JPH03139852A - Ｌｓｉ試験装置のパフォーマンスボード取付け機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 テストヘッド部にパフォーマンスボードを取付け、パフ
ォーマンスボードやプローブカード等を介して探針でＬ
ＳＩをプローピング試験する装置に関し、 テストヘッド部にパフォーマンスボードを簡単な１ｉ１
１１１１で自動取付けでき、省力化できるようにするこ
とを目的とし、 テストヘッド部の少なくとも対向する二辺にその水平面
に対して平行に、パフォーマンスボードの外周辺部をそ
の艮手力向に挿入されてこれを支持する長手状のガイド
をテストヘッド部の水平面方向に変位可能なように設け
、パフォーマンスボードをガイドに沿ってテストヘッド
部内に挿入する機構を設け、パフォーマンスボードがテ
ストヘッド部に挿入され終ったらガイドをテストヘッド
部の水平面方向に変位させてパフォーマンスボードの央
面をピンに当接させる機構を設けた構成とする。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、テストヘッド部にパフォーマンスボードを取
付け、パフォーマンスボードやプローブカード等を介し
て探針でブローピング試験する装置に関する。

ＬＳＩの試験は、被測定ＬＳＩに信号を入力してＬＳＩ
からの出力値と期待値とを比較してＬＳＩの機能の良否
を判定したり、入出力信号、電源電圧、電流等のアナロ
グ値を測定する。近年、ＬＳＩの集積度が向上して機能
が複雑になり、その試験は重要になっている。

ここで、ブローピング試験は、第３図に示す如く、ウェ
ハ状態のＬＳＩチップ１のポンディングパッドに探針２
を機械的に接触させ、テストヘッド部３（中火に顕微鏡
挿通用孔が設けられている）を介してテスタ本体４にて
電気的特性を測定する試験がある。このような、試験を
行なう装置では、テストヘッド部３にパフォーマンスボ
ード５（中央に顕微鏡挿通用孔が設けられている）を取
付け、パフォーマンスボード５にてテストヘッド部３内
に設置されたピン３ａ（バネ構造になっている）と探針
２との間を信号中継する。このパフォーマンスボード５
は両面にプリントパターンを設けられており、一方の面
のパターンはピン３ａに当接され、他方の面のパターン
は中央部に集約されてリング６（中央に顕微鏡挿通用孔
が設けられている）のパターンに当接され、探針２を設
けられたプローブカード７、リング６を介して探針２と
ピン３ａとの間において信号授受を行なうような構成と
されている。

試験に先立ってパフォーマンスボード５をテストヘッド
部３に取付けてその面に設けられたプリントパターンを
ピン３ａに当接させるが、その取付けに際しては、近年
の省力化の要求に伴ない、ロボット等でも容易に作業で
きるような自動取付は方法が望ましい。

〔従来の技術〕

従来の一例として、第４図に示す如く、人手によってテ
ストヘッド部１０内にパフォーマンスボード１１を嵌め
込み、その後、テストヘッド部１０の一辺に蝶番で支持
された押え枠１２をテストヘッド部１０の面上に倒して
これでパフォーマンスボード１１の上面を押え、パフォ
ーマンスボード１１をここに設けられた孔１１ａを用い
てネジでテストヘッド部１０に固定する。パフォーマン
スボード１１は押え枠１２及びネジによってテストヘッ
ド部１０内に設置されたピン１０ａ（実際には、テスト
ヘッド部１０内に放射状に設置された試験信号を選択す
るためのピンカードに設けられており、バネ構造になっ
ている）を押動し、これにより、パフォーマンスボード
１１の裏面に設けられたプリントパターンとピン１０ａ
とは電気的に接続される。試験に際しては全体を裏返し
、第５図に示すような状態にして使用する。

一方、従来の他の例として、第５図に示す如く、人手に
よってテストヘッド部１５内にパフォーマンスボード１
６を嵌め込み、その後、テストヘッド部１５の対向する
二辺に設けられている押え枠１７をテストヘッド部１５
の中央部方向へ摺動させてパフォーマンスボード１６の
上面を押え、パフォーマンスボード１６を図中下方向に
エア吸引してテストヘッド部１５に固定する。このエア
吸引により、パフォーマンスボード１６とテストヘッド
部１５内に設置されたピン１５ａとが当接して電気的に
接続される。試験に際しては、第４図に示す従来例と同
様、全体を裏返し、第３図に示すような状態にして使用
する。

〔発明が解決しようとする課題〕

第４図及び第５図に示す従来例は、パフォーマンスボー
ドをテストヘッド部に取付けるに際しては人手を必要と
し、又、取付は終了するまではパフォーマンスボードが
落下してしまうので必ず第４図、第５図に示すような状
態にしておき、取付は終了すると全体を裏返さなければ
ならない等、手間が面倒である問題点があった。そこで
、このような一連の作業をロボットに行なわせるように
することもできるが、特に、第４図に示す従来例では押
え枠１２をテストヘッド部１０の面上に倒さなければな
らず、又、ネジ止めを行なわなければならない等の比較
的複雑な動きがあり、制御がむずかしい問題点がある。

又、第５図に示す従来例はエア吸引装置を必要とし、構
成が複雑になり、コスト高になる問題点があった。

本発明は、テストヘッド部にパフォーマンスボードを簡
単な制御で自動取付けでき、省力化できるＬＳＩ試験装
置のパフォーマンスボード取付は機構を提供することを
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、テストヘッド部の少なくとも対向する二辺に
その水平面に対して平行に、パフォーマンスボードの外
周辺部をその長手方向に挿入されてこれを支持する長手
状のガイドを上記テストヘッド部の水平面方向に変位可
能なように設け、又、パフォーマンスボードをガイドに
沿ってテストヘッド部内に挿入する挿入機構を設け、更
に、パフォーマンスボードがテストヘッド部に挿入され
終ったらガイドをテストヘッド部の水平面方向に変位さ
せてパフォーマンスボードの裏面をピンに当接させる変
位ＩＩ構を設けてなる。

〔作用〕

前記挿入機構により、パフォーマンスボードをガイドに
沿ってテストヘッド部内に挿入する。挿入され終ったら
、前記変位ｔｌ構により、ガイドを変位させてパフォー
マンスボードの裏面をピンに当接させる。このようにパ
フォーマンスボードを水平方向及び垂直方向に移動させ
るだけの単純な動きでテストヘッド部に取付けることが
でき、従って、簡単な制御で自動化でき、省力化が容易
である。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例の斜視図を示す。同図中、２
０はテストヘッド部で、その例えば３辺の内側に支持部
材２１１．２１２．２１３が設けられており、この支持
部材２１１〜２１３はテストヘッド部２０の内部におい
て上下動できる構成とされている。２０ａはピンであり
、テストヘッド部２０の内部に設置されており、バネ構
造とされている。２２１　、２２２．２２３はボード導
入ガイドで、パフォーマンスボード２３を導入できるだ
けの幅の溝２２１　’　、２２２　．２２３’　が設け
られており、夫々支持部材２１＋　、２１２　。

２１３に固定されている。２４はボード移動機構で、支
持部２４ａにてパフォーマンスボード２３を挟持し、こ
れをテストヘッド部２０の方向に移動できる構成とされ
ている。２５＋　、２５２はボード送り機構で、テスト
ヘッド部２０の内部に設けられており、ボード移動機構
２４にて移動されてぎたパフォーマンスボード２３をガ
イド２２１゜２２２に沿ってテストヘッド部２０の内部
に送り込む。このものは支持部材２１１〜２１３と共に
上下動できる構成とされている。なお、第１図は全体の
構成が明確になるような状態にして図示したが、実際に
はこれを裏返した状態で適当な部材に取付けられている
。

ここで、自動取付けについて説明する。ボード移動構機
２４の支持部２４ａにて挟持されたパフォーマンスボー
ド２３はボード移動機構２４にてテストヘッド部２０の
方向に移動されてその外周辺部２３′がボード導入ガイ
ド２２１　、２２２に挿入され、以後、パフォーマンス
ボード２３は移！ｌＪ機構２４による移動及び支持部２
４ａによる挟持を解除され、ボード送り機構２５＋　、
２５２によってガイド２２１　、２２２に沿ってテスト
ヘッド部２０内部に導入される。

パフォーマンスボード２３がガイド２２３まで挿入され
るとセンサ（図示せず）にてこれが検出され、送り機構
２５＋　、２５２による送りが解除されると共に、支持
部材２１１〜２１３及び送り機構２５＋　、２５２が下
方向に変位される。支持部材２１「〜２１３．送り機構
２５＋　、２５２の下方向の変位によってパフォーマン
スボード２３はガイド２２１〜２２３と共にテストヘッ
ド部２０内部に下降し、その裏面に設けられているパタ
ーンがテストヘッド部２０のピン２０ａに当接される。

これにより、パフォーマンスボード２３のテストヘッド
部２０への自動取付けが終了する。

このように、パフォーマンスボード２３を移動機構２４
．送り機構２５＋　、２５２によってテストヘッド部２
０に対して水平方向に移動さμ、テストヘッド部２０に
挿入し終った時点で支持部材２１１〜２１３によってピ
ン２０ａに当接させるだけの単純な動きで取付けを行な
うことができ、第４図に示す従来例のような押え枠を倒
したり、ネジ止めの作業を必要とせず、従って、簡単な
制御で自動化でき、前述の従来例に比して省力化が容易
である。この場合、従来例のように人手を必要とせず、
特に、ガイド２２１〜２２３が押えも兼ねているのでパ
フォーマンスボード２３が落下することはなく、最初か
ら裏返しにして使用でき、従来例のように取付は終った
ら全体を裏返しにする等の複雑な動きは必要ない。又、
ガイド２２１〜２２３が押えも兼ねているので第５図に
示す従来例のようなエア吸引のための装置も必要なく、
構成が簡単である。

第２図は本発明の他の実施例の斜視図を示し、同図中、
第１図と同一構成部分には同一番号を付してその説明を
省略する。第２図中、３０はパフォーマンスボード選択
ラックで、複数の異なる被試験ＬＳＩに夫々対応したプ
リントパターンを有する複数のパフォーマンスボード２
３ａ、２３ｂ。

・・・を収納できる構成とされており、適当な部材に固
定されている。３１はボード移動機構で、支持部３１ａ
にてパフォーマンスボード２３ａ、２３ｂ。

・・・を挟持し、これらをテストヘッド部２０の方向に
移動できる構成とされている。支持部３１ａは、パフォ
ーマンスボード２３ａ、２３ｂ、・・・を順次挟持し、
これを挟持しつつガイド２２１　、２２２に対向する高
さ位置まで変位可能に構成されている。

ボード移動機構３１の支持部３１ａは例えば最初にパフ
ォーマンスボード２３ａを挟持し、そのままテストヘッ
ド部２０の方向に移動する。パフォーマンスボード２３
ａはこの移動によってガイド２２１　、２２２に挿入さ
れた以優は前述の実施例と同様、移動機４４３１による
移動及び支持部３１ａによる挟持を解除され、ボード送
り機構２５＋　、２５２によってガイド２２１　、２２
２に沿ってテストヘッド部２０内部に導入される。しか
る後、前述の実施例と同様、支持部材２１１〜２１３、
送り機構２５＋　、２５２の下方向の変位によってパフ
ォーマンスボード２３ａはガイド２２１〜２２３と共に
テストヘッド部２０内部に下降し、その裏面に設けられ
ているパターンがピン２０ａに当接される。

パフォーマンスボード２３ａによるＬＳＩの試験が終了
すると、前記の取付けの場合とは逆に、支持部材２１１
〜２１３．送り機構２５１゜２５２が上方向に変位して
パフォーマンスボード２３ａが上昇し、送り機構２５＋
　、２５２によってガイド２２１　、２２２に沿ってテ
ストヘッド部２０の外部に引出され、支持部３１ａに挟
持されてラック３０の方向に移動されてラック３０内に
収納される。次に、支持部３１ａはラック３０の内部で
下方向に変位してパフォーマンスボード２３ｂを挟持し
、テストヘッド部２０の方向に移動してラック３０から
完全に引出した時点でガイド２２１　、２２２に対向す
る高さ位置まで変位する。その後、最初のパフォーマン
スボード２３ａの場合と同様にテストヘッド部２０の内
部に挿入され、ここに取付けられる。以下、このような
動作の繰返しにより、複数枚のパフォーマンスボードに
よるＬＳＩの試験を行なうことができる。その他の動作
及び効果は第１図に示すものと同様であるので、その説
明を省略する。

なお、テストヘッド部２０に設けるボード導入ガイドは
前述の実施例のように必ずしも３辺にする必要はなく、
対向する２辺（２２１　、２２２　）のみに設けるよう
にしてもよい。

又、パフォーマンスボード２３．２３８゜２３ｂ、・・
・をテストヘッド部２０の方向へ移動させてその内部に
送り込む機構は前述の各実施例に限定されるものではな
い。

〔発明の効果〕

以上説明した如く、本発明によれば、パフォーマンスボ
ードを水平方向及び垂直方向に移動させるだけの単純な
動きでテストヘッド部に取付けることができ、従来例の
ような押え枠を倒したり、ネジ止めの作業や、取付は終
ったら全体を裏返しにして試験を行なうといったような
複雑な動きを必要とせず、簡単な制御で自動化でき、従
来例に比して省力化が容易である。又、従来例のような
エア吸収のための装置を必要とせず、構成が簡単で、安
価である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の斜視図、 第２図は本発明の他の実施例の斜視図、第３図はＬＳＩ
試験の様子を説明する図、第４図及び第５図は従来の各
個の斜視図である。 図において、 １はＬＳＩチップ、 ２は探針、 ２０はテストヘッド部、 ２０ａはピン、 ２１１〜２１３は支持部材、 ２２１〜２２３はボード導入ガイド、 ２２１′〜２２３′は溝、 ２３．２３ａ、２３ｂ、　・・・はパフォーマンスボー
ド、 ２３′は外周辺部、 ２４．３１はボード移動機構、 ２４ａ、３１ａは支持部、 ２５１．２５２はボード送り機構、 ３０はパフォーマンスボード選択ラックを示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　ピン（２０ａ）を設置されたテストヘッド部（２０）
   の内部に、該ピン（２０ａ）と被試験ＬＳＩに当接され
   る探針との間の信号中継を行なうために両面をパターン
   形成されたパフォーマンスボード（２３）を取付け、上
   記被試験ＬＳＩを試験するＬＳＩ試験装置において、 上記テストヘッド部（２０）の少なくとも対向する二辺
   に上記テストヘッド部（２０）の水平面に対して平行に
   、上記パフォーマンスボード（２３）の外周辺部（２３
   ′）をその長手方向に挿入されてこれを支持する長手状
   のガイド （２２＿１、２２＿２）を上記テストヘッド部（２０）
   の水平面方向に変位可能なように設け、 又、上記パフォーマンスボード（２３）を該ガイド（２
   ２＿１、２２＿２）に沿って上記テストヘッド部（２０
   ）内に挿入する機構（２４、２５＿１、２５＿２）を設
   け、 更に、上記パフォーマンスボード（２３）が上記テスト
   ヘッド部（２０）に挿入され終ったら上記ガイド（２２
   ＿１、２２＿２）を上記テストヘッド部（２０）の水平
   面方向に変位させて上記パフォーマンスボード（２３）
   の裏面を上記ピン （２０ａ）に当接させる機構（２１＿１〜２１＿３）を
   設けてなることを特徴とするＬＳＩ試験装置のパフォー
   マンスボード取付け機構。