JP2022094042A - 検出装置、検出方法、ロボット装置、ロボット装置の制御方法、ロボット装置を用いた物品の製造方法、駆動装置、制御プログラムおよび記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】外乱が生じた場合でも処理が停止してしまう可能性を低減することができる検出装置を提供する。【解決手段】第１部位と、連結部を介して第１部位に連結された第２部位と、第１部位と第２部位との相対変位に応じた信号を出力する第１センサと第２センサとを備え、第１センサの信号を受信する第１処理回路と、第２センサの信号を受信する第２処理回路とが設けられている、ことを特徴とする検出装置を採用した。【選択図】図４

Description

本発明は、検出装置に関する。

物品の生産の用途にロボットプログラムに従って動作するロボット装置が用いられている。組立動作において精度が要求される物品の生産に関しては、ロボット装置にトルクといった力の情報を取得できる検出装置を配置し、ロボット装置に作用する力を計測してロボット装置の動作を制御する制御方法が用いられている。特許文献１には、ロボットアームによく用いられる波動減速機に備えられるトルクセンサを有するトルク検出装置について記載されている。このトルク検出装置において、トルクセンサは検出要素が励磁コイルによって構成されており、励磁コイルの誘導起電力を検出することでトルクとして出力する信号処理回路を備えている。

特開平１１－１４４７４号公報

ここで、検出装置をロボットアームに設ける場合、耐ノイズ性などを考慮して、励磁コイル等の検出要素と共に信号処理回路もロボットアーム内に配置されることが多い。そのため検出要素と信号処理回路の配置位置によっては、ロボットアームにおいて外乱によるクラッシュが発生する場合、検出要素は無事だが、信号処理回路が故障する場合がある。特許文献１に記載の技術では、励磁コイル（検出要素）からの誘導起電力（検出結果）は１つの信号処理回路に送られている。そのため、励磁コイル（検出要素）は無事だが、信号処理回路が故障した場合、トルクを算出する処理が停止してしまうため、ロボットアームを動作させることができなくなり、生産性の低下を招いてしまう。

本発明は上述した課題を解決するためになされたものであって、外乱が生じた場合でも処理が停止してしまう可能性を低減することができる検出装置を提供することを目的とする。

上記の課題を鑑み、本発明においては、第１部位と連結部を介して前記第１部位に連結された第２部位と、前記第１部位と前記第２部位との相対変位に応じた信号を出力する第１センサと第２センサとを備え、前記第１センサの信号を受信する第１処理回路と、前記第２センサの信号を受信する第２処理回路とが設けられている、ことを特徴とする検出装置を採用した。

本発明によれば、外乱が生じた場合でも処理が停止してしまう可能性を低減することができる。

実施形態におけるロボットシステム１０００の概略図である。 実施形態における関節Ｊ２の概略図である。 実施形態におけるロボットシステム１０００の制御系を示す制御ブロック図である。 実施形態におけるトルクセンサ５００の詳細図である。 実施形態における第１センサ部５１０、第２センサ部５１１の詳細図である。 実施形態におけるトルクセンサ５００の制御系を示す制御ブロック図である。 実施形態におけるトルクセンサ５００の変位量を算出する方法を説明する図である。 実施形態におけるトルクセンサ５００の詳細図である。 実施形態におけるトルクセンサ５００をロボットアーム本体２００に設置した際の図である。 実施形態におけるトルクセンサ５００の概略図である。 実施形態におけるロボットシステム１０００の制御系を示す制御ブロック図である。 実施形態における制御フローチャートである。

以下、添付図面に示す実施例を参照して本発明を実施するための形態につき説明する。なお、以下に示す実施例はあくまでも一例であり、例えば細部の構成については本発明の趣旨を逸脱しない範囲において当業者が適宜変更することができる。また、本実施形態で取り上げる数値は、参考数値であって、本発明を限定するものではない。なお以下の図面において、図中の矢印Ｘ、Ｙ、Ｚはロボットシステムの全体の座標系を示す。一般に、ＸＹＺ３次元座標系は、設置環境全体のワールド座標系を示す。その他、制御の都合などによって、ロボットハンド、指部、関節などに関して適宜ローカル座標系を用いる場合がある。本実施形態では全体の座標系であるワールド座標系をＸＹＺ、ローカル座標系をｘｙｚで表すものとする。

（第１の実施形態）
図１は、本実施形態におけるロボットシステム１０００を、ＸＹＺ座標系のある方向から見た平面図である。図１に示すように、ロボットシステム１０００は、多関節のロボットアーム本体２００、ロボットハンド本体３００、ロボットアーム本体２００およびロボットハンド本体３００の動作を制御する制御装置４００を備えている。

また、制御装置４００に教示データを送信する教示装置としての外部入力装置８００を備えている。外部入力装置８００の一例としてティーチングペンダントが挙げられ、作業者がロボットアーム本体２００やロボットハンド本体３００の位置を指定するのに用いる。

本実施形態では、エンドエフェクタとしてロボットアーム本体２００の先端部に設けられるものが、ロボットハンドである場合について説明するが、これに限定するものではなく、ツール等であってもよい。

ロボットアーム本体２００の基端となるリンク２０１は、基台２１０に設けられている。ロボットハンド本体３００は、部品やツール等の対象物を把持するものである。本実施形態のロボットハンド本体３００は詳細不図示の駆動機構により２本の指部３０１を開閉し、対象物の把持ないし開放を行う。対象物をロボットアーム本体２００に対して相対的に変位させないように把持できれば良い。ロボットハンド本体３００はリンク２０６に接続され、リンク２０６が回転することで、ロボットハンド本体３００も回転させることができる。

ロボットアーム本体２００は、複数の関節、例えば６つ関節（６軸）を有している。ロボットアーム本体２００は、各関節Ｊ１～Ｊ６を各回転軸Ａ１～Ａ６まわりにそれぞれ回転駆動させる複数（６つ）のサーボモータ２１１～２１６を有している。

ロボットアーム本体２００は、複数のリンク２０１～２０６が各関節Ｊ１～Ｊ６で回転可能に連結されている。ここで、ロボットアーム本体２００の基端側から先端側に向かって、リンク２０１～２０６が順に直列に連結されている。

ロボットアーム本体２００は、可動範囲の中であれば、任意の３次元位置で任意の３方向の姿勢に、ロボットアーム本体２００のエンドエフェクタ（ロボットハンド本体３００）を向けることができる。

ここで、ロボットアーム本体２００の手先とは、本実施形態では、ロボットハンド本体３００のことである。ロボットハンド本体３００が物体を把持している場合は、ロボットハンド本体３００と把持している物体（例えば部品やツール等）とを含めてロボットアーム本体２００の手先という。つまり、ロボットハンド本体３００が物体を把持している状態であるか物体を把持していない状態であるかにかかわらず、エンドエフェクタであるロボットハンド本体３００を手先という。

以上の構成により、ロボットアーム本体２００によりロボットハンド本体３００を任意の位置に動作させ、所望の作業を行わせることができる。所望の作業とは例えば、対象物同士を組み付け物品の製造を行う等の作業である。物品の製造とは例えば、ロボットハンド本体３００により所定のワークを把持し、ロボットアーム本体２００により他方のワークと接触させワーク同士を組み付ける処理を行うことで物品の製造を行う。物品の材料としては所定のワークと他のワークである。実行させる作業としては他にも搬送作業、組み立て作業、加工作業、又は塗布作業である。加工作業は、例えば切削作業、研削作業、研磨作業、又はシーリング作業などが考えられる。

図２は、本実施形態におけるロボットアーム本体２００の関節Ｊ２のＸＺ平面における部分断面図である。関節Ｊ２以外の関節も下記で述べる構成と同等の構成を有するものとする。関節Ｊ２は、駆動源である電動のモータ１４１と、モータ１４１の回転軸１４２に接続され、回転軸１４２の回転を減速して出力する減速機１４３を備えている。減速機１４３は例えば波動歯車減速機である。モータ１４１には、回転軸１４２の回転位置を検出するエンコーダ１６１を備えている。

減速機１４３は、モータ１４１の回転軸１４２に連結されたウェブジェネレータ１５１と、リンク２０２に固定されたサーキュラスプライン１５２を備えている。また、ウェブジェネレータ１５１とサーキュラスプライン１５２との間に配置されたフレクスプライン１５３とを備えている。フレクスプライン１５３とリンク２０１との間には、力の情報を検出する検出装置の一例であるトルクセンサ５００が設けられている。

モータ１４１の回転軸１４２は、軸Ａ２を中心に回転する。リンク２０１とリンク２０２とは、クロスローラベアリング１４７を介して回転可能に連結されている。モータ１４１は、サーボモータであり、例えばブラシレスＤＣサーボモータやＡＣサーボモータである。なお、サーキュラスプライン１５２は、リンク２０２に連結されているが、リンク２０２と一体に形成されていてもよい。

フレクスプライン１５３とサーキュラスプライン１５２とは、ウェブジェネレータ１５１の回転に対して所定の減速比で減速された回転で互いに相対的に回転する。したがって、リンク２０１を固定されるリンクとした場合、フレクスプライン１５３が固定されるため、サーキュラスプライン１５２が所定の減速比で減速された回転で回転する。よってサーキュラスプライン１５２が連結されたリンク２０２は、リンク２０１に対して、軸Ａ２まわりに回転する。

よってトルクセンサ５００は、リンク２０２を回転させる際に生じるトルクを、フレクスプライン１５３を介して検出する。すなわちリンク２０１とリンク２０２間にかかる軸Ａ２まわりのトルクを計測し、計測値であるトルク値に応じた電気信号を制御装置４００に出力する。

図３は、本実施形態におけるロボットシステム１０００の構成を示すブロック図である。制御装置４００は、コンピュータで構成されており、制御部（処理部）としてのＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）４０１を備えている。

また制御装置４００は、記憶部として、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）４０２、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）４０３、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）４０４を備えている。また、制御装置４００は、記録ディスクドライブ４０５を備え、各種のインタフェース４０６～４０９、４１１、４１２とバス４１０を介して接続されている。

ＣＰＵ４０１には、ＲＯＭ４０２、ＲＡＭ４０３、ＨＤＤ４０４、記録ディスクドライブ４０５、各種のインタフェース４０６～４０９、４１１、４１２が、バス４１０を介して接続されている。ＲＯＭ４０２には、ＢＩＯＳ等の基本プログラムが格納されている。ＲＡＭ４０３は、ＣＰＵ４０１の演算処理結果等、各種データを一時的に記憶する記憶装置である。

ＨＤＤ４０４は、ＣＰＵ４０１の演算処理結果や外部から取得した各種データ等を記憶する記憶装置であると共に、ＣＰＵ４０１に、演算処理を実行させるためのプログラム４３０を記録するものである。ＣＰＵ４０１は、ＨＤＤ４０４に記録（格納）されたプログラム４３０に基づいて、トルクセンサ５００の検出結果に基づくロボット制御方法の各工程を実行する。

記録ディスクドライブ４０５は、記録ディスク４３１に記録された各種データやプログラム等を読み出すことができる。

外部入力装置８００はインタフェース４０６に接続されている。ＣＰＵ４０１はインタフェース４０６及びバス４１０を介して外部入力装置８００からの教示データの入力を受ける。

インタフェース４０７には、モニタ４２１が接続されており、モニタ４２１には、ＣＰＵ４０１の制御の下、各種画像が表示される。インタフェース４０８は、書き換え可能な不揮発性メモリや外付けＨＤＤ等の記憶部である外部記憶装置４２２が接続可能に構成されている。

アーム用モータドライバ２３０は、インタフェース４０９に接続されている。関節Ｊ１～Ｊ６に設けられた各モータ１４１には、モータの回転軸１４２の回転角度を検出するためのエンコーダ１６１がそれぞれ設けられている。ＣＰＵ４０１は、アーム用モータドライバ２３０、インタフェース４０９及びバス４１０を介して各関節Ｊ１～Ｊ６のエンコーダ１６１から検出結果を取得する。ＣＰＵ４０１は、エンコーダ１６１の検出結果に基づく各関節の指令値のデータを所定時間間隔でバス４１０及びインタフェース４０９を介してアーム用モータドライバ２３０に出力する位置制御を行うことができる。

また、各関節Ｊ１～Ｊ６に設けられた、トルクセンサ５００が、インタフェース４１１およびバス４１０を介してＣＰＵ４０１に接続されている。ＣＰＵ４０１は、インタフェース４１１及びバス４１０を介して各トルクセンサ５００から検出結果を取得する。これにより、トルクセンサ５００の検出結果に基づく各関節の指令値のデータを所定時間間隔でバス４１０及びインタフェース４１０を介してアーム用モータドライバ２３０に出力する力制御（トルク制御）も可能となる。

同様にハンド用モータドライバ３３０も、インタフェース４１２に接続され、バス４１０を介してＣＰＵ４０１と通信可能に設けられている。ＣＰＵ４０１は、ロボットハンド本体３００の各指部３０１の指令値のデータを所定時間間隔でバス４１０及びインタフェース４１１を介してハンド用モータドライバ３３０に出力する。不図示ではあるが、ロボットハンド本体３００には、指部３０１を駆動させるためのモータを備え、ハンド用モータドライバ３３０に接続されているものとする。

なお本実施形態では、コンピュータ読み取り可能な記録媒体がＨＤＤ４０４であり、ＨＤＤ４０４にプログラム４３０が格納される場合について説明するが、これに限定するものではない。プログラム４３０は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体であれば、いかなる記録媒体に記録されていてもよい。例えば、プログラム４３０を供給するための記録媒体としては、ＲＯＭ４０２、記録ディスク４３１、外部記憶装置４２２等を用いてもよい。具体例を挙げて説明すると、記録媒体として、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ－ＲＯＭ、ＣＤ－Ｒ、磁気テープ、不揮発性メモリ、ＲＯＭ等を用いることができる。

図４は本実施形態におけるトルクセンサ５００の詳細図である。図４（ａ）は本実施形態におけるトルクセンサ５００の斜視図である。図４（ｂ）は本実施形態における構造体５９０と各算出部との関係を示す模式図である。図４（ａ）（ｂ）より、トルクセンサ５００は、構造体５９０と、センサ部５１０、５１１、センサ部５１０、５１１からの検出結果に基づきトルクを算出する第１算出部５３１と第２算出部５３２を備えている。構造体５９０は、フレクスプラインおよびリンクへの締結部となる、第１部位としての第１締結部５０１と、他方に締結される第２部位としての第２締結部５０２を有している。

第１締結部５０１、第２締結部５０２は、平板状の部材であり、例えば図４（ａ）に示すように軸Ａ２を中心とする円環形状となっている。第１締結部５０１、第２締結部５０２には、フレクスプラインおよびリンクにそれぞれボルト等で締結可能なようにボルト穴５０３を、回転軸Ａ２を中心に放射状に互いに間隔をあけて所定数配置されている。

また、第１締結部５０１と第２締結部５０２とは、軸Ａ２方向（Ｚ軸方向）に間隔をあけて互いに対向する位置に配置されるように連結部としての弾性体５０４で連結されている。弾性体５０４は、回転軸Ａ２を中心に放射状に互いに間隔をあけて配置された複数の板ばねであり、これにより第１締結部５０１と第２締結部５０２とは、作用したトルクの大きさに応じた回転量で回転軸Ａ２を中心とする回転方向に相対的に変位可能となっている。

弾性体５０４は、目的とするトルクの計測範囲および必要とする分解能などに応じた弾性係数、即ちばね係数を有する材質で構成される。弾性体５０４の材質は、例えば樹脂や金属である。金属としては、鋼材、ステンレスなどが挙げられる。本実施形態では第１締結部５０１、第２締結部５０２及び弾性体５０４は、同じ材質であり、ステンレスを使用するものとする。なお、第１締結部５０１、第２締結部５０２の形状はこれに限定するものではなく、例えば円盤形状であってもよい。

また構造体５９０は、第１締結部５０１と第２締結部５０２との相対的な変位、即ち第１締結部５０１と第２締結部支持部５０２との間に作用したトルクによって、相対的に変位した回転量を計測する第１センサ部５１０、第２センサ部５１１を有する。本実施形態では、第１センサ部５１０、第２センサ部５１１は、同一の構成であり、軸Ａ２を基準に１８０度対称な位置に配置されている。

図５は、本実施形態における第１センサ部５１０、第２センサ部５１１の詳細図である。図５（ａ）は第１センサ部５１０、第２センサ部５２０が有するスケール５２１とヘッド５２２との位置関係を示した図である。図５（ｂ）はヘッド５２２の詳細図である。図５ｃ）はスケール５２１の詳細図である。

図５（ａ）より、第１センサ部５１０、第２センサ部５１１は、ヘッド５２２とスケール５２１とを有するインクリメンタル形の光学式エンコーダである。本実施形態では光学式エンコーダを用いるが用途に応じて磁気式、静電容量式を用いても構わない。本実施形態ではヘッド５２２が第１締結部５０１に設けられ、スケール５２１が第２締結部５０２に設けられる。軸Ａ２を中心とする第１締結部５０１と第２締結部５０２との相対的な変位は、微小な変位であり、並進方向であるＸ方向またはＹ方向の変位とみなすことができる。したがって本実施形態のトルクセンサ５００のエンコーダは、リニアエンコーダを用いている。変位が大きい場合はロータリーエンコーダを用いても構わない。

図５（ａ）（ｂ）より、ヘッド５２２は、例えば反射型のヘッドであり、発光素子５５１及び受光素子５５２を有する。発光素子５５１上にはインデックス格子パターン５５３が配置されている。詳細な図示は省略しているが、ヘッド５２２の受光素子５５２は、例えば千鳥配置の複数相、例えばＡ、Ｂの２相に配置された受光素子のサブアレイを有する。

図５（ａ）（ｃ）より、スケール５２１は、例えば光を反射する反射型のスケールであり、格子配列の光学パターン５４１を有する。光学パターン５４１は、例えばＡｌ、Ｃｒで形成されている。

ヘッド５２２の発光素子５５１の光をスケール５２１に照射し、反射された光を受光素子５２２が受光する。第１締結部５０１と第２締結部５０２とが相対的に移動すると受光素子５２２の受光状態が変化し、受光素子５５２から出力される信号が変化する。この受光素子５５２のサブアレイからそれぞれ得られるＡ、Ｂの２相のアナログ信号を処理することにより、第１締結部５０１と第２締結部５０２との相対的な変位を、ある基準位置を起点とする相対的な変位量として取得することができる。

トルクセンサ５００の計測範囲は、トルクセンサ５００に加わる最大外力と、その外力が生じる弾性体５０４の変形量から決定される。この計測範囲は、スケール５２１の長さを任意に変更することで自由に設定することができる。スケール５２１のパターン５４１のピッチは、変位計測に必要とされる分解能などに応じて決定するが、エンコーダの高精度化及び高分解能化に伴い、μｍオーダのピッチのものも利用可能である。

図４（ｂ）に戻り、第１算出部５３１、第２算出部５３２について説明する。第１算出部５３１は配線５３３により構造体５９０から所定の距離、離間された状態で、第１検出部５１０のヘッド５２２に接続されている。また、第２算出部５３２は配線５３４により構造体５９０から所定の距離、離間された状態で、第２検出部５１１のヘッド５２２に接続されている。

第１算出部５３１は第１センサ部５１０のヘッド５２２からの信号を受信し、信号に基づき第１締結部５０１と第２締結部５０２との相対的な変位量を求める。同様に第２算出部５３２は第２センサ部５１１のヘッド５２２からの信号を受信し、信号に基づき第１締結部５０１と第２締結部５０２との相対的な変位量を求める。そして、第１算出部５１０と第２算出部５１１は、求めた変位量と、弾性体５０４の弾性に関するパラメータ（弾性係数）もしくは構造体５９０に関する剛性パラメータに基づきトルク値を算出して、配線５３５、５３６を介して制御装置４００に出力する。

図６は本実施形態におけるトルクセンサ５００の制御系を示す制御ブロック図である。図６（ａ）は各算出部と制御装置４００とヘッド５２２との制御系を示す制御ブロック図である。図６（ｂ）はＣＰＵ６１３が有する機能ブロック図である。トルクセンサ５００の第１算出部５３１、第２算出部５３２は、マイクロコンピュータ等で構成されている。第１算出部５３１、第２算出部５３２は、ＣＰＵ６１３を有する。記憶部としては、ＲＯＭ６１４と、ＲＡＭ６１６と、を有する。更に、複数のインタフェース６１１、６１２と、バス６１０とを有する。ＣＰＵ６１３と、ＲＯＭ６１４と、ＲＡＭ６１６と、インタフェース６１１、６１２とは、互いに通信可能にバス６１０で接続されている。

ＣＰＵ６１３は、上記述べたヘッド５２２からの信号に基づき変位量を求め、弾性体５０４の弾性に関するパラメータ（弾性係数）もしくは構造体５９０に関する剛性パラメータによりトルク値を求める演算処理を行う。ＲＯＭ６１４は、ＣＰＵ６１３に演算処理を実行させるためのプログラム６１５、弾性体５０４の弾性に関するパラメータ（弾性係数）もしくは構造体５９０に関する剛性パラメータを記憶する記憶装置、即ち記録媒体である。ＲＡＭ６１６は、ＣＰＵ６１３の演算処理結果（トルク値）等、各種データを一時的に記憶する記憶装置である。

インタフェース６１１は、制御装置４００が有するインタフェース４１１と通信可能に接続されており、インタフェース４１１、６１１を介して制御装置４００にトルク値を示す信号を送信する。インタフェース６１２には、ヘッド５２２と通信可能なように接続されている。インタフェース６１２は、ヘッド５２２の発光素子５５１を点滅させるとともに、受光素子５５２からの信号をＣＰＵ６１３に送信する。

図６（ｂ）より、ＣＰＵ６１３がプログラム６１５を実行することにより、ＣＰＵ６１３が、変位算出部６３１、素子故障検出部６３２、トルク算出部６３４として機能する。以下、各部の機能について詳細に説明する。

図７は、のヘッド５２２が出力する電圧信号を説明するための図である。図７の紙面左側のグラフは横軸に第１締結部５０１と第２締結部５０２との相対的な変位量、縦軸にヘッド５２２から出力される電圧信号をとったグラフである。図７の紙面右側のグラフは横軸に第１締結部５０１と第２締結部５０２との相対的な変位量、縦軸にインクメンタル変位信号をとったグラフである。

図７より、ヘッド５２２は、計測結果としてＡ相電圧信号Ｖ_ＡとＢ相電圧信号Ｖ_Ｂとを出力する。電圧信号Ｖ_Ａ、Ｖ_Ｂは、位相の異なる正弦波の電圧信号である。図６（ｂ）に示す変位算出部６３１は、入力を受けた電圧信号Ｖ_Ａ、Ｖ_Ｂから逆正接ｔａｎ^－１（Ｖ_Ａ／Ｖ_Ｂ）を演算する。これにより、第１締結部５０１と第２締結部５０２との相対的な変位量に対応するインクリメンタル（相対）変位信号である計測値Ｄ_Ｙを求めることができる。

図６（ｂ）の変位算出部６３１には素子故障診断部６３２が含まれる。Ａ相電圧信号Ｖ_ＡとＢ相電圧信号Ｖ_Ｂの電圧振幅が所定の値以下であれば、エンコーダの劣化が進んでいると判定できる。具体的には、記憶部であるＲＯＭ６１４に予め故障と判定する振幅値を設定することで故障検出をすることができる。以上より、素子故障検出部６３２は、第１センサ部５１０、第２センサ部５１１の状態を検出する状態検出部として機能する。

図６（ｂ）に示すトルク算出部６３４は、変位量Ｄ_ｙに基づき、第１締結部５０１と第２締結部５０２とのに作用したトルクを求める。具体的には、トルク算出部６３４は、弾性体５０４の弾性から決定される変換係数を、変位量Ｄ_ｙに乗ずることでトルクを求める。この変換係数は、記憶部であるＲＯＭ６１４に記憶されており、トルク算出部６３４は、ＲＯＭ６１４に記憶された変換係数を用いてトルクを求める。以上のようにして第１算出部５３１、第２算出部５３２はそれぞれでトルクを取得することができる。計測された各トルクの値は、制御装置４００に送信される。制御装置４００は第１算出部５３１、第２算出部５３２のどちらかまたは両方を使用してロボットアーム本体２００の力制御を行うことができる。

以上、本実施形態では、トルクを算出するための信号処理回路を複数設けている。これにより、ロボットアーム本体２００に外乱が生じ、片方の信号処理回路が故障した場合でも、他方の信号処理回路を用いてトルクを算出する処理を継続することができ、トルク算出のための処理が停止してしまう可能性を低減することができる。これにより、１箇所の算出部が故障したとしても制御装置４００は他方の算出部を使用して力制御を継続することができる。さらに、トルクを算出するための信号処理回路となる第１算出部５３１、第２算出部５３２を、配線５３３、５３４により、ロボットアームとの締結部分である、第１締結部５０１、第２締結部５０２から所定の距離、離間して配置できるので、ロボットアームに生じた外乱の影響を低減できる。よってさらに、トルク算出のための処理が停止してしまう可能性を低減することができる。

（第２の実施形態）
上述の第１の実施形態では、第１算出部５３１、第２算出部５３２と、を配線５３３、５３４により、ロボットアームとの締結部分である、第１締結部５０１、第２締結部５０２から所定の距離、離間する構成について述べたがこれに限られない。以下で詳述する。以下では、第１の実施形態とは異なるハードウェアや制御系の構成の部分について図示し説明する。また、第１の実施形態と同様の部分については上記と同様の構成ならびに作用が可能であるものとし、その詳細な説明は省略するものとする。また、第１の実施形態と同一ないし同等の部材や制御機能については、同一の参照符号を用いる。

図８は本実施形態におけるトルクセンサ５００の詳細な図である。図８（ａ）はトルクセンサ５００の第１締結部５０１の上面から見た図、図８（ｂ）はトルクセンサ５００の第２締結部５０２の下面から見た図である。第１の実施形態と同様、構造体５９０として、複数の板ばねである弾性体５０４が、第１締結部５０１及び第２締結部５０２とを連結するように回転軸Ａ２を中心に放射状に配置されている。構造体５９０の各部位は、目的のトルク検出範囲およびその必要分解能などに応じた弾性（バネ）係数を有する所定の材質、例えば樹脂や、金属（鋼材、ステンレスなど）の材質から構成される。

また、第１締結部５０１と第２締結部５０２との相対的な変位量を検出するための第１センサ部５１０と第２センサ部５１１とを有している。第１の実施形態と大きく異なる点は、第１締結部５０１、第２締結部５０２の配置するための第１センサ基板２１ｓ、第２センサ基板２１ｍ、を設けている点である。

図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように、第１センサ基板２１ｓには、第１センサ部５１０のヘッド５２２と、第１算出部５３１が設けられている。また、第２センサ基板２１ｍには、第２センサ部５１１のヘッド５２２と第２算出部５３２が設けられている。本実施形態の第１算出部５３１、第２算出部５３２は、１つの半導体パッケージで構成されており、第１センサ基板２１ｓ、第２センサ基板２１ｍに配置（実装）されている。以上により第１算出部５３１と第２算出部５３２とは、所定の距離、離間されて配置されている。

また、第１センサ基板２１ｓ、第２センサ基板２１ｍには、制御装置４０に電気的に接続された電源線及び信号線を含む配線５３６、５３６と電気的に接続する接続部としてのコネクタ８０ｍ、８０ｓが配置（実装）されている。

また図４（ａ）（ｂ）より、第１センサ基板２１ｓは、ボルト１２ｓにより第１取付機構２２ｓに固定されている。第１取付機構２２ｓは、ボルト１０ｓにより第１締結部５０１に固定されている。第２センサ基板２１ｍは、ボルト１２ｍにより第２取付機構２２ｍに固定されている。第２取付機構２２ｍは、ボルト１０ｍにより第１締結部５０１に固定されている。さらに、第１締結部５０１、第１取付機構２２ｓ、第２取付機構２２ｍには、ヘッド５２２がスケール５２１に光を照射するための開口部４０もそれぞれ設けられている。

ここで、ボルト１２ｓ、１２ｍが挿通するために、第１センサ基板２１ｓ、第２センサ基板２１ｍに設けられる孔は、ボルト１２ｓ、１２ｍのネジ部よりも大きく、ネジ頭よりも小さい径となるようにしている。第１取付機構２２ｓ、第２取付機構２２ｍにはボルト１２ｓ、１２ｍのネジ部が噛み合うようにネジ穴がそれぞれ設けられている。

これにより、ボルト１２ｓ、１２ｍをネジ孔から外れない程度で緩めることで、ボルト１２ｓ、１２ｍを基軸として、第１センサ基板２１ｓ、第２センサ基板２１ｍを、設けられた孔の大きさ分動かすことができる。よって、軸Ａ２の円周方向に微小に位置を変化させることが可能となる。上記のような位置調整機構を用いることで、分離したセンサ基板をそれぞれ独立して可動させることができ、ヘッド５２２の位置関係、およびスケール５２１の位置関係において、位置調整を容易に行うことが可能となる。

図９は、トルクセンサ５００の第２締結部５０２をロボットアーム本体２００のリンク２０１に取り付けた際のＸＹ平面図である。図９より、ロボットアーム本体２００が周辺機器との衝突などにより予期しない外力を受けることがある。その際、第２センサ基板２１ｍが衝撃を受け、第２センサ部５１１、第２算出部５３２が故障する可能性がある。しかしながら、第２センサ基板２１ｍの対向する位置に第１センサ基板２１ｓはが設けられているため、第１センサ基板２１ｓの第１センサ部５１０および第１算出部５３１を用いて、トルクを算出する処理を継続することができる。よってトルク算出のための処理が停止してしまう可能性を低減することができる。これにより、１箇所の算出部が故障したとしても制御装置４００は他方の算出部を使用して力制御を継続することができる。また、センサ基板と取付機構により第１算出部５３１と第２算出部５３２とを、第１締結部５０１からある程度の距離、離間させることができる。

（第３の実施形態）
次に第３の実施形態について詳述する。本実施形態では、トルクセンサ５００に設けられる各センサ部に偏心が生じた場合でも適切に変位量を検出できる例につき説明する。図１０は本実施形態における構造体５９０と各算出部との関係を示す模式図である。第１の実施形態と異なる点は、本実施形態のトルクセンサ５００は第１センサ部５１０、第２センサ部５１１に加えて第３センサ部５１２、第４センサ部５１３の計４つを備えている点である。以下では、第１の実施形態とは異なるハードウェアや制御系の構成の部分について図示し説明する。また、第１の実施形態と同様の部分については上記と同様の構成ならびに作用が可能であるものとし、その詳細な説明は省略するものとする。また、第１の実施形態と同一ないし同等の部材や制御機能については、同一の参照符号を用いる。

第１センサ部５１０は第２センサ部５１１と軸Ａ２を基準として１８０°対向して設けられ、第３センサ部５１２は第４センサ部５１３と軸Ａ２を基準として１８０°対向して設けられている。以上より、第１センサ部５１０と第２センサ部５１１とが対向する方向に対して直交する方向に第３センサ５１２と第４センサ部５１３とが対向して配置される。

本実施形態の第１センサ部５１０、第２センサ部５１１、第３センサ部５１２、第４センサ部５１３は、第１の実施形態と同様の光学式エンコーダである。第１センサ部５１０、第２センサ部５１１がそれぞれ配線５３３によって配線第１算出部５３１に接続されており、第３センサ部５１２、第４センサ部５１３がそれぞれ配線５３４によって第２算出部５３２に接続されている。第１算出部５３１、第２算出部５３２は、それぞれ配線５３５、５３６を介して制御装置４００に信号を出力する。

ここで、対向配置された第１センサ部５１０、第２センサ部５１１は、構造体５９０に取り付けを行う際に回転中心である軸Ａ２に対して微小ながら偏心することがある。即ち、第１センサ部５１０、第２センサ部５１１における変位量の測定基準位置が軸Ａ２に対してずれることがある。このずれを偏心誤差という。偏心誤差があると、第１締結部５０１と第２締結部５０２との相対的な変位量の検出に誤差が生じてしまう。

この偏心誤差の方向をφとし、大きさをδとする。さらに、第１センサ部５１０、第２センサ部５１１の取付け半径をＲ、関節の回転角度をθとすると、第１センサ部５１０の検出値ｓ_０、第２センサ部５１１の検出値ｓ_１８０は以下の式（１）式（２）となる。

上式の第２項が偏心誤差である。この２式を変形すると回転角度θは、以下の式となる。

式（３）のように検出値ｓ_０と検出値ｓ_１８０とを平均することで、回転角度θにおいて偏心誤差を除去できる。つまり、第１センサ部５１０、第２センサ部５１１を１８０°対向配置することにより、偏心誤差を低減した変位量の検出が可能となる。第３センサ部５１２、第４センサ部５１３についても同様の演算処理を行う。そして求めた変位量から弾性体５０４の弾性係数を使用することでトルクを演算する。

以上より、対向配置された２つのセンサ部を１つの算出部で処理する事で精度が高いトルク検出することができる。また、算出部を複数設けているので、片方の信号処理回路が故障した場合でも、他方の信号処理回路を用いてトルクを算出する処理を継続することができ、トルク算出のための処理が停止してしまう可能性を低減することができる。これにより、１箇所の算出部が故障したとしても制御装置４００は他方の算出部を使用して力制御を継続することができる。

（第４の実施形態）
次に第４の実施形態について詳述する。本実施形態では、一部の算出部が使用できなくなった場合に、効果的な動作の継続を行うことができる例につき説明する。図１１は本実施形態におけるロボットシステム１０００の制御系を示す制御ブロック図である。以下では、第１の実施形態とは異なるハードウェアや制御系の構成の部分について図示し説明する。また、第１の実施形態と同様の部分については上記と同様の構成ならびに作用が可能であるものとし、その詳細な説明は省略するものとする。また、第１の実施形態と同一ないし同等の部材や制御機能については、同一の参照符号を用いる。

図１１より、第１算出部５３１、第２算出部５３１はそれぞれに設けられた素子故障検出部６３２の結果に応じて、第１センサ部５１０、第２センサ部５１１の状態を制御装置４００の力算出判定部７００に出力する。力算出判定部７００は、第１算出部５３１、第２算出部５３２の状態を検出する状態検出部として機能する。ＣＰＵ４１０がプログラム４３０を実行することにより、ＣＰＵ４１０が、力算出判定部７００、動作制御部７１０、動作切り換え部７１１として機能する。

力算出判定部７００は、第１算出部５３１または第２算出部５３２が故障となった場合に、故障となった算出部からのデータは未着となるため、データが未着の算出部は故障していると判定することができる。そしてデータが未着状態の算出部を故障状態であるとして、動作制御部７１０に送信する。

動作制御部７１０は、ロボットアーム本体２００のアーム用モータドライバ２３０に指令値を送信することで、ロボットアーム本体２００の動作の制御を実行する。力算出判定部７００から送信される情報において、故障状態となっている算出部が存在しない場合は、ロボットアーム本体２００の所定の動作を継続させる。いずれかの算出部が故障状態である場合は、アラーム通知部７３０へアラームをユーザーに通知するよう指令する。また、実行している動作を変更するかどうかを判定し、動作切り替え部７１１を用いて動作の切り換えを行う。

アラーム通知部７３０はＬＥＤなどから構成される発光装置等ユーザーが認識できる装置であればよい。外部入力装置８００やモニタ４２１へ表示しても構わない。また音声装置などを用いても構わない。

次に図１２を用いて本実施形態の制御フローを説明する。図１２は本実施形態における制御フローチャートである。下記で述べる制御フローはＣＰＵ４１０の動作制御部７１０により実行されるものとする。前提として、ロボットアーム本体２００は、トルクセンサ５００の検出結果に基づく力制御により所定の動作を実行しているものとする。

まずＳ１より、第１算出部５３１、第２算出部５３２のいずれかにおいて異常（故障）が発生しているかを判定する。Ｓ１：Ｎｏであれば、Ｓ２に進み、実行中の所定の動作を力制御により継続し、Ｓ１の直前まで戻り、算出部に異常（故障）が発生しているかを判定する。

Ｓ１：Ｙｅｓより、第１算出部５３１、第２算出部５３２のいずれかにおいて異常（故障）が発生した場合、Ｓ３に進む。そしてＳ３において、アラーム通知部７３０によりユーザーに、算出部の一部が異常状態であることを示すアラームを通知する。ＬＥＤなどから構成される発光装置である場合は、黄色で発光を行いユーザーに知らせる。モニタ４２１を使用する場合は、例えば『第１算出部に異常発生』という文字を点滅させるなどしてユーザーに知らせる。

次にＳ４にて、力制御によって実行している最中の所定の動作が、一部の算出部が異常（故障）状態でも目標精度で動作を実行できるか判定する。これは、算出部の一部故障によって生じる検出トルクの精度低下分を閾値として予め設定しておくことと、所定の動作に必要な動作精度を予め設定しておくことで判定することができる。例えば、所定の動作が物品の移載などそもそも力制御を必要としない動作だったり、精度を要求されないリードスルー動作だったりする場合は、一部の算出部が異常（故障）状態でも目標精度を保証できるので、Ｓ４：ＹｅｓよりＳ５に進み、所定の動作を継続する。

実行中の所定の動作が、一部の算出部が異常（故障）状態では目標精度での実現が不可であると判定された場合は、Ｓ４：Ｎｏより、Ｓ６に進み。動作切り替え部７１１を用いて動作変更を行う。例えば、ロボットアーム本体２００を動作停止させたり、ロボットアーム本体２００を減速動作させる。

ここで、動作変更を必要としない場合であっても、ステップＳ３におけるアラームによってロボットアーム本体２００の故障を事前に防ぐことも可能となる。本実施形態におけるトルクセンサ５００は、発光素子５２２の経年劣化による故障が懸念される。一方で、複数の発光素子５２２が同時タイミングで故障が起こることは非常に稀である。ステップＳ３において、異常発生していることをユーザーに知らせておけば、定期的なメンテナンス時に、トルクセンサ５００の部品を修理交換するなどしてロボットアーム本体２００の故障を事前に防ぐことも可能となる。

なお、本実施形態では、各算出部の異常（故障）の判定を行う、力算出判定部７００を制御装置４００に設けたがこれに限られない。例えば、トルクセンサ５００における、ロボットアーム本体２００のクラッシュによる影響が少ない位置に力算出判定部７００の機能を持つ処理回路を設けても構わない。また、アラーム通知部７３０をロボットアーム本体２００側に設けたが、トルクセンサ５００がユーザーに見える位置に取り付けられるならば、アラーム通知部７３０をトルクセンサ５００に設けても構わない。

以上説明したように、本実施形態では、トルクセンサ５００の一部異常発生により、実行中の動作を継続できるか否かの判定を行う。そして、トルクセンサ５００に一部異常発生していても、動作精度を保証できる場合は動作を継続し、動作精度を保証できない場合は停止や減速動作に切り換える。これにより、効果的な動作の継続、停止を行うことができ、生産性が低下を抑えることが可能となる。

上述した種々の実施形態におけるトルク検出の処理手順は具体的にはＣＰＵ６１３により実行されるものとして説明した。しかし、上述した機能を実行可能なソフトウェアの制御プログラムおよびそのプログラムを記録した記録媒体を制御装置４００または外部入力装置８００に搭載させて実施しても良い。

従って上述した機能を実行可能なソフトウェアの制御プログラムおよびそのプログラムを記録した記録媒体、通信装置は本発明を構成することになる。また、上記実施形態では、コンピュータで読み取り可能な記録媒体がＲＯＭ或いはＲＡＭであり、ＲＯＭ或いはＲＡＭに制御プログラムが格納される場合について説明したが、本発明はこのような形態に限定されるものではない。本発明を実施するための制御プログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体であれば、いかなる記録媒体に記録されていてもよい。例えば、制御プログラムを供給するための記録媒体としては、ＨＤＤ、外部記憶装置、記録ディスク等を用いてもよい。

（その他の実施形態）
上述した種々の実施形態では、ロボットアーム本体２００が複数の関節を有する多関節ロボットアームを用いた場合を説明したが、関節の数はこれに限定されるものではない。ロボット装置の形式として、垂直多軸構成を示したが、パラレルリンク型など異なる形式の関節においても上記と同等の構成を実施することができる。また、トルクセンサ５００とモータ１４１と減速機１４３とをユニット化させた駆動装置として実施しても構わない。

また上述した実施形態では、構造体５９０において相対変位する部材として円環のリング形状を例に取り説明したが、これに限られない。例えば矩形や三角形などの形状等、種々の形状で本発明を実施することが可能である。

また上述した種々の実施形態は、制御装置に設けられる記憶装置の情報に基づき、伸縮、屈伸、上下移動、左右移動もしくは旋回の動作またはこれらの複合動作を自動的に行うことができる機械に適用可能である。

なお本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で多くの変形が可能である。また、本発明の実施形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施形態に記載されたものに限定されない。

１０ｓ、１０ｍ、１２ｓ、１２ｍ ボルト
２１ｓ 第１センサ基板
２１ｍ 第２センサ基板
２２ｓ 第１取付機構
２２ｍ 第２取付機構
４０ 開口部
８０ｓ、８０ｍ コネクタ
１４１ モータ
１４２ 回転軸
１４３ 減速機
１４７ クロスローラベアリング
１５１ ウェブジェネレータ
１５２ サーキュラスプライン
１５３ フレクスプライン
２００ ロボットアーム本体
２０１、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６ リンク
２１０ 基台
２３０ アーム用モータドライバ
３００ ロボットハンド本体
３０１ 指
４００ 制御装置
５００ トルクセンサ
５０１ 第１締結部
５０２ 第２締結部
５０３ ボルト穴
５０４ 弾性体
５１０ 第１センサ部
５１１ 第２センサ部
５１２ 第３センサ部
５１３ 第４センサ部
５２１ スケール
５２２ ヘッド
５３１ 第１算出部
５３２ 第２算出部
５３３、５３４、５３５、５３６ 配線
５４１ 光学パターン
５５１ 発光素子
５５２ 受光素子
５５３ 格子パターン
５９０ 構造体
４１０、６１３ ＣＰＵ
６３１ 変位算出部
６３２ 素子故障判定部
６３４ トルク算出部
７００ 力算出判定部
７１０ 動作制御部
７１１ 動作切り換え部
７３０ アラーム通知部
８００ 外部入力装置

Claims (40)

1. 第１部位と、
   連結部を介して前記第１部位に連結された第２部位と、
   前記第１部位と前記第２部位との相対変位に応じた信号を出力する第１センサと第２センサとを備え、
   前記第１センサの信号を受信する第１処理回路と、前記第２センサの信号を受信する第２処理回路とが設けられている、
   ことを特徴とする検出装置。
2. 請求項１に記載の検出装置において、
   前記第１処理回路と前記第２処理回路とは、所定の距離、離間されて設けられている、
   ことを特徴とする検出装置。
3. 請求項１または２に記載の検出装置において、
   前記第１処理回路と前記第１部位およびまたは前記第２部位とは、所定の距離、離間されており、前記第２処理回路と前記第１部位およびまたは前記第２部位とは、所定の距離、離間されている、
   ことを特徴とする検出装置。
4. 請求項３に記載の検出装置において、
   前記第１処理回路と前記第１部位およびまたは前記第２部位とは、第１配線によって、所定の距離、離間されており、前記第２処理回路と前記第１部位およびまたは前記第２部位とは、第２配線によって、所定の距離、離間されている、
   ことを特徴とする検出装置。
5. 請求項３に記載の検出装置において、
   前記第１処理回路と前記第１部位およびまたは前記第２部位とは、第１基板によって、所定の距離、離間されており、前記第２処理回路と前記第１部位およびまたは前記第２部位とは、第２基板によって、所定の距離、離間されている、
   ことを特徴とする検出装置。
6. 請求項５に記載の検出装置において、
   前記第１基板は、第１取付機構を介して前記第１部位または前記第２部位に設けられており、前記第２基板は、第２取付機構を介して前記第１部位または前記第２部位に設けられている、
   ことを特徴とする検出装置。
7. 請求項６に記載の検出装置において、
   前記第１取付機構と前記第２取付機構とにはそれぞれ、前記第１基板または前記第２基板の位置を調整できる機構が設けられている、
   ことを特徴とする検出装置。
8. 請求項１から７のいずれか１項に記載の検出装置において、
   前記第１処理回路と前記第２処理回路とにはそれぞれ、前記第１センサまたは前記第２センサの状態を検出する第１状態検出部を有している、
   ことを特徴とする検出装置。
9. 請求項１から８のいずれか１項に記載の検出装置において、
   前記第１処理回路およびまたは前記第２処理回路の状態を検出する第２状態検出部を備えている、
   ことを特徴とする検出装置。
10. 請求項９に記載の検出装置において、
    前記第２状態検出部は、前記第１処理回路または前記第２処理回路において、データが送信されていない処理回路を異常として検出する、
    ことを特徴とする検出装置。
11. 請求項９または１０に記載の検出装置において、
    前記第２状態検出部の検出結果に基づいて、ユーザーに通知を行う通知部を備えている、
    ことを特徴とする検出装置。
12. 請求項１１に記載の検出装置において、
    前記通知部は、異常が発生していることを示す情報を通知する、
    ことを特徴とする検出装置。
13. 請求項１２に記載の検出装置において、
    前記通知部は、発光装置であり、前記情報の通知として黄色で発光する、
    ことを特徴とする検出装置。
14. 請求項１２に記載の検出装置において、
    前記通知部は、表示装置であり、前記情報の通知として文字を表示する、
    ことを特徴とする検出装置。
15. 請求項１から１４のいずれか１項に記載の検出装置において、
    前記第１部位と前記第２部位との相対変位に応じた信号を出力する第３センサと第４センサとを備え、
    前記第１センサと前記第２センサとが対向して配置され、前記第３センサと前記第４センサとが対向して配置される、
    ことを特徴とする検出装置。
16. 請求項１５に記載の検出装置において、
    前記第１センサと前記第２センサとが対向する方向に対して直交する方向に前記第３センサと前記第４センサとが対向して配置される、
    ことを特徴とする検出装置。
17. 請求項１５または１６に記載の検出装置において、
    前記第１センサと前記第２センサとは前記第１処理回路に接続され、前記第３センサと前記第４センサとは前記第２処理回路に接続される、
    ことを特徴とする検出装置。
18. 請求項１７に記載の検出装置において、
    前記第１処理回路は前記第１センサの信号と前記第２センサの信号とを足し合わせて出力し、前記第２処理回路は、前記第３センサの信号と前記第４センサの信号とを足しわせて出力する、
    ことを特徴とする検出装置。
19. 第１部位と
    連結部を介して前記第１部位に連結された第２部位と、
    前記第１部位と前記第２部位との相対変位に応じた信号を出力する第１センサと第２センサとを備え、
    前記第１センサの信号を受信する第１処理回路と、前記第２センサの信号を受信する第２処理回路とが設けられており、
    前記第１処理回路が、前記第１センサの信号に基づき、前記第１部位、前記連結部、前記第２部位にかかる力を求め、前記第２処理回路が、前記第２センサの信号に基づき、前記第１部位、前記連結部、前記第２部位にかかる力を求める、
    ことを特徴とする検出方法。
20. 検出装置と制御装置とを備えたロボット装置であって、
    前記検出装置は、
    第１部位と、
    連結部を介して前記第１部位に連結された第２部位と、
    前記第１部位と前記第２部位との相対変位に応じた信号を出力する第１センサと第２センサとを備え、
    前記第１センサの信号を受信する第１処理回路と、前記第２センサの信号を受信する第２処理回路とが設けられている、
    ことを特徴とするロボット装置。
21. 請求項２０に記載のロボット装置において、
    前記第１処理回路と前記第２処理回路とは、所定の距離、離間されて設けられている、
    ことを特徴とするロボット装置。
22. 請求項２０または２１に記載の検出装置において、
    前記第１処理回路と前記第１部位およびまたは前記第２部位とは、所定の距離、離間されており、前記第２処理回路と前記第１部位およびまたは前記第２部位とは、所定の距離、離間されている、
    ことを特徴とするロボット装置。
23. 請求項２０から２２のいずれか１項に記載のロボット装置において、
    前記第１処理回路と前記第２処理回路とにはそれぞれ、前記第１センサまたは前記第２センサの状態を検出する第１状態検出部を有している、
    ことを特徴とするロボット装置。
24. 請求項２０から２２のいずれか１項に記載のロボット装置において、
    前記制御装置は、
    前記第１処理回路およびまたは前記第２処理回路の状態を検出する第２状態検出部を備えている、
    ことを特徴とするロボット装置。
25. 請求項２４に記載の検出装置において、
    前記第２状態検出部は、前記第１処理回路または前記第２処理回路において、データが送信されていない処理回路を異常として検出する、
    ことを特徴とするロボット装置。
26. 請求項２４または２５に記載のロボット装置において、
    前記制御装置が、前記第２状態検出部の検出結果に基づいて、ユーザーに通知を行う通知部を備えている、
    ことを特徴とするロボット装置。
27. 請求項２６に記載のロボット装置において、
    前記通知部は、異常が発生していることを示す情報を通知する、
    ことを特徴とするロボット装置。
28. 請求項２７に記載のロボット装置において、
    前記通知部は、発光装置であり、前記情報の通知として黄色で発光する、
    ことを特徴とするロボット装置。
29. 請求項２７に記載のロボット装置において、
    前記通知部は、表示装置であり、前記情報の通知として文字を表示する、
    ことを特徴とするロボット装置。
30. 請求項２４から２９のいずれか１項に記載のロボット装置において、
    前記制御装置は、
    実行している所定の動作に関する情報と、前記第２状態検出部からの検出結果とに基づき、前記所定の動作を継続するか否かを判定する、
    ことを特徴とするロボット装置。
31. 請求項３０に記載のロボット装置において、
    前記制御装置は、
    前記所定の動作を継続させない場合、停止または減速動作を実行する、
    ことを特徴とするロボット装置。
32. 請求項３０または３１に記載のロボット装置において、
    前記制御装置は、
    前記所定の動作の精度に関する情報と、前記第２状態検出部からの検出結果とに基づき、前記所定の動作を前記精度で実行できないと判定した場合、前記所定の動作の継続を否と判定する、
    ことを特徴とするロボット装置。
33. 請求項２０から３２のいずれか１項に記載のロボット装置を用いて物品の製造を行うことを特徴とする物品の製造方法。
34. 検出装置と制御装置とを備えたロボット装置の制御方法であって、
    前記検出装置は、
    第１部位と、
    連結部を介して前記第１部位に連結された第２部位と、
    前記第１部位と前記第２部位との相対変位に応じた信号を出力する第１センサと第２センサとを備え、
    前記第１センサの信号を受信する第１処理回路と、前記第２センサの信号を受信する第２処理回路とが設けられており、
    前記第１処理回路が、前記第１センサの信号に基づき、前記第１部位、前記連結部、前記第２部位にかかる力を求め、前記第２処理回路が、前記第２センサの信号に基づき、前記第１部位、前記連結部、前記第２部位にかかる力を求め、
    前記制御装置が、前記第１処理回路およびまたは前記第２処理回路によって求められた力に基づいて前記ロボット装置を制御する、
    ことを特徴とする制御方法。
35. 請求項３４に記載の制御方法において、
    前記制御装置は、
    前記第１処理回路およびまたは前記第２処理回路の状態を検出する第２状態検出部を備えており、
    実行している所定の動作に関する情報と、前記第２状態検出部からの検出結果とに基づき、前記所定の動作を継続するか否かを判定する、
    ことを特徴とする制御方法。
36. 請求項３５に記載の制御方法において、
    前記制御装置は、
    前記所定の動作を継続させない場合、停止または減速動作を実行する、
    ことを特徴とする制御方法。
37. 請求項３５または３６に記載の制御方法において、
    前記制御装置は、
    前記所定の動作の精度に関する情報と、前記第２状態検出部からの検出結果とに基づき、前記所定の動作を前記精度で実行できないと判定した場合、前記所定の動作の継続を否と判定する、
    ことを特徴とする制御方法。
38. 請求項３４から３７のいずれか１項に記載の制御方法をコンピュータで実行可能な制御プログラム。
39. 請求項３８に記載の制御プログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体。
40. 検出装置と駆動源とを備えた駆動装置であって、
    前記検出装置は、
    第１部位と、
    連結部を介して前記第２部位に連結された第２部位と、
    前記第１部位と前記第２部位との相対変位に応じた信号を出力する第１センサと第２センサとを備え、
    前記第１センサの信号を受信する第１処理回路と、前記第２センサの信号を受信する第２処理回路とが設けられている、
    ことを特徴とする駆動装置。
    
    

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