JPH03107694A - 管継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は管継手、詳しくは、主として半導体のウェット
エツチングに際して使用する腐食性の強い液体を流すホ
ースなどの管間、又は、前記液体の収容容器とエツチン
グ装置との間を接続する管継手に関する。

（従来の技術） 一般に、半導体のウェットエツチングに際して使用され
る液は、フッ化水素酸などのように人体に有害で、かつ
金属に対して腐食性の強いものが使用されている。従っ
て、かかる水溶液を貯蔵した運搬可能な容器を用いて、
この容器に継手の一方を設けると共に、前記エツチング
装置側にも継手の他方を設けておき、これら継手を介し
て容器側の管とエツチング装置側の管とを容易に、しか
も確実に接続するように成すのが便利である。

所で、従来の管継手は、例えば、実開昭５６−１０１２
９２号公報に記載され、第６図に示した如く、継手開口
部（Ｂ）をもった弁室（Ｃ）と、この弁室（Ｃ）に連続
する流体通路（Ｄ）とをもった継手本体（Ｅ）及び前記
弁室（Ｃ）内に移動自由に内装して前記開口部（Ｂ）を
開閉する弁体（Ｆ）と、この弁体（Ｆ）を開方向に付勢
するコイルスプリング（Ｇ）とを備えた一対の継手（Ｈ
）（Ｈ）と、これら継手（Ｈ）（Ｈ）を離脱可能に接続
する接続ナツト（１）とを備えたもので、前記接続ナツ
ト（Ｉ）による前記両継手（Ｈ）（Ｈ）の接続により、
前記各弁体（Ｆ）を前記各コイルスプリング（Ｇ）に抗
して開方向に移動させ、各継手（Ｈ）（Ｈ）の流体通路
（Ｄ）を継手開口部（Ｂ）に連通させるようにしている
。

（発明が解決しようとする課題） 所が、この従来の管継手は、弁体（Ｆ）による継手開口
部（Ｂ）の閉鎖状態を維持するために設けられるコイル
スプリング（Ｇ）が、前記流体通路（Ｄ）内にあって、
該流体通路（Ｄ）内を流通する流体と直接接触するよう
になっているため、かかる管継手を、ウェットエツチン
グに際して使用する腐食性の強い液体の収容容器とエツ
チング装置との間の管継手として使用すると、特に前記
コイルスプリング（Ｇ）（Ｇ）が前記流体により腐食し
て、前記弁体（Ｆ）（Ｆ）を確実に付勢することができ
ず、弁体（Ｆ）による継手開口部（Ｂ）の閉鎖状態を長
期間に亘って維持することができなくなり、短期間で流
体が漏洩する問題があるし、又、前記コイルスプリング
（Ｇ）は、前記弁体（Ｆ）の開閉動作毎に伸縮するため
、該コイルスプリング（Ｇ）が疲労し易く、前記弁体（
Ｆ）の付勢力が低下して、漏洩し易くなる問題があった
。又、前記コイルスプリング（Ｇ）の腐食により、前記
流通流体中に金属イオンが溶解し、前記流体を汚染する
問題もある。

所で、この流体の金属イオンによる汚染を防ぐには、例
えば前記コイルスプリング（Ｇ）を樹脂コーティングし
て、コイルスプリングが前記流体と直接接触しないよう
に構成することが考えられるが、このようにコーティン
グしても、前記コイルスプリング（Ｇ）は、前記弁体（
Ｆ）の開閉動作毎に伸縮するため、そのコーティング層
が疲労し易くて、該コーティング層にヒビが入ったり、
コーティング層が離脱したりし易くなり、前記流通流体
が汚染されることに変わりがないのである。又、前記コ
イルスプリング（Ｇ）の伸縮に伴い、前記コーティング
層の特に両端部が微粒子状に７１１離して、この微粒子
が前記流体内に侵入する問題もある。

本発明は以上の問題点に鑑み発明したもので、目的は、
コイルスプリングを用いることな（、弁体を閉方向に付
勢できて、この弁体による継手開口部の閉鎖状態を長期
間に亘って維持することができながら、前記弁体を付勢
する付勢手段の腐食及び該付勢手段による流通流体の汚
染を防ぐことができるようにする点にある。

（課題を解決するための手段） しかして、本発明は、継手開口部（１１ａ）をもった弁
室（１１）と、この弁室（１１）に連続する流体通路（
１２）とをもった耐食性継手本体（１）及び前記弁室（
１１）内に移動自由に内装して前記開口部（１１ａ）を
開閉する耐食性弁体（２）を備えた一対の継手（Ａ）（
Ａ）と、これら継手（Ａ）（Ａ）を離脱可能に接続する
接続機構（３）とを備えた管継手であって、前記継手（
Ａ）（Ａ）のうち、少なくとも一方の継手における前記
弁体（２）に第１磁石（８）を埋設すると共に、前記継
手本体（１）に、前記第１磁石（６）と対向し、該第１
磁石（６）との吸引力又は反発力により前記弁体（２）
を閉方向に付勢する第２磁石（８）を埋設したのである
。

又、一対の継手（Ａ）（Ａ）のうち、少なくとも一方の
継手における弁体（２）の背面側に第１磁石（６）を埋
設し、前記弁体（２）の背面に対向する継手本体（１）
の対向部に前記第１磁石（６）と対向する第２磁石（８
）を埋設すると共に、前記弁体（２）の外周部に、流体
通路（１２）を、継手開口部（１１ａ）に連通ずる連通
路（９）を設けたのである。

又、弁体（２）と、該弁体（２）が対向する継手本体（
１）の対向部位とに、第１及び第２磁石（８）（８）に
よる前記弁体（２）の閉方向への付勢を補助する第１及
び第２補助磁石（４ｏ）（４１）を埋設したのである。

（作用） 一対の継手（Ａ）（Ａ）のうち、少なくとも一方の継手
における弁体（２）は、第１磁石（６）と第２磁石（８
）との吸引力又は反発力により閉方向に確実に付勢でき
るため、この弁体（２）による継手開口部（１１ａ）の
閉鎖状態を確実に維持することができるのであり、又、
前記各磁石（ｆ３）（８）は、コイルスプリングのよう
に伸縮して疲労することがないし、又、耐食性継手本体
（１）及び耐食性弁体（２）に埋設して腐食しないよう
にしているため、長期間に亘って弁体（２）による継手
開口部の閉鎖状態を確実に維持できると共に、各磁石（
６）（８）の腐食及び流通流体の汚染を防止できるので
ある。

又、弁体（２）の背面部を利用して、該弁体背面部に第
１磁石（６）を埋設でき、更に、継手本体（１）の中心
部に第２磁石（８）を埋設できるので、磁石を設けたこ
とによる全体の大形化を最小にでき、全体をコンパクト
に形成できるのである。

又、第１及び第２磁石（８）（８）による弁体（２）の
閉方向への付勢を、第１及び第２補助磁石（４０）（４
１）で補助できるので、前記第１及び第２磁石（Ｅ３）
（８）による全体の大形化を防止できながら、弁体（２
）の付勢力を大きくできるのである。

（実　　施　　例　　） 本発明管継手の基本構造は、第１図に示す如く継手開口
部（１１ａ）をもった弁室（１１）と、この弁室（１１
）に連続する流体通路（１２）とをもった耐食性継手本
体（１）及び前記弁室（１１）内に移動自由に内装して
前記開口部（１１ａ）を開閉する耐食性弁体（２）を備
えた一対の継手（Ａ）（Ａ）と、これら継手（Ａ）（Ａ
）を離脱可能に接続する接続機ｔＩ４　（３）とから成
り、前記継手本体（１）は、円筒状に形成して、その一
端側に前記弁室（１１）を、又、他端側に前記流体通路
（１２）を設けている。又、前記弁室（１１）の継手開
口部（１１ａ）は小径に形成して、この開口部（１１ａ
）の内側に、前記弁体（２）と衝合する円錐形の弁座面
（１３）を設け、又、前記流体通路（１２）内周面に内
ねじ（１４）を設け、この内ねじ（１４）に管（図示せ
ず）を螺着するようにしている。

又、継手本体（１）（１）のうち、第１図左側継手本体
（１）の一端部外面に嵌合部（１５）を設け、この嵌合
部（１５）外面に環状の係合溝（１６）を設けており、
又、右側継手本体（１）の一端に、前記嵌合部（１５）
を受入れる嵌合筒（１７）を突設して、前記嵌合部（１
５）外面と嵌合筒（１７）内面との間をシール材（５）
でシールしている。

又、前記弁体（２）は、大略円柱状を呈し、１１」配弁
座而（１３）と衝合する弁部（２１）を円錐形に形成し
て、この弁部（２１）の先端に、制御突起（２２）を設
けている。

又、前記継手本体（１）と弁体（２）とは、主として四
フッ化エチレン樹脂、又は、四フッ化エチレンーパー７
０ロアルキルビニルエーテル共重合樹脂などのフッ素樹
脂で形成するのであるが、その他、ポリエチレン樹脂な
どの合成樹脂で形成してもよいし、又、合成樹脂以外の
耐食性材料で形成してもよい。

又、前記接続機構（３）は、前記嵌合筒（１７）に進退
自由に保持するボール（３１）と、該ボール（３１）と
係合する前記係合溝（１６）と、前記ボール（３１）の
進出時係合して、該ボールの後退を阻止する阻止部（３
２ａ）と、前記ボール（３１）の後退を許す退避部（３
２ｂ）とをもった操作リング（３２）とから構成してい
る。又、前記操作リング（３２）は、押圧ばね（３３）
により一方向に付勢している。

しかして、第１〜３図に示した第１実施例では、前記二
つの継手（Ａ）（Ａ）における各弁体（２）の背面側に
第１磁石（６）をそれぞれ埋設し、前記各弁体（２）の
背面に対向する二つの保持体（７）を、前記各継手本体
（１）の谷内ねじ（１４）に螺着して、該保持体（７）
に、前記各第１磁石（６）と対向し、該第１磁石（６）
との反発力により前記各弁体（２）を閉方向に付勢する
第２磁石（８）をそれぞれ埋設すると共に、前記各弁体
（２）の外周部と、前記保持体（７）の外周部とに、前
記各流体通路（１２）を、前記各継手開口部（１１ａ）
に連通ずる連通路（９）を設けたのである。

前記第１及び第２磁石（１３）（８）は、円形のブロッ
ク状に形成して、同じ磁極、即ち、Ｓ極とＳ極又はＮ極
とＮ極とが対向するように埋設するのである。又、これ
ら磁石（６）（８）は、前記各弁体（２）及び各保持体
（７）の成形時、インサート成形してもよいが、好まし
くは、前記各弁体（２）及び各保持体（７）の対向面部
に凹入部を設けて、この凹入部に前記第１及び第２６１
Ｘ石（Ｅｆ）（８）を組込むと共にこれら凹入部に、別
個に形成した蓋体（２３）（７１）を溶接して取付ける
ことにより、前記各磁石（８）（８）を埋め込み状に取
付けるのである。

又、各弁体（２）の外周部に設ける前記連通路（９）は
、第２図のように、周方向に所定間隔を置いて軸方向に
延びる凹入溝（９ａ）により形成し、又、前記各保持体
（７）の外周部に設ける前記連通路（９）は、第３図る
のように、周方向に所定間隔を置いて軸方向に貫通孔す
る貫通孔（９ｂ）により形成するのである。

尚、第１図中、（１０）は前記各弁部（２工）に保持し
たＯリングである。

しかして、第１図の如く二つの継手（Ａ）（Ａ）が接続
されている場合、これら継手における制御突起（２２）
（２２）が突き合っており、継手開口部（ｌｆａ）は開
いている。

このように接続されている二つの継手（Ａ）（Ａ）の接
続を外す場合、接続機構（３）の操作リング（３２）を
、押圧ばね（３３）に抗して移動させるのであって、こ
の操作リング（３２）の移動により、阻止部（３２ａ）
がボール（３１）から外れ、退避部（３２ｂ）がボール
（３１）と対向する位置に来る。この状態で前記継手（
Ａ）（Ａ）の両方、又は一方を離反方向に引張ることに
より、前記ボール（３１）の係合溝（１６）との係合が
殖脱し、各継手（Ａ）（Ａ）は離脱する。そして、この
各継手（Ａ）（Ａ）の離脱により、各制御突起（２２）
の突き合いがなくなり、第１及び第２磁石（６）（８）
の反発力により、各弁体（２）が閉方向に移動し、弁部
（２１）が弁座而（１３）と衝合し、各継手開口部（１
１ａ）は閉鎖されるのである。又、前記各弁体（２）は
、前記第１磁石（６）と第２磁石（８）との反発力によ
り、閉方向に確実に付勢でき、前記継手開口部（１１ａ
）の閉鎖状態を確実に維持できるのである。尚、前記操
作リング（３２）は、操作解除後、押圧ばね（３３）の
力で復帰する。

又、以上の如く接続を外した継手（Ａ）（Ａ）を接続す
る場合、前記操作リング（３２）を押圧ばね（３３）に
抗して操作し、第１図左側継手（Ａ）の嵌合部（１５）
を、右側継手（Ａ）の嵌合ｆｌ（１７）内に嵌合するの
であって、この嵌合により、前記ボール（３１）が保合
溝（１６）と係合し、各継手（Ａ）（Ａ）を接続できる
のである。この場合、前記各制御突起（２２）が突き合
って前記各弁体（２）は、第１磁石（６）と第２磁石（
８）との反発力に抗して開方向に移動し、各継手開口部
（１１ａ）は開放する。そして、一方の継手（Ａ）にお
ける流体通路（１２）と他方の継手（Ａ）における流体
通路（１２）とが、各連通路（９ａ）　　（９ｂ）及び
各弁室（１１）を介して連通し、流体を流通させること
ができるのである。

しかして、前記各弁体（２）を閉方向に付勢する各磁石
（８）（８）は、耐食性弁体（２）と、耐食性継手本体
（１）とに埋設して流通流体と接触しないようにしてい
るため、これら各磁石（ｆ３）（８）の、強腐食性流体
による腐食を防止できると共に、強腐食性流体による前
記磁石（６）（８）の溶出も防止でき、流体の金属汚染
を防ぐことができるのである。

又、前記第１磁石（６）は、前記弁体（２）の背面部に
埋設し、第２磁石（８）は、継手本体（１）の中心部に
設ける保持体（７）に埋設しているため、磁石を設けた
割に全体をコンパクトに形成できるのである。

尚、以上説明した実施例では、一対の継手（Ａ）（Ａ）
における各弁体（２）に第１磁石（６）を、又、各継手
本体（１）に第２ｉｉｆｉ石（８）をそれぞれ埋設した
が、これら各磁石（６）（８）は、何れか一方の継手に
のみ設けてもよい。この場合、前記磁石１３）（８）を
設けない継手は、前記弁体（２）を開方向に付勢する付
勢手段として、例えば金属スプリングに樹脂コーティン
グしたコイルスプリングを使用してもよい。

又、以上の実施例では、第１磁石（６）と第２磁石（８
）とを、同じ磁極が対向するように埋設して、これら磁
石（６）（８）の反発力により弁体（２）を閉方向に付
勢したが、その他、異なる磁極、即ちＳ極とＮ極とが対
向するように埋設して、これら磁石（８）（８）の吸引
力により前記弁体（２）を開方向に付勢してもよい。こ
の場合、例えば前記弁体（２）の背面部にフランジを設
け、このフランジに前記第１磁石（６）を埋設すると共
に、前記フランジが対向する継手本体（１）の対向部位
に前記第２磁石（８）を埋設して、これら磁石Ｃ（３）
（８）の吸引力により前記弁体（２）を閉方向に付勢す
る如く構成するとか、或は、後記する補助磁石（４０）
（４１）に代えて前記磁石（６）（８）を設けるのであ
る。

又１以上の実施例では、第１及び第２磁石１）（８）を
、弁体（２）及び継手本体（１）自体に埋設しているが
、その他、弁体（２）及び継手本体（１）と別個に設け
て、前記弁体（２）の移動に連動して移動するようにし
た移動体に前記第１磁石（６）を、又、前記継手本体（
１）に固定するようにした固定体に前記第２磁石（８）
をそれぞれ埋設する如く構成してもよい。

次に、第４．５図に示した第２実施例について説明する
。この第２実施例の構成は、第１実施例と基本的に同じ
であるため、違い点についてのみ説明する。

しかして、この第２実施例では、前記各弁体（２）にお
ける弁部（２１）の中心部位に、第１補助磁石（４０）
を埋設すると共に、前記継手本体（１）における継手開
口部（１１ａ）部位で、かつ、前記第１補助磁石（４０
）との対向部位を閉鎖し、この閉鎖部（１８）周りに、
前記継手開口部（１１ａ）を円弧状に形成し、又、前記
閉鎖部（１８）に、前記第１補助磁石（４０）と対向し
、該第１補助磁石との吸引力により前記各弁体（２）を
開方向に付勢する第２補助磁石（４１）を埋設して、前
記各磁石（６）（８）による前記各弁体（２）の閉方向
への付勢を補助するようにしたのである。尚、前記各弁
体（２）に設ける前記各制御突起（２２）は、前記各円
弧状継手開口部（ＩＬａ）に対応する円弧状に形成して
、各継手開口部（１１ａ）に挿入している。

又、前記第１及び第２補助磁石（４０）（４１）は、円
形のブロック状に形成して、異なる磁極、即ち、Ｓ極と
Ｎ極とが対向するように埋設するのである。又、これら
磁石（４０）（４１）は、前記各弁体（２）及び各継手
本体（１）の成形時、インサート成形するか、又は前記
した通り、各弁体（２）及び各継手本体（１）に凹入部
を設けて、これら凹入部に前記各磁石（４０）（４１）
を組込むと共に、前記凹入部に、別個に形成した蓋体（
図示せず）を溶接して取付けることにより、前記各磁石
（４０）（４１）を埋込み状に取付けるのである。

尚、前記各補助磁石（４０）（４１）は、前記各弁部（
２１）の衡合面内側と前記各継手本体（１）における弁
座面（１３）の内側とに埋設してもよいし、又、前記各
弁体（２）の外周部位と、継手本体（１）における弁室
（１１）の内周面部位とに、軸方向にずらして埋設して
もよいのである。

（発明の効果） 以上のごとく本発明によれば、耐食性弁体（２）に第１
磁石（６）を埋設すると共に、継手本体（１）に、前記
第１磁石（６）と対向し、該第１磁石（６）との吸引力
又は反発力により前記本体（２）を閉方向に付勢する第
２磁石（８）を埋設して、前記各磁石（８）（８）が、
流体と直接接触しないようにしたので、弁体（２）によ
る継手開口部（１１ａ）の閉鎖状態を長期間に亘って確
実に維持することができながら、前記弁体（２）を付勢
する付勢手段、即ち磁石（６）（８）の強肩食性流体に
よる腐食を防止でき、更にこれら磁石（８）（８）によ
る流体の汚染を防止できるのである。

又、弁体（２）の背面部を利用して、該弁体背面部に第
１磁石（６）を、また、継手本体（１）の中心部に第２
磁石（８）を埋設できるので、これら磁石（６）（８）
を設けた割に、全体をコンパクトに形成できるのである
。

又、第１及び第２磁石（８）（８）による弁体（１）の
閉方向への付勢を、第１補助磁石（４０）と第２補助磁
石（４１）との吸引力又は反発力により補助できるので
、前記第１及び第２磁石（８）（８）による全体の大形
化を防止できながら、弁体（２）の付勢力を大きくでき
、この弁体（２）による継手開口部（１１ａ、）の閉鎖
状態をより一層良好に維持できるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明継手の一実施例を示す断面図、第２図は
第１図ｎ−ｎ１断面図、第３図は第１図ｍ−ｍ線断面図
、第４図は別の実施例を示す断面図、第５図は第４図■
−■線断面図、第６図は従来例の説明図である。 （１）・・・・継手本体 （１１）・・・・弁室 （１１ａ）・・・・継手開口部 （１２）・・・・流体通路 （２）・・・・弁体 （３）・・・・接続機構 （６）・・・・第１磁石 （８）・・・・第２磁石 （９）・・・・連通路 （４０）・・・・第１補助磁石 （４１）・・・・第２補助磁石 （Ａ）・・・・継手

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）継手開口部（１１ａ）をもった弁室（１１）と、こ
   の弁室（１１）に連続する流体通路（１２）とをもった
   耐食性継手本体（１）及び前記弁室（１１）内に移動自
   由に内装して前記開口部（１１ａ）を開閉する耐食性弁
   体（２）を備えた一対の継手（Ａ）（Ａ）と、これら継
   手（Ａ）（Ａ）を離脱可能に接続する接続機構（３）と
   を備えた管継手であって、前記継手（Ａ）（Ａ）のうち
   、少なくとも一方の継手における前記弁体（２）に第１
   磁石（６）を埋設すると共に、前記継手本体（１）に、
   前記第１磁石（６）と対向し、該第１磁石（６）との吸
   引力又は反発力により前記弁体（２）を閉方向に付勢す
   る第２磁石（８）を埋設したことを特徴とする管継手。 ２）一対の継手（Ａ）（Ａ）のうち、少なくとも一方の
   継手における弁体（２）の背面側に第１磁石（６）を埋
   設し、前記弁体（２）の背面に対向する継手本体（１）
   の対向部に前記第１磁石（６）と対向する第２磁石（８
   ）を埋設すると共に、前記弁体（２）の外周部に、流体
   通路（１２）を、継手開口部（１１ａ）に連通する連通
   路（９）を設けた請求項１記載の管継手。 ３）弁体（２）と、該弁体（２）が対向する継手本体（
   １）の対向部位とに、第１及び第２磁石（６）（８）に
   よる前記弁体（２）の閉方向への付勢を補助する第１及
   び第２補助磁石（４０）（４１）を埋設した請求項２記
   載の管継手。