JPH03106736U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03106736U JPH03106736U JP1581890U JP1581890U JPH03106736U JP H03106736 U JPH03106736 U JP H03106736U JP 1581890 U JP1581890 U JP 1581890U JP 1581890 U JP1581890 U JP 1581890U JP H03106736 U JPH03106736 U JP H03106736U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- pressure
- dielectric line
- pressure detector
- plasma
- Prior art date
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- Pending
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 235000002918 Fraxinus excelsior Nutrition 0.000 description 2
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- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案に係るプラズマアツシング装置
の模式的正面断面図、第２図ａはアツシング時間
と圧力計出力との関係を示すグラフ、第２図ｂは
アツシング時間とＣＯスペクトル強度との関係を
示すグラフ、第３図は従来のバレル型のプラズマ
アツシング装置の模式的正面断面図、第４図は従
来のダウンフロー型のプラズマアツシング装置の
模式的正面断面図、第５図は従来のプラズマアツ
シング装置の模式的正面断面図、第６図はアツシ
ング時間とスペクトル強度との関係を示すグラフ
である。 １３……仕切壁、１４……プラズマ生成室、１
５……試料処理室、１６……誘電体被覆線路、１
８……導波管、１９……マイクロ波発振器、２２
……ポート、２３……圧力検出器、２４……記録
器、２５……Ａ／Ｄ変換器、２６……制御器、Ｓ
……試料。
の模式的正面断面図、第２図ａはアツシング時間
と圧力計出力との関係を示すグラフ、第２図ｂは
アツシング時間とＣＯスペクトル強度との関係を
示すグラフ、第３図は従来のバレル型のプラズマ
アツシング装置の模式的正面断面図、第４図は従
来のダウンフロー型のプラズマアツシング装置の
模式的正面断面図、第５図は従来のプラズマアツ
シング装置の模式的正面断面図、第６図はアツシ
ング時間とスペクトル強度との関係を示すグラフ
である。 １３……仕切壁、１４……プラズマ生成室、１
５……試料処理室、１６……誘電体被覆線路、１
８……導波管、１９……マイクロ波発振器、２２
……ポート、２３……圧力検出器、２４……記録
器、２５……Ａ／Ｄ変換器、２６……制御器、Ｓ
……試料。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 マイクロ波を伝送する導波管、導波管に連結さ
れた誘電体線路及び該誘電体線路に対向配置され
た反応器を具備するアツシング装置において、 反応器内の圧力を検出する圧力検出器と、該圧
力検出器の圧力検出信号と予め定めた基準値とを
比較し、アツシング処理の終了を判断し、マイク
ロ波発振器を制御する制御器とを備えることを特
徴とするプラズマアツシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1581890U JPH03106736U (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1581890U JPH03106736U (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03106736U true JPH03106736U (ja) | 1991-11-05 |
Family
ID=31519108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1581890U Pending JPH03106736U (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03106736U (ja) |
-
1990
- 1990-02-19 JP JP1581890U patent/JPH03106736U/ja active Pending
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