JPH03159584A - 静電気力を利用した動力発生装置 - Google Patents

静電気力を利用した動力発生装置

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JPH03159584A
JPH03159584A JP29759089A JP29759089A JPH03159584A JP H03159584 A JPH03159584 A JP H03159584A JP 29759089 A JP29759089 A JP 29759089A JP 29759089 A JP29759089 A JP 29759089A JP H03159584 A JPH03159584 A JP H03159584A
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雅文 矢野
Toru Kira
吉良 徹
Koji Moriya
守家 浩二
Kunio Okamoto
邦夫 岡本
Tetsuji Kiyota
哲司 清田
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Yamatoya and Co Ltd
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Osaka Gas Co Ltd
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Yamatoya and Co Ltd
Osaka Gas Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、静電モータや静電アクチュエータのような静
電気力を利用した動力発生装置に関するものである。
従来、この種の動力発生装置としては種々の形式のもの
が提案されており、例えば、特開昭6244079号公
報には、対を成して対向して配列された固定子電極の間
に回転子又は直線運動子を設け、固定子電極と回転子又
は直線運動子との間の静電誘導により電気的エネルギを
機械的回転又は直線運動エネルギに或いは機械的回転又
は直線運動エネルギを電気的エネルギに変換する装置が
開示されている。
また所定の間隔をおいて複数の電極を備えた固定子の電
極配設面に対して一定の間隔をおいて相対的に移動可能
な誘電体材料から成る可動子を設け、固定子の電極に順
次電圧を印加して電極より発生する電界の移動により可
動子を動かすように構威された静電アクチュエー夕や静
電モータは、例えば特開昭63− 95858号、特開
昭63 − 95859号、特開R/{63−9586
0号の各公報に記載されているように公知である。
このような公知の装置においては添附図而の第2図に示
すように、所定の間隔をおいて複数の電極^l〜^5を
備えた固定子Aに対して、所定の間隔の複数の電極81
〜r34を備えた可動子Bがそれぞれの電極を対向させ
て設けられており、固定子Aと可動了Bとの間は空隙と
なっており、すなわち比誘電串(εs−1)の空気が入
っている。
図示状態において固定子の電極^2と可動T−Bの電極
B2との間に電圧を印加すると、発牛される静電気力に
よりこれら二つの電極が引き合い、それにより可動−T
−13は図面の左方向へ移動し、固定子の電極^2と可
動子Bの電極112とが向かい0う位置間で移動する。
この状態では固定子の電極^3と可動子Bの電極B3と
が半分向かい合うことになり、続いて電圧印加を電極A
2と電極B2との間から電極^3と電極B3との間へ切
換えることにより可動子Bは更に左方向へ移動する。こ
のようにして固定子Aと可動子Bにおける一部向い合っ
ている相の電極間に順次電圧を印加することにより可動
子Bは動かされ得る。
[発明が解決しようとする課題コ ところで、上述のような従来提案された公知の装置にお
いて、電極間に作用する静電吸引力は、F−εs ・ε
o SV2/2d2 で表わされ、この式でεSは比誘電率、ε0は真空の誘
電串、Sは電極面積、■は電極間の印加電圧、dは電極
間鉗離である。
この式からわかるように、電極面積Sを一定とした場合
、固定子と可動子との電極間距離dをできるだけ小さく
し、電極間の印加電圧Vを大きくすれば7’Bh間に作
用する静電吸引力は大きくなる。
しかしながら、実隙には電極間の誘電体が空気であるた
め、十分なトルクを発生させ得る程度まで電極間距Md
を小さくし印加電圧Vを大きくすることは空気の絶縁耐
圧により制限されることになる。
一方電極而積Sをできるだけ大きく取ればある捏度改善
されるが、その半面装置自体が大型化されることになり
、この種の装置の本来の特徴である小型である点が損な
われることになる。
従って、電極間の誘電体として誘電率及び絶縁耐圧の比
較的低い空気を使用している従来構造のものでは十分な
トルクを得ることはできず、実用的な静電アクチュエー
夕や静電モータは実現されてない。
そこで、本発明は、このような問題点を躬決して実川に
供し得る十分なトルクを発生できる静電気力を利用した
動力発生装置を提供することを目的としている。
[課題を解決するための手段] 上記の目的を達或するために、本発明による静電気力を
利用した動力発生装置は、各々多数の電極を備えた二つ
の固定子を間隔をおいて対向させて設け、これら二つの
固定子間に、各固定子における隣接電極間隔とは異なる
間隔で交互に陀列した誘電率の異なる二種類の誘電体か
ら成り、それぞれの固定子の各電極との間の静電誘導に
より動く可動子を配置し、各固定子と可動子との間の隙
間にトリクレジルホスフェイトから成る液体誘電体を充
填して構成される。
好ましくは、各固定子と可動子との間に入れられる液体
誘電体は、ほぼ6.5の比誘電率及びほほ14KV/a
llの絶縁耐圧とをもつ。
[作  用] 以上のように構成した本発明による静電気力を利用した
動力発生装置においては、各固定子と可動子とめ間の隙
間にトリクレジルホスフェイトから成る液体誘電体を充
填しているので、各固定子と可動子との間の隙間におけ
る誘電率及び絶縁耐圧が高くなり、そのため電極間の距
離を小さくししかも電極間の印加電圧を大きくすること
ができ、それにより十分に実用に供せる程度の大きなト
ルクを発生することができる。
[実 施 例] 以下添附図面の第1図を参照して本発明の実施例につい
て説明する。
第1図には、本発明を静電リニャモー夕として実施した
例の構成の要部を概略的に示し、1は図而の左右に長く
延在し互いに間隔をおいて対向して設けられた固定子で
、各固定子1の対向面には所定の間隔を置いて多数の電
極2が固定子1の長手方向に沿って突設されている。二
つの固定子1の間にはそれぞれの固定子1と対向して可
動子を成す直線運動子3が各固定子1に対して相対直線
運動できるように配置されており、直線運動子3は、固
定子1の各々における隣接電極間隔とは異なる所定の間
隔で誘電串の穴なる二種類の誘電体4、5を交互に配列
して成っている。異なる所疋の間隔で多数の電極4が突
設されている。
各固定′r−1における各電地2は図示してない駆動電
源にそれぞれ接続され、予定の順序で電圧を印加できる
ようにされている。
各固定子1と直線運動子3との間にはn号6で示すよう
にほほ6.5の比誘電率とほぼ14KV/+1111の
絶縁耐圧とをもつトリクレジルホスフェイトから成る液
体誘電体が充填されている。
ところで、通常誘電率の高い物質は高電W内では分角l
lシてしまうことが知られている。そこで本発明者らは
既汗の様々な液体誘電体を静電モータやアクチュエー夕
に使用してその時の誘電率及び絶縁耐圧のaP1定と発
生トルクの測定を行った結果、静電気力を利用した動力
発生装置に最適な液体誘電体はほほ6.5の比誘電率と
ほぼ14KV/一■の絶縁耐圧とをもつトリクレジルホ
スフェイト[分子式(CH3 C6 H4 0)s P
O]であることを見出した。
このような特性をもつトリクレジルホスフェイトを各固
定子1と直線運動子3との間の誘電体として使用するこ
とにより長時間安定してその特性を維持てき、非常に高
いトルクを発生できることが認められた。
このように溝威された図示装置の動作においては、各固
定子1におけるそれぞれの電極2に電圧を所定の順序で
順次印加することによって、第2図に示した従来装置の
場合と同様に直線運動子3は図面の左方向又は右方向へ
動かされ得る。
ところで、図示実施例では直線運動を得る静電リニアモ
ータについて説明してきたが、当然回転運動を得る四転
モータや上記で揚げた公開公報に記載されたような種々
の静電アクチュエータ又はエネルギ変換装置にも同等に
適用できることは言うまでもない。
[発明の効果] 以上説明してきたように、本発明によれば、各々多数の
電極を備え、間隔をおいて対向配置した二つの固定子間
に可動子を対向させて設け、それら相亙間の隙間にトリ
クレジルホスフェイトから成る液体誘電体を充填した構
或としているので、各固定子と可動子との間の隙間にお
ける誘電率及び絶縁耐圧が高くなり、そのため電極間の
距離を小さ<シシかも電極間の印加電圧を大きくするこ
とができ、それにより十分に実用に供せる程度の大きな
トルクを発生できる動力発生装置を堤供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による動力発生装置の要部を
示す概略線図、第2図は従来の装置の一例を示す概略線
図である。 中 1:固定子 2:電極 3:直線運動子 4;誘電体 5:誘電体 6:液体誘電体

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、多数の電極を備えた固定子と、固定子の各電極との
    間の静電誘導により動く可動子とを間隔をおいて対向さ
    せて配置した静電気力を利用した動力発生装置において
    、二つの固定子を間隔をおいて対向させて設け、これら
    二つの固定子間に、各固定子における隣接電極間隔とは
    異なる間隔で交互に配列した誘電率の異なる二種類の誘
    電体から成る可動子を配置し、各固定子と可動子との間
    の隙間にトリクレジルホスフェイトから成る液体誘電体
    を充填したことを特徴とする静電気力を利用した動力発
    生装置。 2、各固定子と可動子との間に入れられる液体誘電体が
    ほぼ6.5の比誘電率とほぼ14KV/mmの絶縁耐圧
    とをもつ請求項1に記載の静電気力を利用した動力発生
    装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07123743A (ja) * 1993-10-28 1995-05-12 Nippon Mektron Ltd 平面マイクロアクチュエ−タ−
JPH07274540A (ja) * 1994-03-28 1995-10-20 Kanagawa Kagaku Gijutsu Akad 積層型静電モータ及びその電極の製造方法
US6265806B1 (en) * 1998-05-25 2001-07-24 Nec Corporation Semiconductor microactuator with an improved platform structure and method of forming the same
GB2390941A (en) * 2002-03-09 2004-01-21 Harold Aspden Electricity generating apparatus
CN103715939A (zh) * 2014-01-07 2014-04-09 中国计量学院 一种液态金属可变电容换能器装置
US9148074B2 (en) 2010-04-16 2015-09-29 Deregallera Holdings Ltd. Apparatus for use as a motor or generator

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