JPH03103261U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03103261U JPH03103261U JP1139590U JP1139590U JPH03103261U JP H03103261 U JPH03103261 U JP H03103261U JP 1139590 U JP1139590 U JP 1139590U JP 1139590 U JP1139590 U JP 1139590U JP H03103261 U JPH03103261 U JP H03103261U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cup
- holder
- semiconductor wafer
- contacts
- upper edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims 2
Description
第１図は実施例の縦断面図である。
１……半導体ウエハ、２……めつき液、３……
カツプ、３ａ……上縁、６……陽極板、８……保
持具、９……陰極接触子。
カツプ、３ａ……上縁、６……陽極板、８……保
持具、９……陰極接触子。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ めつき液をオーバフローする円筒状のカツプ
と、このカツプの中に配置される陽極板と、前記
カツプの上縁と適宜な隙間を確保して半導体ウエ
ハを保持する保持具と、前記半導体ウエハに接触
する陰極接触子と、前記保持具を垂直軸のまわり
に回動させる回動装置とからなることを特徴とす
る半導体ウエハの電解めつき装置。 ２ めつき液をオーバフローする円筒状のカツプ
と、このカツプの中に配置される陽極板と、前記
カツプの上縁と適宜な隙間を確保して半導体ウエ
ハを保持する保持具と、前記半導体ウエハに接触
する陰極接触子と、前記保持具を上下させる上下
動装置とからなることを特徴とする半導体ウエハ
の電解めつき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1139590U JPH03103261U (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1139590U JPH03103261U (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03103261U true JPH03103261U (ja) | 1991-10-28 |
Family
ID=31514923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1139590U Pending JPH03103261U (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03103261U (ja) |
-
1990
- 1990-02-07 JP JP1139590U patent/JPH03103261U/ja active Pending