JPH0194461U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0194461U JPH0194461U JP19148987U JP19148987U JPH0194461U JP H0194461 U JPH0194461 U JP H0194461U JP 19148987 U JP19148987 U JP 19148987U JP 19148987 U JP19148987 U JP 19148987U JP H0194461 U JPH0194461 U JP H0194461U
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- JP
- Japan
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- dielectric
- reaction vessel
- line
- shape
- coated line
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- Granted
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を断面して示す正面
図、第２図は誘電体被複線路と導波管の接続部及
びその形状の一例を示す平面図である。 １は導波管、２は誘電体被覆線路、４は反応容
器、７は試料台。
図、第２図は誘電体被複線路と導波管の接続部及
びその形状の一例を示す平面図である。 １は導波管、２は誘電体被覆線路、４は反応容
器、７は試料台。
Claims (1)
- マイクロ波発振器からのマイクロ波を伝送する
導波管に連通された誘電体被覆線路と、該誘電体
被覆線路の下方に配置され、ガス導入装置と排気
装置を備えると共にその上部壁を耐熱性板とした
密閉反応容器を具備して成り、前記誘電体被覆線
路を円形又は環状と成すと共に、反応容器内に回
転可能な試料台を配設したことを特徴とするマイ
クロ波プラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19148987U JPH0543097Y2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19148987U JPH0543097Y2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0194461U true JPH0194461U (ja) | 1989-06-21 |
| JPH0543097Y2 JPH0543097Y2 (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=31482396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19148987U Expired - Lifetime JPH0543097Y2 (ja) | 1987-12-16 | 1987-12-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0543097Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-12-16 JP JP19148987U patent/JPH0543097Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0543097Y2 (ja) | 1993-10-29 |