JPH03120866A - 固体撮像装置用フィルタ - Google Patents
固体撮像装置用フィルタInfo
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- JPH03120866A JPH03120866A JP1260437A JP26043789A JPH03120866A JP H03120866 A JPH03120866 A JP H03120866A JP 1260437 A JP1260437 A JP 1260437A JP 26043789 A JP26043789 A JP 26043789A JP H03120866 A JPH03120866 A JP H03120866A
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- film
- filter
- glass substrate
- solid
- substrate
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- Pending
Links
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は固体撮像装置用フィルタに関し、特にガラス基
板に遮光膜と有機フィルタ膜を設けた固体撮像装置用フ
ィルタに関する。
板に遮光膜と有機フィルタ膜を設けた固体撮像装置用フ
ィルタに関する。
従来、この種の固体撮像装置用フィルタとしては、第１
図（ａ＞、（ｂ）に示すように、ガラス基板１上に真空
蒸着法もしくは、スパッタリング法によりクロム膜を形
成し、その後、クロム膜を所定形状にエツチングし、遮
光膜２を形成しそのｔ＆ Ｐ Ｇ Ｍ Ａ 、カゼイン
等の有機膜を形成し、パターニングし、必要に応じてパ
ターニングした有機膜に染色を施して有機フィルタ膜を
形成したものが知られている。この固体撮像装置用フィ
ルタは、有機フィルタ膜３を固体撮像素子チップに接触
させてパッケージに固定される。
図（ａ＞、（ｂ）に示すように、ガラス基板１上に真空
蒸着法もしくは、スパッタリング法によりクロム膜を形
成し、その後、クロム膜を所定形状にエツチングし、遮
光膜２を形成しそのｔ＆ Ｐ Ｇ Ｍ Ａ 、カゼイン
等の有機膜を形成し、パターニングし、必要に応じてパ
ターニングした有機膜に染色を施して有機フィルタ膜を
形成したものが知られている。この固体撮像装置用フィ
ルタは、有機フィルタ膜３を固体撮像素子チップに接触
させてパッケージに固定される。
上述した従来の固体撮像装置用フィルタでは、ガラス基
板端面から、有機フィルタ膜の設けられている有効画素
領域までの遮光膜２の幅β１−１２が狭い場合、斜め入
射光（ガラス基板の遮光膜の設けられていない側の表面
がら入る）の一部が、ガラス基板の側面にて反射し、固
体撮像素子の画素領域に達しゴースト（フレアー）が発
生するという欠点を有していた。
板端面から、有機フィルタ膜の設けられている有効画素
領域までの遮光膜２の幅β１−１２が狭い場合、斜め入
射光（ガラス基板の遮光膜の設けられていない側の表面
がら入る）の一部が、ガラス基板の側面にて反射し、固
体撮像素子の画素領域に達しゴースト（フレアー）が発
生するという欠点を有していた。
本発明は、ガラス基板に遮光膜ならびに有機フィルタ膜
が形成されてなる固体撮像装置用フィルタにおいて、前
記遮光膜で囲まれた有効画素領域から前記ガラス基板端
面までの幾何学的距離が前記ガラス基板の厚みの少なく
とも２／３の寸法を有するというものである。
が形成されてなる固体撮像装置用フィルタにおいて、前
記遮光膜で囲まれた有効画素領域から前記ガラス基板端
面までの幾何学的距離が前記ガラス基板の厚みの少なく
とも２／３の寸法を有するというものである。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）は、固体撮像装置用フィルタの平面図、第
１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
ガラス基板１上に、遮光膜２（一般に真空蒸着もしくは
スパッタリング法によりクロム膜を形成し、その後、バ
ターニングして形成される。〉が設けられ、その後、有
機フィルタ膜３（一般にスピンナーにて有機膜を形成し
紫外線にてパターニングし、必要に応じて（カラー用の
場合）、有機膜が染色されて形成される）が設けられて
いる。
スパッタリング法によりクロム膜を形成し、その後、バ
ターニングして形成される。〉が設けられ、その後、有
機フィルタ膜３（一般にスピンナーにて有機膜を形成し
紫外線にてパターニングし、必要に応じて（カラー用の
場合）、有機膜が染色されて形成される）が設けられて
いる。
本発明では、ガラス基板１の厚みｔに対して、ガラス基
板端面から有効画素領域までの距離々１−！Ｉ２が少な
くとも２／３ｔの寸法に設定されている。
板端面から有効画素領域までの距離々１−！Ｉ２が少な
くとも２／３ｔの寸法に設定されている。
ガラス基板の屈折率が１，５の場合、ρ１＝１２ ＝
２ ／ ３ ｔ 、 ｔ ＝ ０ 、５〜０．７鰭のも
のでは、画面中央の高さの２５％の幅の帯状領域にフレ
アーは発生せず、実用上許容できることが確認できた。
２ ／ ３ ｔ 、 ｔ ＝ ０ 、５〜０．７鰭のも
のでは、画面中央の高さの２５％の幅の帯状領域にフレ
アーは発生せず、実用上許容できることが確認できた。
フレアーが全く発生しないようにするには、例えばｆ、
Ｊｌ、≧ｔにすればよいが、ボンディング線に固体撮像
装置用フィルタが接触しないようにしなければならない
というような組立上の制約もあり、そのような観点から
すると１１．β２の値はできるだけ小さく設定すること
が望ましい。
Ｊｌ、≧ｔにすればよいが、ボンディング線に固体撮像
装置用フィルタが接触しないようにしなければならない
というような組立上の制約もあり、そのような観点から
すると１１．β２の値はできるだけ小さく設定すること
が望ましい。
ρＩ、！２２の下限が２／３ｔになるわけである。
以上説明したように本発明は、ガラス基板端面から有効
画素領域までの距離をガラス基板厚みの少なくとも２／
３の寸法にすることにより、固体撮像装置のフレアーの
発生を実用上許容できる程度に抑制出来るという効果が
ある。
画素領域までの距離をガラス基板厚みの少なくとも２／
３の寸法にすることにより、固体撮像装置のフレアーの
発生を実用上許容できる程度に抑制出来るという効果が
ある。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を説明するための固体
撮像装置用フィルタの平面図、第１図（ｂ）は第１図（
ａ＞のＡ−Ａ線断面図である。 １・・・ガラス基板、２・・・遮光膜、３・・・有機フ
ィルタ膜、４−１．４−２・・・貼°代、５・・・有効
画素領域。
撮像装置用フィルタの平面図、第１図（ｂ）は第１図（
ａ＞のＡ−Ａ線断面図である。 １・・・ガラス基板、２・・・遮光膜、３・・・有機フ
ィルタ膜、４−１．４−２・・・貼°代、５・・・有効
画素領域。
Claims (2)
- （１）ガラス基板に遮光膜ならびに有機フィルタ膜が形
成されてなる固体撮像装置用フィルタにおいて、前記遮
光膜で囲まれた有効画素領域から前記ガラス基板端面ま
での幾何学的距離が前記ガラス基板の厚みの少なくとも
２／３の寸法を有することを特徴とする固体撮像装置用
フィルタ。 - （２）有機フィルタ膜はカラー用に染色されている請求
項（１）記載の固体撮像装置用フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1260437A JPH03120866A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 固体撮像装置用フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1260437A JPH03120866A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 固体撮像装置用フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120866A true JPH03120866A (ja) | 1991-05-23 |
Family
ID=17347927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1260437A Pending JPH03120866A (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | 固体撮像装置用フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03120866A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002085486A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-26 | Leben Co Ltd | 介護用グリップ |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53142124A (en) * | 1977-05-18 | 1978-12-11 | Sony Corp | Color pickup element |
| JPS5519885A (en) * | 1978-07-29 | 1980-02-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Color solid imaging element plate |
| JPS5618478A (en) * | 1979-07-25 | 1981-02-21 | Toshiba Corp | Solid-state image pickup device |
| JPS57183192A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-11 | Canon Inc | Color solid-state image pickup device |
-
1989
- 1989-10-04 JP JP1260437A patent/JPH03120866A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53142124A (en) * | 1977-05-18 | 1978-12-11 | Sony Corp | Color pickup element |
| JPS5519885A (en) * | 1978-07-29 | 1980-02-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Color solid imaging element plate |
| JPS5618478A (en) * | 1979-07-25 | 1981-02-21 | Toshiba Corp | Solid-state image pickup device |
| JPS57183192A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-11 | Canon Inc | Color solid-state image pickup device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002085486A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-03-26 | Leben Co Ltd | 介護用グリップ |
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