JPS638355B2

JPS638355B2 -

Info

Publication number: JPS638355B2
Application number: JP58214584A
Authority: JP
Inventors: Teiji Arita; Tatsuro Uchida; Hisayuki Matsumoto
Original assignee: Yokohama Aeroquip Co Ltd; Daikin Kogyo Co Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd; Yokohama Rubber Co Ltd
Priority date: 1983-11-14
Filing date: 1983-11-14
Publication date: 1988-02-22
Also published as: JPS60121388A

Description

【発明の詳細な説明】

（産業上の利用分野）本発明は、半導体のウエツトエツチング装置な
どに使用される酸、アルカリなどの腐蝕性流体の
輸送時に使用される配管継手に係り、特に、耐薬
品性であり、腐蝕性流体の供給動作を簡単かつ安
全にできるようにした耐蝕性の簡易着脱配管継手
に関するものである。（従来の技術）例えば、半導体のウエツトエツチングに使用さ
れる液は、フツ化水素酸などのように人体に有害
で、かつ、金属やガラスなどを溶かす水溶液が多
く使用されているため、これをエツチング装置の
槽内へ供給する場合は、従来、小形のポリエチレ
ン容器に詰めた液を人手により該槽内に移しかえ
ることが行われている。ところがこの様な手作業
による場合は液の飛散を生じるなど非常に危険で
あり、液供給に多くの手間を必要とする。また、
このことは、その他の酸、アルカリなど耐蝕性流
体を取扱う場合においても同様である。なお、この様な不都合を克服するには、例えば
腐蝕性流体を収容した容器に配管を接続し、その
先端に継手の一側を予め取付けて出荷すると共
に、槽に接続した配管の末端に前記容器側の継手
と簡易着脱可能な継手の他側を予め取付けてお
き、流体の移し替えに際しては、継手同志を結合
し、容器にガス圧をかけるなどして送液すれば作
業を極めて安全、かつ、迅速に進めることが出来
ると考えられる。（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、従来の簡易着脱配管継手は一般
に金属製ものが多く、これをそのまま腐蝕性流体
の移送に用いることは到底不可能である。勿論、従来の簡易着脱配管継手の中には、継手
を合成樹脂で成形し、耐蝕性を付与することも考
えられるが、従来構造の管継手の雌継手および雄
継手の各弁体に使用されているスプリングは、例
えば、実開昭56―101292号公報または特公昭49―
47337号公報記載のように液の流通路内に設けら
れ、腐蝕性流体との接触の可能性があるため、こ
れを酸、アルカリなど腐蝕性流体の送液管途中に
使用することは、腐蝕性の面から不可能である。なお、腐蝕性流体との接触による金属製スプリ
ングの腐蝕を防止すべく、該スプリングの表面を
耐蝕性合成樹脂被膜によりコーテイングして保護
することを考えられるが、スプリング自体は継手
嵌脱操作時に所要のばね弾性を保有しつつ伸縮す
る必要があり、表面の被膜をあまり大きくするこ
とが出来ないため、これが一部分でも欠損したと
きは、内部のスプリングが腐蝕する恐れがあり、
腐蝕性対策上、充分とはいえない。一方、金属製スプリングと流体との直接接触を
回避するため、雌継手および雄継手の内部に軸線
方向に移動可能なスリーブ弁を収設し、該スリー
ブ弁をＯリングにより流体通路と遮断された空間
に収納した金属製スプリングにより流路閉鎖方向
に付勢した構造の管継手が、特開昭56―3389号公
報に開示されているが、この管継手は、スリーブ
弁を継手中心部に設けた棒状部と該棒状部を取巻
く継手ボデイとの間の断面環状空間内に収設し、
その軸線方向移動によつて前記棒状部内に形成し
た流体通路を開閉する構造であるため、構造が極
めて複雑で、部品点数が多く、シール面に高い加
工精度を必要とするため、たとえ、継手部材を耐
蝕性合成樹脂で構成しても、製品価格の高騰は免
れない。本発明は、上記従来の簡易着脱配管継手が有し
ていた問題点に着目し、構造が簡単で、かつ、耐
蝕性に富む配管継手を提供すべくなされたもので
ある。（問題点を解決するための手段）上記問題点を解決するための本発明の構成を実
施例に対応する第１図乃至第３図について説明す
る。本発明の簡易着脱配管継手は、互いに結合、分
離して流体を流通、停止させる雌継手１Ａと雄継
手２Ａとからなつており、各継手１Ａ，２Ｂは
夫々、その本体１，２１内にスプリング５，２５
で流体通路閉鎖方向に付勢された雌側ポペツト４
および雄側ポペツト２４を進退摺動可能に内蔵し
ている。また、前記雌側ポペツト４および雄側ポペツト
２４は、その内部に流体通路となる横孔４ｉ，２
４ｇと、該横孔４ｉ，２４ｇに連通した縦孔４
ｊ，２４ｈとを有して先端が閉塞した筒形状をな
し、該雌側ポペツト４および雄側ポペツト２４の
各外周に前記スプリング５，２５が嵌挿されてい
ると共に、雌本体１と雌側ポペツト４、雄本体２
１と雄側ポペツト２４の各摺動部における前記ス
プリング５，２５の前後位置には、Ｏリング６，
７，２６，２７が設けられている。更に、上記簡易着脱配管継手は、雌本体１、雌
側ポペツト４、雄本体２１、雄側ポペツト２４な
ど流体通路の壁面を構成する部材を耐蝕性合成樹
脂で成形されていると共に、少なくとも流体通路
を流れる流体と接するＯリング６，７，２６，２
７が耐蝕性ゴムで成形されている。（作用）上記構成を備えた本発明の簡易着脱配管継手
は、結合時において、雄継手２Ａの雄本体２１の
先筒部を雌継手１Ａの雌本体１のＯリングを組込
んだ横孔に挿入嵌合させ、前記雌側ポペツト４と
雄側ポペツト２４との各先端面を突合わせて雌、
雄側ポペツト４，２４をそれぞれスプリング５，
２５に抗して後退させたとき、前記雌側ポペツト
４の横孔４ｉ、縦孔４ｊと雄側ポペツト２４の横
孔２４ｇ、縦孔２４ｈとが連通し、流体の通過を
許容すると共に、雌継手１Ａと雄継手２Ａとを分
離したときは、雌側ポペツト４および雄側ポペツ
ト２４がスプリング５，２５のばね力によつて復
帰し、継手本体１，２１内の流体通路を閉鎖する
ため、流体の流通が停止する。なお、この間、雌本体１、雌側ポペツト４、雄
本体２１、雄側ポペツト２４など流体通路を流れ
る流体と接触する部材が耐蝕性合成樹脂で成形さ
れており、また、Ｏリング６，７，２６，２７が
耐蝕性ゴムで成形されていることから、流体に腐
蝕される心配がなく、また、スプリング５，２５
もＯリング６，７，２６，２７によつて流体から
隔絶されているため、腐蝕の恐れがなく、簡易着
脱配管継手としての性能を維持することが出来る
のである。（実施例）以下、本発明の実施例を第１図乃至第３図にも
とづいて詳細に説明する。第１図は本発明簡易着脱配管継手の実施例を示
す雌継手の半断面図、第２図は同継手の雄継手を
示す半断面図、第３図は同雌、雄継手の完全結合
状態を示す半断面図である。先ず、雌継手１Ａはつぎの如く構成される。１
は雌本体、２は雌主体、３は雌主体２の後部に先
端部が螺合３ａされたアダプターで、該雌主体２
とアダプター３とにより前記雌本体１が構成され
ている。４は雌側ポペツト、５は該雌側ポペツト
４の外周側に設けられたスプリングであつて、前
記雌側ポペツト４は、スプリング５を介し雌本体
１の雌主体２およびアダプター３内に摺動自在に
嵌挿されている。６，７は前記スプリング５の前
後に位置するＯリングで、一方のＯリング６は雌
側ポペツト４と雌主体２との摺動部の雌側ポペツ
ト４側に、また、他方のＯリング７は雌側ポペツ
ト４とアダプター３との摺動部のアダプター３側
にそれぞれ設けられ、流体がスプリング５側に洩
れないようにしてある。前記雌主体２は、先端から先筒部２ａ、中筒部
２ｂ、小筒部２ｃよりなり、該雌主体２の中筒部
２ｂには小筒部２ｃに止め輪１１により固定保持
されているカラー１０を介し、スプリング９によ
り摺動するスリーブ８が組込まれており、スリー
ブ８は、その先端内側に設けてある円錐面８ｃ
が、雌主体２の先筒部２ａに設けてある円錐面２
ｅにより係止され、スリーブ８が雌主体２の先筒
部２ａ側へ離脱しないようにしてある。また、上記雌主体２の内部横孔は、先筒部２ａ
側より、大径横孔２ｆ、Ｏリング１４を設けた中
径横孔２ｇ、小径横孔２ｈ、後部中径横孔２ｉと
小径横孔２ｈと後部中径横孔２ｉ間の円錐面２ｋ
で構成され、中筒部２ｂには、大径横孔２ｆを貫
通する円錐状の縦孔２ｊが同一円周状に複数設け
てあり、この円錐状の縦孔２ｊには樹脂製球１２
が組込まれ、該樹脂製球１２は雌主体２の中筒部
２ｂより飛び出さないように、スリーブ８の内径
部８ｂにより保持され、かつ、スリーブ８後退時
は前記円錐面８ｃを介し上方に移動して先端内径
部８ｂで保持され、デテントの作用をするように
してある。また、雌側ポペツト４は、先端から先筒部４
ａ、中筒部４ｂ、円錐面４ｃ、大筒部４ｄ、後部
中筒部４ｅ、小筒部４ｆよりなり、中筒部４ｂ
は、該中筒部４ｂに設けたＯリング１３を介し雌
主体２の小径横孔２ｈに、大筒部４ｄは、該大筒
部４ｄに設けたＯリング６を介し後部中径横孔２
ｉに、小筒部４ｆはアダプター３の小径横孔３ｂ
に該小径横孔３ｂに設けたＯリング７を介しそれ
ぞれ摺動可能に嵌合していると共に、後部中筒部
４ｅの外周側に形成された段部４ｇとアダプター
３の段部３ｃとの間にはスプリング５が介設さ
れ、斯くして、雌側ポペツト４は、雌主体２、ア
ダプター３よりなる雌本体１内をその外周側のス
プリング５を介し軸線に沿つて進退摺動自在にな
つており、該雌側ポペツト４の前進は、前記雌側
ポペツト４の円錐面４ｃが雌主体２の円錐面２ｋ
にて係止され、離脱しないようになつている。ま
た、該雌側ポペツト４の内部には、流体通路とな
る軸方向の横孔４ｉとこれに連通して前記円錐面
４ｃを貫通する縦孔４ｊが設けられている。なお、後部中筒部４ｅと小筒部４ｆとの間の段
部４ｋは、雌側ポペツト４の後退時、アダプター
３に当接し後退位置の位置決めをするものであ
る。つぎに、雄継手２Ａの構成について説明する。２１は雄本体、２２は雄主体、２３は雄主体２
２の後部に先端部が螺合２３ａされたアダプター
で、該雄主体２２とアダプター２３とにより前記
雄本体２１が構成されている。２４は雄側ポペツト、２５は該雄側ポペツト２
４の外周側に設けられたスプリングであつて、前
記雄側ポペツト２４は、スプリング２５を介し雄
本体２１の雄主体２２およびアダプター２３内に
軸線に沿い進退摺動自在に嵌挿されている。２
６，２７は前記スプリング２５の前後に位置する
Ｏリングで、一方のＯリング２６は雄側ポペツト
２４と雄主体２２との摺動部の雄側ポペツト２４
側に、また、他方のＯリング２７は雄側ポペツト
２４とアダプター２３との摺動部のアダプター２
３側にそれぞれ設けられ、流体がスプリング２５
側に洩れないようにしてある。前記雄主体２２は、先端から先筒部２２ａ、中
筒部２２ｂ、大筒部２２ｃよりなり、先筒部２２
ａは前記雌主体２の中径横孔２ｇと、また、中筒
部２２ｂは前記雌主体２の大径横孔２ｆと夫々同
一径で、雌、雄継手１Ａ，２Ａ結合時、雄主体２
２の先筒部２２ａ、中筒部２２ｂは、雌主体２の
中径横孔２ｇ、大径横孔２ｆにそれぞれ嵌挿さ
れ、このとき中筒部２２ｂに設けた環状溝２２ｄ
に雌主体２の樹脂球１２が落ち込み、雌、雄継手
１Ａ，２Ａが結合固定されるようになつている。雄主体２２の内部横孔は、先筒部２２ａ側よ
り、小径横孔２２ｆ、大径横孔２２ｇとその間の
円錐面２２ｈで構成されている。また、雄側ポペツト２４は、先端から先筒部２
４ａ、円錐面２４ｂ、大筒部２４ｃ、中筒部２４
ｄ、小筒部２４ｅよりなり、先筒部２４ａは先筒
部２４ａに設けたＯリング２８を介し雄主体２２
の小径横孔２２ｆに、大筒部２４ｃは大筒部２４
ｃに設けたＯリング２６を介し雄主体２２の大径
横孔２２ｇに、小筒部２４ｅはアダプター２３の
小径横孔２３ｂに該小径横孔２３ｂに設けたＯリ
ング２７を介しそれぞれ摺動可能に嵌合している
と共に、中筒部２４ｄの外周側における、大筒部
２４ｃおよび中筒部２４ｄの境界の段部２４ｆと
アダプター２３の段部２３ｃとの間にはスプリン
グ２５が介設され、斯くして、雄側ポペツト２４
は、雄主体２２、アダプター２３よりなる雄主体
２１内をその外周側のスプリング２５を介し摺動
自在になつており、該雄側ポペツト２４の前進
は、前記雄側ポペツト２４の円錐面２４ｂを雄主
体２２の円錐面２２ｈにて係止され、離脱しない
ようになつている。また、該雄側ポペツト２４の
内部には、流体通路となる軸方向の横孔２４ｇと
これに連通して前記円錐面２４ｂを貫通する縦孔
２４ｈが設けられている。なお、中筒部２４ｄと小筒部２４ｅとの間の段
部２４ｋは、雄側ポペツト２４が後退時にアダプ
ター２３に当接し後退位置の位置決めとなるもの
である。雌、雄継手１Ａ，２Ａは前記の如く構成され、
これらを第３図の如く結合するときは、先ず、雌
継手１Ａのスリーブ８を後退させて樹脂球１２を
自由状態とし、ついで、雄継手２Ａの雄主体２２
の先筒部２２ａ、中筒部２２ｂを雌継手１Ａの雌
主体２のＯリング１４を組込んだ中径横孔２ｇ、
大径横孔２ｆにそれぞれ挿入嵌合させ、前記スリ
ーブ８を元に戻すと樹脂球１２は雄主体２２の環
状凹部２２ｄに落ち込み、雌、雄継手１Ａ，２Ａ
は結合される。このとき、雄側ポペツト２４の先端面は、雌側
ポペツト４の先端面を押圧し、雌側ポペツト４を
スプリング５に抗し後退させるが、ほぼ同時に雄
側ポペツト２４も雌側ポペツト４によりスプリン
グ２５に抗し押圧され後退する。斯く両ポペツト
４，２４の後退により、それまで閉塞されていた
雌側ポペツト４の円錐面４ｃの縦孔４ｊが雌主体
２と雌側ポペツト４間の空間に、また、雄側ポペ
ツト２４の円錐面２４ｂの縦孔２４ｈが雄主体２
２と雄側ポペツト２４間の空間にそれぞれ連通
し、これにより、雌側ポペツト４の横孔４ｉ、縦
孔４ｊ、雄側ポペツト２４の横孔２４ｇ、縦孔２
４ｈが連通し、流体が流通することになる。斯く継手結合途中および流体通路が連通したと
き、雌継手１Ａの雌側ポペツト４外周のスプリン
グ５が収容された室は、その前後位置の前述の如
き雌本体１との摺動部のＯリング６および７によ
り、また、雄継手２Ａの雄側ポペツト２４外周の
スプリング２５が収容された室は、その前後位置
の前述の如き雄本体２１との摺動部のＯリング２
６および２７により、それぞれ流体が侵入するこ
とはない。また、雌、雄側ポペツト４，２４の突
合せ面と雌主体２と雄主体２２の突合せ面からの
流体の洩れは、雌主体２の中径横孔２ｇのＯリン
グ１４の作用で外部に洩れることはない。つぎに、雌、雄継手１Ａ，２Ａの分離は、前記
と逆の操作で、先ず、スリーブ８を後退させ、樹
脂球１２を自由状態として、雄継手２Ａを雌継手
１Ａから外せば良く、この際スプリング５，２５
により雌、雄側ポペツト４，２４は元に戻るが、
その途中でも前記Ｏリング６，７，２６，２７に
より洩れは殆どない。以上は本発明実施例であるが、前記例では、
雌、雄継手１Ａ，２Ａの結合にスリーブ８、樹脂
球１２を用いたが、樹脂球の代わりに球状以外で
も良く要はデテント作用すれば良く、また、ユニ
オンナツト方式でも良い。本発明の簡易着脱配管継手の構造および作動は
以上の如きものであるが、斯かる配管継手を耐
酸、耐アルカリなど耐蝕性とするには、下記の如
くするのが望ましい。 (1) 配管継手を構成する前記各弁部材などは、耐
酸、耐アルカリに優れた合成樹脂製とする必要
があり、フツ素樹脂、ポリエチレン、ポリプロ
ピレンなどの合成樹脂が使用できるが、半導体
のウエツトエツチングに使用されるフツ化水素
酸の如き強酸やあるいは強アルカリなどに使用
するときには、金属溶出物や弁部材などの剥離
により生ずるダストの発生が最少限のものが望
ましく、斯かる観点からは、弁部材はフツ素樹
脂製とするのが良い。使用されるフツ素樹脂と
しては、ポリ四弗化エチレン、四弗化エチレン
とパーフルオロビニールエーテルの共重合体、
四弗化エチレンとヘキサフルオロプロペンの共
重合体、四弗化エチレンとエチレンの共重合
体、ポリ三弗化塩化エチレンなどが用いられ
る。 (2) 配管継手に使用されるＯリングは、耐酸、耐
アルカリに優れたフツ素ゴム、ブチルゴム、シ
リコンゴムなど合成ゴム製とする必要があり、
特に、強酸、強アルカリに対しては前記と同じ
観点からフツ素ゴム製とするのが最も望まし
い。 (3) 配管継手に使用されるスプリングは、弾力性
の点からステンレス製等金属製とせざるを得
ず、このため前記本発明配管継手では、スプリ
ングは直接には送液中の流体に接触しない構造
としているが、雌、雄継手の繰返し結合、分離
動作でＯリングを介し僅かではあるが液洩れす
る可能性があるので、これに対処するために耐
蝕性被膜を施す必要があり、フツ素樹脂、ポリ
エチレン、ポリプロピレンなどで厚み300〜
1000ミクロン程度の合成樹脂被覆するのが良
く、前記同様耐強酸、耐強アルカリ上フツ素樹
脂が最も望ましい。以下実施例について説明する。実験例 (1) 供試品の配管継手の各部材の材質は下記の通
りである。

【表】 (2) 前記供試品の浸漬試験を行なつたが、その条
件は下記の通りである。容器：ポリ四弗化エチレン（ダイキン工業
製ポリフロンM12）薬液：50％フツ酸浸漬サンプル：前記弁部材、スプリング、
Ｏリング各２コ浸漬条件：室温（23〜27℃）×６カ月 (3) 溶出物の検出定量測定方法測定法：原子吸光分析（島津製作所製
AA650型）サンプリング：浸漬液を白金皿に取り硫酸
（濃硫酸１、水99）１mlを加え加熱して水分
を蒸発させ乾固濃縮してサンプリングし、こ
れの定量測定を行なつた。 (4) 浸漬試験結果 (a) 金属溶出量

【表】 (b) ダストの個数フツ酸１mlに含まれる直径2μm以上のダス
トの個数は試験前は５個、試験後も弁部材、
スプリング及びＯリングいずれの場合も５個
であつた。以上の浸漬試験の結果、弁部材、スプリング、
Ｏリングとも金属溶出は殆どなく、ダスト（弁部
材、被覆膜の剥離）も僅かであり、耐蝕性上影響
がないことが分かつた。実験例本発明配管継手の結合、分離試験の結果は下記
の通りである。（試験条件）供試品：前記〔実験例〕のと同様試験流体：フツ酸50％液試験圧力：２Kg／cm² 試験流量：10／m² 結合、分離試験：２回／hr、700回（試験結果）外観…異常なし結合、分離時の液洩れ…なしスプリング…異常なしＯリング部洩れ…なし（発明の効果）以上述べた如く、本発明は互いに結合、分離し
て流体を流通、停止する雌継手と雄継手とからな
り、各継手が夫々、その本体内にスプリングで流
通通路閉鎖方向に付勢された雌側ポペツト、雄側
ポペツトを進退摺動可能に内蔵する簡易着脱配管
継手において、前記雌側ポペツトおよび雄側ポペ
ツトを、内部に流体通路となる横孔と、該横孔に
連通した縦孔とを有して先端が閉塞した筒形状と
し、前記スプリングを該雌側ポペツトおよび雄側
ポペツトの外周に嵌挿すると共に、雌本体と雌側
ポペツト、雄本体と雄側ポペツトの各摺動部にお
ける前記スプリングの前後位置に、Ｏリングを組
込んだものであるから、雌本体及び雄本体に夫々
ポペツトを内蔵した簡易な構成であるにも拘ら
ず、雌継手と雄継手との分離、結合動作時におい
ては、流体が雌、雄ポペツトの内部を流通し、Ｏ
リングの作用でスプリングと直接接触せず、該ス
プリングが流体から完全に隔絶された状態となる
ため、スプリングの腐蝕が起こる恐れはなく、す
ぐれた耐久性を維持できる。また、本発明の配管継手は、雌本体、雌側ポペ
ツト、雄本体、雄側ポペツトなど流体通路の壁面
を構成する部材が耐蝕性合成樹脂で成形され、流
体通路内を流れる流体と接するＯリングが耐蝕性
ゴムで成形されていることから、人体に危険な
酸、アルカリの送液配管用の継手として十分使用
が可能であり、前記スプリングの腐蝕防止による
動作の確実さと相俟つて流体移し替え作業等を安
全、かつ、迅速に行えるというすぐれた効果を発
揮する。しかも、本発明において、前記スプリングに対
し耐蝕合成樹脂被膜によるコーテイングを施せ
ば、より一層耐薬品性が向上し、長く性能を維持
することが出来ると共に、各弁体の材質としてフ
ツ素樹脂を使用し、Ｏリングの材質としてフツ素
ゴムを使用した場合はあらゆる薬品類の移し替え
作業等に利用出来るという特長が発揮される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の雌継手の半断面図、第
２図は同雄継手の半断面図、第３図は同雌、雄継
手の完全結合状態の半断面図である。１Ａ…雌継手、２Ａ…雄継手、１…雌本体、４
…雌側ポペツト、４ｉ…横孔、４ｊ…縦孔、５…
スプリング、２１…雄本体、２４…雄側ポペツ
ト、２４ｇ…横孔、２４ｈ…縦孔、２５…スプリ
ング、６，７，２６，２７…Ｏリング。

Claims

【特許請求の範囲】１互いに結合、分離して流体を流通、停止する
雌継手１Ａと雄継手２Ａとからなり、各継手１
Ａ，２Ａは夫々、その本体１，２１内にスプリン
グ５，２５で流体通路閉鎖方向に付勢された雌側
ポペツト４、雄側ポペツト２４を進退摺動可能に
内蔵する簡易着脱配管継手において、下記(イ)〜(ホ)
の各構成を具備せしめたことを特徴とする耐蝕性
の簡易着脱配管継手。 (イ) 雌側ポペツト４および雄側ポペツト２４を、
内部に流体通路となる横孔４ｉ，２４ｇと、該
横孔４ｉ，２４ｇに連通した縦孔４ｊ，２４ｈ
とを有して先端が閉塞した筒形状としたこと。 (ロ) スプリング５，２５を前記雌側ポペツト４お
よび雄側ポペツト２４の外周に嵌挿したこと。 (ハ) 雌本体１と雌側ポペツト４、雄本体２１と雄
側ポペツト２４の各摺動部における前記スプリ
ング５，２５の前後位置に、Ｏリング６，７，
２６，２７を設けたこと。 (ニ) 雌本体１、雌側ポペツト４、雄本体２１、雄
側ポペツト２４など流体通路の壁面を構成する
部材を耐蝕性合成樹脂で成形したこと。 (ホ) 流体通路内を流れる流体と接するＯリング
６，７，２６，２７を耐蝕性ゴムで成形したこ
と。２スプリング５，２５が耐蝕性合成樹脂被膜で
コーテイングされた金属製スプリングである特許
請求の範囲第１項記載の簡易着脱配管継手。３耐蝕性合成樹脂がフツ素樹脂である特許請求
の範囲第１項又は第２項記載の簡易着脱配管継
手。４耐蝕性ゴムがフツ素ゴムである特許請求の範
囲第１項、第２項又は第３項記載の簡易着脱配管
継手。