JPH03143598A - 過酸化水素含有排水の処理方法 - Google Patents

過酸化水素含有排水の処理方法

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JPH03143598A
JPH03143598A JP1279050A JP27905089A JPH03143598A JP H03143598 A JPH03143598 A JP H03143598A JP 1279050 A JP1279050 A JP 1279050A JP 27905089 A JP27905089 A JP 27905089A JP H03143598 A JPH03143598 A JP H03143598A
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JP
Japan
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bod
carrier
hydrogen peroxide
bacteria
tank
Prior art date
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Pending
Application number
JP1279050A
Other languages
English (en)
Inventor
Tetsuro Fukase
哲朗 深瀬
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Kurita Water Industries Ltd
Original Assignee
Kurita Water Industries Ltd
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Publication date
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    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02WCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W10/00Technologies for wastewater treatment
    • Y02W10/10Biological treatment of water, waste water, or sewage

Landscapes

  • Biological Treatment Of Waste Water (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [a業上の利用分野] 本発明は過酸化水素含有排水の処理方法に係り、特に過
酸化水素とBODとを含む排水から過酸化水素及びBO
Dを効率的に除去することができる過酸化水素含有排水
の処理方法に関する。
[従来の技術] 半導体製造工場から排出されるウェハー洗浄排水には、
過酸化水素(H202)、BODの他に重金属類やフッ
素等が含まれていることから、従来、ウェハー洗浄排水
を処理するには、カルシウム(Ca 2+)による凝集
沈殿でフッ素、重金属を除去し、続いて生物処理を行な
っている。
しかしながら、この方法ではフッ素を難溶性のフッ化カ
ルシウムにするために、pHを中性で凝fi処理しなけ
ればならず、生成汚泥量が少なく、十分な沈殿分離がで
きなかった。また、同時に流入するH2O2により発生
する気泡によって、汚泥が浮上する等の問題があり、続
く生物処理への負荷増大の要因となっている。
ところで、H202含有排水の処理方法として、下記■
の方法が知られている。
■ 活性汚泥法における余剰汚泥を利用して過酸化水素
を分解する方法(特開昭60−58297号)。この方
法において、好気性細菌はH2O2分解酵素であるカタ
ラーゼを有する。
また、下記■の方法も提案されている。
■ H202を下水廃水等の活性汚泥処理装置の曝気槽
に添加する方法(特公昭47−33633号)。
即ち、活性汚泥がH2O2を酸素源としてBODを除去
する能力を有することが知られている。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、K202は殺菌作用があるため、上記■
、■の活性汚泥法による処理では、流入するBODが少
なくなると、曝気槽の汚泥量を十分に保持することが困
難であるという問題点があった。
一方、担体に菌体を固定したバイオフィルタを用いてK
202を酸素源としてBOD除去を行なう例は知られて
いない。これは、バイオフィルタを用いてK202を酸
素源としてBODを除去するためには、十分な量の菌体
を維持することが必要であるのに対し、ただ車に担体に
菌体を固定しただけでは、K202の殺菌作用とスライ
ム剥離作用のために、十分な量の菌体をフィルタ内に保
持することができず、BODの除去効果が低下するため
である。
本発明は上記従来の問題点を解決し、H2O2含有排水
をバイオフィルタを用いて効率的に処理することにより
高水質の/A埋木を得ることができるH2O2含有排水
の処理方法を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明の8202含有排水の処理方法は、過酸化水素を
含有する排水をカタラーゼ活性を有する菌体と接触させ
て、排水中の過酸化水素を分解する方法において、菌体
を担体に固定して保持した処理槽内に排水を導入して、
BOD槽負荷0.1k g −B OD / m’・日
以上で生物処理することを特徴とする。
以下に本発明の詳細な説明する。
本発明の方法において使用されるカタラーゼ活性を有す
る菌体としては特に制限はないが、例えば、Micro
coccus fluteus (IFO3333) 
E、coItl K12(ATCC2371B)等のカ
タラーゼ活性を有するものが挙げられる。
このような菌体を担体に固定する方法としては特に制限
はないが、包括固定法又は担体への付着固定法が有効で
ある。包括固定法としては、アルギン酸、カラギーナン
、ポリアクリルアミド等の高分子ゲル中に菌体を包括す
るのが一般的である。また、付着固定法では、担体とし
て、回転円板、粒状担体等を用いることができる。
特に本発明では、粒状活性炭やイオン交換樹脂等のK2
02を吸着できる担体を用いるのが、H2O2の毒性を
弱めることができ極めて有利である。
本発明Cおいては、処理槽のBOD禮負荷を0.1 k
g−BOD/rn”・日以上で生物処理するが、このB
 OD 槽負荷が低いと十分な菌体維持量を得ることが
難しい。逆に、BOD槽負荷が高過ぎると、発生する酸
素ガスによって菌体が!IJ mし、K202の除去が
悪化する。
従って、本発明においてはB OD 49負荷は特に0
.5〜5kg−BOD/m’−日とするのが好ましい。
本発明の方法は、BOD槽負荷を0.1kg−BOD/
rri″・日以上で行なうこと以外は、従来と同様のバ
イオフィルタ処理により行なうことができる。なお、本
発明の実施にあたっては、処理水の一部を循環して原水
であるH2O2含有排水を希釈し、処理槽流入水のH2
O2濃度を100 m g / fl、以下となるよう
にすることにより、K202の殺菌効果が弱められ、極
めて優れた効果が得られる。
このような本発明の処理対象となるH2O2含有排水と
しては特に制限はないが、本発明の方法は、例えばウェ
ハプロセス排水、パルブ工業や゛食品工業の排水等に極
めて有効である。
[作用] 前述の如く、従来において、担体に菌体を固定しても、
K202の剥離作用等によって、必要とされる菌体量の
保持はできないと推測されていたが、本発明者らの研究
により、予想に反し、菌体を固定し、BOD槽負荷をO
,1kg−BOD/R・白組上として処理することによ
って、必要量の菌体の保持は可能であることが明らかに
なった。
即ち、バイオフィルタの槽負荷をO,1kg−BOD/
rn”・日録上とすることにより、H202による付着
汚泥の剥離を防ぎ、殺菌作用が奏される前にH2O2の
分解に十分な量の汚泥を系内に維持することができ、良
好な処理を行なうことが可能とされる。
[実施例] 以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に
説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の
実施例に限定されるものではない。
実施例1 第1表に示す水質のH202含有排水を活性炭に活性汚
泥を付着させた下記仕様の処理槽に下記処理条件にて流
動床方式で通水した。得られた処理水の水質を第1表に
示す。なお、微生物膜の生成は、処理槽のカラムにペプ
トン、グルコースをBOD源とする合成排水を滞留時間
4,2時間となるように通液し、処理水を曝気槽でブリ
エアレーションし、原水流量の10倍量循環することに
より行った。
糺ユ豊旦1 カラム:アクリル製、 内径25mm、高さ60cm 充填材; (株)クラレ製タラレコールKW16/32
メツシユ、 充填高さ40cm。
充填容jfi 283 c tn’ 処理条件 BOD[負荷: 1.Okg−BOD/m’・日処理の
開始に当り、プリエアレーションを中止し、代りにH2
02を原水換算で200mg/ぶとなるように添加した
。その結果、処理水のBODは20mg/n以下であり
、また処理水の8202はチタン法による検出限界以下
(1mg/℃以下)であった。
実施例2,3、比較例1,2 BOD槽負荷及び原水水質を第1表に示す値としたこと
以外は、実施例1と同様にして処理を行ない、得られた
処理水の水質を第1表に示した。
第1表より、BOD槽負荷0.1kg−BOD/m″・
日録上で処理を行なうことにより、高水質の処理水が得
られることが明らかである。
[発明の効果] 以上詳述した通り、本発明のH202含有排水の処理方
法によれば、バイオフィルタを用いる方7去により、H
2O2含有排水を特別な薬剤等を用いることなく、無薬
法にて容易かつ高効率、低コストに処理することができ
、高水質の処理水を得ることができる。しかも、BOD
除去のための通気を行なうことなくH2O2を02源と
して利用することができることから、通気動力が不要と
なり、勤カコストも大幅に低減される。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)過酸化水素を含有する排水をカタラーゼ活性を有
    する菌体と接触させて、排水中の過酸化水素を分解する
    方法において、菌体を担体に固定して保持した処理槽内
    に排水を導入して、BOD槽負荷0.1kg−BOD/
    m^2・日以上で生物処理することを特徴とする過酸化
    水素含有排水の処理方法。
JP1279050A 1989-10-26 1989-10-26 過酸化水素含有排水の処理方法 Pending JPH03143598A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2322381A (en) * 1997-02-25 1998-08-26 Samsung Electronics Co Ltd Strain of Micrococcus luteus resistant to hydrogen peroxide
EP1050313A1 (en) * 1993-02-12 2000-11-08 Allergan, Inc. Compositions and methods for destroying hydrogen peroxide
JP2009297611A (ja) * 2008-06-11 2009-12-24 Japan Organo Co Ltd 過酸化水素含有有機性水の処理方法および処理装置

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