JPH03165043A - 吸着ノズル交換機構 - Google Patents
吸着ノズル交換機構Info
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- JPH03165043A JPH03165043A JP30539089A JP30539089A JPH03165043A JP H03165043 A JPH03165043 A JP H03165043A JP 30539089 A JP30539089 A JP 30539089A JP 30539089 A JP30539089 A JP 30539089A JP H03165043 A JPH03165043 A JP H03165043A
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- nozzle holder
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体組立設備のダイボンダー、特に吸着ノズ
ル交換機槽に関する。
ル交換機槽に関する。
従来、この種の吸着ノズル交換機槽は第４図（ａ） 、
（ｂ）に示すように、メカニカルなりランプ方式が主
流であった。すなわち、アーム３１の先端に対をなすク
ランパ７．７が左右に開閉可能に枢支され、常時はクラ
ンパ７．７はバネ８により内側に付勢され閉じられてお
り、シリンダ９により下方に圧下されると、枢支点のま
わりに外側に開く構造になっている。
（ｂ）に示すように、メカニカルなりランプ方式が主
流であった。すなわち、アーム３１の先端に対をなすク
ランパ７．７が左右に開閉可能に枢支され、常時はクラ
ンパ７．７はバネ８により内側に付勢され閉じられてお
り、シリンダ９により下方に圧下されると、枢支点のま
わりに外側に開く構造になっている。
したがって、第４図に示すように、吸着ノズル１０を交
換するにあたっては、予しめ交換すべき吸着ノズル１０
をクランパ７．７によりクランプし、吸着ノズル１０を
交換位置まで搬入し、第５図に示すように、吸着ノズル
１０をノズルホルダ１２に差し込み、その後、シリンダ
９の圧下により対をなすクランパ７．７を左右に開き、
吸着ノズル１０を解放していた。
換するにあたっては、予しめ交換すべき吸着ノズル１０
をクランパ７．７によりクランプし、吸着ノズル１０を
交換位置まで搬入し、第５図に示すように、吸着ノズル
１０をノズルホルダ１２に差し込み、その後、シリンダ
９の圧下により対をなすクランパ７．７を左右に開き、
吸着ノズル１０を解放していた。
上述した従来のメカニカルクランプ方式は、ダイボンダ
ーのアーム１１側にクランパの開閉機構としてのシリン
ダ９を有しているため、アームの小型化、軽量化の阻害
となっていた。
ーのアーム１１側にクランパの開閉機構としてのシリン
ダ９を有しているため、アームの小型化、軽量化の阻害
となっていた。
本発明の目的は前記課題を解決した吸着ノズル交換機槽
を提供することにある。
を提供することにある。
上述した従来のメカニカルクランプ方式のノズル交換機
槽に対し、本発明は永久磁石と電磁石を利用し磁力の引
力と反力によりノズル交換を行うという相違点を有して
いる。
槽に対し、本発明は永久磁石と電磁石を利用し磁力の引
力と反力によりノズル交換を行うという相違点を有して
いる。
前記目的を達成するため、本発明に係る吸着ノズル交換
機槽においては、半導体素子のサイズに対応して吸着ノ
ズルを交換する吸着ノズル交換機槽であって、 磁性体からなる吸着ノズルと、 前記吸着ノズルを固定保持する固定ノズルホルダと、 前記吸着ノズルを保持し、該ノズルを前記固定ノズルホ
ルダに搬入・搬出する可動ノズルホルダとを有し、 前記固定ノズルホルダ、可動ノズルホルダのうち一方の
吸着ノズルホルダ部を電磁石により構成し、他方の吸着
ノズルホルダ部を永久磁石により構成し、さらに前記電
磁石の励磁コイルに極性を切替えて通電を行う電源を備
えたものである。
機槽においては、半導体素子のサイズに対応して吸着ノ
ズルを交換する吸着ノズル交換機槽であって、 磁性体からなる吸着ノズルと、 前記吸着ノズルを固定保持する固定ノズルホルダと、 前記吸着ノズルを保持し、該ノズルを前記固定ノズルホ
ルダに搬入・搬出する可動ノズルホルダとを有し、 前記固定ノズルホルダ、可動ノズルホルダのうち一方の
吸着ノズルホルダ部を電磁石により構成し、他方の吸着
ノズルホルダ部を永久磁石により構成し、さらに前記電
磁石の励磁コイルに極性を切替えて通電を行う電源を備
えたものである。
以下、本発明の実施例を図により説明する。
（実施例１）
第１図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）は本発明の実施
例１を示す図である。
例１を示す図である。
図において、半導体素子を真空吸着する吸着ノズル１は
磁性体から構成されている。３はチューブである。
磁性体から構成されている。３はチューブである。
吸着ノズル１を固定保持する固定ノズルホルダ４はその
頭部に凹状の吸着ノズルホルダ部４ａを備え、その吸着
ノズルホルダ部４ａに電磁石の励磁コイル６が巻回され
、励磁コイル６に、極性を切替えて通電を行う電源５が
接続されている。
頭部に凹状の吸着ノズルホルダ部４ａを備え、その吸着
ノズルホルダ部４ａに電磁石の励磁コイル６が巻回され
、励磁コイル６に、極性を切替えて通電を行う電源５が
接続されている。
一方、アーム１１に取付ける可動ノズルホルダ２はその
下面凹部内に電磁石からなる吸着ノズルホルダ部２ａが
実装されている。
下面凹部内に電磁石からなる吸着ノズルホルダ部２ａが
実装されている。
磁性体で製作された吸着ノズル１は先端に半導体素子保
護用のチューブ３を取付けて、永久磁石でつくられた可
動ノズルホルダ２、あるいは電磁石で作られた固定ノズ
ルホルダ４に固定されている。
護用のチューブ３を取付けて、永久磁石でつくられた可
動ノズルホルダ２、あるいは電磁石で作られた固定ノズ
ルホルダ４に固定されている。
次にノズルの交換について説明する。可動ノズルホルダ
２に固定されている吸着ノズル１を固定ノズルホルダ４
へ搬送する（第１図（ａ））、このとき、電磁石用電源
５はＯＦＦの状態とする０次に、吸着ノズル１が固定ノ
ズルホルダ４内へ挿入された状態で、固定ノズルホルダ
４が永久磁石からなる可動ノズルホルダ２と引き合うよ
うにコイル６に電圧をかけ、吸着ノズル１を固定ノズル
ホルダに密着させる（第１図（ｂ） ） 、次に、その
状態でコイル６に逆電圧をかける（このときの永久磁石
の磁力Ａと電磁石の磁力Ｂの関係はＡ＜Ｂとする）。
２に固定されている吸着ノズル１を固定ノズルホルダ４
へ搬送する（第１図（ａ））、このとき、電磁石用電源
５はＯＦＦの状態とする０次に、吸着ノズル１が固定ノ
ズルホルダ４内へ挿入された状態で、固定ノズルホルダ
４が永久磁石からなる可動ノズルホルダ２と引き合うよ
うにコイル６に電圧をかけ、吸着ノズル１を固定ノズル
ホルダに密着させる（第１図（ｂ） ） 、次に、その
状態でコイル６に逆電圧をかける（このときの永久磁石
の磁力Ａと電磁石の磁力Ｂの関係はＡ＜Ｂとする）。
逆電圧をかけることにより固定ノズルホルダ４は吸着ノ
ズル１を引きつけたまま可動ノズルホルダ２と反発しあ
い、可動ノズルホルダ２から吸着ノズル１がはずれる（
第１図（Ｃ））。
ズル１を引きつけたまま可動ノズルホルダ２と反発しあ
い、可動ノズルホルダ２から吸着ノズル１がはずれる（
第１図（Ｃ））。
次に吸着ノズル１を可動ノズルホルダ２に取付ける場合
について説明する。
について説明する。
ノズル１を取付ける場合は固定ノズルホルダ４に吸着ノ
ズル１を磁力によって引きつけておく。
ズル１を磁力によって引きつけておく。
この場合の磁力は永久磁石と引き合う方向とする。
次に可動ノズルホルダ２を下降させ、吸着ノズル１には
め込み、コイル６にかかる電圧を切ることで可動ノズル
ホルダ２にのみ吸着ノズル１が引きつけられる。これに
より、吸着ノズル１が可動ノズルホルダ２に取付けられ
ることとなる。
め込み、コイル６にかかる電圧を切ることで可動ノズル
ホルダ２にのみ吸着ノズル１が引きつけられる。これに
より、吸着ノズル１が可動ノズルホルダ２に取付けられ
ることとなる。
（実施例２）
第２図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ） 、 （ｄ）は
本発明の実施例２を示す縦断面図である。
本発明の実施例２を示す縦断面図である。
本実施例は可動ノズルホルダ２の吸着ノズルホルダ部２
ａを電磁石により構成し、固定ノズルホルダ４の吸着ノ
ズルホルダ部４ａを永久磁石により構成したものである
。
ａを電磁石により構成し、固定ノズルホルダ４の吸着ノ
ズルホルダ部４ａを永久磁石により構成したものである
。
この例では固定ノズルホルダ７から吸着ノズル１を取り
出す場合に反力を利用している（この場合も電磁力）永
久磁石力である）、この実施例でもわかるように磁力を
利用した本発明は単純な構造で容易にノズル交換ができ
るという利点がある。
出す場合に反力を利用している（この場合も電磁力）永
久磁石力である）、この実施例でもわかるように磁力を
利用した本発明は単純な構造で容易にノズル交換ができ
るという利点がある。
また、第２図（ｂ） 、 （ｃ） 、 （ｄ）では１台
の固定ノズルホルダ４に１個ずつ吸着ノズルを実装する
場合について説明したが、第３図に示すように複数個の
吸着ノズル１を複数台の固定ノズルホルダ４に同時に実
装す企場合にも適用できる。この場合、作業能率が向上
する。
の固定ノズルホルダ４に１個ずつ吸着ノズルを実装する
場合について説明したが、第３図に示すように複数個の
吸着ノズル１を複数台の固定ノズルホルダ４に同時に実
装す企場合にも適用できる。この場合、作業能率が向上
する。
以上説明したように本発明は永久磁石と電磁石を組合せ
ることにより、吸着ノズル交換を容易に行うことができ
る。さらに構造もシンプルであるため、軽量化がはかれ
るという利点がある。
ることにより、吸着ノズル交換を容易に行うことができ
る。さらに構造もシンプルであるため、軽量化がはかれ
るという利点がある。
又、吸着ノズルの位置ズレについてもホルダ側とノズル
とのハメ合いを確実に行なわせるだけで解決できるとい
う効果がある。
とのハメ合いを確実に行なわせるだけで解決できるとい
う効果がある。
第１図（ａ）は本発明の実施例１を示す断面図、第１図
（ｂ） 、 （ｃ）は動作図、第２図（ａ）は本発明の
実施例２を示す断面図、第２図（ｂ） 、 （ｃ）（ｄ
）は動作図、第３図は本発明の実施例２に関する他の実
施例を示す断面図、第４図（ａ）は従来例を示す側面図
、第４図（ｂ）は同正面図、第５図は従来例における動
作図である。
（ｂ） 、 （ｃ）は動作図、第２図（ａ）は本発明の
実施例２を示す断面図、第２図（ｂ） 、 （ｃ）（ｄ
）は動作図、第３図は本発明の実施例２に関する他の実
施例を示す断面図、第４図（ａ）は従来例を示す側面図
、第４図（ｂ）は同正面図、第５図は従来例における動
作図である。
Claims (1)
- （１）半導体素子のサイズに対応して吸着ノズルを交換
する吸着ノズル交換機槽であつて、 磁性体からなる吸着ノズルと、 前記吸着ノズルを固定保持する固定ノズルホルダと、 前記吸着ノズルを保持し、該ノズルを前記固定ノズルホ
ルダに搬入・搬出する可動ノズルホルダとを有し、 前記固定ノズルホルダ、可動ノズルホルダのうち一方の
吸着ノズルホルダ部を電磁石により構成し、他方の吸着
ノズルホルダ部を永久磁石により構成し、さらに前記電
磁石の励磁コイルに極性を切替えて通電を行う電源を備
えたことを特徴とする吸着ノズル交換機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30539089A JP2503691B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 吸着ノズル交換機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30539089A JP2503691B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 吸着ノズル交換機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03165043A true JPH03165043A (ja) | 1991-07-17 |
| JP2503691B2 JP2503691B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=17944546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30539089A Expired - Lifetime JP2503691B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 吸着ノズル交換機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2503691B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012256931A (ja) * | 2012-08-24 | 2012-12-27 | Renesas Electronics Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008046739B3 (de) * | 2008-09-11 | 2010-04-22 | Siemens Electronics Assembly Systems Gmbh & Co. Kg | Pipette, Anordnung zum Kalibrieren einer wechselbaren Komponente, Positioniersystem, Bestückautomat sowie Messverfahren |
-
1989
- 1989-11-24 JP JP30539089A patent/JP2503691B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012256931A (ja) * | 2012-08-24 | 2012-12-27 | Renesas Electronics Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2503691B2 (ja) | 1996-06-05 |
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