JPH068397Y2 - 配管継手 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、主として半導体のウエットエッチングに際し
て使用する腐食性の強い液体を流すホース間または前記
液体の収容容器とエッチング装置との間を接続する配管
継手に関するものである。

（従来技術） 従来の配管継手は、例えば実開昭５６−１０１２９２号
公報に記載され且つ第５図に示したごとく、液体の流通
路（Ａ）を備え、且つこの流通路（Ａ）内に、該流通路
（Ａ）を開閉する第１弁体（Ｂ）を内装した雄形継手
（Ｃ）と、この雄形継手（Ｃ）を受け入れる受入部
（Ｄ）及び前記流通路（Ａ）と連通する流通路（Ｅ）を
備え、且つこの流通路（Ｅ）内に、該流通路（Ｅ）を開
閉する第２弁体（Ｆ）を内装した雌型継手（Ｇ）とから
なり、前記各継手（Ｃ）（Ｇ）の流通路（Ａ）（Ｅ）内
に、前記弁体（Ｃ）（Ｇ）を閉方向に付勢させるスプリ
ング（Ｓ１）（Ｓ２）を介装する一方、前記各継手
（Ｃ）（Ｇ）間に、前記受入部（Ｄ）に嵌合する雄形継
手（Ｃ）を離脱可能に係止する係止機構（Ｈ）を設け、
前記係止機構（Ｈ）による前記両継手（Ｃ）（Ｇ）の結
合により、前記第１弁体（Ｂ）と該第１弁体（Ｂ）に対
向する前記第２弁体（Ｆ）とを前記スプリング（Ｓ１）
（Ｓ２）により開方向に動作させて、前記両流通路
（Ａ）（Ｅ）を連通させるように成している。

ところが以上の配管継手にあっては、前記スプリング
（Ｓ１）（Ｓ２）が液体の流通路（Ａ）（Ｅ）内に介装
されているので、かかる配管継手を、ウエットエッチン
グに際して使用する腐食性の強い液体の収容容器とエッ
チング装置との間の継手部材として用いると、特に前記
スプリング（Ｓ１）（Ｓ２）が前記液体により腐食し
て、液体中に金属イオンが溶解し流通する液体を汚染す
ると云う問題がある。

これらのスプリング（Ｓ１）（Ｓ２）は通常は樹脂コー
ティングされて使用されているものであるが、コーティ
ングが施されていても使用中にその被膜には、ピンホー
ルが生じ、このピンホールを通して同様にスプリングの
金属基材が腐食し、生成する金属イオンが流通する液体
中に混入して液が汚染されることに変りがない。

そこで本願出願人は先に、弁体に、前記各継手の弁孔を
前部室と後部室とに区画する弾性膜体を固定して、これ
ら各膜体の外周部を前記各継手に固定すると共に、前記
後部室に、前記各弁体を前方に押圧するスプリングを内
装する一方、前記前部室を、前記継手の出入口通路に、
前記後部室を回避する連通路を介して連通させるように
して、前記スプリングを大きな弾発力が得られる金属材
料から形成しても、該スプリングが腐食するようなこと
のない配管継手を開発した（実願昭６２−１３３４０６
号）のである。

（考案が解決しようとする課題） ところが以上の配管継手にあっては、弁孔を前部室と後
部室とに仕切る前記弾性膜体の中央部を前記弁体に固定
しているため、例えば、前記雄形継手を雌形継手から離
して、該継手の弁体を前記スプリングの反力により閉動
作させた場合、弁孔の前部室には高圧の流体が作用する
のに対し、前記後部室は大気圧のみが作用するだけであ
るので、前記弾性膜体が前記後部室側に弾性変形し、該
弾性膜体に固定されている前記弁体も前記弾性膜体の弾
性変形と共に、前記後部室側に引っ張られて、前記前部
室から高圧流体が外部に漏れると云う不具合が考えられ
るのである。

本考案は以上の実情に鑑みて開発したものであって、前
記弁体を閉方向に付勢させる前記スプリングを大きな弾
発力が得られる金属材料から形成しても、該スプリング
が腐食するようなことがなく、しかも前記継手の切り離
し時において、各継手のシールが確実に行える配管継手
を提供するにある。

（課題を解決するための手段） しかして本考案は、第１弁孔（２０）内に第１弁体
（１）を内装した雄形継手（２）と、第２弁孔（４０）
内に前記第１弁体（１）に対向する第２弁体（３）を内
装し、かつ雄形継手（２）を受け入れる受入部（４２
ａ）を備えて雌形継手（４）とから成り、前記各継手
（２）（４）間に、前記受入部（４２ａ）に嵌合する雄
形継手（２）を離脱可能に係止する係止機構（５）を備
えた配管継手であって、前記各弁孔（２０）（４０）
に、これら各弁孔（２０）（４０）を横断する横断面を
もち、各弁孔（２０）（４０）を、前部室（Ｓ１）（Ｔ
１）と後部室（Ｓ２）（Ｔ２）とにそれぞれ区画する弾
性膜体（６）（７）を介装して、前記各前部室（Ｓ１）
（Ｔ１）に前記各弁体（１）（３）を、また前記後部室
（Ｓ２）（Ｔ２）に、前記各弁体（１）（３）を前記横
断面を介して前方に押圧するスプリング（１０）（３
０）をそれぞれ内装すると共に、前記各弾性膜体（６）
（７）における前部室（Ｓ１）（Ｔ１）側に、前記各弁
体（１）（３）に設ける被嵌合部（１５）（３５）と嵌
合し、かつ前記各弁体（１）（３）に対する前記各横断
面の前後方向の移動を許容する嵌合部（６２）（７２）
を設ける一方、前記前部室（Ｓ１）（Ｔ１）を、前記継
手（２）（４）の出入口通路（２５）（４５）に、前記
後部室（Ｓ２）（Ｔ２）を回避する連通路（２６）（４
６）を介して連通させたことを特徴とするものである。

（作用） 本考案によれば、前記各弁体（１）（３）を動作させる
スプリング（１０）（３０）が液体の流れる前記前部室
（Ｓ１）（Ｔ１）とは前記弾性膜体（６）（７）により
密閉状に隔離された後部室（Ｓ２）（Ｔ２）に設けられ
ているので、前記スプリング（１０）（３０）を例えば
弾発力にすぐれた金属から形成するも、該スプリング
（１０）（３０）が腐食するようなことはないのであ
り、しかも前記雄形継手（２）の雌形継手（４）からの
取り外しに伴い、前記前部室（Ｓ１）（Ｔ１）の圧力が
前記後部室（Ｓ２）（Ｔ２）よりも非常に高くなって
も、前記弾性膜体（６）（７）の嵌合部が前記各弁体
（１）（３）の被嵌合部に対して移動して前記横断面の
みが前記後部室側に付勢し、前記各弁体（１）（３）が
開動作する虞がないのである。

（実施例） 以下本考案にかかる配管継手を第１図から第４図に示す
実施例に従って説明する。

第１図に示す配管継手は、半導体のウエットエッチング
に際して使用する腐食性の強い液体を収容する収容容器
とエッチング装置との間に介装するものであって、この
配管継手は、基本的には、第１弁孔（２０）に第１弁体
（１）を内装した雄形継手（２）と、この第１弁体
（１）に対向する第２弁体（３）を第２弁孔（４０）に
内装し且つ前記雄形継手（２）を受け入れる受入部（４
２ａ）を備えた雌形継手（４）と、この雌形継手（４）
の受入部（４２ａ）に嵌合する前記雄形継手（２）を前
記雌形継手（２）に対して離脱可能に係止する係止機構
（５）とから成る。

前記雄形継手（２）は、大径孔（２１ａ）を備えた大径
筒部（２１）と小径孔（２２ａ）を備えた小径筒部（２
２）とからなるアウタボディ（２ａ）と、前記大径筒部
（２１）の大径孔（２１ａ）に嵌合するインナボディ
（２ｂ）とから成り、前記アウタボディ（２ａ）におけ
る小径筒部（２２）の小径孔（２２ａ）の一端開口部
に、第１弁体（１）が着座するシート面（２３）を設け
ている。

また前記インナボディ（２ｂ）の軸方向一端部には、前
記小径孔（２２ａ）とほぼ同一径の凹溝（２４）を形成
して、該凹溝（２４）内の中心に円柱状のガイド体（２
４ａ）を立設する一方、該凹溝（２４）内に、コイルス
プリング（１０）と前記ガイド体（２４ａ）の受け入れ
孔（１０）を備えた有底筒状のスペーサ（１１）とを挿
入して、該スペーサ（１１）の一端に形成したフランジ
（１１ｂ）に前記コイルスプリング（１０）の一端を当
接させるように成している。

また前記インナボディ（２ｂ）の軸方向他端部には液体
の出入口通路（２５）と取付フランジ（２６）とを設
け、該インナボディ（２ｂ）の一端側を前記アウタボデ
ィ（２ａ）における大径筒部（２１）内に挿嵌して、前
記取付フランジ（２６）を前記大径筒部（２１）の端面
にボルト止めすることで、前記インナボディ（２ｂ）を
前記アウタボディ（２ａ）に固定し、前記小径孔（２２
ａ）と前記凹溝（２４）とで、前記第１弁体（１）及び
コイルスプリング（１０）を収容する第１弁孔（２０）
を形成するようにしている。

前記第１弁孔（２０）に収容する前記第１弁体（１）
は、弁本体（１２）の外周面を四方でカットして、該カ
ット面（１３）と前記第１弁孔（２０）の内周面との間
に液体が流通可能な隙間を設けているのであって、また
前記弁本体（１２）の軸方向他端部には、該弁本体（１
２）よりも一回り小径とした小径軸部（１４）を突設し
て、該小径軸部（１４）には、該軸部（１４）の軸端面
に開口る被嵌合部としての被嵌合溝（１５）と、径方向
に貫通して、前記被嵌合溝（１４）の内底部を外部に開
放する透孔（１６）を形成している。

一方、前記第１弁孔（２０）には、該第１弁孔（２０）
の長さ方向途中を径方向に横断する横断面を備えた弾性
膜体（６）を介装して、該弾性膜体（６）により、前記
第１弁孔（２０）を、前記シート面（２３）側に位置し
て前記第１弁体（１）を移動自由に内装可能とする前部
室（Ｓ１）と、該弾性膜体（６）を挟んで前記シート面
（２３）とは反対側に位置して、前記コイルスプリング
（１０）を内装する後部室（Ｓ２）とに区画するように
している。

具体的には、前記弾性膜体（６）を、円形の横断面をも
つ薄肉の弾性膜本体（６１）と、該弾性膜本体（６１）
の中央に突設して、前記弁体（１）の嵌合溝（１５）に
移動自由に嵌合する嵌合部としての嵌合突部（６２）
と、該弾性膜本体（６１）の周縁部に突設した四つの固
定突部（６３）とから構成して、この弾性膜体（６）
を、前記アウタボディ（２ａ）の大径孔（２１ａ）に内
装し、前記インナボディ（２ｂ）を前記アウタボディ
（２ａ）に組付けるに際し、前記固定突部（６３）を前
記アウタボディ（２ａ）と前記インナボディ（２ｂ）と
で挾持して、前記弾性膜本体（６１）により前記第１弁
孔（２０）を２室に隔離して、前記小径筒（２２）の小
径孔（２２ａ）を、前記第１弁体（１）を移動自由に内
装する前部室（Ｓ１）とし、前記インナボディ（２ｂ）
の凹溝（２４）を、前記コイルスプリング（１０）を内
装する後部室（Ｓ２）と成すと共に、前記嵌合突部（６
２）を前記弁体（１）の嵌合溝（１５）に移動自由に挿
入しているのであって、また前記インナボディ（２ｂ）
には、該インナボディ（２ｂ）の軸方向一端部に形成し
た出入口通路（２５）と前記前部室（Ｓ１）とを結ぶ連
絡路（２６）と、前記凹溝（２４）を外部に連通される
連通路（２７）とを形成している。

次に前記雌形継手（４）は、基本的には前記雄形継手
（２）と同様の構成のものであって、大径孔（４１ａ）
を備えた大径筒部（４１）と前記雄形継手（２）におけ
るアウタボディ（２ａ）の小径筒部（２２）が嵌合可能
な受入部（４２ａ）を備えた小径筒部（４２）とからな
るアウタボディ（４ａ）と、前記大径筒部（４１）の大
径孔（４１ａ）に遊挿するインナボディ（４ｂ）とから
なり、前記アウタボディ（４ａ）に前記大径孔（４１
ａ）と前記受入部（４２ａ）とを結ぶ連通孔（４）を形
成して、該連通孔（４３）の開口部に、第１弁体（１）
が着座するシート面（４３ａ）を設ける一方、前記イン
ナボディ（４ｂ）の軸方向一端部には、前記連通孔（４
３）とほぼ同一径の凹溝（４４）を形成して、該凹溝
（４４）内の中心に円柱状のガイド体（４４ａ）を立設
する一方、該凹溝（４４）内に、コイルスプリング（３
０）と前記ガイド体（４４ａ）の受け入れ孔（３１ａ）
を備えた有底筒状のスペーサ（３１）とを挿入して、該
スペーサ（３１）の一端に形成したフランジ（３１ｂ）
に前記コイルスプリング（３０）の一端を当接させるよ
うに成している。

そして前記インナボディ（４ｂ）の一端側を前記アウタ
ボディ（４ａ）における大径筒部（４１）内に挿嵌し
て、該インナボディ（４ｂ）を前記アウタボディ（４
ａ）の大径筒部（４１）にボルト止めすることで、前記
インナボディ（４ｂ）を前記アウタボディ（４ａ）に固
定し、前記連通孔（４３）と前記凹溝（４４）とで、前
記第２弁体（３）及び前記コイルスプリング（３０）を
収容する第２弁孔（４０）を形成するようにしている。

また前記インナボディ（４ｂ）の軸方向他端部には液体
の出入口通路（４５）を形成すると共に、該出入口通路
（４５）には、該インナボディ（４ｂ）をエッチング装
置の液体供給口に固定するための円筒状の固定ボディ
（４６）を螺合している。

また、前記第２弁孔（４０）に収容する前記第２弁体
（３）は、弁本体（３２）の外周面を四方でカットし
て、該カット面（３３）と前記第２弁孔（４０）の内周
面との間に液体が流通可能隙間を設けているのであっ
て、また前記弁本体（３２）の軸方向他端部には、該弁
本体（３２）よりも一回り小径とした小径軸部（３４）
を突設して、該小径軸部（３４）には、該軸部（３４）
の軸端面に開口する被嵌合部としての被嵌合溝（３５）
と、径方向に貫通して、前記被嵌合溝（３５）の内底部
を外部に開放する透孔（３６）を形成している。

一方、前記第２弁孔（４０）には、該第２弁孔（４０）
の長さ方向途中を径方向に横断する横断面を備えた弾性
膜体（７）を介装して、該弾性膜体（７）により、前記
第２弁孔（４０）を、前記シート面（２３）側に位置し
て前記第２弁体（３）を移動自由に内装可能とする前部
室（Ｔ１）と、該弾性膜体（６）を挟んで前記シート面
（４３ａ）とは反対側に位置して、前記コイルスプリン
グ（３０）を内装する後部室（Ｔ２）とに区画するよう
にしている。

具体的には、前記弾性膜体（７）を、円形の横断面をも
つ薄肉の弾性膜本体（７１）と、該弾性膜本体（７１）
の中央に突設して前記弁体（３）の嵌合溝（３５）に移
動自由に嵌合する嵌合部としての嵌合突部（７２）と、
該弾性膜本体（７１）の周縁部に突設した四つの固定突
部（７３）とから構成して、この弾性膜体（７）を、前
記アウタボディ（４ａ）の大径孔（４１ａ）に内装し、
前記インナボディ（４ｂ）を前記アウタボディ（４ａ）
に組付けるに際し、前記固定突部（７３）を前記アウタ
ボディ（４ａ）と前記インナボディ（４ｂ）とで挾持し
て、前記弾性膜本体（７１）により前記第２弁孔（４
０）を２室に隔離して、前記アウタボディ（４ａ）の連
通孔（４３）を、前記第２弁体（３）を移動自由に内装
する前部室（Ｔ１）とし、前記インナボディ（４ｂ）の
凹溝（４４）を、前記コイルスプリング（３０）を内装
する後部室（Ｔ２）と成すと共に、前記嵌合突部（７
２）を前記弁体（３）の嵌合溝（３５）に移動自由に挿
入しているのであって、また前記インナボディ（４ｂ）
には、前記出入口通路（４５）と前記前部室（Ｔ１）と
を結ぶ連絡路（４６）と、前記凹溝（４４）を外部に連
通する連通路（４７）とを形成している。

また第１図に示す実施例では、前記雄形継手（２）を前
記雌形継手（２）に対して離脱可能に係止する係止機構
（５）を、前記両継手（２）（４）におけるアウタボデ
ィ（２ａ）（４ａ）の小径筒部（２２）（４２）に設け
ている。

具体的には前記雄形継手（２）におけるアウタボディ
（２ａ）の小径筒部（２２）外周に断面Ｖ字形の環状溝
（５１）を形成する一方、前記雌形継手（４）における
アウタボディ（４ａ）の小径筒部（４２）に、該小径筒
部（４２）の受入部（４２ａ）に前記小径筒部（２２）
を嵌合させた時に前記環状溝（５１）上で開口する円錐
状の透孔（５２）と環状の凹溝（５３）とを形成して、
該透孔（５２）にロックボール（５４）を挿入している
のであって、また前記雌形継手（４）におけるアウタボ
ディ（４ａ）の小径筒部（４２）外周にスリーブ（５
５）を挿嵌すると共に、前記凹溝（５３）に、前記スリ
ーブ（５５）の前記小径筒部（４２）からの抜け外れを
阻止するリング（５６）を嵌着している。

そして前記スリーブ（５５）の内周面に形成した段部と
前記小径筒部（４２）の外周に形成した段部との間に、
前記スリーブ（５５）を前記リング（５６）側に付勢さ
せるスプリング（５７）を介装する一方、前記スリーブ
（５５）の前記リング（５６）と対向する開口部内周に
環状の凹所（５８）を形成している。

以上の構成において、前記雄形継手（２）を構成するア
ウタボディ（２ａ）とインナボディ（２ｂ）、前記雌形
継手（４）を構成するアウタボディ（４ａ）とインナボ
ディ（４ｂ）、前記係止機構（５）を構成するスリーブ
（５５）とを弗素樹脂から形成すると共に、前記第１、
第２弁体（１）（３）を摩擦抵抗の小さい四弗化エチレ
ン樹脂から形成している。

前記スプリング（１０）（３０）（５７）及び前記リン
グ（５６）はステンレス材の表面に弗素樹脂をコーティ
ングしたものを用いており、また前記ロックボール（５
４）はセラミックから形成している。

以上の構成からなる各継手（２）（４）を接続するに
は、前記係止機構（５）を構成する前記スリーブ（５
５）を前記スプリング（５７）に抗して第１図右方向に
スライドさせて、該スリーブ（５５）の内周面に設けた
環状凹所（５８）を前記透孔（５２）上に位置させた上
で、前記雄形継手（２）におけるアウタボディ（２ａ）
の小径筒部（２２）を前記受入部（４２ａ）内に挿嵌す
るのであって、該小径筒部（２２）の前記受入部（４２
ａ）内への挿嵌により、前記係止機構（５）の透孔（５
２）より前記受入部（４２ａ）内に一部突出している前
記ロックボール（５４）が前記小径筒部（２２）の外周
面で押されて前記環状凹所（５８）内に移動するのであ
る。そして前記小径筒部（２２）が前記受入部（４２
ａ）内に完全に嵌合した位置で、前記スリーブ（５５）
を前記スプリング（５７）のばね力で第１図左方向に移
動させれば、前記ロックボール（５４）が前記透孔（５
２）と前記小径筒部（２２）に設けた前記環状溝（５
１）とにまたがって嵌合し、第１図に示すごとく前記ロ
ックボール（５４）を介して前記雄形継手（２）が前記
雌形継手（４）に結合されるのである。

そしてこれら両継手（２）（４）の接続に伴い、前記第
１弁体（１）が前記第２弁体（３）に当接して、これら
両弁体（１）（３）が前記スプリング（１０）（３０）
に抗して開動し、前記雄形継手（２）の出入口通路（２
７）に接続する液体供給源側のホースと前記雌形継手
（４）を組付けたエッチング装置とが連通し、前記ホー
スを介して送られてくる高圧の液体が前記両継手（２）
（４）を通って前記エッチング装置側に供給することが
出来るのであり、また前記両継手（２）（４）を流れる
液体は、前記スプリング（１０）（３０）に触れること
がないので、前記スプリング（１０）（３０）が前記液
体により腐食するような虞はないのである。

一方、両継手（２）（４）の接続を解除するには、前記
スリーブ（５５）を前記スプリング（５７）に抗して第
１図右方向にスライドさせた上で、前記雄形継手（２）
を第１図左方向に引けば、前記ロックボール（５４）が
前記環状溝（５１）から離脱して前記環状凹所（５８）
側に移動し、該ロックボール（５４）による前記両小径
筒部（２２）（４２）の結合が解除されるので、前記雄
形継手（２）を前記雌形継手（４）から取り外すことが
出来るのであって、以上のごとく前記雌形継手（４）を
前記雄形継手（２）から取り外すに伴い、前記第１弁体
（１）及び前記第２弁体（３）が前記スプリング（１
０）（３０）のばね力により閉動するのである。

しかして以上のごとく前記両継手（２）（４）の接続解
除により、前記前部室（Ｓ１）（Ｔ１）において、高圧
の液体が前記弾性膜体（６）・（７）の膜本体（６１）
・（７１）に作用するが、前記弾性膜体（６）（７）の
嵌合突部（６２）（７２）が前記各弁体（１）（３）の
被嵌合溝（１５）（３５）に対して移動して、前記膜本
体（６１）（７１）が前記後部室（Ｓ２）（Ｔ２）側に
付勢するのに対し、前記弁体（１）（３）は弁本体（１
２）（３２）の背面に前記液体が作用して、該液体の圧
力で閉方向に押されるので、該弁体（１）（３）が開方
向に動作する虞はないのである。

（考案の効果） 以上のごとく本考案によれば、前記後部室（Ｓ２）（Ｔ
２）が、液体の流れる前部室（Ｓ１）（Ｔ１）に対し、
各弁孔（２０）（４０）を横断する横断面をもつ弾性膜
体（６）（７）により確実に密閉状に隔離されるので、
前記後部室（Ｓ２）（Ｔ２）に収容された前記各弁体
（１）（３）を動作させるスプリング（１０）（３０）
を例えば弾発力の優れた金属から形成するも、前記スプ
リング（１０）（３０）が腐食することがなく、従っ
て、前記弁体（１）（３）を確実にしかも長期にわたっ
て開閉動作させることが出来るのである。

しかも本考案によれば、前記雄形継手（２）の雌形継手
（４）からの取り外しに伴って、前記前部室（Ｓ１）
（Ｔ１）に高圧の液体が流入し、該前部室（Ｓ１）（Ｔ
１）の圧力が前記後部室（Ｓ２）（Ｔ２）よりも非常に
高くなった場合でも、該圧力差により、前記弾性膜体
（６）（７）の嵌合部が前記各弁体（１）（３）の被嵌
合部に対して移動して前記横断面のみが前記後部室（Ｓ
２）（Ｔ２）側に付勢し、前記各弁体（１）（３）は開
動作する虞がなく、従って前記各継手から液体が漏れる
虞はないのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案にかかる配管継手の一実施例を示す断面
図、第２図は弾性膜体の正面図、第３図は弾性膜体の断
面図、第４図は弁体の正面図、第５図は従来の配管継手
を示す断面図である。 （１）……第１弁体 （２）……雄形継手 （３）……第２弁体 （４）……雌形継手 （４２ａ）……受入部 （５）……係止機構 （６）（７）……弾性膜体 （１０）（３０）……スプリング （１５）（３５）……被嵌合部 （Ｓ１）（Ｔ１）……前部室 （Ｓ２）（Ｔ２）……後部室 （２６）（４６）……連通路 （２５）（４５）……出入口通路 （６２）（７２）……嵌合部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】第１弁孔（２０）内に第１弁体（１）を内
   装した雄形継手（２）と、第２弁孔（４０）内に前記第
   １弁体（１）に対向する第２弁体（３）を内装し、かつ
   雄形継手（２）を受け入れる受入部（４２ａ）を備えた
   雌形継手（４）とから成り、前記各継手（２）（４）間
   に、前記受入部（４２ａ）に嵌合する雄形継手（２）を
   離脱可能に係止する係止機構（５）を備えた配管継手で
   あって、前記各弁孔（２０）（４０）に、これら各弁孔
   （２０）（４０）を横断する横断面をもち、各弁孔（２
   ０）（４０）を、前部室（Ｓ１）（Ｔ１）と後部室（Ｓ
   ２）（Ｔ２）とにそれぞれ区画する弾性膜体（６）
   （７）を介装して、前記各前部室（Ｓ１）（Ｔ１）に前
   記各弁体（１）（３）を、また前記後部室（Ｓ２）（Ｔ
   ２）に、前記各弁体（１）（３）を前記横断面を介して
   前方に押圧するスプリング（１０）（３０）をそれぞれ
   内装すると共に、前記各弾性膜体（６）（７）における
   前部室（Ｓ１）（Ｔ１）側に、前記各弁体（１）（３）
   に設ける被嵌合部（１５）（３５）と嵌合し、かつ前記
   各弁体（１）（３）に対する前記各横断面の前後方向の
   移動を許容する嵌合部（６２）（７２）を設ける一方、
   前記前部室（Ｓ１）（Ｔ１）を、前記継手（２）（４）
   の出入口通路（２５）（４５）に、前記後部室（Ｓ２）
   （Ｔ２）を回避する連通路（２６）（４６）を介して連
   通させたことを特徴とする配管継手。