JPH03156416A - 光源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、例えば精密パターン焼付用の密着焼付装置
や製版用複写カメラ等（以下これらを単に露光装置と称
する）に用いられる光源装置に関するものである。

（従来の技術） この種の光源装置としては、従来より例えば特開昭６４
−８９２０１号公報に開示されたものが知られている。

それは第１１図に示すように、光＃７の背面側に直径が
大きく発散角θの小さな反射鏡８を具備して成り、上記
露光装置の被照射面Ｐから所要距離だけ隔てて配置され
、被照射面Ｐの広い範囲を出来るだけ均一に照射するよ
うに意図したものである。なお、光源７としてはマイク
ロ波によって光を誘導放射するいわゆる無電極電球が用
いられている。

（発明が解決しようとする課題） 上記光源装置は反射鏡８の形状を大きくして発散角θを
小さくすることにより、被照射面Ｐの広い範囲を有効に
照射出来るという優れたものであるが、発散角θが小さ
く設定されてい、るため、反射鏡８の光軸近傍部分８ｂ
での反射光が被照射面Ｐの中央部近傍に重畳的に指向し
、当該中央部の照度が局部的に高くなるという難点があ
る。なお、同図中の符号ｅは照度分布を示す。

当該中央部の局部的な照度上昇を解消するには、反射鏡
８の光軸近傍部分８ｂを削除したり、当該部分８ｂの表
面を無反射処理することにより、当該光軸近傍部分での
反射光を無くすることも考えられるが、その無反射部分
の大きさを画一にした場合には、光源７の交換時等に必
要な照度分布の微妙な調整が容易になし得ないという難
点があり、調整作業が非常に面倒であった。

本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、上
記難点を解消して被照射面を広い範囲に亙り、容易に照
度補正して一層均一に照射することを技術課題とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記課題を解決するものとして以下のように構
成される。

即ち、光源の背面側に大径で発散角の小さな反射鏡を具
備して成り、露光装置の被照射面を照射するように構成
した光源装置において、反射鏡の光軸近傍に反射防止部
材を着脱可能に装着し、反射防止面の大きさを適宜選択
して被照射面の照度分布を補正可能に構成したことを特
徴とするものである。

（作　　用） 本発明では、従来例と同様の反射鏡を用いるとともに、
反射鏡の光軸近傍に反射防止部材を装着する。従って反
射鏡の光軸近傍部分から反射して被照射面の中央部近傍
に重畳的に指向する光は無くなる。これにより、被照射
面の中央部の照度が局部的に高くなることはなくなる。

また、反射防止部材はその反射防止面の大きさが異なる
ものを複数種準備しておき、最良の照度分布が得られる
ものを適宜選択して装着することにより、光源の交換時
等に、必要に応じて適確な照度分布の調整が可能になる
。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明の第１の実施例を示す光源装置の要部断面図
であり、この第１図のものは、例えば第７図に示す焼枠
装置、第８図に示す密着プリンタ、第９図に示す製版用
カメラ等のそれぞれの光源装置６・１６・２６として用
いることができる。

先ず、上記各露光装置について簡単に説明する。

第７図の焼枠装置は、焼付台１に対して上枠４が開閉可
能に設けられ、焼付台１０弾性シート２上にフィルム原
板とＰＳ版とを重ねて載置し、上枠４を閉じて排気口３
より真空引きすることにより、弾性シート２と上枠４の
透光板５との間にフィルム原板とＰＳ版とを密着保持し
、上方に配置した光源装置６により近紫外線を含む光を
照射してＰＳ版にフィルム原板の画像を焼き付けるよう
に構成されている。

第８図の密着プリンタは、箱型のケーシング本体１１の
上面に透光板１２を略水平に設け、透光板１２上に巻取
式オーバーレイシート１３を張設可能に設け、透光板１
２とオーバーレイシート１３との間にフィルム原板と感
材フィルムとを密着保持し、ケーシング本体１１内の下
方に配置した光源装置１６により光を照射して感材フィ
ルムにフィルム原板の絵柄を焼き付けるように構成され
ている。なお、同図中符号１４は真空ポンプである。

第９図の製版用カメラは、基台フレーム２１の一端部に
撮影架２２を設け、基台フレーム２１上にレンズ架２３
と原稿架２４とを変倍移動可能に設け、撮影架２２の感
材ホルダ２２ａで感材フィルムを吸着保持し、原稿架２
４の原稿ホルダ２４ａで保持した原稿を背面より光源装
置２６で照明し、原稿の絵柄を感材フィルムに露光する
ように構成されている。

上記各光源装置６・１６・２６は、第１図に示すように
その基本構造として光源７と光＃７の背面側に前記従来
例と同様の反射鏡８と、反射鏡８の光軸近傍に着脱可能
に装着される反射防止部材９とを具備して成る。

光源７としては、各露光装置が必要とする感光波長域に
応じて、水銀灯・クセノンランプ・ヨウ素ランプ等を用
いることができるが、点状光源を使用する場合には前記
無電極電球を用いるのが望ましい。

反射鏡８は第１図に示すように、直径が大きく、発散角
θは小さくなるように形成されており、光源７からの直
接光のみによる照度分布の低下を反射光で補完すること
により、被照射面Ｐ上で、ある程度均一な照度分布とな
るように構成されている。

反射防止部材９は例えば第２図に示すように、その表面
が無反射処理されたりリング状の部材から成り、反射鏡
８のランプ装着孔８ａに固定爪９ａを折り曲げて装着で
きるように構成されている。

ちなみに本実施例では、アルミニウム材でリング部材を
形成し、その表面を硫酸アルマイト処理により黒色艶消
しとしたものである。なお、無反射処理としては上記の
他に、鉄やステンレス等の金属表面に黒色メツキ処理し
たものや、黒色耐熱性樹脂材料で表面を被覆したもので
もよい。

また、反射防止部材９を反射鏡８へ取付ける方法は爪９
ａに限定するものでなく、例えば磁石等で構成すること
も可能である。

この反射防止部材９は、リング状の反射防止領域Ｂが第
１図に示すように、反射鏡８の光軸近傍８ａを覆うよう
に整合配置され、当該部分からの反射光が被照射面Ｐ上
の中央近傍に重畳的に指向するのを阻止するようになっ
ている。そして、この反射防止部材９の装着に先立って
、反射防止領域Ｂの幅すが異なるものを複数種準備して
おき、最良の照度分布が得られるものを選択して使用す
る。これにより、光源７の交換時等において、適確な照
度分布の調整が可能となる。ちなみに、第６図は被照射
面上の照度分布の変化を例示するもので、同図Ａは反射
防止部材９を装着しない場合、同図Ｂ〜Ｇはそれぞれ反
射防止領域Ｂの幅がｂ＝１ｍ〜６１１１１６まで異なる
ものを装着した場合の照度分布を示す。その結果による
とｂ・３ｍｍ〜５ＩＩＩｆｆｌのものが実用になる。

第３図は本発明の第２の実施例を示す光源装置の要部断
面図、第４図はその正面図、第５図は反射防止部材の正
面図であり、この実施例は前記第７図〜第９図の各露光
装置の光源装置６・１６・２６の他、第１０図に示すよ
うに製版用カメラの反射用光源装置としても用いること
ができる。なお、第１０図中符号りは光源装置７．・７
．によるそれぞれの照度分布し、・Ｌ、の和を示してい
る。

この実施例は光源７°が直管型の管球であるため、これ
に対応させて反射鏡８°及び反射防止部材９゛の形状を
縦長に形成している点が第１の実施例と異なり、その他
の基本的な形状は第１図のものと同様に形成されている
。

即ち、反射防止部材９゛は固定爪９ａを介して反射鏡８
′に着脱自在に装着され、あらかじめ準備しである複数
種の中から最良の照度分布が得られるものを適宜選択し
て用いる。

（発明の効果） 以上の説明で明らかなように、本発明では反射鏡の光軸
近傍部分に、反射防止部材を適宜選択して装着するよう
にしたので次の効果を奏する。

イ、被照射面の中央部近傍に重畳的に指向する光を遮光
して、被照射面の中央部の照度が局部的に高くなるのを
防ぎ、広い範囲に亙って均一な照度分布を得ることがで
きる。

口１反射防止部材は、その反射防止面の大きさが異なる
ものの中から最良の照度分布が得られるものを適宜選択
して装着できるので、光源の交換時等に必要に応じて適
確な照度分布の調整が特定の場所以外でも可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例を示す光源装置の要部断
面図、第２図はその光源装置用の反射防止部材の正面図
、第３図は本発明の第２の実施例を示す光源装置の要部
断面図、第４図はその正面図、第５図はその光源装置用
の反射防止部材の正面図、第６図は被照射面上の照度分
布の変化を示す図、第７図は焼枠装置の斜視図、第８図
は密着プリンタの概要を示す側面図、第９図は製版用カ
メラの側面図、第１０図はそのカメラの反射照明の状態
を示す要部平面図、第１１図は従来例を示す光源装置の
要部断面図である。 ７・７゛・・・光源、８・８“・・・反射鏡、９・９′
・・・反射防止部材、Ｐ・・・被照射面。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、光源の背面側に大径で発散角の小さな反射鏡を具備
   して成り、露光装置の被照射面を照射するように構成し
   た光源装置において、 反射鏡の光軸近傍に反射防止部材を着脱可能に装着し、
   反射防止面の大きさを適宜選択して被照射面の照度分布
   を補正可能に構成したことを特徴とする光源装置