えられる。
なお、実施例では直線移動するアクチュエータについて
説明しているが、回転形の静電アクチュエー夕について
も同様に適用できる。
説明しているが、回転形の静電アクチュエー夕について
も同様に適用できる。
「発明の効果コ
このように本発明においては、固定子と可動子を非接触
状態で移動させる静電アクチ一エー夕において、可動子
の両側に固定子が配置され、可動子両側で静電吸引力に
よる推力あるいは回転トルクを発生させるとともに、両
側の静電吸引力を平衡させることにより、同一の電極で
駆動用推力の発生と、非接触状態によるギャップの保持
および移動方向の規制を行わせることができ、別個に非
接触保持のための電極などの機構を必要とせず、全体の
構造が簡単になり、微細化が可能になる効果が得られる
。
状態で移動させる静電アクチ一エー夕において、可動子
の両側に固定子が配置され、可動子両側で静電吸引力に
よる推力あるいは回転トルクを発生させるとともに、両
側の静電吸引力を平衡させることにより、同一の電極で
駆動用推力の発生と、非接触状態によるギャップの保持
および移動方向の規制を行わせることができ、別個に非
接触保持のための電極などの機構を必要とせず、全体の
構造が簡単になり、微細化が可能になる効果が得られる
。
また、すべての電極にバイアス電圧を与え、駆４
動用電圧を所要の電極に重畳させるようにすることによ
り、非接触状態を確実安定にすることができる。
り、非接触状態を確実安定にすることができる。
第１図は本発明の実施例を示す一部の分解斜視図、第２
図は固定子と可動子の関係を示す説明図、第３図は印加
電圧の模式図である。 ｌは固定子、２は可動子、１１は固定子電極、１２はギ
ヤップセンザ電極、２１は可動子電極、２２は接続片、
２３は電極結合部、２４はギヤ・ソプセンサターゲット
である。
図は固定子と可動子の関係を示す説明図、第３図は印加
電圧の模式図である。 ｌは固定子、２は可動子、１１は固定子電極、１２はギ
ヤップセンザ電極、２１は可動子電極、２２は接続片、
２３は電極結合部、２４はギヤ・ソプセンサターゲット
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 複数個の固定子電極を所定のピッチで配列した固定
子と、前記ピッチに関連したピッチで固定子電極に対向
させた可動子電極を設けた可動子とをそなえ、固定子電
極と可動子電極間の静電力により可動子に推力を与える
静電アクチュエータにおいて、 可動子の両側に固定子が配置され、可動子両側で静電吸
引力により推力を発生させるとともに、可動子両側の静
電吸引力を平衡させて可動子を非接触状態に保持させる
ことを特徴とする静電アクチュエータ。 ２ 前記両側の固定子電極のすべてにバイアス電圧を与
えて可動子を非接触状態に保持させ、この固定子電極に
順次駆動用電圧を加えて推力を発生させる特許請求の範
囲第１項記載の静電アクチュエータ。 ３ 前記駆動用電圧がバイアス電圧の（√２−１）倍以
上である特許請求の範囲第２項記載の静電アクチュエー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30979089A JPH03169278A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 静電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30979089A JPH03169278A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 静電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03169278A true JPH03169278A (ja) | 1991-07-22 |
Family
ID=17997273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30979089A Pending JPH03169278A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 静電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03169278A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5523639A (en) * | 1993-11-25 | 1996-06-04 | Fujitsu Limited | Electrostatic actuator having ferroelectrics in which residual dielectric polarization is formed |
| US6531804B2 (en) * | 2000-10-06 | 2003-03-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator |
| US6680558B2 (en) * | 2000-09-28 | 2004-01-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator and method of driving the same |
| CN104058256A (zh) * | 2013-03-18 | 2014-09-24 | 株式会社延原表 | 利用静电悬浮的基板移送装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4061043A (en) * | 1976-03-29 | 1977-12-06 | John Callender Stiles | Electrostatic rate gyroscope |
-
1989
- 1989-11-28 JP JP30979089A patent/JPH03169278A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4061043A (en) * | 1976-03-29 | 1977-12-06 | John Callender Stiles | Electrostatic rate gyroscope |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5523639A (en) * | 1993-11-25 | 1996-06-04 | Fujitsu Limited | Electrostatic actuator having ferroelectrics in which residual dielectric polarization is formed |
| US6680558B2 (en) * | 2000-09-28 | 2004-01-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator and method of driving the same |
| US6750591B2 (en) | 2000-09-28 | 2004-06-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of driving an electrostatic actuator |
| US6774534B2 (en) | 2000-09-28 | 2004-08-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator and method of driving the same |
| US6531804B2 (en) * | 2000-10-06 | 2003-03-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Electrostatic actuator |
| CN104058256A (zh) * | 2013-03-18 | 2014-09-24 | 株式会社延原表 | 利用静电悬浮的基板移送装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5015906A (en) | Electrostatic levitation control system for micromechanical devices | |
| Yamaguchi et al. | Distributed electrostatic micro actuator | |
| JPH03169278A (ja) | 静電アクチュエータ | |
| CN107907992A (zh) | 正应力电磁驱动的快速偏转反射镜作动机构及作动方法 | |
| US10753744B2 (en) | MEMS out of plane actuator | |
| WO2006082807A1 (ja) | 等価容量型アクチュエータの駆動装置 | |
| EP3376162B1 (en) | Mems out of plane actuator | |
| US20190360526A1 (en) | Halbach-array levitating passive magnetic bearing configuration | |
| US6937121B2 (en) | Magnetic actuator | |
| US5473957A (en) | System for generating controllable reference environment and steerable translational force from interaction therewith | |
| JP2839526B2 (ja) | 静電形アクチュエータ | |
| Mayberry et al. | Towards electrostatic levitation of rotating machines | |
| JPH07143763A (ja) | 静電アクチュエータおよびその駆動方法 | |
| JPH06113563A (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JP2850413B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH06261569A (ja) | 静電力による支持機構 | |
| JP3021460B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH02101972A (ja) | 微少量移動ステージ | |
| JPH05224751A (ja) | 静電式アクチュエータ | |
| Yamamoto et al. | Development of electrostatic levitation motor for vacuum condition | |
| JP2701467B2 (ja) | 静電気浮遊物体の位置制御方法 | |
| Yasui et al. | Non-Contact Levitation control System for Electrostatic Motor | |
| JPS6254983A (ja) | トランスデユ−サ | |
| JPH0591761A (ja) | 静電アクチユエータ | |
| JPH0433564A (ja) | ３相駆動方式リニアブラシレス直流モータ |