JPH0314516B2 - - Google Patents
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- JPH0314516B2 JPH0314516B2 JP19281286A JP19281286A JPH0314516B2 JP H0314516 B2 JPH0314516 B2 JP H0314516B2 JP 19281286 A JP19281286 A JP 19281286A JP 19281286 A JP19281286 A JP 19281286A JP H0314516 B2 JPH0314516 B2 JP H0314516B2
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Landscapes
- Separation Of Suspended Particles By Flocculating Agents (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
この発明は廃水、特にシリコン研磨屑をssとし
て多量に含むシリコン研磨廃水に適した加圧浮上
法による処理方法に関する。
て多量に含むシリコン研磨廃水に適した加圧浮上
法による処理方法に関する。
＜従来の技術＞
半導体工業の発展でシリコンウエハーの需要は
増加の一途をたどつている。このシリコンウエハ
ーは塊状のシリコンをスライスし、それを研磨し
て製造するため、黒色の研磨屑を多量に含む廃水
が生じ、そのまゝでは公共の水域に放流できな
い。
増加の一途をたどつている。このシリコンウエハ
ーは塊状のシリコンをスライスし、それを研磨し
て製造するため、黒色の研磨屑を多量に含む廃水
が生じ、そのまゝでは公共の水域に放流できな
い。
従来、この研磨廃水は硫酸バンドなどの無機凝
集剤を添加し、凝集沈殿法で処理して処理水を放
流している。
集剤を添加し、凝集沈殿法で処理して処理水を放
流している。
＜発明が解決しようとする問題点＞
しかしながらシリコンは水中で水素ガスを発生
する性質を有するため、一旦沈殿した研磨屑に水
素が付着し、時間の経過とともに研磨屑は浮上
し、処理水に混ざつてしまう。
する性質を有するため、一旦沈殿した研磨屑に水
素が付着し、時間の経過とともに研磨屑は浮上
し、処理水に混ざつてしまう。
この研磨屑は前述した様に黒色なので、処理水
に混ざると処理水の見掛けが著しく悪くなる。
に混ざると処理水の見掛けが著しく悪くなる。
＜問題点を解決するための手段＞
そこで本発明は廃水に無機凝集剤を添加する工
程、次いで浮上助剤と高分子凝集剤を添加する工
程、その後微細気泡を含む加圧水で処理する工程
によつて廃水中の固液を浮上分離することを特徴
とする。
程、次いで浮上助剤と高分子凝集剤を添加する工
程、その後微細気泡を含む加圧水で処理する工程
によつて廃水中の固液を浮上分離することを特徴
とする。
＜作用＞
最初に添加する無機凝集剤は従来法と同様に廃
水中のssをフロツク化する。次いで添加する浮上
助剤は、その後の微細気泡を含む加圧水で処理す
る際に微細気泡のssに対する付着性を改善する。
そして、高分子凝集剤は、無機凝集剤によるssの
フロツクを粗大化する。高分子凝集剤は、ssに対
する微細気泡の付着性を改善した後添加した方が
効率が良いので、浮上助剤と同時、又は浮上助剤
添加後に添加するのが好ましい。
水中のssをフロツク化する。次いで添加する浮上
助剤は、その後の微細気泡を含む加圧水で処理す
る際に微細気泡のssに対する付着性を改善する。
そして、高分子凝集剤は、無機凝集剤によるssの
フロツクを粗大化する。高分子凝集剤は、ssに対
する微細気泡の付着性を改善した後添加した方が
効率が良いので、浮上助剤と同時、又は浮上助剤
添加後に添加するのが好ましい。
＜実施例＞
図面において、１は無機凝集剤の添加工程、２
は浮上助剤と高分子凝集剤の同時添加工程を示
し、両添加工程を経た廃水（シリコン研磨廃水）
を浮上分離槽３に導く途中の経路に微細気泡を含
む加圧水４を加える。
は浮上助剤と高分子凝集剤の同時添加工程を示
し、両添加工程を経た廃水（シリコン研磨廃水）
を浮上分離槽３に導く途中の経路に微細気泡を含
む加圧水４を加える。
この加圧水による固液の浮上分離では使用する
無機凝集剤によりPH値が変化するので、無機凝集
剤の添加工程で同時にか、或いはその後、浮上助
剤を添加するまでの間に廃水に酸やアルカリを添
加し、PHを最適値になる様に調整する。
無機凝集剤によりPH値が変化するので、無機凝集
剤の添加工程で同時にか、或いはその後、浮上助
剤を添加するまでの間に廃水に酸やアルカリを添
加し、PHを最適値になる様に調整する。
使用する無機凝集剤としてはアルミニウム塩
や、第１、第２鉄塩等、一般に廃水処理に適用さ
れているものでよいが、取扱いや、PH調整操作が
容易な硫酸バンドや、PAC（ポリ塩化アルミニウ
ム）などのアルミニウム塩が好ましい。
や、第１、第２鉄塩等、一般に廃水処理に適用さ
れているものでよいが、取扱いや、PH調整操作が
容易な硫酸バンドや、PAC（ポリ塩化アルミニウ
ム）などのアルミニウム塩が好ましい。
又、浮上助剤にはステアリン酸や、ラウリル酸
等の脂肪酸の塩を使用し、高分子凝集剤は一般に
使用されているポリアクリルアミド加水分解物等
を適宜使用できる。
等の脂肪酸の塩を使用し、高分子凝集剤は一般に
使用されているポリアクリルアミド加水分解物等
を適宜使用できる。
実験例
シリコン研磨廃水（PH8.2、ss728mg／ｌ）にポ
リ塩化アルミニウム300mg／ｌを添加した。これ
により廃水のPHは7.0になつた。
リ塩化アルミニウム300mg／ｌを添加した。これ
により廃水のPHは7.0になつた。
次にステアリン酸ソーダ５mg／を添加し、更
にポリアクリルアミドの加水分解物を２mg／添
加してフロツクを粗大化したあと４Kg／cm2に加圧
した加圧水を廃水４部に対して１部導入した。
にポリアクリルアミドの加水分解物を２mg／添
加してフロツクを粗大化したあと４Kg／cm2に加圧
した加圧水を廃水４部に対して１部導入した。
これによりフロツクは36ｍ／Hrの浮上速度で
浮上し、フロツクと分離した処理水中のss濃度は
10mg／以下であつた。又、浮上したフロツク
（スカム）は安定であり、衝撃を加えてもすぐに
浮上した。
浮上し、フロツクと分離した処理水中のss濃度は
10mg／以下であつた。又、浮上したフロツク
（スカム）は安定であり、衝撃を加えてもすぐに
浮上した。
比較例 １
ステアリン酸ソーダを加えないで、あとは上記
実験例と同様に加圧浮上処理を行つてもフロツク
は浮上しなかつた。
実験例と同様に加圧浮上処理を行つてもフロツク
は浮上しなかつた。
比較例 ２
実験例で用いたのと同じシリコン研磨廃水にポ
リ塩化アルミニウム300mg／を添加し、PHを調
整したあと高分子凝集剤を添加して従来法の様に
凝集沈殿処理を行つた所、フロツクは速やかに沈
降したが、静置後５分程度でフロツクの浮上が観
察された。
リ塩化アルミニウム300mg／を添加し、PHを調
整したあと高分子凝集剤を添加して従来法の様に
凝集沈殿処理を行つた所、フロツクは速やかに沈
降したが、静置後５分程度でフロツクの浮上が観
察された。
図示の実施例は二つの攪拌混合槽と一つの浮上
分離槽を用いた装置を示したが、攪拌混合槽は一
槽とし、無機凝集剤とPH調整剤を同時、又は前者
を先、後者を後に添加し、その後、好ましくは浮
上助剤と高分子凝集剤を同時、又は前者を先、後
者を後に添加してもよい。
分離槽を用いた装置を示したが、攪拌混合槽は一
槽とし、無機凝集剤とPH調整剤を同時、又は前者
を先、後者を後に添加し、その後、好ましくは浮
上助剤と高分子凝集剤を同時、又は前者を先、後
者を後に添加してもよい。
勿論、各添加を個々の攪拌混合槽で行つてもよ
い。
い。
＜発明の効果＞
本発明は加圧浮上処理のためssが浮上し、処理
水の水質を悪化させることがない。又、凝集沈殿
法に較べて敷地面積を1/3〜1/5に減少できる。そ
して、特に浮上助剤を添加し、気泡の付着性改善
を行なうことによりシリコン研磨廃水中のシリコ
ン屑の分離速度を大きくとることができる。
水の水質を悪化させることがない。又、凝集沈殿
法に較べて敷地面積を1/3〜1/5に減少できる。そ
して、特に浮上助剤を添加し、気泡の付着性改善
を行なうことによりシリコン研磨廃水中のシリコ
ン屑の分離速度を大きくとることができる。
図面は本発明の一実施例を示すもので、図中、
１は無機凝集剤の添加工程；２は浮上助剤と高分
子凝集剤の同時添加工程；３は浮上分離槽；４は
加圧水を示す。
子凝集剤の同時添加工程；３は浮上分離槽；４は
加圧水を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ シリコン研磨廃水に無機凝集剤を添加する工
程、次いで浮上助剤と高分子凝集剤を添加する工
程、その後微細気泡を含む加圧水で処理する工程
を有することを特徴とするシリコン研磨廃水の浮
上分離処理方法。 ２ 特許請求の範囲１に記載のシリコン研磨廃水
の浮上分離処理方法において、高分子凝集剤は浮
上助剤と同様に、又は浮上助剤を添加したあとで
添加するシリコン研磨廃水の浮上分離処理方法。 ３ 特許請求の範囲１または２に記載のシリコン
研磨廃水の浮上分離処理方法において、浮上助剤
は脂肪酸の塩であるシリコン研磨廃水の浮上分離
処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19281286A JPS6349291A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | シリコン研磨廃水の浮上分離処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19281286A JPS6349291A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | シリコン研磨廃水の浮上分離処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6349291A JPS6349291A (ja) | 1988-03-02 |
| JPH0314516B2 true JPH0314516B2 (ja) | 1991-02-26 |
Family
ID=16297396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19281286A Granted JPS6349291A (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | シリコン研磨廃水の浮上分離処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6349291A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69421577T2 (de) * | 1993-08-16 | 2000-07-13 | Ebara Corp | Vorrichtung zur Behandlung von Abfall in einer Poliervorrichtung |
| JP4844445B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2011-12-28 | 栗田工業株式会社 | 凝集処理方法 |
| KR100917919B1 (ko) | 2007-11-02 | 2009-09-16 | 주식회사 일신환경기술 | 마그네슘 판재용 버핑용수 재이용장치 |
| CH703236B1 (fr) * | 2007-12-19 | 2011-12-15 | Ecole Polytech | Procédé de récupération de silicium dans des déchets de sciage. |
| JP5245076B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2013-07-24 | 大同化学工業株式会社 | 廃液の処理方法 |
| JP2012050948A (ja) * | 2010-09-02 | 2012-03-15 | Nippon Rensui Co Ltd | 排水処理装置および排水処理方法 |
| JP6864585B2 (ja) * | 2017-08-30 | 2021-04-28 | 株式会社カネカ | ポリヒドロキシアルカノエートの製造方法 |
| CN112158983A (zh) * | 2020-09-16 | 2021-01-01 | 天津市市政工程设计研究院 | 一种用于光伏废水的高效除硅除氟系统及其方法 |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP19281286A patent/JPS6349291A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6349291A (ja) | 1988-03-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |