JPH03115107A - 超伝導材料の粒子を製造する装置および方法 - Google Patents

超伝導材料の粒子を製造する装置および方法

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JPH03115107A JP2182539A JP18253990A JPH03115107A JP H03115107 A JPH03115107 A JP H03115107A JP 2182539 A JP2182539 A JP 2182539A JP 18253990 A JP18253990 A JP 18253990A JP H03115107 A JPH03115107 A JP H03115107A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 fflへ訓」L丸! 本発明は、超伝導材料の製造に役立つ装置および方法に
関するものである。特に本発明は、当初から溶液内へ原
子状に混合され且つ保持されている成分からの超伝導材
料の粒子の製造に関するbのである。本発明は特に、但
し独占的にではなく、エーロゾル噴霧を乾燥させて超伝
導材料の均質な粉末を製造するのに役立つ。
従来技術、および発明が解決しようとする超伝導材料の
製造のために幾つかの方法が提案されている。一般に、
この種の材料を製造1゛る最初の段階は、超伝導成分を
溶液内に溶解させることである。次いで、問題点は、溶
液からの材料をそれが液体の状態におけると同様に均質
な(即ち原子状に混合された)乾燥状態に変換させるこ
とである。更によlこ、沈殿物が単一の相(phase
pure)であり、従って、あったとしてもわずかな共
晶しかないことが望ましい。
溶液からの超伝導材料を乾燥させる一つの周知の方法は
、−・般に気相沈殿または吹付1ノ熱分解と称されるプ
ロセスである。このプロセスのために超伝導材料の溶液
が炉内に吹き付けられ、それが炉を通って下降する際に
脱水し且つ、恐らくは反応し4!するようにされる。結
果として生ずる沈殿物は、次いで炉から集取され、超伝
導粒子を生成すべく更に加工処理することができる。し
かし、吹1ノ熱分解には若干の難点が見られる。第一に
、炉から微粒子を集取することが困難な恐れがある。
その上、力】内の対′a流れと炉内へ吹付けを精確に向
けることの94Hさとにより、炉の側壁が容易に汚損さ
れ且つそこに沈殿物が塊状集積しようと16゜従って、
生成された粉体の全てが集取されることはない。また、
このプロセスに発生する緩徐な脱水ら、各しずく内の各
種成分の偏析を招いて、最終粉体製品の不均質性を招来
する恐れがある。
この特定の手順の例が、T、 T、コーダス(Koda
s )等茗[1ア0ゾル・7〇−・リアクタ・ブ[」ダ
クション参オプ◆)戸イン(Aerosol Flow
 Reactorproduction of Fin
e) Y  B a  に u 307パウ2 ダー(Powder) 、フアプリケーションー717
−スーバーコンダクテイング・セラミックス(Fabr
ication of Superconductin
gCeran+1cs) l 。
(1988年刊、アプライド・フィジックス・レターズ
(^pplted Physics Letters 
) 、52.1622)に記述されている。
溶液から超伝導材料を沈殿させる別の周知の方法は、加
熱されたプレートが回転され、プレート上へその中心か
ら溶液が放出されるようにしたブ1コセスである。これ
により溶液は、プレートの加熱された表面上に回転させ
られ、溶液内の水が蒸発するに従って沈殿物の薄い膜ま
たは層を生成する。しかし、かくはんと比較的緩徐な蒸
発とにより、この旋回方法もまた、不均質な沈殿の塊状
集積と形成とを6たらり傾向がある。このプロセスをス
ケールアップして大量の粉体を生成することは困難であ
る。この手順の例が、lガバーメント・インダストリー
・バック・コー・ケイ・スーパーコンダクタ−、Uフォ
ート(GOVernlllent+ndustry B
ack u、に、 5uperconductor E
ffort) J(1989年4月刊、セラミック・イ
ンダストリー (Ceramic Industry)
 、81ページ)に記述されCいる。
卑IiIされた溶液から超伝導材料を沈殿させる更に慣
習的な方法は、液体状態のvc+股物を包含する周知の
プロセスぐある。しかし、液体状態沈殿プロセスについ
ての一1′及な問題点は、均質な沈殿を達成する際の困
難さである。従って、満足な結末を得るためには、溶液
の組成とpHとを調整する時間と努力とを賀すことが一
般に必要である。史に、沈殿が発生した後においても、
更に先のプロセスのために沈殿を溶液から分111−!
することが困Mなこともあり歓する。この手順の例が、
H−H・ワン(Hang)等著[コンバリズン・オブ・
カーボネート・ザイトレート・アンド・第1リレート・
ケミカル・ルーツ・ツー・ザ・ハイ・TC・メタル・オ
キサイド・スーパーコンダクタズ(compariso
no(Carbonate  C1trate and
 0xalate Che++1a11outes  
to the High rCMetal 0xide
SuDerCOnduCjOrS ) L a   S
 r  CLJ O4J、2−×× (1987年刊、インオーガニック・ケミストリー (
1noroanic Chemistry  ) 、2
6 、 1622 )に記述されている。
本発明は、IiL備された超伝導溶液から水を急速に蒸
発させる装置および方法により従来技術の幾つかの欠点
を克服し得ることを認めるものである。
更に本発明は、加熱された表面上へ溶液のエーロゾルが
直接に吹き付けられ、イこ−C各小滴が個々に蒸発する
場合に充分迅速な蒸発を達成できることを認めるしのぐ
ある。
上記に鑑みて、本発明の目的は、乾燥状態において、液
体の状態にお1すると同様に均質な沈殿物を生成捗る超
伝導体の製造のための装置および方法を提供りることに
ある。本発明の別の目的は、甲−の相で・あり且つ観察
し得る共晶を全く包有しない沈殿物を生成する超伝導体
の製造のための装置および方法を提供−4ることにある
。本発明の史に別のl」的は、超伝導材料の微粒子を生
成する超伝導体の製造のためのM置および方法を提供す
ることにある。本発明のまた別のL」的は、使用し易い
超伝導体の製造のための装置を提供することにある。本
発明の史に別の目的は、超伝導粒子を迅速且つ再現自イ
■に生成する超伝導の+I!A造のための方法を提供す
ることにある。本発明の別の目的は、溶液の組成とpH
とを調整することを必要とせずに全ての正規組成体に適
用可能な超伝導体の製造のための装置9および方法を提
供することにある。本発明の更に別の目的は、単純且つ
]ンバクトで、しかし比較的に費用効果のある超伝導体
の製造のためのに置および方法を提供することにある。
題を解決するための手段 超伝導材料の粉体を製造する装置には、超伝導体諸成分
の溶液を保持する容器が包合される。詳述すれば、希土
類、バリウムおよび銅(例えばl<E203、ここにR
[はイツトリウムおよび希土類元素、CUOおよびBa
 (NO3)、2 )を硝酸および水に溶解させること
により、均質な、原子状に混合された溶液が製造される
。これらの元素の組合せは結果として、原子状に混合さ
れた超伝導材料を包′Fiする溶液を正規組成で、ある
いはわずかに正規組成から外れて(例えばD V 1.
 にy、=13a   −Cu   )、生じさせる。
1.9!1   2.90 本発明のvt向にはまた、熱衝撃に耐える滑らかな平た
ん面を備えたプレートも包含されている。
プレートはまた、600℃未満の溶液やその成分とは化
学的に反応せず且つ約600℃ま′Cの温度に効果的に
対応する材料で作られる。
プレートの表面上に溶液を吹き付番ノるためにノズルが
設けられ、容器内の溶液に流体連通して連結される。更
にz1述すれば、ノズルは、溶液と反応的でない41料
、例えばガラスまたはチタン、で作られるべきである。
更にノズルは、直径が約50μ以下の小滴を含む溶液の
微細化された噴霧を生成できなければならない。プレー
トの表面を約200℃まで予熱することにより、吹き付
けられた溶液は、それが表面に接触すると、急速に加熱
される。この加熱により溶液内の水が急速に蒸発し、表
面上に沈積された均質の固形沈殿物が形成される。
表面から沈殿物を除去するためにスクレーパが用いられ
る。次いで沈殿物が別のプレート上に置かれ、約500
℃に加熱されて、沈殿物内の硝酸塩の大部分が分解され
、水和作用のいかなる残留水も除去される。次に、沈殿
した超伝導材料は炉内に1侃かれ、約1〜8hの間、8
00〜925℃の範囲の温度でか焼される。望むならば
材料を、それがか焼された後に粉砕して新しい表向を露
出させ、次いで800〜925℃の′tr!囲の高温で
ほぼ1〜8hの間、再か焼するこもできる。超伝導材料
の酸素化は、材料をか焼温度から徐々に冷却し、材料を
室温まで更に冷却する前に、約400℃の中間レベルで
温度を−・定に保つことにより達成される。
本発明の新規な諸特徴ならびに、その構造および作動の
双方についての本発明自体は、類似部分を同様の参照符
号で示すようにした、添付説明に関連して作成された添
付図面により、詳細にpI!解されよう。
友通fA 8 、に tF艷月 先ず第1図について説明する。同図は、本発明による超
伝導粉体の製造のために追従される各種の段階を順次定
めたブ【コック図を示す。第1図のブロック10は、第
1段階が硝V塩溶液の準備を意味することを示す。第2
図に12で示1この溶液は、望ましくは選定された成分
を硝酸と水に溶解させて正規組成の混合物を形成するこ
とによって作られる。詳述ずれば、28.79のD!/
203と36.79のCUOと80.49のDa (N
O3)2とが硝酸と水に溶解される。
Dy2O3はここで好適な実施例に引用されているが、
このプロセスは一般に全ての高温の超伝導材料に適用可
能である。従って、他の希土類やイツトリウム酸化物も
使用できる。
正規組成の混合物が望ましいが、正規組成かられずかに
ずれた成分を混合することにより、より少ない共晶を包
含し、または最終超伝導製品におけるフラックスの拘東
に役立つ沈殿物が結果として生ずることが見いだされて
いる。その結果、液相は最小化される。詳述づれば、こ
の目的のためには、組成り ” 1.05Ba1.95
Cu2.9007を用いることが望ましい。何れにせよ
、この結果は、般にいわゆる1 −2−3超伝導体の組
成である。
第2図に承す如く、溶液12は、管16を介しポンプ1
8に流体連通して連結される容器14内に保持されてい
る。ポンプ18の作動により溶液12は管20を経てノ
ズル22の外へ押し出される。重大なことにノズル22
は、溶液12に対し化学的に非反応性の材料で作らなけ
ればならない。
例えばノズル12を、パイレックス(pyrex )ガ
ラス(商標名)またはチタンで作ることができる。
史に、ノズル22が、直径が約10〜100μのPR液
12の小滴を含むエーロゾル24を生成し得ることは重
装である。このエーロゾル24は、プレート28の表面
26上へ、ノズル22から直接に吹き付けられる。本発
明の諸目的に応じ、ノズル22を、Ill連技術におい
て18知の任意の形式の噴霧器またはソノ・チック(5
ono−Tek >社により製造されるような形式の超
音波ノズルの何れにすることもできる。
X−0ゾル24(IIIも吹き付けられ!ご溶液)をI
II御し且つ吹き付けられた溶液12の適切な分散を達
成するため、ノズル22は、プレート28の表面26に
比較的に近接して位置付けされる。この距離は、望まし
くは、約15.24α(6in)程度である。エーロゾ
ル24の表面26との接触により、第1図のブロック3
0に表示されるプ【−1セスの次の段階が達成される。
叩ちニー0ゾル24はフラッシュ蒸発され、換占すれば
、液体の小滴はそれらがホットプレートの表面に接触す
ると急速に乾燥される。
第2図は、プレート28がベース32上に取り付けられ
ていることを表示している。ベース32はなるべくなら
、図示のロッドのような、プレート28の回転を可能に
させる構造体ぐあることが望ましい。また加熱器34が
設けられ、プレート28を加熱するように位置付けされ
る。本発明により予期される如く、加熱器34はなるべ
くなら、グレート28の表面26を180℃〜230℃
の範囲の温度に加熱することが望ましい。表面26がこ
の温度範囲の場合、エーロゾル24は表面26との接触
の際に沈殿物36を4r成する。このフラッジ」蒸発段
階中にプレート28が適切に機能するためには、プレー
ト28がある特性を備えることが必要Cある。詳述すれ
ば、プレート28は溶液12に対し、化学的に非反応性
でなければならない。史に、プレート28は、それがフ
ラッシュ蒸発段階中にひび割れやぎ裂を生じないように
、熱衝撃に対し抵抗性がなければならない。史に、プレ
ート28の表面26は、表面26からの沈1股物36の
除去を容易に覆るため、滑らかでなければならない。こ
れを念頭に置けば、プレート28は、パイロセラム(P
yroceram ) (商標名)として周知されコー
ニング(Corning )社′C−製造されている商
業的に入手可能な製品のような、ガラスセラミック材料
ぐ作ることが望ましい。
このプロセスの段階(即ちエーロゾル24が表面26上
で蒸発して沈殿36を生成する)では、沈殿物36は、
希土類の&rl酸塩と硝酸バリウムと硝酸銅との均質な
混合物を包含する、表面に付着した物質である。第1図
のブ[1ツク38に表示する如く、プロセスの次の段階
は、この物質を粉体として集取することである。
第2図は、プレート28を、概ね矢印40で示す方向へ
、ベース32の回りに回転させ得ることを示している。
プレート28は第2図に側面図のみで示しであるが、当
業者には、プレート28が円形であり得ることが理解さ
れるはずである。従って、矢印40ぐ艮丞した方向への
プレート28の回転により、表面26上に沈積されたエ
ーロゾル24からの沈殿物36が、スクレーパ42に接
触ηるようになる。次いでスクレーパ42は粉体沈殿物
を、表向26からプレート28を貫いて延びる孔(図示
せず)を通してそれを押すことにより、表面26から除
去する。次いで沈殿物36を集取し、または、第2図に
承り如く、別のプレート44上に沈積させることができ
る。スクレーパ42はなるべくなら、テフロン(1’e
flon)  (商標名)またはステンレス鋼のような
、沈殿物36に対し化学的に非反応性の材料で作ること
が望ましい。
第1図のブ[1ツク46は、溶液12の1−[1ゾル2
4がフラッジ1蒸発した後、残留In酸塩を分解させる
必要があることを表示している。これはプレート44上
の沈殿物36を加熱することにより行うことができ、こ
の目的のために加熱48が設けられている。沈殿物36
内の残留硝酸塩の大部分を適切に分解させるためには、
粉体沈殿物36の温度を約400〜600 ”Cの温度
範囲に上界させることが必要である。、沈殿物36をこ
の温度範囲まで昇温させる目的は、実際は二通りである
6rl酸塩の大部分が分解されるのみではなく(若干の
残留硝酸バリウムは存在するかも知れないが)、これら
の上nされたdl!度もまた、沈殿物36内に存在し得
る水和作用のいかなる残留水をも除去する。沈殿物36
がプレート28から除去された様態と同様にして、矢印
40で表示される方向への、ベース32でのプレート4
4の回転により、沈殿物36がスクレーパ50へ接触さ
せられる。全ての重要な点において、プレート44はプ
レート28と同じであり、スクレーパ50はスクレーパ
42と同じである。機能的には、これらの構成虚索が相
互作用し且つ同様に作動する。何れにせよ、沈殿物36
は、更に先の加エエ稈のためにプレート44から除去さ
れる。
第1図のブロック52に表示される如く、沈殿物36内
のtir1酸塩が分解され且つ水和・1゛川の水が除去
された後、沈殿物36ばか焼される用意が整う。沈殿物
36をか焼炉56へ移送するため、第2図に示ずコンベ
ヤ・ベルト54を使用することができる。本発明の開目
的に応じ、か焼炉56は、在来の電気炉または回転式か
焼かの何れであっても良い。実際、か焼炉56は、関連
技術において周知のいかなる形式の炉であっても良い。
か焼炉56内では沈殿物36が、800〜925℃の範
囲で、約1〜8hの間、加熱される。これにより残留硝
酸塩が分解され、1−2−3超伝導体を代:JLする正
方品系のWJ3tsが形成される。その結果は、容器6
0内へ集取できる超伝導粒子58の粉体である。暇炉中
は、極力はとんど水(H2O)および二酸化炭素(Co
2)のないガスを使用することが重数′cある。この種
のガスは、空気中にHOとCO2がないか、酸素中にト
I20とCO2がないか、である。これは、超仏″38
0料による硝酸バリウムの形成を防止するためにそうな
っている。オゾンは、オゾン化されない空気や酸素が実
現し得る以上に硝酸バリウムの形成を防止するので、な
るべくなら、オゾン化された空気や酸素の中でか焼する
ことが望ましい。
か焼段階中に、粒子58がわずかに塊状集積し、尚且つ
若干の残留硝M1!成分を包有することが偶然生じ得る
。集塊を打破して脱硝すべき新しい表面を露出させるた
め、粒子58が当初にか焼された後でそれらを粉砕する
ことが望ましい。何れにせよ、粉砕の後、第1図のブロ
ック64に表示される如く、当初のか炉温度で、1〜8
hの何れかの間、超伝導粒子58を再か焼することがで
きる。
プロセスの最終段階として、超伝導粒子58を完全に酸
素化しl■つ非超伝導正方品系の位相から超伝導斜り品
の位相へeM造を変換させるために追従される酸素化プ
ロセスが、第1図のブロック66に表示されている。詳
述すれば、最後のか炉中、粒子58は、約850℃のか
炉温度から、約400℃の中間温度へ緩徐に冷却される
。粒子58はこの中間温度に約4h保持され、次いで更
に室温まで冷却される。緩徐な冷却および酸素化の間は
、極力はとんと水(H2O)および二酸化炭素(CO2
)のないガスを使用することがff1ffである。この
種のガスは、空気中に1120とCO2がないか、酸素
中にH,20とCO2がないか、である。これは、超伝
導材料による硝酸バリウムの形成を防止するためにそう
なっている。オゾンは、オゾン化されない空気や酸素が
実現し得る以上に硝酸バリウムの形成を防止するので、
なるべくなら、オゾン化された空気や酸素の中で緩徐々
な冷却や酸素化を行うことが望ましい。
本発明がセラミック酸化物の全般的な製造に適用可能で
あることは当業者に理解されよう。従って本発明には1
−2−3超伝導体以外のセラミック粉体の製造が意図さ
れている。例えば、タリウム< T I > 、バリウ
ム(13a)、カルシウム(Ca)および銅(Cu)の
酸化物セラミック超伝導体を本発明に従ってrtするこ
とができる。
W−1様に、ビスマス(B i ) 、鉛(Pb) 、
カルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)および銅
(Cu)の酸化物セラミックを製造することもできる。
ここに詳細に同示し開示したような、セラミツ4゜ り超伝導粉体を製造するための特定のフラッシュ蒸発法
は、開目的を達成し且つここで前に述べた諸利益を付与
することが充分可能であるが、それが単に本発明の目F
の好適な実施例の例示に過ぎないことと、添付フレイム
に定iされた以外にここに示された構成または設計の細
部については全< v1約がないこととを理解すべきで
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による超伝導材料の粒子の製)Δに用い
られる継続的諸段階を示Jブロック図、第2図は第1図
に説明した諸段階を遂行するために用いられる構成諸要
素の略図である。 12:溶液 14:容器 22:ノズル 26:表面 28.44ニブレート 32:ベース 36:沈殿物 42.50:スクレーパ 56 : か焼装置 58:II!1伝導粒子。

Claims (37)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)超伝導材料の粒子の製造装置にして、ほぼ正規組
    成の溶液を保持する容器と、予定の温度に加熱できるプ
    レートと、前記プレート上に前記溶液を吹き付け前記溶
    液を蒸発させて超伝導材料の沈殿物を形成するための前
    記容器に流体連通するノズルとを含む製造装置。
  2. (2)請求項1に記載された超伝導材料の粒子の製造装
    置において、前記溶液が、希土類元素とバリウムと銅と
    を含む硝酸溶液であるようにした製造装置。
  3. (3)請求項2に記載された超伝導材料の粒子の製造装
    置において、前記希土類元素がジスプロシウムであるよ
    うにした製造装置。
  4. (4)請求項1に記載された超伝導材料の粒子の製造装
    置にして、前記プレートを保持するベースと、前記プレ
    ートに係合自在でそこから沈殿物を除去するスクレーパ
    を含む製造装置。
  5. (5)請求項4記載された超伝導材料の粒子の製造装置
    にして、前記沈殿物をか焼する装置と、前記の除去され
    た沈殿物を前記か焼装置へ移送する、前記ベースと連結
    された装置とを含む製造装置。
  6. (6)請求項5に記載された超伝導材料の粒子の製造装
    置において、前記か焼装置が炉であるようにした製造装
    置。
  7. (7)請求項5に記載された超伝導材料の粒子の製造装
    置において、前記か焼装置が回転か焼器であるようにし
    た製造装置。
  8. (8)請求項4に記載された超伝導材料の粒子の製造装
    置にして、前記プレートを前記ベース上で前記スクレー
    パと相対的に回転させて前記プレートから前記沈殿物を
    除去する装置を含む製造装置。
  9. (9)請求項1に記載された超伝導材料の粒子の製造装
    置において、前記の吹き付けられた溶液を受けるため前
    記プレートが平滑な表面で形成されるようにした製造装
    置。
  10. (10)請求項1に記載された超伝導材料の粒子の製造
    装置において、前記プレートがガラスセラミックで作ら
    れるようにした製造装置。
  11. (11)請求項1に記載された超伝導材料の粒子の製造
    装置において、前記ノズルが噴霧器であるようにした製
    造装置。
  12. (12)請求項1に記載された超伝導材料の粒子の製造
    装置において、前記ノズルが超音波ノズルであるように
    した製造装置。
  13. (13)請求項1に記載された超伝導材料の粒子の製造
    装置において、前記ノズルがチタンで作られるようにし
    た製造装置。
  14. (14)請求項1に記載された超伝導材料の粒子の製造
    装置において、前記ノズルがガラスで作られるようにし
    た製造装置。
  15. (15)請求項4に記載された超伝導材料の粒子の製造
    装置において、前記スクレーパがテフロン(商標名)で
    作られるようにした製造装置。
  16. (16)請求項4に記載された超伝導材料の粒子の製造
    装置において、前記スクレーパがステンレス鋼で作られ
    るようにした製造装置。
  17. (17)超伝導材料の粒子の製造装置にして、正規組成
    の硝酸溶液を保持する装置と、前記溶液を吹き付けるた
    めの前記保持装置に流体連通する装置と、前記の吹き付
    けられた溶液を受けて前記溶液を蒸発させ、そこから沈
    殿物を形成する装置と、前記蒸発装置から前記沈澱物を
    除去するための前記蒸発装置に結合された装置と、前記
    の除去された沈殿物を受けて前記沈殿物をか焼するため
    の前記蒸発装置に連結された装置とを含む製造装置。
  18. (18)請求項17に記載された超伝導材料の粒子の製
    造装置にして、前記の除去された沈殿物を粉砕する装置
    を含む製造装置。
  19. (19)請求項117に記載された超伝導材料の粒子の
    製造装置において、前記吹き付け装置がノズルであるよ
    うにした製造装置。
  20. (20)請求項17に記載された超伝導材料の粒子の製
    造装置において、前記蒸発装置が、前記の吹き付けられ
    た溶液を受ける平滑な表面を有するプレートであり、前
    記プレートの前記表面が予定の温度に加熱可能であるよ
    うにした製造装置。
  21. (21)請求項17に記載された超伝導材料の粒子の製
    造装置において、前記除去装置がスクレーパであるよう
    にした製造装置。
  22. (22)請求項17に記載された超伝導材料の粒子の製
    造装置において、前記か焼装置が炉であるようにした製
    造装置。
  23. (23)請求項17に記載された超伝導材料の粒子の製
    造装置において、前記溶液が、希土類元素即ちイットリ
    ウムと銅とバリウムとを含むようにした製造装置。
  24. (24)超伝導材料の粒子の製造方法にして、ほぼ正規
    組成の硝酸溶液を製造する段階と、前記プレートの平滑
    な表面上に前記溶液を吹き付ける段階と、前記プレート
    の前記表面を予熱してその上に吹き付けられた前記溶液
    を蒸発させ且つその沈殿物を形成する段階と、前記プレ
    ートから前記沈殿物を除去する段階と、前記沈殿物内の
    残留硝酸塩を部分的に分解させる段階と、前記沈殿物を
    か焼する段階とを含む製造方法。
  25. (25)請求項24に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法にして、前記か焼段階の後に前記沈殿物を粉砕す
    る段階と、前記沈殿物を再か焼する段階とを含む製造方
    法。
  26. (26)請求項24に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法にして、前記のか焼された沈殿物を酸素化する段
    階を含む製造方法。
  27. (27)請求項24に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、Dy_2O_3とCuOとBa(NO
    _3)_2とを硝酸内に溶解させることにより前記溶液
    が製造されるようにした製造方法。
  28. (28)請求項24に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、前記プレートの前記表面が約180℃
    〜230℃の範囲に予熱されるようにした製造方法。
  29. (29)請求項24に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、前記の硝酸塩を部分的に分解させる段
    階が、除去された沈殿物の温度を400℃〜600℃の
    温度範囲まで上昇させることにより達成されるようにし
    た製造方法。
  30. (30)請求項24に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、前記の吹き付ける段階が、直径が約1
    0〜100μの溶液の小滴を形成することにより達成さ
    れるようにした製造方法。
  31. (31)請求項24に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、前記か焼段階が、前記沈殿物を800
    ℃〜925℃の範囲の温度に加熱することにより達成さ
    れるようにした製造方法。
  32. (32)請求項31に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、前記温度が約1h〜約8h保持される
    ようにした製造方法。
  33. (33)請求項26に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、前記の酸素化する段階が、前記沈殿物
    を約400℃の中間温度まで徐々に冷却し、前記中間温
    度を約4h保持し、次いで前記沈殿物を室温まで徐々に
    冷却することにより達成されるようにした製造方法。
  34. (34)請求項24に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、前記沈殿物をか焼する段階が、二酸化
    炭素、水および炭化水素のない環境内で達成されるよう
    にした製造方法。
  35. (35)請求項24に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、前記沈殿物をか焼する段階が、オゾン
    化された環境内で達成されるようにした製造方法。
  36. (36)請求項33に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、前記の酸素化する段階が、二酸化炭素
    、水および炭化水素のない環境内で達成されるようにし
    た製造方法。
  37. (37)請求項33に記載された超伝導材料の粒子の製
    造方法において、前記の酸素化する段階が、オゾン化さ
    れた環境内で達成されるようにした製造方法。
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