JPH0310893B2 - - Google Patents
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- JPH0310893B2 JPH0310893B2 JP60122739A JP12273985A JPH0310893B2 JP H0310893 B2 JPH0310893 B2 JP H0310893B2 JP 60122739 A JP60122739 A JP 60122739A JP 12273985 A JP12273985 A JP 12273985A JP H0310893 B2 JPH0310893 B2 JP H0310893B2
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Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔目次〕
●概要
●産業上の利用分野
●従来技術
●発明が解決しようとする問題点
●問題点を解決するための手段
●作用
●実施例
●発明の効果
〔概要〕
相互に直交するX、Y、Z方向に変位可能な平
行板バネによりX、Y方向の十字形状体を構成
し、十字各辺の平行板バネ上に歪ゲージ等の変位
検知手段を設け、十字中央に検出すべき力を作用
させ、十字各辺端部を各辺の長軸廻りにねじれ回
転可能なトーシヨンバーにより支持する。これに
より力の各方向成分および各軸廻りのトルクが相
互に干渉することなく最小数の変位検知手段によ
り検知され、微少なトルクの検出が可能となり、
各方向の力成分およびトルクが簡単な演算式によ
り高速で計測される。
行板バネによりX、Y方向の十字形状体を構成
し、十字各辺の平行板バネ上に歪ゲージ等の変位
検知手段を設け、十字中央に検出すべき力を作用
させ、十字各辺端部を各辺の長軸廻りにねじれ回
転可能なトーシヨンバーにより支持する。これに
より力の各方向成分および各軸廻りのトルクが相
互に干渉することなく最小数の変位検知手段によ
り検知され、微少なトルクの検出が可能となり、
各方向の力成分およびトルクが簡単な演算式によ
り高速で計測される。
本発明は、例えばロボツトのアーム先端に設け
たロボツトハンドに加わる外力の検出装置に関す
るものである。
たロボツトハンドに加わる外力の検出装置に関す
るものである。
近年、産業用ロボツトの製造ラインへの導入が
盛んに行なわれている。しかしながら、位置制御
型のロボツトでは環境からの拘束力に関係なく動
作してしまうため、微妙な力加減を要する組体ラ
インの自動化への導入は極めて困難である。
盛んに行なわれている。しかしながら、位置制御
型のロボツトでは環境からの拘束力に関係なく動
作してしまうため、微妙な力加減を要する組体ラ
インの自動化への導入は極めて困難である。
これは、組立作業には、部品の嵌め合いや取付
け作業等のように部品の置かれた絶対的な位置精
度より、相対位置関係の高精度計測を必要とする
作業が多いことによる。
け作業等のように部品の置かれた絶対的な位置精
度より、相対位置関係の高精度計測を必要とする
作業が多いことによる。
もし部品の嵌め合いを位置制御型ロボツトで実
行するならば、組立対象から決る移動軌跡をロボ
ツト座標に対して正確に記述し、且つ正確に先端
を所定の軌跡通りに制御しなければならない。
行するならば、組立対象から決る移動軌跡をロボ
ツト座標に対して正確に記述し、且つ正確に先端
を所定の軌跡通りに制御しなければならない。
ところが、実際の位置制御型のロボツトでは、
ロボツト自身が持つ機械的誤差や制御上の誤差等
により絶対的位置精度を高くすることは極めて難
しい。
ロボツト自身が持つ機械的誤差や制御上の誤差等
により絶対的位置精度を高くすることは極めて難
しい。
この様なことから、組立ロボツトでは、ロボツ
トと対象物との間の相対位置誤差を補正あるいは
吸収するためのコンプライアンス機構がロボツト
とハンドとの間の手首に設けられている。
トと対象物との間の相対位置誤差を補正あるいは
吸収するためのコンプライアンス機構がロボツト
とハンドとの間の手首に設けられている。
しかしながら、この手首に設けられるコンプラ
イアンス機構だけでは、誤差を補正あるいは吸収
する量が極めて微小であるため、ロボツトと対象
物との間の相対位置誤差が大きい場合、それを完
全に補正あるいは吸収することができない。
イアンス機構だけでは、誤差を補正あるいは吸収
する量が極めて微小であるため、ロボツトと対象
物との間の相対位置誤差が大きい場合、それを完
全に補正あるいは吸収することができない。
従つて、前述した相対位置誤差を手首に生じる
反力として検出し、検出した反力をロボツトにフ
イードバツクして反力が零となるように位置補正
させるための力検出装置(センサ)が設けられて
いる。いわゆるロボツトの制御を位置制御から力
制御に移行させるようにしたものである。
反力として検出し、検出した反力をロボツトにフ
イードバツクして反力が零となるように位置補正
させるための力検出装置(センサ)が設けられて
いる。いわゆるロボツトの制御を位置制御から力
制御に移行させるようにしたものである。
尚、手首に設ける力センサは剛体であることが
望ましく、コンプライアンス機構でない方がよ
い。
望ましく、コンプライアンス機構でない方がよ
い。
第9図は、従来の力検出装置を備えたロボツト
の概略を説明するための図である。
の概略を説明するための図である。
第9図に示すロボツトは、直交座標型の3軸ロ
ボツトである。
ボツトである。
図において、1はロボツト本体のベースであ
り、後述するアーム2を矢印A(X軸)方向に駆
動するX軸駆動源(モータ)を有している。2は
第1のアームであり、第2のアーム3を矢印B
(Z軸)方向に駆動するZ軸駆動源(モータ)を
有し、ベース1のX軸駆動源によつてX軸方向に
移動する。3は第2のアームであり、第1のアー
ム2に対し、矢印C(Y軸)方向に駆動するY軸
駆動源(モータ)を有し、Y軸方向に移動するも
のである。
り、後述するアーム2を矢印A(X軸)方向に駆
動するX軸駆動源(モータ)を有している。2は
第1のアームであり、第2のアーム3を矢印B
(Z軸)方向に駆動するZ軸駆動源(モータ)を
有し、ベース1のX軸駆動源によつてX軸方向に
移動する。3は第2のアームであり、第1のアー
ム2に対し、矢印C(Y軸)方向に駆動するY軸
駆動源(モータ)を有し、Y軸方向に移動するも
のである。
5は力検出装置であり、第2のアーム3の先端
に設けられ、ハンド4に加えられる力を検出す
る。ハンド4は、力検出装置5の先端に設けられ
る。
に設けられ、ハンド4に加えられる力を検出す
る。ハンド4は、力検出装置5の先端に設けられ
る。
従つて、ハンド4は第1のアーム2の左右動に
よつてX軸方向に位置決めがされ、第2のアーム
3の前後動と上下動によつて各々Y軸方向とZ軸
方向の位置決めがされ、結果として3つの動作軸
により3次元の位置決めがなされる。
よつてX軸方向に位置決めがされ、第2のアーム
3の前後動と上下動によつて各々Y軸方向とZ軸
方向の位置決めがされ、結果として3つの動作軸
により3次元の位置決めがなされる。
6は物品であり、例えば丸棒で構成れ、ハンド
4に把持される。7は部材であり、物品6が嵌め
合わされる穴8を有し、穴8にはテーパ面9を有
している。
4に把持される。7は部材であり、物品6が嵌め
合わされる穴8を有し、穴8にはテーパ面9を有
している。
力検出装置5は、X方向に変位する平行板バネ
5a、Y方向に変位する平行板バネ5b、および
上端又は下端に設けたZ方向に変位する十字形板
バネ(図示しない)により構成される。各板バネ
の適当な位置に歪ゲージ(図示しない)を貼付し
て各方向の変位を検知する。
5a、Y方向に変位する平行板バネ5b、および
上端又は下端に設けたZ方向に変位する十字形板
バネ(図示しない)により構成される。各板バネ
の適当な位置に歪ゲージ(図示しない)を貼付し
て各方向の変位を検知する。
このような力検出装置5をロボツトの手首部に
設けて、ロボツトにより物品6を部材7の穴8へ
嵌入させる嵌合作業を行わせる。物品6と穴8と
の相対位置誤差が生ずるとハンド4に外力が加わ
り、これに応じて力検出装置5の各板バネが変形
し歪ゲージがその変位量を検出する。この変位量
に基いて、X、Y、Z方向の力の成分およびトル
クを算出し、ハンドに加わる外力を打消す方向に
各アームを駆動制御しハンドを正しい位置に移動
させる。
設けて、ロボツトにより物品6を部材7の穴8へ
嵌入させる嵌合作業を行わせる。物品6と穴8と
の相対位置誤差が生ずるとハンド4に外力が加わ
り、これに応じて力検出装置5の各板バネが変形
し歪ゲージがその変位量を検出する。この変位量
に基いて、X、Y、Z方向の力の成分およびトル
クを算出し、ハンドに加わる外力を打消す方向に
各アームを駆動制御しハンドを正しい位置に移動
させる。
従来の力検出装置においては、1つの歪ゲージ
の出力に複数の力成分が含まれているため、力ベ
クトルの各成分を独立して検出することができな
い。各歪ゲージの出力に基いて各方向の力成分お
よびトルクを分離させた出力を得るため複雑なマ
トリツクス演算用回路を構成しなければならず、
また各歪ゲージの出力に基いて各方向の力成分お
よびトルクを解析算出するためには極めて複雑な
演算式を導入しなければならず演算に長時間を要
するものであつた。従つて、このような力検出装
置をロボツトの駆動制御用に用いた場合、制御回
路が複雑となり、価格も高価となり、また外力の
各成分の変換分離に時間がかかり外力に対応して
直ちにロボツトを高速制御することができない。
の出力に複数の力成分が含まれているため、力ベ
クトルの各成分を独立して検出することができな
い。各歪ゲージの出力に基いて各方向の力成分お
よびトルクを分離させた出力を得るため複雑なマ
トリツクス演算用回路を構成しなければならず、
また各歪ゲージの出力に基いて各方向の力成分お
よびトルクを解析算出するためには極めて複雑な
演算式を導入しなければならず演算に長時間を要
するものであつた。従つて、このような力検出装
置をロボツトの駆動制御用に用いた場合、制御回
路が複雑となり、価格も高価となり、また外力の
各成分の変換分離に時間がかかり外力に対応して
直ちにロボツトを高速制御することができない。
本発明は、上記従来技術の欠点に鑑み、X、
Y、Zの各方向の力成分およびトルクを容易に分
離して検出可能な力検出装置の提供を目的とす
る。
Y、Zの各方向の力成分およびトルクを容易に分
離して検出可能な力検出装置の提供を目的とす
る。
この目的を達成するため、本発明では、X方向
に変位する平行板バネおよびZ方向に変位する平
行板バネからなる2つの平行板バネ組体と、Y方
向に変位する平行板バネおよびZ方向に変位する
平行板バネからなる2つの平行板バネ組体とによ
りXY方向の十字形状体を構成し、各平行板バネ
上の十字形状体上面又は側面の中心点に関し対称
な位置に変位検出手段を設け、該十字形状体の中
央部に検出すべき力の作用部材を連結し、該十字
形状体の各辺端部を、X、Y方向に沿つた各辺の
長手方向軸廻りにねじれ回転可能なトーシヨンバ
ーを介して支持枠に保持した力検出装置を提供す
る。
に変位する平行板バネおよびZ方向に変位する平
行板バネからなる2つの平行板バネ組体と、Y方
向に変位する平行板バネおよびZ方向に変位する
平行板バネからなる2つの平行板バネ組体とによ
りXY方向の十字形状体を構成し、各平行板バネ
上の十字形状体上面又は側面の中心点に関し対称
な位置に変位検出手段を設け、該十字形状体の中
央部に検出すべき力の作用部材を連結し、該十字
形状体の各辺端部を、X、Y方向に沿つた各辺の
長手方向軸廻りにねじれ回転可能なトーシヨンバ
ーを介して支持枠に保持した力検出装置を提供す
る。
十字形状体を構成する8個の平行板バネ(X方
向2個、Y方向2個、Z方向4個)の各々に貼付
した歪ゲージは、Z方向板バネについては十字中
心点に関し対称位置に、X、Y方向板バネについ
ては十字形状体側面の中心に関し対称位置に設け
られ、検出すべき力は十字中心点に作用させ、さ
らに、十字の各辺は長軸方向にねじれ回転可能な
トーシヨンバーを介して支持されるため、微少な
トルク検出が可能となり例えばX軸廻りのトルク
が作用した場合、X軸方向の十字辺は自由に回転
しこの十字辺上の歪ゲージはこのトルクに何ら影
響されず、これと直交するY方向の十字辺上の歪
ゲージのみが変形し出力を発する。従つて、各歪
ゲージは各々一方向成分の力およびトルクに対し
てのみ変形して出力を発するという作用が確実に
達成される。
向2個、Y方向2個、Z方向4個)の各々に貼付
した歪ゲージは、Z方向板バネについては十字中
心点に関し対称位置に、X、Y方向板バネについ
ては十字形状体側面の中心に関し対称位置に設け
られ、検出すべき力は十字中心点に作用させ、さ
らに、十字の各辺は長軸方向にねじれ回転可能な
トーシヨンバーを介して支持されるため、微少な
トルク検出が可能となり例えばX軸廻りのトルク
が作用した場合、X軸方向の十字辺は自由に回転
しこの十字辺上の歪ゲージはこのトルクに何ら影
響されず、これと直交するY方向の十字辺上の歪
ゲージのみが変形し出力を発する。従つて、各歪
ゲージは各々一方向成分の力およびトルクに対し
てのみ変形して出力を発するという作用が確実に
達成される。
第1図に本発明に係る力検出装置の構成を示
す。a図は上面図(Z方向から見た図)、b図は
a図の−矢視図、c図はa図の−矢視図
である。力検出装置10は、X方向に変位する平
行板バネ13およびZ方向に変位する平行板バネ
12からなる2組のY方向の平行板バネ組体と、
Y方向に変位する平行板バネ11およびZ方向に
変位する平行板バネ12からなる2組のX方向の
平行板バネ組体とを十字形状体の各4辺として構
成される。このような各平行板バネは、矩形断面
の十字形金属ブロツクの各辺に相互に直交する2
つのコ字形スリツト17を放電加工等により形成
することにより作られる。このコ字形スリツト1
7の内側は各平行板バネの変位規制部材(ストツ
パ)14として作用する。即ち、各平行板バネ1
1,12,13は、力が加わつて変形した場合こ
の変位規制部材14に当接するとそれ以上は変形
しない。スリツト17の幅を適当に選定しておく
ことにより各平行板バネの変位を板バネの弾性変
形範囲内として板バネの塑性変形、破断等を防止
できる。4つのZ方向の各平行板バネ12上には
十字形の中心点に関し対称位置に歪ゲージe1〜e4
が貼付される。X方向に変位する各平行板バネ1
3およびY方向に変位する各平行板バネ11上に
は各々十字形状体側面の中心に対し対称な位置に
歪ゲージe5〜e8が貼付される。このような力検出
装置10は、第2図に示すようにロボツトの手首
部に取付けられる。18はロボツトのアームであ
り、アーム18の先端に十字形状の支持枠19が
固定される。力検出装置10はこの支持枠19に
トーシヨンバー15を介して各辺が支持枠に対し
長軸廻りに回転可能に支持される。十字形の力検
出装置10の中央部にハンド20が固定される。
第1図の16はハンド固定用の孔である。21
(第2図)は指であり矢印D方向に開閉動作し物
品を掴む。力検出装置10のX方向、Y方向の各
辺はトーシヨンバー15を介して支持枠19に対
し回転可能に支持されているため一方の軸廻りの
トルクはその軸方向の支持枠に対し何ら力を与え
ず、これと直角方向の支持枠に対してのみ力が加
わり、直交する支持枠各辺がトルクにより相互に
干渉することはない。従つて、相互干渉防止のた
めに支持枠19の各辺を分離する必要はなく、第
3図に示すように、支持枠19を一体的に形成す
ることができる。トーシヨンバー15は、第2図
に示すように、その軸方向一端にネジ24を有
し、これにより力検出装置10の各辺端部に螺着
される。また、反対側端部にはネジ孔を有し、支
持枠19の孔15を通してネジ22により、支持
枠19に固定される。ネジ22の締付力によりト
ーシヨンバー15には軸方向の引張り応力が作用
し、たわみに対し剛性が増し、軸に直角方向の力
により変形せず、ねじれ力に対してのみ応答し軸
廻りに回転する。しかも、トーシヨンバー15は
ベアリング等と異り摩擦力が作用しないため、微
少なトルクに対して敏感に応答してねじり回転動
作を行う。
す。a図は上面図(Z方向から見た図)、b図は
a図の−矢視図、c図はa図の−矢視図
である。力検出装置10は、X方向に変位する平
行板バネ13およびZ方向に変位する平行板バネ
12からなる2組のY方向の平行板バネ組体と、
Y方向に変位する平行板バネ11およびZ方向に
変位する平行板バネ12からなる2組のX方向の
平行板バネ組体とを十字形状体の各4辺として構
成される。このような各平行板バネは、矩形断面
の十字形金属ブロツクの各辺に相互に直交する2
つのコ字形スリツト17を放電加工等により形成
することにより作られる。このコ字形スリツト1
7の内側は各平行板バネの変位規制部材(ストツ
パ)14として作用する。即ち、各平行板バネ1
1,12,13は、力が加わつて変形した場合こ
の変位規制部材14に当接するとそれ以上は変形
しない。スリツト17の幅を適当に選定しておく
ことにより各平行板バネの変位を板バネの弾性変
形範囲内として板バネの塑性変形、破断等を防止
できる。4つのZ方向の各平行板バネ12上には
十字形の中心点に関し対称位置に歪ゲージe1〜e4
が貼付される。X方向に変位する各平行板バネ1
3およびY方向に変位する各平行板バネ11上に
は各々十字形状体側面の中心に対し対称な位置に
歪ゲージe5〜e8が貼付される。このような力検出
装置10は、第2図に示すようにロボツトの手首
部に取付けられる。18はロボツトのアームであ
り、アーム18の先端に十字形状の支持枠19が
固定される。力検出装置10はこの支持枠19に
トーシヨンバー15を介して各辺が支持枠に対し
長軸廻りに回転可能に支持される。十字形の力検
出装置10の中央部にハンド20が固定される。
第1図の16はハンド固定用の孔である。21
(第2図)は指であり矢印D方向に開閉動作し物
品を掴む。力検出装置10のX方向、Y方向の各
辺はトーシヨンバー15を介して支持枠19に対
し回転可能に支持されているため一方の軸廻りの
トルクはその軸方向の支持枠に対し何ら力を与え
ず、これと直角方向の支持枠に対してのみ力が加
わり、直交する支持枠各辺がトルクにより相互に
干渉することはない。従つて、相互干渉防止のた
めに支持枠19の各辺を分離する必要はなく、第
3図に示すように、支持枠19を一体的に形成す
ることができる。トーシヨンバー15は、第2図
に示すように、その軸方向一端にネジ24を有
し、これにより力検出装置10の各辺端部に螺着
される。また、反対側端部にはネジ孔を有し、支
持枠19の孔15を通してネジ22により、支持
枠19に固定される。ネジ22の締付力によりト
ーシヨンバー15には軸方向の引張り応力が作用
し、たわみに対し剛性が増し、軸に直角方向の力
により変形せず、ねじれ力に対してのみ応答し軸
廻りに回転する。しかも、トーシヨンバー15は
ベアリング等と異り摩擦力が作用しないため、微
少なトルクに対して敏感に応答してねじり回転動
作を行う。
以上のような構成の力検出装置の作用を第4図
および第5図を参照して説明する。なお第4図、
第5図は図を分り易くするために変位規制部材1
4を省略しまた変位量を誇張して描いてある。
および第5図を参照して説明する。なお第4図、
第5図は図を分り易くするために変位規制部材1
4を省略しまた変位量を誇張して描いてある。
第4図aはY軸廻りのトルクが作用した状態を
示す。ハンド20に矢印E方向のトルクが作用
し、Y軸に沿つた十字の2辺は軸受15a,15
bを介して矢印Fのように回転する。従つてX軸
に沿つた十字の2辺端部には支持枠を介してこの
E方向のトルクを打消すようなモーメントが作用
し、平行板バネ12が図のように変形する。この
ため、歪ゲージe2およびe4が変形して出力を発す
る。他の歪ゲージは変形せず出力を発しない。
示す。ハンド20に矢印E方向のトルクが作用
し、Y軸に沿つた十字の2辺は軸受15a,15
bを介して矢印Fのように回転する。従つてX軸
に沿つた十字の2辺端部には支持枠を介してこの
E方向のトルクを打消すようなモーメントが作用
し、平行板バネ12が図のように変形する。この
ため、歪ゲージe2およびe4が変形して出力を発す
る。他の歪ゲージは変形せず出力を発しない。
第4図bはハンド20に矢印G方向(Y方向)
に力が作用した状態を示す。X軸に沿つた十字の
2辺端部に支持枠を介して反力が作用し、平行板
バネ11が図のように変形する。従つて、歪ゲー
ジe7およびe8のみが変形して出力を発し、他の歪
ゲージは出力を発しない。
に力が作用した状態を示す。X軸に沿つた十字の
2辺端部に支持枠を介して反力が作用し、平行板
バネ11が図のように変形する。従つて、歪ゲー
ジe7およびe8のみが変形して出力を発し、他の歪
ゲージは出力を発しない。
第5図aはハンド20は矢印H方向(Z方向)
の力が作用した状態を示す。X軸およびY軸に沿
つた十字の4辺端部に支持枠を介して反力が作用
し、4つの平行板バネ12(2つのみ図示)が図
のように変形する。従つて歪ゲージe1〜e4が変形
して出力を発し、他の歪ゲージは出力を発しな
い。
の力が作用した状態を示す。X軸およびY軸に沿
つた十字の4辺端部に支持枠を介して反力が作用
し、4つの平行板バネ12(2つのみ図示)が図
のように変形する。従つて歪ゲージe1〜e4が変形
して出力を発し、他の歪ゲージは出力を発しな
い。
第5図bはハンド20に矢印J方向(Z軸廻
り)のトルクが作用した状態を示す。十字の各4
辺端部には支持枠を介してこのモーメントが作用
し、平行板バネ11および13が図のように変形
する。従つて、歪ゲージe5〜e8が変形して出力を
発し、他の歪ゲージは出力を発しない。
り)のトルクが作用した状態を示す。十字の各4
辺端部には支持枠を介してこのモーメントが作用
し、平行板バネ11および13が図のように変形
する。従つて、歪ゲージe5〜e8が変形して出力を
発し、他の歪ゲージは出力を発しない。
尚、支持枠は変形せず剛体であり、力センサを
剛体とすることができる。
剛体とすることができる。
以上のような、X、Y、Z各軸方向の力および
各軸廻りのトルクと各歪ゲージe1〜e8との対応関
係に基いて力ベクトルを算出する演算式を以下に
示す。
各軸廻りのトルクと各歪ゲージe1〜e8との対応関
係に基いて力ベクトルを算出する演算式を以下に
示す。
〓=Fx
Fy
Fz
Tx
Ty
Tz
〓=g11g21…g81
〓
g16g26…g86
〓=e1
e2
〓
e8
とする。ただし、〓は力ベクトルであり、Fx、
Fy、FzはX、Y、Z方向の力成分、Tx、Ty、Tz
はX、Y、Z軸廻りのトルク成分である。〓は歪
ゲージの出力電圧値に乗ずるゲインであり、縦の
列は上記力ベクトルの6つの各成分に対応し、横
の行は8個の歪ゲージe1〜e8に対応する。 は歪
ゲージの出力電圧である。これらの式を、本考案
による力センサに適用すると、以下の式が得られ
る。
Fy、FzはX、Y、Z方向の力成分、Tx、Ty、Tz
はX、Y、Z軸廻りのトルク成分である。〓は歪
ゲージの出力電圧値に乗ずるゲインであり、縦の
列は上記力ベクトルの6つの各成分に対応し、横
の行は8個の歪ゲージe1〜e8に対応する。 は歪
ゲージの出力電圧である。これらの式を、本考案
による力センサに適用すると、以下の式が得られ
る。
従つて、
FX=g51・e5+g61・e6
FY=g72・e1+g82・e8
FZ=g13・e1+g23・e2
+g33・e3+g43・e4
TX=g14・e1+g34・e3
TY=g25・e2+g45・e4
TZ=g56・e5+g66・e6+g76・e7+g86・e8
となる。すなわち、FX〜FZ、TX〜TZにおいて、
ゲインgが“0”になる部分は、出力が無いこと
を示す。例えば、X方向の力FXが加わる場合に
は、es、e6で示される歪ゲージからしか出力が得
られないことを示し、X軸回りの力TXが加わる
場合には、e1、e3で示される歪ゲージからしか出
力が得られないことを示す。
ゲインgが“0”になる部分は、出力が無いこと
を示す。例えば、X方向の力FXが加わる場合に
は、es、e6で示される歪ゲージからしか出力が得
られないことを示し、X軸回りの力TXが加わる
場合には、e1、e3で示される歪ゲージからしか出
力が得られないことを示す。
第6図は軸方向の力をトルクの影響なしに検出
する方法の説明図である。
する方法の説明図である。
第6図aは、力検出器320の角棒321に対
してY軸方向の力Fが加わつた状態を示す図であ
り、第6図bは同様に角棒322に対して穴33
7の中心Dを中心として回転する方向の力Fが加
わつた状態を示す図である。
してY軸方向の力Fが加わつた状態を示す図であ
り、第6図bは同様に角棒322に対して穴33
7の中心Dを中心として回転する方向の力Fが加
わつた状態を示す図である。
図において、323〜326は平行板ばね体を
示し、323a,323b,324a……326
bは板ばねである。314g,314h,314
i,314jは歪ゲージであり、夫々穴337の
中心Dを通る中心線対象位置となるように貼付さ
れている。すなわち、歪ゲージ314gと314
i、歪ゲージ314hと314jが中心点Dを中
心として中心点対象位置の板ばね326aと32
5bに貼付されている。尚、各歪ゲージ314g
〜314jの抵抗値はRとする。
示し、323a,323b,324a……326
bは板ばねである。314g,314h,314
i,314jは歪ゲージであり、夫々穴337の
中心Dを通る中心線対象位置となるように貼付さ
れている。すなわち、歪ゲージ314gと314
i、歪ゲージ314hと314jが中心点Dを中
心として中心点対象位置の板ばね326aと32
5bに貼付されている。尚、各歪ゲージ314g
〜314jの抵抗値はRとする。
また、各歪ゲージ314g〜314jは第7図
に示すブリツジ回路を構成するように、夫々の図
示されざる出力線が接続されている。
に示すブリツジ回路を構成するように、夫々の図
示されざる出力線が接続されている。
従つて、第6図aに示すように、軸方向の力F
が加わつた場合、歪ゲージ314g,314hは
縮み状態となるので、抵抗値は、(R−△R)と
なり、歪ゲージ314i,314jは伸び状態と
なるので、抵抗値は、(R+△R)となるので、
第7図に示すブリツジ回路の端子a−b間の電圧
は、 (R−△R)i−(R+△R)i=2△Ri となる。
が加わつた場合、歪ゲージ314g,314hは
縮み状態となるので、抵抗値は、(R−△R)と
なり、歪ゲージ314i,314jは伸び状態と
なるので、抵抗値は、(R+△R)となるので、
第7図に示すブリツジ回路の端子a−b間の電圧
は、 (R−△R)i−(R+△R)i=2△Ri となる。
また、第6図bに示すように回転方向の力、F
が加わつた場合、歪ゲージ314g,314h及
び歪ゲージ314i,314jは全て縮み状態と
なるので、端子a−b間の電圧は、 (R−△R)i−(R−△R)i=0 となる。
が加わつた場合、歪ゲージ314g,314h及
び歪ゲージ314i,314jは全て縮み状態と
なるので、端子a−b間の電圧は、 (R−△R)i−(R−△R)i=0 となる。
従つて、歪ゲージ314g〜314jを第6図
のように貼付して、第7図の如き、ブリツジ回路
を構成することによりトルクの影響を受けること
なく、軸方向の力のみを検出することができる。
のように貼付して、第7図の如き、ブリツジ回路
を構成することによりトルクの影響を受けること
なく、軸方向の力のみを検出することができる。
尚、前述の説明については1軸(Y軸)方向の
場合についてしか説明していないが、同様にして
板ばね323bと324b等に貼付することによ
つて、XYZ軸方向の力をトルクの影響なしに検
出することができる。
場合についてしか説明していないが、同様にして
板ばね323bと324b等に貼付することによ
つて、XYZ軸方向の力をトルクの影響なしに検
出することができる。
第8図は軸回りのトルクを軸方向の力の影響な
しに検出する手法の説明図である。
しに検出する手法の説明図である。
第8図において、第6図と同一部分には同一番
号を付すことにより説明は省略する。第6図と異
なる点は、歪ゲージ314i,314jが板ばね
325aに貼付されている点、すなわち、歪ゲー
ジ314g〜314jが板ばねの同一面側が貼付
されている点である。また、夫々の歪ゲージ31
4g〜314jは中心点Dから同一の距離となる
ように貼付されている。
号を付すことにより説明は省略する。第6図と異
なる点は、歪ゲージ314i,314jが板ばね
325aに貼付されている点、すなわち、歪ゲー
ジ314g〜314jが板ばねの同一面側が貼付
されている点である。また、夫々の歪ゲージ31
4g〜314jは中心点Dから同一の距離となる
ように貼付されている。
更に、歪ゲージ314g〜314jは第7図の
ようにブリツジ回路を構成している。また歪ゲー
ジ314g〜314jは第9図のように板ばねに
貼付される。
ようにブリツジ回路を構成している。また歪ゲー
ジ314g〜314jは第9図のように板ばねに
貼付される。
尚、同一の歪ゲージで複数のブリツジ回路を組
むことはできないので、314h,314gは別
途貼付する必要がある。
むことはできないので、314h,314gは別
途貼付する必要がある。
従つて、第8図aに示すように軸方向の力Fが
加わつた場合、各歪ゲージ314g〜314jは
全て縮み状態となるので、端子a−b間の電圧
は、 (R−△R)i−(R−△R)i=0 となる。
加わつた場合、各歪ゲージ314g〜314jは
全て縮み状態となるので、端子a−b間の電圧
は、 (R−△R)i−(R−△R)i=0 となる。
また、同様に第8図bに示すように軸回りの力
Fが加わつた場合歪ゲージ314g,314hが
縮み状態となり、歪ゲージ314i,314jが
伸び状態となるので、端子a−b間の電圧は、 (R−△R)i−(R+△R)−2△Ri となる。
Fが加わつた場合歪ゲージ314g,314hが
縮み状態となり、歪ゲージ314i,314jが
伸び状態となるので、端子a−b間の電圧は、 (R−△R)i−(R+△R)−2△Ri となる。
従つて、軸方向の力の影響を受けることなく、
独立して軸回りの力、すなわちトルクを検出する
ことが可能となる。
独立して軸回りの力、すなわちトルクを検出する
ことが可能となる。
尚、以上の説明において、歪ゲージを中心点か
ら等しい距離の位置に配置するのは、同一の力に
対して、同一の電圧値になるようにするためであ
る。すなわち、距離が異なると板ばねの変位量も
異なるので、出力電圧が異なるためである。
ら等しい距離の位置に配置するのは、同一の力に
対して、同一の電圧値になるようにするためであ
る。すなわち、距離が異なると板ばねの変位量も
異なるので、出力電圧が異なるためである。
第10図に、さらに歪ゲージの貼付側を示す。
314h,314g,314i,314jの組合
せでトルクのみを検出し、314h,314g,
314i,314jの組合せで力のみを検出す
る。尚、同一の歪ゲージで複数のブリツジ回路を
含むことはできないので314h,314gは別
途貼付する必要がある。
314h,314g,314i,314jの組合
せでトルクのみを検出し、314h,314g,
314i,314jの組合せで力のみを検出す
る。尚、同一の歪ゲージで複数のブリツジ回路を
含むことはできないので314h,314gは別
途貼付する必要がある。
第10図は、第1図に示した力検出装置10を
備えたロボツトを駆動制御するための制御ブロツ
ク図である。
備えたロボツトを駆動制御するための制御ブロツ
ク図である。
図において115は操作パネルであり、指示部
を構成し、プレイバツク(再生)モード又はロボ
ツトに再生動作すべき位置を教示するための教示
モードを指定する釦やハンド20の位置や姿勢の
記憶、ハンド20の開又は閉動作をあるいはロボ
ツトの原点復帰を指令する釦等で構成され、オペ
レータが操作するものである。116はメモリで
あり、教示データ等を格納している。117はマ
イクロプロセツサ(以下プロセツサと称する)で
あり、プレイバツク時にメモリ116から教示デ
ータを読み出し、ハンド20の指令軌道を作成し
て後述する位置制御部へ送出したり、ハンド20
の開閉指令を後述するハンド開閉部へ送出するも
のである。118は位置制御部であり、プロセツ
サ117からの指令軌道に従つて位置又は速度制
御するため、指令軌道の各軸の移動量に対応する
周波数のパルス列Vx、Vy、Vzに変換して出力す
るものであり、プロセツサ117とによつて主制
御部を構成する。119はハンド位置検出部であ
り現在のハンド20の3次元位置(X、Y、Z)
を検出するため、各種の駆動源(モータ)に設け
られたエンコーダの出力Px、Py、Pzを受け、各
種の位置(X、Y、Z)を検出するものである。
120は力制御部であり、力検出装置10に取付
けられた各歪ゲージの出力信号が入力され、各モ
ジユール単位毎に構成される公知のブリツジ回路
を備えるものであり、X、Y、Z軸方向の追従指
令PFx、PFy、PFzを出力する。121はアーム
駆動回路であり、位置制御部118からの指令移
動量Vx、Vy、Vzと力制御部120からの追従移
動量PFx、PFy、PFzとの和によつて各軸の駆動
源をサーボ駆動するものであり、各軸の駆動源と
アーム駆動回路124によつてアーム駆動部を構
成し、ベース101、両アーム102,103と
アーム駆動部とによつてハンド20の駆動部を構
成する。122はハンド開閉部であり、プロセツ
サ117のハンド開閉指令により、ハンド20を
開閉駆動するものである。124はバスであり、
プロセツサ117とメモリ116、操作パネル1
15、位置制御部118、位置検出部119、ハ
ンド開閉部122とを接続するものである。
を構成し、プレイバツク(再生)モード又はロボ
ツトに再生動作すべき位置を教示するための教示
モードを指定する釦やハンド20の位置や姿勢の
記憶、ハンド20の開又は閉動作をあるいはロボ
ツトの原点復帰を指令する釦等で構成され、オペ
レータが操作するものである。116はメモリで
あり、教示データ等を格納している。117はマ
イクロプロセツサ(以下プロセツサと称する)で
あり、プレイバツク時にメモリ116から教示デ
ータを読み出し、ハンド20の指令軌道を作成し
て後述する位置制御部へ送出したり、ハンド20
の開閉指令を後述するハンド開閉部へ送出するも
のである。118は位置制御部であり、プロセツ
サ117からの指令軌道に従つて位置又は速度制
御するため、指令軌道の各軸の移動量に対応する
周波数のパルス列Vx、Vy、Vzに変換して出力す
るものであり、プロセツサ117とによつて主制
御部を構成する。119はハンド位置検出部であ
り現在のハンド20の3次元位置(X、Y、Z)
を検出するため、各種の駆動源(モータ)に設け
られたエンコーダの出力Px、Py、Pzを受け、各
種の位置(X、Y、Z)を検出するものである。
120は力制御部であり、力検出装置10に取付
けられた各歪ゲージの出力信号が入力され、各モ
ジユール単位毎に構成される公知のブリツジ回路
を備えるものであり、X、Y、Z軸方向の追従指
令PFx、PFy、PFzを出力する。121はアーム
駆動回路であり、位置制御部118からの指令移
動量Vx、Vy、Vzと力制御部120からの追従移
動量PFx、PFy、PFzとの和によつて各軸の駆動
源をサーボ駆動するものであり、各軸の駆動源と
アーム駆動回路124によつてアーム駆動部を構
成し、ベース101、両アーム102,103と
アーム駆動部とによつてハンド20の駆動部を構
成する。122はハンド開閉部であり、プロセツ
サ117のハンド開閉指令により、ハンド20を
開閉駆動するものである。124はバスであり、
プロセツサ117とメモリ116、操作パネル1
15、位置制御部118、位置検出部119、ハ
ンド開閉部122とを接続するものである。
第11図は第10図構成の力制御部20及びア
ーム駆動回路121の詳細構成図であり、図中、
第10図と同一のものは同一の記号を示す。
ーム駆動回路121の詳細構成図であり、図中、
第10図と同一のものは同一の記号を示す。
図において、120aは力成分検出回路であ
り、前述したように、各歪ゲージの出力から各軸
のり力成分Fx、Fy、Fzを検出するものである。
り、前述したように、各歪ゲージの出力から各軸
のり力成分Fx、Fy、Fzを検出するものである。
120b〜120dは各軸の追従指令発生回路
であり、各々力成分検出回路120aからの力成
分Fx、Ry、Fzからパルス列の追従指令PFx、
PFy、PFzを出力すものである。
であり、各々力成分検出回路120aからの力成
分Fx、Ry、Fzからパルス列の追従指令PFx、
PFy、PFzを出力すものである。
各追従指令発生回路120a〜120dは同一
の構成であり、追従指令発生回路120bはゲイ
ン調整用アンプ200b,201bと電圧/周波
数変換器(以下V/Fコンバータと称する)20
2b,203bで構成され、力成分Fxが正の極
性の時にはV/Fコンバータ202bからその大
きさに応じた周波数のパルス列(アツプパルス)
が、力成分Fxが負の極性の時にはV/Fコンバ
ータ203bからその大きさに応じた周波数のパ
ルス列(ダウンパルス)が、追従指令PFxとして
出力される。121b〜121cは、アーム駆動
回路121の各軸の駆動回路であり、同一の構成
であり、追従指令PFx、PFy、PFzと移動指令Vx、
Vy、Vzとの和を受け、各軸駆動源の電流指令
(駆動信号)Sx、Sy、Szを各々出力するものであ
る。
の構成であり、追従指令発生回路120bはゲイ
ン調整用アンプ200b,201bと電圧/周波
数変換器(以下V/Fコンバータと称する)20
2b,203bで構成され、力成分Fxが正の極
性の時にはV/Fコンバータ202bからその大
きさに応じた周波数のパルス列(アツプパルス)
が、力成分Fxが負の極性の時にはV/Fコンバ
ータ203bからその大きさに応じた周波数のパ
ルス列(ダウンパルス)が、追従指令PFxとして
出力される。121b〜121cは、アーム駆動
回路121の各軸の駆動回路であり、同一の構成
であり、追従指令PFx、PFy、PFzと移動指令Vx、
Vy、Vzとの和を受け、各軸駆動源の電流指令
(駆動信号)Sx、Sy、Szを各々出力するものであ
る。
駆動回路121aは一対のオア回路210a,
211aとサーボ回路212aとで構成され、オ
ア回路210aは移動指令Vxのアツプパルスと
追従指令PFxのアツプパルスの論理和をサーボ回
路212aへ与え、オア回路211aは移動支令
Vxのダウンパルスと追従指令PFxのダウンパルス
の論理和をサーボ回路212aへ与えるものであ
る。
211aとサーボ回路212aとで構成され、オ
ア回路210aは移動指令Vxのアツプパルスと
追従指令PFxのアツプパルスの論理和をサーボ回
路212aへ与え、オア回路211aは移動支令
Vxのダウンパルスと追従指令PFxのダウンパルス
の論理和をサーボ回路212aへ与えるものであ
る。
一方、サーボ回路212aはアツプダウンカウ
ンタとデイジタル・アナログ変換器(D/Aコン
バータ)と、サーボアンプで構成され、アツプダ
ウンカウンタがオア回路210aの出力をアツプ
カウントし、オア回路210aの出力をダウンカ
ウントすると共に、位置検出部119からの位置
パルスPxをダウン又はアツプカウントし、指令
位置と変位置との差を求め、D/Aコンバータで
アナログ量に変換して、これをサーボアンプで増
幅し、電流指令を出力する周知のものである。
ンタとデイジタル・アナログ変換器(D/Aコン
バータ)と、サーボアンプで構成され、アツプダ
ウンカウンタがオア回路210aの出力をアツプ
カウントし、オア回路210aの出力をダウンカ
ウントすると共に、位置検出部119からの位置
パルスPxをダウン又はアツプカウントし、指令
位置と変位置との差を求め、D/Aコンバータで
アナログ量に変換して、これをサーボアンプで増
幅し、電流指令を出力する周知のものである。
以上説明した構成において、ハンド20に力が
加わると力検出装置10から力の加わつた方向に
対する歪ゲージから信号が出力され、力成分検出
回路120aに入力される。力成分検出回路12
0aでは歪ゲージからの信号に基づいて各軸の力
成分Fx、Fy、Fzが検出され、各々は各軸の追従
指令発生回路120b〜120dに入力される。
加わると力検出装置10から力の加わつた方向に
対する歪ゲージから信号が出力され、力成分検出
回路120aに入力される。力成分検出回路12
0aでは歪ゲージからの信号に基づいて各軸の力
成分Fx、Fy、Fzが検出され、各々は各軸の追従
指令発生回路120b〜120dに入力される。
追従指令発生回路120b〜120dは検出さ
れた力成分Fx、Fy、Fzの極性に応じてアツプ又
はダウンパルスをその大きさに応じた周波数で出
力する。
れた力成分Fx、Fy、Fzの極性に応じてアツプ又
はダウンパルスをその大きさに応じた周波数で出
力する。
このパルス列の追従指令は、通常の移動指令
Vx〜Vzと同様に、駆動回路121a〜121c
に入力され、各軸駆動源の電流指令(駆動信号)
Sx、Sy、Szとして出力され、ハンド20に加わつ
た力が零になる方向にロボツトのX、Y、Z軸を
駆動せしめる。
Vx〜Vzと同様に、駆動回路121a〜121c
に入力され、各軸駆動源の電流指令(駆動信号)
Sx、Sy、Szとして出力され、ハンド20に加わつ
た力が零になる方向にロボツトのX、Y、Z軸を
駆動せしめる。
以上説明したように、本発明に係る力検出装置
は、互に直交する方向に変位する2つの平行板バ
ネにより十字形状体の各辺を構成し、十字形状体
の中心点又は十字形状体側面の中心に関し対称位
置に歪ゲージ等の変位測定手段を設け、十字の中
央部に力を作用させ、十字各辺端部を、支持枠に
対し各辺の長軸廻りに回転可能なトーシヨンバー
を介して支持しているため、軸廻りの微少なトル
クを高速度で検出でき、また各歪ゲージには1方
向の力成分およびトルクのみが作用し、他方向の
力成分およびトルクは作用せず、従つて、複雑な
回路を構成することなく、単純な演算式により短
時間で力ベクトル成分が算出できる。このため、
ロボツト等の外力検出に用いた場合、外力に対応
して直ちに外力を打消す方向にロボツトを移動制
御することができ、ロボツトの高速制御が可能と
なり、ロボツトによる作業の信頼性が向上する。
また、平行板バネを変位規制手段(ストツパ)と
ともに形成しておけば、力検出装置が塑性変形あ
るいは損壊することはなく安定した機能が果され
る。
は、互に直交する方向に変位する2つの平行板バ
ネにより十字形状体の各辺を構成し、十字形状体
の中心点又は十字形状体側面の中心に関し対称位
置に歪ゲージ等の変位測定手段を設け、十字の中
央部に力を作用させ、十字各辺端部を、支持枠に
対し各辺の長軸廻りに回転可能なトーシヨンバー
を介して支持しているため、軸廻りの微少なトル
クを高速度で検出でき、また各歪ゲージには1方
向の力成分およびトルクのみが作用し、他方向の
力成分およびトルクは作用せず、従つて、複雑な
回路を構成することなく、単純な演算式により短
時間で力ベクトル成分が算出できる。このため、
ロボツト等の外力検出に用いた場合、外力に対応
して直ちに外力を打消す方向にロボツトを移動制
御することができ、ロボツトの高速制御が可能と
なり、ロボツトによる作業の信頼性が向上する。
また、平行板バネを変位規制手段(ストツパ)と
ともに形成しておけば、力検出装置が塑性変形あ
るいは損壊することはなく安定した機能が果され
る。
第1図は本発明に係る力検出装置の構成図、第
2図は第1図の力検出装置を備えたロボツトの手
首の構成図、第3図は第2図の一部を示す部分斜
視図、第4図および第5図は本発明の力検出装置
の動作説明図、第6図は軸方向の力の検出手法の
説明図、第7図は歪ゲージのブロツク回路図、第
8図は軸廻りの力の検出手法の説明図、第9図は
歪ゲージの貼付説明図、第10図は本発明が適用
されるロボツトの制御ブロツク図、第11図は本
発明が適用されるロボツトの駆動回路図、第12
図は従来技術の説明図である。 10……力検出装置、11,12,13……平
行板バネ、14……変位規制部材、15a,16
b……軸受、e1〜e20……歪ゲージ、17……ス
リツト、18……アーム、19……支持枠、20
……ハンド。
2図は第1図の力検出装置を備えたロボツトの手
首の構成図、第3図は第2図の一部を示す部分斜
視図、第4図および第5図は本発明の力検出装置
の動作説明図、第6図は軸方向の力の検出手法の
説明図、第7図は歪ゲージのブロツク回路図、第
8図は軸廻りの力の検出手法の説明図、第9図は
歪ゲージの貼付説明図、第10図は本発明が適用
されるロボツトの制御ブロツク図、第11図は本
発明が適用されるロボツトの駆動回路図、第12
図は従来技術の説明図である。 10……力検出装置、11,12,13……平
行板バネ、14……変位規制部材、15a,16
b……軸受、e1〜e20……歪ゲージ、17……ス
リツト、18……アーム、19……支持枠、20
……ハンド。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 X方向に変位する平行板バネおよびZ方向に
変位する平行板バネからなる2つの平行板バネ組
体と、Y方向に変位する平行板バネおよびZ方向
に変位する平行板バネからなる2つの平行板バネ
組体とによりXY方向の十字形状体を構成し、各
平行板バネ上の十字形状体上面又は側面の中心点
に関し対称な位置に変位検出手段を設け、該十字
形状体の中央部に検出すべき力の作用部材を連結
し、上記十字形状体の各辺端部を、X、Y方向に
沿つた各辺の長手方向軸廻りにねじれ回転可能な
トーシヨンバーを介して支持枠に保持した力検出
装置。 2 矩形断面の4辺からなる十字状構造体の4つ
の各辺に互に直交する方向にコ字形スリツトを設
けることにより上記十字形状体各辺の2つの平行
板バネを形成した特許請求の範囲第1項記載の力
検出装置。 3 上記コ字形スリツトの内側部材を平行板バネ
の変位量を規制するためのストツパ手段とした特
許請求の範囲第2項記載の力検出装置。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60122739A JPS61292029A (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | 力検出装置 |
CA000491259A CA1259816A (en) | 1984-09-29 | 1985-09-20 | Force-detecting apparatus |
US06/779,640 US4762006A (en) | 1984-09-29 | 1985-09-24 | Force-detecting apparatus |
ES547380A ES8609704A1 (es) | 1984-09-29 | 1985-09-27 | Un aparato detector de fuerza |
DE8585306871T DE3584066D1 (de) | 1984-09-29 | 1985-09-27 | Kraftmessvorrichtung. |
AU48139/85A AU564927B2 (en) | 1984-09-29 | 1985-09-27 | Force detecting apparatus |
EP85306871A EP0177284B1 (en) | 1984-09-29 | 1985-09-27 | Force-detecting apparatus |
KR1019850007175A KR910000267B1 (ko) | 1984-09-29 | 1985-09-28 | 외력 검출장치 |
US07/192,184 US4862751A (en) | 1984-09-29 | 1988-05-10 | Force-detecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60122739A JPS61292029A (ja) | 1985-06-07 | 1985-06-07 | 力検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61292029A JPS61292029A (ja) | 1986-12-22 |
JPH0310893B2 true JPH0310893B2 (ja) | 1991-02-14 |
Family
ID=14843391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60122739A Granted JPS61292029A (ja) | 1984-09-29 | 1985-06-07 | 力検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61292029A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP4271475B2 (ja) | 2003-03-31 | 2009-06-03 | 株式会社ワコー | 力検出装置 |
JP5057449B2 (ja) * | 2007-09-12 | 2012-10-24 | 国立大学法人広島大学 | ロボットハンド |
JP6476730B2 (ja) | 2014-10-21 | 2019-03-06 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置及びロボット |
-
1985
- 1985-06-07 JP JP60122739A patent/JPS61292029A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61292029A (ja) | 1986-12-22 |
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