JPH03111361A - 搬送装置およびその制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、露光装置などの半導体製造装置に適用して好
適なウェハやマスクなどの搬送装置およびその制御方法
に関する。

［従来の技術］ 一般に、モータ駆動によって被搬送物の搬送や位置決め
を行なうシステムでは、何らかの原因で搬送や位置決め
を制御するプログラムが暴走した場合に備えて、その搬
送ストロークの両端に位置規制手段を有している。

第２図に従来の搬送装置のブロック図を、第３図に該搬
送装置をＳＯＲ光を利用したＸ線露光装置で使用される
ような縦型のクエＡ搬送系に適用した例を示す。

これらの図において、２０は露光装置の本体ＣＰＵ（図
示せず）からの指令により露光装置における搬送系全般
の制御を司る搬送ＣＰｔＪ、２１は搬送ＣＰＵ２０から
の指令によりモータドライノ＜−２２にモータ２３の回
転に必要な回転方向信号ＤＩＲとパルス列ＰＯＵＴを出
力する例えば日本パルスモータ−社製のＰＣＬ−２４０
にのようなパルスコントローラである。２４はモータ２
３の回転量をモータドライバー２２にフィードバックす
るためのエンコーダである。

ＡＮＤで示すΔ印は、搬送装置が目的とする位置まで移
動したことを搬送ＣＰＵ２０が確認するために使用され
る位置確認手段である位置センサである。また、付番２
５および２６で示すム印は位置規制手段のいわゆるリミ
ットセンサと呼ばれるセンサで、パルスコントローラ２
１の対応する信号入力端子＋ＥＬおよび−ＥＬにそれぞ
れ接続される。このリミットセンサ２５，２６からパル
スコントローラ２１への入力があると、該コントローラ
２１からモータドライバー２２へのパルス出力であるＰ
ＯＵＴ信号の出力がハードウェアロジックで禁止され、
それぞれの方向への搬送装置のオーバーランが防止され
る。これは制御プログラムには依存しないパルスコント
ローラ２１の機能で、以下エンドリミット機能と呼ぶ。

３０はウェハ１を例えば真空吸着により保持するウェハ
ハンド、３１はウェハハンド３０の支持部材で、モータ
２３のシャフトにカップリング３２を介して接続された
ボールねじ３３によって駆動されることにより、ウェハ
ハンド３０によって保持されたウェハ１を２方向に搬送
する。３４は支持部材３１の案内部材、３５はこの搬送
装置を露光装置の所定位置に固定するための固定部材で
ある。３６はフォトセンサである位置センサＡ〜Ｄおよ
びリミットセンナ２５．２６用の遮光板である。３７は
例えば真空吸着によるウェハチャックを有し、ｘ、ｙ方
向に移動可能なステージであり、２方向には位置センサ
ＣとＤの間に位置する。

以上のように構成されたウェハ搬送系の動作について説
明する。まず、ウェハハンド３０からステージ３７への
ウェハ受渡しを行なう場合は、第３図に示す位置にステ
ージ３７をｘｙ移動させる。次に、搬送ＣＰｔ１２０か
らパルスコントローラ２１に指令を与える。これにより
、パルスコントローラ２１からモータドライバー２２に
対して、−２方向のＤＩＲ信号とウェハハンド支持部材
３１を位置センサＡからＣまで駆動するのに必要な数の
パルスからなるＰＯＵＴ信号が出力される。これによっ
て、モータ２３が指示された向きに指示された量だけ回
転し、ウェハハンド支持部材３１が位置センサＡの位置
から位置センサＣの位ｆｉｔまで移動し、ウェハハンド
３０に保持されたウェハ１がステージ３７のウニ八チャ
ック面の直前まで運ばれる。

次に、該ステージ３７のウェハチャックによる吸着を開
始して、ウェハハンド支持部材３１を上記と同様にして
位置センサＣの位置から位置センサＤの位置まで移動さ
せる。ここでステージ３７のバキュームセンサ（図示せ
ず）が吸着状態を示したら、ウェハハンド３０の真空吸
着を終了させる。そして、ウェハハンド支持部材３１を
位置センサＤの位置から位置センサＢの位置まで移動さ
せて、ウェハ１の裏面とウェハハンド３０の距離を取る
ことによってウェハハンド３０からステージ３７へのウ
ェハ受渡し動作を終了する。この後、ステージ３７は次
の工程（例えば、アライメントなど）のためにｘｙ移動
を行なう。

次に、ステージ３７からウェハハンド３０へのウェハ受
渡しを行なう場合を説明する。ウェハハンド支持部材３
１は、位置センサＢの位置にあるものとする。まず、ウ
ェハ１を吸着保持したステージ３７をｘｙ穆動して、第
３図に示す位置に移動させる０次に、前述と同様にして
ウェハハンド支持部材３７を位置センサＢの位置から位
置センサＤの位置まで移動させて、ウェハハンド３０を
ウェハ１の裏面近傍に移動させる。そして、ウェハハン
ド３０の真空吸着を開始して、ウェハハンド支持部材３
１を位置センサＤの位置から位置センサＣの位置まで移
動させる。ここでウェハハンド３０のバキュームセンサ
（図示せず）が吸着状態を示したら、ステージ３７の吸
着を終了させる。最後に、ウェハハンド支持部材３１を
位置センサＣの位置から位置センサＡの位置まで移動さ
せて、ステージ３７からウェハハンド３０へのつエバ受
渡し動作を終了する。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、こうした搬送系では、通常は露光装置として
のスルーブツトを高くするために、位置センサＡとＣお
よび位置センサＤとＢの間はクエへが脱落することのな
い加減速度でいわゆる台形の速度パターンを使用した高
速搬送を行ない、ウェハの着脱を行なう位置センサＣと
Ｄの間は低速の定速駆動を行なう。この場合、位置セン
サＣからＡまたは位置センサＤからＢの方向の駆動時は
、万が一プログラムの暴走などによりウェハハンド支持
部材３１が位置センサＡまたはＢの位置において停止し
なくても、リミットセンサ２５または２６によりこれを
検出し前述のようにパルスコントローラ２１からのパル
ス出力を停止させることができるので、ウェハハンド支
持部材３１がそれぞれの方向の固定部材３５に衝突する
ことはない。

しかしながら、位置センサＡからＣの方向または位置セ
ンサＢからＤの方向の駆動時は、このようなりミツトセ
ンサがないので、万が一位置センサＣまたはＤの位置で
停止しなかった場合は、ウェハ１とステージ３７または
ウェハハンド３０が衝突する恐れがあった。これは、第
３図に示すような縦型の搬送系では直ちにクエへの落下
ないしは破損につながるだけでなく、場合によっては搬
送装置自体の破損を生じる重要な問題である。

本発明は、これらの問題点に鑑みなされたものであって
、位置規制手段の設定位置の変更が可能で、搬送装置が
暴走しても被搬送物もしくは搬送装置自体を破損するこ
とのない搬送装置およびその制御方法を提供することを
目的とする。

［課題を解決するための手段および作用コ前記目的を達
成するために、本発明では、搬送方向に複数の位置規制
手段を設け、搬送を行なう目的位置に応じて該搬送開始
前に前記位置規制手段の中から有効とするものを選択し
、搬送開始後に位置確認手段または前記位置規制手段の
状態に応じて、有効とする位置規制手段を再度選択する
ようにしている。

これにより、万が一搬送装置が暴走した場合でも被搬送
物や搬送装置自体を破損することのない信頼性の高い搬
送装置が得られる。

［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図に、本発明を適用したＸ線露光装置におけるウェ
ハ搬送系を示す。同図において、１はウェハ、２は該ウ
ェハ１を収納したウェハキャリヤ、３は該ウェハキャリ
ヤ２を載置するウェハキャリヤ置き台、４はウェハキャ
リヤ２内のウェハ有無を検出するウェハ有無センサ、５
はエレベータロッドでキャリヤ置き台３に結合されてモ
ータ６によってＸ方向に駆動される。以上の部材３〜６
でウェハキャリヤエレベータを構成する。

次に、７はクエへを真空吸着により保持するイジェクタ
ハンド、８は該イジェクタハンド７を図のωＸ（Ｘ軸回
り）方向に回転するためのアクチュエータで例えばベー
ンモータにより駆動される。、９は該ωＸアクチュエー
タ８を搭載して図の２方向に移動可能なＺステージ、１
０は該Ｚステージを搭載して図のＸ方向に移動可能なＸ
ステージ、１１は該Ｘステージをそのストローク中心で
支持して図のωｙ（ｙ軸回り）方向に旋回可能なモータ
で例えばダイレクトドライブのサーボモータ（ＤＤモー
タ）である。以上の部材７〜１１でウェハイジェクタを
構成する。

１２は真空吸着によりウェハを保持可能なウェハチャッ
クを有し、図のｘ、Ｘ方向に移動可能なステージである
。１３は前記イジェクタからステージ１２ヘクエ八を受
は渡す際に該ウニへのＸ方向の位置を検出するためのセ
ンサで例えばＣＣＤラインセンサのような一次元位置検
出素子である。

以上のように構成されたウェハ搬送装置において、ウェ
ハキャリヤ２のウェハ１をステージ１２に搬送する動作
について説明する。まず、モータ６を駆動してウェハキ
ャリヤ２内のウェハ１が所定の取り出し位置（高さ）に
来るまでキャリヤ置き台３を下降させる。このとき、モ
ータ６は１回の動作でウェハキャリヤ２のウェハ収納段
の１ピッチ分に相当する量だけ駆動され、そのたびにウ
ェハ有無センサ４によフてウェハ１が所定の位置に来た
かどうかの確認を行なう。該ウェハ１が所定の位置に来
たことが確認されると、ＤＤモータ１１を駆動してＸス
テージ１０をωｙ方法に旋回させ、イジェクタハンド７
をウェハキャリヤ２に正対させる（この場合、Ｘステー
ジ１０は２方向に移動することになるが、便宜上そのま
まＸステージと呼ぶ）。

次に、Ｘステージ１０を一２方向に駆動してイジェクタ
ハンド７をウェハ１の裏面の位置まで移動させる。そし
て、イジェクタハンド７の吸着を開始し、モータ６の駆
動によりウェハキャリヤ２を前述と同様にして１ピッチ
分下降させる。ここでイジェクタハンド７のバキューム
センサ（図示せず）が吸着状態を示したのを確認した後
、Ｘステージ１０を＋Ｚ方向に駆動してウェハ１を吸着
保持したイジェクタハンド７をウェハキャリヤ２から引
き出す。そして、ＤＤモータ１１を駆動してＸステージ
１０を旋回させ、ステージ１２の方向へ向ける（第１図
の状態）。

次に、ωＸアクチュエータ８を［！ｌｌｔ、てイジェク
タハンド７を＋Ｘ方向に向かって時計方向に９０°回転
させ、該イジェクタハンド７およびイジェクタハンド７
に吸着保持されたウェハ１をステージ１２の吸着面と平
行な状態にする。そして、Ｘステージ１０を＋Ｘ方向に
駆動して、ラインセンサ１３で検出されるクエへのエツ
ジが所定の位置（ステージ１２の中心とウェハの中心と
がほぼ一致する位置）に来るようにイジェクタハンド７
を移動させる。

最後にステージ１２の吸着を開始し、２ステージ９を一
２方向に駆動して、イジェクタハンド７からステージ１
２へのウェハの受渡しく詳細は後述）を行なう。そして
、Ｘステージ１０を−Ｘ方向に駆動してイジェクタハン
ド７を引き戻した後、Ｚステージ９を＋２方向に駆動し
、ωＸアクチュエータ８を＋×方向に向って反時計方向
に９０′″回転させることによりウェハ１のウェハキャ
リヤ２からステージ１２への搬送が終了する。

なお、ステージ１２がプリアライメントステージの場合
は、この後ウェハ１に設けられたオリエンテーションフ
ラットと呼ばれる切り欠きを特定の方向に合わせるオリ
フラ検知と呼ばれる作業を行ない、別の搬送系によって
露光用のステージへと搬送される。

第４図は本発明の実施例で第１図のイジェクタの２ステ
ージ９の電気系ブロック図、第５図は該ステージのセン
サ配置（２方向）の模式図、第６図は該ステージを用い
てイジェクタハンド７からステージ１２ヘクエ八を受渡
す際のフローチャート、第７図は第６図の部分的詳細フ
ローチャートである。

第４図において、４１〜４６は第２図に示した２１〜２
６に対応するものであるから説明は省略する。４７は第
１図のイジェクタハンド７の２方向位置がステージ１２
のチャック面近傍にあることを検知する位置センサで、
本実施例では後述の如く位置規制手段と兼用している。

４８．４９は例えば、ロジック・セル・アレイ（Ｌｏｇ
ｉｃ　Ｃｅ１ｌＡｒｒａｙ）で構成された切替スイッチ
であり、搬送ＣＰＵ２０からのＭｏ１）信号によってＡ
ＩＩ〜ＡＩ３、ＢＩＩ　〜ＢＩ３（７）入力をそれぞれ
ＡＯ，ＢＯへ出力する。ａ−ｅは選択可能なモードを示
し、例えばモードａが選択された場合には、切替えスイ
ッチ４８ではＡＯにＡｌ１が接続され、切替スイッチ４
９ではＢＯにＢＩ２が接続される。

ｏＲ１〜ｏＲ４はＯＲ回路、ＩＶｌ、ＩＶ２はインバー
タである。

第５図において、５０はＨＯＭ位置センサであり、イジ
ェクタがイジェクタハンド７のチャック面をステージ１
２のチャック面と平行にして該ステージヘウエハを取付
けるために搬送したり、あるいはステージ１２から取外
しなウェハを搬送する際のイジェクタ２ステージ９の位
置を示す。５１はＭＤ位置センサであり、ステージ１２
へのウェハ取付けの終ったイジェクタハンド７が該ステ
ージから遠ざかったり、あるいはステージ１２上のクエ
へを取外すために該ステージに接近する際のイジェクタ
Ｚステージ９の位置を示す。ＷＣはイジェクタハンド７
のチャック面がステージ１２のチャック面と同一平面上
に来る時のイジェクタ２ステージ９の位置であり、ｖＬ
は前述のようにイジェクタハンドの２方向位置がＷＣの
近傍にあることを検知するセンサである。Ｌｌ、Ｌ２お
よびＵｌ、Ｕ２はステージ１２とイジェクタハンド７と
のウェハ受渡し時にイジェクタハンド７（イジェクタＺ
ステージ９）が−旦停止する位置で１、詳細は後述する
。＋ＥＺ（付番４５の位置）および−ＥＺ（付番４６の
位置）は、それぞれ＋Ｚ力方向よび一２方向のリミット
センサである。

以上のように構成されたイジェクタ２ステージ９を用い
てイジェクタハンド７からステージ１２ヘクエ八を受渡
す動作を第６図および第７図のフローチャートを使って
説明する。

ここで、イジェクタ２ステージ９はＲＯＭ位置にあり、
イジェクタハンド７はそのチャック面がωＸアクチュエ
ータ８によってステージ１２のチャック面と平行に回転
させられ、Ｘ方向にはイジェクタのＸステージ１０によ
って移動せられて、第１図で説明したように吸着保持し
たウニへの中心がステージ１２のチャック面の中心と一
致する位置にいるものとする。

まず、第６図によりウェハ受渡しの概略の流れを説明す
る。始めに、イジェクタ２ステージ９をＲＯＭ位置から
ステージ１２のチャック面直前のＬ１位置まで、スルー
プットを高くするために加減速駆動を行なって移動させ
る（ステップ５６１）。次に、ステージ１２の真空吸着
を開始して（ステップ５６２）、イジェクタＺステージ
９をＬ１位置からステージ１２のチャック面近傍やや−
２方向寄りのＬ２位置まで定速移動させる（ステップ５
６３）。ここで、ステージ１２のバキュームセンサ（図
示せず）によって吸着状態にあるかどうかの判定を行な
う（ステップ５６４）。ステージ１２のチャックが吸着
状態にあれば、この判定をｙｅｓで抜け、イジェクタハ
ンド７の方の真空吸着を終了させる（ステップ５６７）
。そして、イジェクタ２ステージ９をＬ２位置からステ
ージ１２のチャック面から十分離れたＭＤ位置まで再び
加減速駆動を行なって移動させる。

一方、ステップ５６４でステージ１２のチャックが吸着
状態にならなければ、この判定をｎｏで抜けてステージ
１２の真空吸着を終了させ（ステップ５６５）、イジェ
クタＺステージ９を定速駆動によりＬ２位置からＬ１位
置まで６勅させる（ステップ５６６）。そして、再びス
テップＳ６２に戻り、ステップ３６４までのシーケンス
をステージ１２のチャックが吸着状態となるまで所定回
数繰り返す。

これらのシーケンスのうち、ステップＳ６１およびステ
ップ３６３について第４図および第７図を用いてより詳
しく説明する。

まず、ステップＳ６１はＲＯＭ位置にあるイジェクタ２
ステージ９を加減速駆動を行なってＬｌの位置まで移動
させるものである。始めに搬送ＣＰＵ２０がＲＯＭ位置
からＬ１位置までの駆動であることを確認して、必要な
駆動パラメータ（起動時および高速時のパルスレート、
加減速度、駆動パルス数、およびモータ回転方向など）
をパルスコントローラ４１にセットする（ステップ５７
１）。次に、位置センサ５０によってイジェクタＺステ
ージ９がＲＯＭにあることを確認する動作前の位置確認
を行なう（ステップ５７２）。位置センサ５０がＨｉｇ
ｈレベルでない時は、エラー処理に移行する（図示せず
）。次に、搬送ＣＰＵ２０からのＭＯＤ信号によって必
要なリミットセンナの選択を行なう。この場合は、イジ
ェクタ２ステージ９のＬ１位置からのオーバーランによ
って、イジェクタハンド７で保持したウェハをステージ
１２のチャック面にぶつけてウェハの落下もしくは破損
が生じないように、ＶＬセンサ４７のＬｏｗ出力によっ
てパルスコントローラ４１のエンドリミット機能が働く
ように設定する。すなわち、ＶＬセンサ４７の出力を反
転したものとリミットセンサ４６の出力とのＯＲをとっ
た信号がパルスコントローラ４１の−ＥＬへ入力される
（モードａ）ように、切替えスイッチ４９においてＢＩ
２とＢＯが接続される。この時、切替スイッチ４８では
Ａｌ１とＡＯが接続される（ステップ５７３）。次に、
搬送ＣＰＵ２０からパルスコントローラ４１にスタート
コマンドが与えられ（ステップ５７４）、イジェクタ２
ステージ９がステップＳ７１でチエツクした駆動パラメ
ータに従って動き始める。次に、モード再選択の有無を
チエツクするが、この場合は必要ないのでステップ３７
５の判定をｎｏで抜けてステップＳ７６゜Ｓ７７をパス
する。次に、搬送ＣＰＵ２０がパルスコントローラ４１
のステータスを読んで、動作中（パルスＰＯＵＴが出力
中）かどうかの判定を行なう（ステップ８７８）。動作
中ならば、この判定をｙｅｓで抜けてステップＳ７５の
判定に戻る。一方、動作中でなければ判定をｎｏで抜け
る。そして、ステップＳ７９で動作後の位置確認を行な
うが、この場合Ｌ１には位置センサがないので、実際に
はこのステップはパスされる。

次に、ステージ１２のチャックの真空吸着をスタートさ
せた（ステップ５６２）後、イジェクタＺステージ９を
ＬｌからＬｌの位置へ定速で移動させるステップＳ６３
について説明する。

始めに搬送ＣＰＵ２０がＬｌからＬｌの位置までの駆動
であることを確認して、前述と同様に必要な駆動パラメ
ータをパルスコントローラ４１にセットする（ステップ
５７１）。次に、ステップＳ７２で動作前の位置確認を
行なうが、Ｌｌには位置センサがないのでこのステップ
はパスされる。次に、搬送ＣＰＵ２０からのＭＯＤ信号
によフて必要なリミットセンサの選択を行なう。この場
合は、前述のステップＳ６１でモードａ（第４図）を選
択しているので、そのままイジェクタＺステージ９をＴ
Ｉ！ＡｗＪすると、ＶＬセンサ４７の出力がＨｉｇｈか
らＬｏｗへ変化する位置でエンドリミット機能が働きイ
ジェクタ２ステージ９が停止してしまう。したがって、
第４図においてパルスコントローラ４１の−ＥＬにはリ
ミットセンサ４６の出力のみが入力される（モードＣ）
ように、切替スイッチ４９に対して搬送ＣＰＵ２０から
ＭＯＤ信号が出力される（ステップ５７３）。すなわち
、切替スイッチ４９ではＢＯとＢＩ３が接続される（切
替えスイッチ４８ではＡＯとＡｌ１が接続される）。次
に、搬送ＣＰＬＩ２０からパルスコントローラ４１にス
タートコマンドが与えられ（ステップ５７４）、イジェ
クタＺステージ９がステップＳ７１でチエツクした駆動
パラメータに従って動き始める。次に、ステップＳ７５
でモード再選択のチエツクを行なうが、この判定はｙｅ
Ｓで抜けてステップＳ７６へ進む。ここで、イジェクタ
２ステージ９は、ステージ１２へのウェハ受渡し時にス
テージ１２のチャック面とイジェクタハンド７のチャッ
ク面との２方向位置が一致するＷＣの位置で停止するの
ではなく、それよりやや−２方向のＬｌまで移動するの
であるが、Ｌｌの位置で停止しなかった場合はイジェク
タハンド７で保持しているウェハを破損してしまうこと
になる。したがって、Ｌ２近傍の−Ｚ方向寄りの位置で
エンドリミット機能を働かせるために、ｖＬセンサ４７
の出力がＨｉｇｈからＬｏｗに変化した後にモードの再
選択を行ない、ＬｏｗからＨｉｇｈに変化するところで
エンドリミット機能が働くようにする。このモード選択
のタイミングを見ているのがステップ３７Ｂで、■Ｌセ
ンサ４７の出力がＨｉｇｈからＬｏｗになったかどうか
をチエツクしている。ＶＬセンサ４７の出力がＨｌｇｈ
の場合は、この判定をｎｏで抜けてステップ３７８の判
定へ進む。ここでは、前述のように搬送ＣＰＵ２０がパ
ルスコントローラ４１のステータスを読んで動作中かど
うかの判定を行なうが、最初は当然動作中であるので、
ステップＳ７５を通ってステップＳ７６に戻る。ここで
ＶＬセンサ４７の出力がＬｏｗになっていると、ステッ
プ３７６の判定をＹｅｓで抜けてモード選択を行なう（
ステップ５７７）。すなわち、ＶＬセンサ４７の出力と
リミットセンサ４６の出力とのＯＲをとった信号がパル
スコントローラ４１の−ＥＬへ入力される（モードｅ）
ように、搬送ＣＰＵ２０からのＭＯＤ信号によって切替
えスイッチ４９０Ｂ！１とＢＯが接続される。次に、ま
たステップＳ７８の判定に進み、イジェクタＺステージ
９が動作中かどうかのチエツクを行なう。動作中であれ
ば、この判定をｙｅｓで抜けてステップＳ７５に戻る。

ここでは、既にモードの再選択を行なったので、以降は
この判定をｎｏで抜けてステップＳ７８へ進む。イジェ
クタ２ステージ９がＬ２の位置で停止すると、ステップ
３７８の判定をｎｏで抜けてステップＳ７９へ進むが、
実際にはＬ２の位置に位置センサがないのでこの動作後
位置確認のステップはパスされる。

以上、ステップ３６１およびステップ３６３について説
明したが、第６図の他のステップ３６Ｂや５６８につい
ても同様のことが行なわれる。

また、ステージ１２のチャックで吸着保持されたクエへ
をイジェクタハンド７へ受渡す際もＵｌおよびＵ２の位
置に関して同様の制御が行なわれる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、搬送方向に複数の
位置規制手段を設け、搬送を行なう目的位置に応じて該
搬送開始前に前記位置規制手段の中から有効とするもの
を選択し、搬送開始後に位置確認手段または前記位置規
制手段の状態に応じて、有効とする位置規制手段を再度
選択するようにしているので、万が一搬送装置が暴走し
た場合でも被搬送物や搬送装置自体を破損したり、被搬
送物を落下させることがなくなり、搬送装置の信頼性を
向上させる効果を有する。

また、本発明によれば、ストロークが小さいがために位
置規制手段を多数設置できないような搬送装置において
も前述と同様に信頼性を向上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係わるウェハ搬送装置の斜視図、 第２図は、従来の搬送装置のブロック図、第３図は、従
来のウェハ搬送装置の斜視図、第４図は、本発明の実施
例である搬送装置のブロック図、 第５図は、第４図の搬送装置のセンサ配置図、第６図は
、第４図の搬送装置の制御フローチャート、 第７図は、 ある。 第６図の部分詳細フローチャートで １：ウェハ、 ７：イジェクタハンド、 ９：イジェクタ２ステージ １２：ステージ、 ２０：搬送ｃｐｕ。 ４１：パルスコントローラ、 ４２：モータドライバー ４５．４６：リミットセンサ、 ４８．４９：切替スイッチ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）搬送行程上に位置確認手段を有する搬送装置であ
   って、搬送方向に沿って設けられた複数の位置規制手段
   と、搬送を行なう目的位置に応じて該搬送開始前に前記
   位置規制手段の中から有効とするものを選択する手段と
   、搬送開始後に前記位置確認手段または前記位置規制手
   段の状態に基づいて有効とする位置規制手段を再度選択
   する手段とを具備することを特徴とする搬送装置。
2. （２）搬送行程上に位置確認手段を有する搬送装置の制
   御方法であって、搬送方向に複数の位置規制手段を設け
   、搬送を行なう目的位置に応じて該搬送開始前に前記位
   置規制手段の中から有効とするものを選択し、搬送開始
   後に前記位置確認手段または前記位置規制手段の状態に
   応じて、有効とする位置規制手段を再度選択することを
   特徴とする搬送装置の制御方法。