JPH02149765U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02149765U JPH02149765U JP5764689U JP5764689U JPH02149765U JP H02149765 U JPH02149765 U JP H02149765U JP 5764689 U JP5764689 U JP 5764689U JP 5764689 U JP5764689 U JP 5764689U JP H02149765 U JPH02149765 U JP H02149765U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- anode
- semiconductor wafer
- cup
- plating cup
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の一実施例の噴流式メツキ装
置の縦断面図で、第２図はその陽極の一例の平面
図である。第３図は従来の噴流式メツキ装置の縦
断面図、第４図はこの考案の装置及び従来装置に
おけるメツキ時間対メツキ析出量の特性図である
。 １……メツキカツプ、２……メツキ液、６……
半導体ウエーハ、８……陰極、９……陽極、９ａ
……透孔。
置の縦断面図で、第２図はその陽極の一例の平面
図である。第３図は従来の噴流式メツキ装置の縦
断面図、第４図はこの考案の装置及び従来装置に
おけるメツキ時間対メツキ析出量の特性図である
。 １……メツキカツプ、２……メツキ液、６……
半導体ウエーハ、８……陰極、９……陽極、９ａ
……透孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 下方からメツキ液を導入し、上端からオーバー
フローさせる筒状のメツキカツプと、このメツキ
カツプ上に配置される半導体ウエーハと、メツキ
カツプ内に配置された陽極と、半導体ウエーハに
負電位を供給する陰極とを備えるものにおいて、 前記陽極を、銀で形成したことを特徴とする噴
流式メツキ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5764689U JPH02149765U (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5764689U JPH02149765U (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02149765U true JPH02149765U (ja) | 1990-12-21 |
Family
ID=31582544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5764689U Pending JPH02149765U (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02149765U (ja) |
-
1989
- 1989-05-18 JP JP5764689U patent/JPH02149765U/ja active Pending