JPH0310046B2

JPH0310046B2 -

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Publication number: JPH0310046B2
Application number: JP58118394A
Authority: JP
Inventors: Purintsu Ruudorufu; Karuaato Ruudorufu
Original assignee: DOITSUCHE FUORUSHUNGUSU UNTO FUERUZUTSUHISU ANSHUTARUTO HYURU RUFUTO UNTO RAUMU FUAARUTO EE FUAU
Current assignee: DOITSUCHE FUORUSHUNGUSU UNTO FUERUZUTSUHISU ANSHUTARUTO HYURU RUFUTO UNTO RAUMU FUAARUTO EE FUAU
Priority date: 1982-07-02
Filing date: 1983-07-01
Publication date: 1991-02-12
Also published as: ES523793A0; US4532810A; EP0100429A2; ATE45807T1; DE3380447D1; EP0100429B1; JPS5932803A; DK165857C; DK165857B; DK303383D0; EP0100429A3; DK303383A; ES8404052A1

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、第１の測定プロツトを備えたフレー
ムと、フレームに対して運動可能にフレーム内に
支承されかつ第２の測定プロツトを備えた保持部
材と、フレームに配置された機械・電気式の変換
器とを備えており、変換器の第１の部材がフレー
ムに、かつ第２の部材が運動可能に支承された保
持部材に結合されている形式のものに関する。

接着剤層のスラストによる変形を測定するため
に規定された公知の測定装置（西ドイツ国特許出
願公開第2435068号明細書）においては互いに相
対運動可能な部分間に誘導式の距離測定装置が配
置されている。このような誘導式の距離測定装置
は高価な増幅装置の使用を必要とする。さらにこ
のような距離測定装置においては誘導コイルによ
つて組込み容積が比較的大きくなる。

さらに磁気抵抗効果式測定装置も公知である
（Siemens−Bauteil−Information ６（1968）５、
172〜177ページ、Siemens Bauteile Report 、
17（1979）２）。磁気抵抗効果素子は半導体素子で
あり、これの抵抗は磁界内で強く増大する。小さ
な距離変化を測定するために、この場合磁気抵抗
効果素子を程度の差こそあれ均質若しくは不均質
の磁界内に進入させること、若しくは磁気抵抗効
果素子を均質の磁界内に不動に配置して、磁界を
可動子によつて変化させることは公知である。こ
の場合、磁気抵抗効果素子を可動子に結合するこ
とも公知である。さらに無接触式のスイツチとし
て直列回路若しくは並列回路内に用いられるダブ
ル磁気抵抗効果素子も公知である。

本発明の目的は、冒頭に述べた形式の測定変換
器を改善して、μ−範囲の距離変化を温度の影響
なしに高い分解能力でかつ製作技術的に容易に測
定できるようにすることである。

この目的を達成するために本発明の構成では、
２つの磁気抵抗効果素子組を設けてあり、磁気抵
抗効果素子組の磁気抵抗効果素子がそれぞれ磁性
材料から成る中間層を介して、互いに間隔を置い
て磁極面を相対して平行に位置させて、磁束帰路
として構成されたフレーム内に配置されており、
透磁率の高い可動子を設けてあり、可動子が第２
の測定プロツトのための保持部材に結合されてい
てかつ両方の磁気抵抗効果素子組の両方の磁気抵
抗効果素子間の範囲で両方の磁気抵抗効果素子間
の対称平面に対して横方向に運動可能になつてお
り、両方の磁気抵抗効果素子組の磁気抵抗効果素
子が測定信号用のタツプにより、ブリツジ対角線
の１つにわたり、ブリツジ回路の４つの分岐の１
つの中にそれぞれ接続されているようにした。

本発明の有利な実施態様が特許請求の範囲第２
項以下に記載してある。

次に図面を用いて本発明の実施例を具体的に説
明する。

第１図に概略的に示した測定装置はここではＣ
字状に構成されたフレーム２を有している。フレ
ームの脚部４，６の端部の互いに向き合つた面に
は永久磁石８，１０が固定されており、これらの
永久磁石は互いに逆の磁極を有しかつ互いに平行
に位置している。永久磁石８，１０の自由面には
横に並んだそれぞれ２つの磁気抵抗効果素子が、
それも磁気抵抗効果素子１２，１４が永久磁石８
にかつ磁気抵抗効果素子１６，１８が永久磁石１
０に取付けられている。両方の磁気抵抗効果素子
組間の自由な空間には導磁性材料から成る可動子
２０が配置され、それも運動可能な支持部材２２
に支承されており、支持部材は互いに間隔をおい
て位置する２つの板ばね２４，２６を介して２重
矢印方向に移動可能である。板ばねはフレーム内
に緊定されかつ支持部材２２に堅く結合されてい
る。それぞれ２つの電気接続（図示せず）を有す
る４つの磁気抵抗効果素子は第１図に示してある
ように、ブリツジに接続され、ブリツジ給電のた
めの電圧源２８を備えている。磁気抵抗効果素子
の抵抗変動が計器３０によつて示され、記録計に
記録され若しくはAD−変換器に送られ、処理さ
れる。ブリツジ回路により同時に温度補償が行わ
れる。

両方の磁気抵抗効果素子組１２，１４；１６，
１８は市販の差動磁気抵抗効果素子センサとして
構成されている。大きな測定範囲を得るために、
磁気抵抗効果素子センサを市販の差動磁気抵抗効
果素子センサにおけるよりも大きな相互間隔で配
置すると有利である。

可動子２０により、互いに向き合う両方の磁極
間の空隙内の磁束が集中せしめられる。磁束の集
中は可動子の厚さに関連している。可動子２０の
移動に際して磁束の流れが両方の磁気抵抗効果素
子組の磁気抵抗効果素子によつて変動する。これ
によつてブリツジが相応して離調させられかつ計
器３０内に相応する信号が生ぜしめられる。実際
に、簡単なブリツジ回路及び目的に合わせて安定
された5VDCの供給電圧を用いて測定装置の0.2
mmの測定範囲で測定範囲内の高い分解能力が得ら
れることがわかつた。後で述べる第４図及び第５
図の実施例の測定装置においては、シーメンス社
（ミユンヘン）の磁気抵抗効果素子−差動センサ
EPL100を用いた場合次のような値が得られ
る：測定範囲は±0.2mm ブリツジのための供給電圧は安定された
5V DC 内部抵抗は225Ω 供給電流25〓測定範囲±0.2mmのブリツジ対角線分岐内の電圧は±300mVである。

従つて簡単な整合前置増幅器を介して測定値信
号発生器を直接に制御系に関与させることができ
る。さらに本発明の測定装置の利点は測定装置が
著しく小さな寸法で製作可能であることにある。

第２図の実施例においては、ここでもＣ字状に
形成されたフレーム３２が電磁石のコアとして構
成されており、電磁石の巻線３４はフレーム３２
のウエブ３６に配置されている。フレームの脚部
３８，４０の自由端部のＮ極若しくはＳ極を有す
る互いに向き合つた平行な端面に、第１図の実施
例と同じように２つの磁気抵抗効果素子組４２，
４４が配置されている。この場合にも磁気抵抗効
果素子組間の自由な空間では可動子４６が保持部
材４８に取付けられ２重矢印の方向に移動可能で
ある。保持部材４８は同じように板ばねを用いて
軸線方向に案内されている。両方の磁気抵抗効果
素子組４２，４４の磁気抵抗効果素子は同じくブ
リツジ５０に接続されている。この場合、電圧源
５２は同時に電磁石３４のための電圧源としても
役立つ。磁気抵抗効果素子組４２，４４のブリツ
ジ回路によつて第１図の実施例と同じように温度
補償が行われる。この場合、電磁石のための
NTC−抵抗若しくはPTC−抵抗を備えたコイル
電流制御装置５４が設けられ、磁気抵抗効果素子
の感度の温度に関連した変化が補償される。

第３図には本発明による測定装置の別の実施例
が示してある。ここではフレーム６０が互いに向
き合わされた２つの磁極用突起６２，６４を有し
ており、これらの磁極用突起の回りにそれぞれ励
磁コイル６６，６８が配置されており、これらの
励磁コイルは直列に電圧源７０に接続されてい
る。励磁コイル６６，６８を通る電流は両方の磁
極用突起が互いに逆の極性を有するようになつて
いる。このように構成された磁極間では運動可能
な保持部材７２が２重矢印の方向に移動可能であ
る。保持部材７２には磁気抵抗効果素子組７４，
７６が間隔をおいて配置されている。磁気抵抗効
果素子組は不動の磁界に対して相対的に移動可能
である。磁気抵抗効果素子間の間隔は保持部材７
２の最も小さい運動ですら磁気抵抗効果素子によ
る磁束流を変化させ、ひいては抵抗を変化させる
ように大きくしておきたい。

この場合、保持部材７２は左側の端部で同じく
板ばね７８を介して案内されているのに対して、
右側の端部でダイヤフラムばね８０に堅く結合さ
れている。ダイヤフラムばね８０はここでは室８
２の１つの壁を形成しており、前記室はダイヤフ
ラムばねと逆の側を不動のプレート８４によつて
閉じられており、プレートには接続管片８６が配
置されている。このような配置によつてガス若し
くは流動体の圧力が高い精度で測定される。保持
部材７２は第１図及び第２図の実施例のように両
側で板ばねを介して案内されていてよい。

第３図の実施例の磁気抵抗効果素子組７４及び
７６は第１図及び第２図の実施例と同じようにブ
リツジに接続されている。さらに第２図の実施例
におけるように、温度補償が行われる。

有利な実施例が第４図及び第５図に示してあ
る。フレーム９０はここでは閉じられた四角形の
フレームとして構成されており、このフレームは
さらに側方をプレート９２によつて被われてお
り、第４図にはもつぱら後方のプレートが示して
あるのに対して、前方のプレートは一部示してあ
るにすぎない。フレーム９０の脚部９４内には窓
９６が形成されており、窓内には保持部材９８が
運動可能に配置されている。保持部材は２つの板
ばね１００を用いて案内されており、これらの板
ばねは保持部材９８と逆の端部で以つて後方のフ
レーム脚部１０２内に締込みによつて保持されて
いる。

保持部材９８にはフレーム９０の内部へ延びる
保持アーム１０４が堅く結合されており、この保
持アームの後方端部には導磁性材料から成り保持
部材９８の運動方向に対して構方向（２重矢印）
に延びる可動子１０６が取付けられている。プレ
ート９２の内側にはそれぞれ永久磁石１０８が配
置されており、対向するこれらの永久磁石の互い
に向き合つた面が互いに逆の極性を有している。
永久磁石１０８には互いに間隔をおいて位置する
磁気抵抗効果素子組１０９，１１１がそれぞれ配
置されており、これらの磁気抵抗効果素子組の長
手方向は可動子１０６の長手方向に、ひいては保
持部材９８の運動方向に対して横方向に向いてい
る。

フレームの脚部９４の外側及び保持部材９８の
正面には測定プロツト若しくは測定アダプタのた
めの固定装置が配置されている。このために有利
にはねじ孔が設けられており、これらのねじ孔内
に測定プロツトがねじ込まれ若しくは測定アダプ
タを介して取付けられ得る。第４図の実施例にお
いてはフレームの脚部９４の外側に２つの測定プ
ロツト１１０が並べて配置されているのに対し
て、これらの測定プロツトから距離をおいて保持
部材９８の正面に１つの測定プロツト１１２が取
付けられている。これらの測定プロツトは図面で
は見えない端部にねじを備えていて、このねじを
介してねじ孔内にねじ込まれている。

測定センサは、第４図及び第５図に示されてい
るように著しくわずかな寸法で製作され、ケーシ
ング幅が11mmである場合には例えばケーシング長
さが20mmであり、ケーシング深さが16mmであつ
て、全容積が3.5cm³で、重量がほぼ20ｇである。

第６図の実施例（第４図及び第５図と同じ部材
には同じ符号が付けられている）においては、不
動の測定プロツト１１０はフレームの窓９６の片
側に配置されているのに対して、測定プロツト１
１２は保持部材９８の中央に配置されている。従
つて、比較的狭幅の測定ベースが得られ、このよ
うな測定ベースによつては例えば互いに接着され
た工作物１１３と１１５との間のスラストによる
変形が測定され得る。この場合、両方の測定プロ
ツト１１０が工作物１１５に係合しているのに対
して、測定プロツト１１２が工作物１１３に係合
している。

第７図には裂断開口測定を行うための測定アダ
プタを備えた測定装置が示してある。ここでは保
持部材９８にＵ字状の爪１１４が結合されてお
り、爪の間隙は保持部材９８の運動方向に位置し
ている。フレーム９０にはアングル状の部材１１
６がそれも一方の脚部１１８で以つてねじによつ
て取付けられている。一方の脚部から直角に延び
る他方の脚部１２０は爪１１４の脚部と整合して
いる。爪の脚部にはそれぞれねじ１２２が配置さ
れており、これらのねじは内側にプロツトを備え
ている。運動可能な爪１１４の脚部に配置された
ねじ１２２は工作物１２４の裂断開口１２６の一
方の側に堅く結合され、アングル状の不動の部材
１１６の脚部１２０に配置されたねじ１２２は裂
断開口１２６の他方の側に堅く結合される。

第８図に示した本発明による測定装置は、試験
片の厚さ変化を測定可能な測定アダプタを備えて
いる。この場合、保持部材９８にアングル状のア
ダプタ１２８が堅く結合されているのに対して、
フレーム９０には脚体１３０が堅く結合されてお
り、この脚体は脚部１３２で以つてアダプタ１２
８の脚部に対して平行に延びている。脚体１３０
の脚部１３２の端部には支持ピン１３４が配置さ
れ、アダプタ１２８の脚部の端部には支持ピン１
３６が配置されている。測定を行うためには支持
ピンが例えば装着されたクランプ若しくは類似の
ものによつてそれぞれ工作物１３８の互いに逆の
側に支持した状態で保持される。

種々異なる実施例で述べた測定装置を用いて距
離変化による変形に基づく非電気的な測定値が極
めて正確にかつ測定増幅器のための著しい費用な
しに、測定装置自体の質量を著しくわずかにして
測定される。磁気抵抗効果素子の特別な配置によ
つて、可動の部分が正確に案内されていない場合
でも測定結果に影響が及ぼされずかつ全波ブリツ
ジ回路により高い測定感度が得られると同時に、
温度変動が著しく小さくなる。

第９図の実施例においては、閉じられたフレー
ム１４０が設けられており、このフレームは側方
をプレートによつて閉じられており、第９図には
前方のプレート１４２は部分的にしか示してな
い。図面で見て下側に位置するフレーム脚部１４
４は開口１４６を備えており、この開口を貫いて
運動可能な保持部材１４８が突出していて、外側
に位置する端部に測定プロツト１５０を備えてい
る。

保持部材１４８は他方の端部１５４で以つて上
側のフレーム脚部１５６に堅く緊定されている。
保持部材１４８の緊定箇所の下側に旋回ヒンジ１
５２が設けられ、保持部材１４８が旋回させられ
得るようになつている。保持部材１４８には上下
に間隔をおいて可動子１６２，１６４のための２
つの保持体１５８，１６０が配置されており、こ
れらの保持体は横方向に位置する可動子１６２，
１６４で以つて差動磁気抵抗効果素子組１６６，
１６８と協動するようになつており、これらの差
動磁気抵抗効果素子組は第４図及び５図の実施例
の磁気抵抗効果素子組１０９，１１１と同じ形式
でプレートに取付けられている。図面には、後方
に位置するプレート１７０に取付けられた差動磁
気抵抗効果素子が示してある。

保持部材１４８が旋回運動を行うので、可動子
１６２，１６４を旋回ヒンジ１５２に対して半径
方向に配置しかつ差動磁気抵抗効果素子を対応さ
せて配置することが有利であり、磁気抵抗効果素
子が可動子に対して平行に位置する。従つて、円
弧上の可動子薄板の運動に基づく非直線性が十分
に補償される。この補償はさらに測定装置が一般
に通常１ミリメータより下の著しく小さな測定範
囲に合わせて設計されていることによつて容易に
なる。

所属の磁気抵抗効果素子組を有する２つの可動
子の配置によつて、測定装置をそれも同じ間隔の
差動磁気抵抗効果素子を用いて異なる測定範囲に
使用することが可能である。もちろん第９図の実
施例も唯一の可動子で以つて構成され、この可動
子は保持部材１４８の長さにわたる任意の箇所に
配置され得る。

第９図の実施例においては簡単な形式で磁気抵
抗効果素子をよごれから保護することができる。
このために、フレーム１４０の内室に弾性的な仕
切り壁１７２が設けられており、この仕切り壁を
可動子のための保持体が貫通している。

第９図の測定装置は特に小さなフレーム寸法で
構成され得るので、測定ベースのための十分な長
さを得たいという問題が生じる。このために下側
のフレーム脚部に、図面で示すようにプレート１
７４が取付けられ、このプレートの端部がフレー
ムに対して不動の測定プロツト１７６を保持して
いる。プレート１７４は同時に測定装置を測定し
ようとする対象物上に固定するように構成されて
いてよい。もちろんフレームに対して不動な測定
プロツト１７６を直接フレームに配置することも
原理的に可能である。フレーム脚部１４４が直接
フレーム１４０を越えて延長されていてよい。

導磁性材料から成る可動子の代りに磁界を生ぜ
しめる永久磁石が保持部材に配置され、永久磁石
によつて生ぜしめられる磁界が保持部材の移動に
際し磁気抵抗効果素子の抵抗を変えるようになつ
ていることによつて測定装置の寸法がさらに小さ
くされ得る。この場合にはＣ字状のフレームが磁
束帰路を成す部材を形成する。従つて、第１図の
実施例のＣ字状のフレームの脚部に位置された永
久磁石８，１０が不必要になる。この場合、永久
磁石が有利には両方の磁極を運動方向に対して横
方向にくさび状に形成されている。これにより、
磁極における磁束の必要な集束性を備えた必要な
磁石質量が得られる。

このように実施した場合、第４図及び第５図の
実施例においては永久磁石１０８が不必要にな
る。従つて、磁気抵抗効果素子１０９，１１１が
直接にプレート９２に取付けられ、これによつて
フレーム９０の幅が第５図の考察から明らかなよ
うに減少せしめられ得る。

永久磁石を運動可能な保持部材に設けた測定装
置の有利な別の実施例が第１０図及び第１１図に
示してある。この実施例の場合、測定装置１８０
は導磁性材料から成り磁束帰路を成すリング状の
磁束帰路部材１８２を有しており、この磁束帰路
部材は内側に互いに向き合つた２つの磁極１８
４，１８６を備えており、これらの磁極は互いに
平行な扁平な磁極面１８８，１９０をそれぞれ有
しており、各磁極面にはそれぞれ磁気抵抗効果素
子組１９２，１９４が配置されており、これらの
各磁気抵抗効果素子組の磁気抵抗効果素子は磁束
帰路部材１８２の軸線方向で互いに間隔をおいて
位置している。この実施例の場合、磁束帰路部材
１８２は円筒形の外周面１９６を備えかつ外周面
の区分に軸線方向に向けられたリング状の突起１
９８，２００を有している。磁束帰路部材１８２
は２部分から成る外側ケーシング２０２内に位置
しており、この外側ケーシングは磁束帰路部材の
突起１９８，２００を含む外周面区分の寸法に相
応した円筒形の切欠きを備えている。この実施例
においては、両方のケーシング部分２０４，２０
６が半径方向で突起１９８，２００の内側に壁２
０８，２１０を備えている。ケーシング部分はね
じ２０５によつて互いに結合可能でありかつ磁束
帰路部材に緊定可能である。

突起１９８，２００と各ケーシング部分２０
４，２０６との間にはダイヤフラム状のばね２１
２，２１４が締込まれている。このダイヤフラム
状のばねの中央にロツド状の保持部材２１６が保
持されており、この場合左側でばね２１４と保持
部材２１６との間の結合部２１８がねじ結合部若
しくはクランプ結合部として示してあり、右側で
ばね２１２と保持部材との間の結合部２２０がろ
う付け結合部若しくは溶接結合部として示してあ
る。

保持部材２１６には永久磁石２２２が配置され
ており、この永久磁石のＮ極若しくはＳ極が磁気
抵抗効果素子組１９２若しくは１９４に向かつて
位置している。永久磁石２２２は磁極の区分をく
さび状に構成されており、その結果、磁極面が比
較的狭くなつている。従つて、磁束が永久磁石の
磁極においてそのつど所望の磁界幅に集束され
る。

保持部材２１６は右側で外側ケーシングの壁２
０８に形成された孔２２４を通して外側へ案内さ
れている。同じように壁２１０が孔を備えてお
り、この孔を通して保持部材２１４が外側へ案内
されてもよい。測定装置１０８の外側ケーシング
２０２は第１の測定基準器を形成しており、場合
によつては外側ケーシングに測定プロツト若しく
は類似のものが配置されていてよい。第２の測定
基準器は直接若しくは間接的に保持部材に作用す
る。従つて前述の実施例と同じように永久磁石ひ
いては保持部材の磁気抵抗効果素子に対して横方
向の運動が測定される。

第１０図から明らかなように、左側のケーシン
グ部分２０６の壁２１０は接続管片２２６を備え
ており、この接続管片を介して流体が壁２１０と
ばね２１４との間の密閉された室内に導入可能で
ある。従つてこの測定装置を用いて圧力測定がそ
れも正圧並びに負圧範囲で行われる。この場合、
保持部材２１６が壁２０８を通して案内される必
要はない。しかしながらこの壁２０８に圧力補償
のための開口が設けられていると有利である。圧
力測定装置としての実施例においては保持部材２
１６は片側でのみダイヤフラム状の一方のばね２
１４に取付けられておればよく、他方のばね２１
２は省略される。

第１０図及び第１１図の実施例のリング状の磁
束帰路部材を有する測定装置においては、可動子
が磁導磁性材料から成つていてもよく、この場合
には第１図の実施例と同じように磁極面に永久磁
石が設けられる。

第１２図〜第１５図の実施例は原理的に第４図
及び第５図の実施例に相応するものである。測定
装置２３０はここでは方形のフレーム２３２を有
しており、このフレームは両側をプレート２３
４，２３６によつて被われている。プレート２３
４，２３６には磁気抵抗効果素子組２３８，２４
０が配置されている。これらの磁気抵抗効果素子
組間に永久磁石２４２が位置しており、この永久
磁石はここでも磁極区分をくさび状に傾斜するよ
うに構成されている。

フレームはその１つの脚部に窓２４４を備えて
おり、この窓内では保持部材２４６が図示の２重
矢印（第１４図）の方向に運動可能である。保持
部材２４６は、第４図及び第５図の実施例と同じ
ように２つの板ばね２４８を介して案内されてお
り、これらの板ばねはフレームの窓２４４とは逆
の側の脚部に固定されている。第１２図〜第１５
図の実施例においては、第４図及び第５図の実施
例と異なつて第１５図から明らかなように櫛状に
外側の２つの舌片２５０と中央の１つの舌片２５
２を備えて構成された板ばね２４８が設けられて
いる。これらの板ばね２４８はそれぞれ外側の舌
片２５０の端部で以つて、フレームの窓２４４の
形成された側の脚部内に緊定されている。３つの
舌片を結合するウエブは、ここではプレート状に
構成された保持体２５４に結合されており、この
保持体は中央に永久磁石２４２を保持している。
中央の舌片２５２は自由端部で以つて保持部材２
４６に結合されている。板ばねの前述のような構
成により有効なばね長さが２倍になる。これによ
り、永久磁石２４２の移動距離が板ばねの舌片の
有効長さの割合で、すなわち１：２の割合で減少
される。従つて測定範囲が相応に拡大される。

特に永久磁石を有する実施例のヒステリシス損
を減少させるために、有利には磁気抵抗効果素子
の下に軟磁性材料から成る薄い層が配置される。
この層はほぼ0.2〜0.5mmの厚さで十分である。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示すものであつて、第
１図は永久磁石を有する実施例の測定装置の概略
的な断面図及び回路図、第２図は電気磁石を有す
る実施例の概略図、第３図は電気磁石を有する別
の実施例の概略図、第４図は測定装置の測定セン
サの配置形式を示す図、第５図は第４図のＶ−Ｖ
線に沿つた断面図、第６図は測定センサの別の配
置形式を示す図、第７図及び第８図は測定アダプ
タの配置形式を示す図、第９図は測定装置の別の
実施例の断面図、第１０図はさらに別の実施例の
第１１図のＸ−Ｘ線に沿つた断面図、第１１図は
第１０図のXI−XI線に沿つた断面図、第１２図は
さらに別の実施例を示す図、第１３図は第１２図
のＸ−Ｘ線に沿つた断面図、第１４図は第１
２図のＸ−Ｘ線に沿つた断面図、第１５図は
第１２図の実施例の板ばねの平面図である。２……フレーム、４及び６……脚部、８及び１
０……永久磁石、１２，１４，１６及び１８……
磁気抵抗効果素子、２０……可動子、２２……支
持部材、２４及び２６……板ばね、２８……電圧
源、３０……計器、３２……フレーム、３４……
巻線、３６……ウエブ、３８及び４０……脚部、
４２及び４４……磁気抵抗効果素子組、４６……
可動子、４８……保持部材、５０……ブリツジ、
５２……電圧源、５４……コイル電流制御装置、
６０……フレーム、６２及び６４……磁極用突
起、６６及び６８……励磁コイル、７０……電圧
源、７２……保持部材、７４及び７６……磁気抵
抗効果素子組、７８……板ばね、８０……ダイヤ
フラムばね、８２……室、８４……プレート、８
６……接続管片、９０……フレーム、９２……プ
レート、９４……脚部、９６……窓、９８……保
持部材、１００……板ばね、１０２……フレーム
脚部、１０４……保持アーム、１０６……可動
子、１０８……永久磁石、１０９及び１１１……
磁気抵抗効果素子組、１１０及び１１２……測定
プロツト、１１３……工作物、１１４……爪、１
１５……工作物、１１６……部材、１１８及び１
２０……脚部、１２２……ねじ、１２４……工作
物、１２６……裂断開口、１２８……アダプタ、
１３０……脚体、１３２……脚部、１３４及び１
３６……支持ピン、１３８……工作物、１４０…
…フレーム、１４２……プレート、１４４……フ
レーム脚部、１４６……開口、１４８……保持部
材、１５０……測定プロツト、１５２……旋回ヒ
ンジ、１５４……端部、１５６……フレーム脚
部、１５８及び１６０……保持体、１６２及び１
６４……可動子、１６６及び１６８……差動磁気
抵抗効果素子組、１７０……プレート、１７２…
…仕切り壁、１７４……プレート、１７６……測
定プロツト、１８０……測定装置、１８２……磁
束帰路部材、１８４及び１８６……磁極、１８８
及び１９０……磁極面、１９２及び１９４……磁
気抵抗効果素子組、１９６……外周面、１９８及
び２００……突起、２０２……外側ケーシング、
２０４及び２０６……ケーシング部分、２０５…
…ねじ、２０８及び２１０……壁、２１２及び２
１４……ばね、２１６……保持部材、２１８及び
２２０……結合部、２２２……永久磁石、２２４
……孔、２２６……接続管片、２３０……測定装
置、２３２……フレーム、２３４及び２３６……
プレート、２３８及び２４０……磁気抵抗効果素
子、２４２……永久磁石、２４４……窓、２４６
……保持部材、２４８……板ばね、２５０及び２
５２……舌片、２５４……保持体。

Claims

【特許請求の範囲】１測定変換器であつて、第１の測定プロツト１
１０を備えたフレーム９０と、フレームに対して
運動可能にフレーム内に支承されかつ第２の測定
プロツト１１２を備えた保持部材９８と、フレー
ム９０に配置された機械・電気式の変換器とを備
えており、変換器の第１の部材１０９，１１１が
フレーム９０に、かつ第２の部材１０６が運動可
能に支承された保持部材９８に結合されている形
式のものにおいて、２つの磁気抵抗効果素子組１
０９，１１１を設けてあり、磁気抵抗効果素子組
の磁気抵抗効果素子がそれぞれ磁性材料から成る
中間層を介して、互いに間隔を置いて磁極面を相
対して平行に位置させて、磁束帰路として構成さ
れたフレーム９０内に配置されており、透磁率の
高い可動子１０６を設けてあり、可動子が第２の
測定プロツト１１２のための保持部材９８に結合
されていてかつ両方の磁気抵抗効果素子組の両方
の磁気抵抗効果素子１０９，１１１間の範囲で両
方の磁気抵抗効果素子間の対称平面に対して横方
向に運動可能になつており、両方の磁気抵抗効果
素子組の磁気抵抗効果素子１０９，１１１が測定
信号用のタツプにより、ブリツジ対角線の１つに
わたり、ブリツジ回路の４つの分岐の１つの中に
それぞれ接続されていることを特徴とする測定変
換器。２磁気抵抗効果素子組が永久磁石１０８の磁極
面に配置されている特許請求の範囲第１項記載の
測定変換器。３保持部材９８が互いに間隔を置いて配置され
た平行な２つの板ばね１００を介して案内されて
いる特許請求の範囲第１項記載の測定変換器。４保持部材２１６が少なくとも１つのダイヤフ
ラムばね２１２，２１４を用いて案内されている
特許請求の範囲第１項記載の測定変換器。５ダイヤフラムばね２１４が流体によつて負荷
可能な室の運動可能な壁として構成されている特
許請求の範囲第４項記載の測定変換器。６保持部材２１６が一方の端部で以てダイヤフ
ラムばね２１４に結合されかつこのダイヤフラム
ばねに保持されている特許請求の範囲第４項記載
の測定変換器。７保持部材１４８がフレーム１４０内に片側で
旋回可能に懸架されていて、自由端部に第２の測
定プロツト１５０を保持している特許請求の範囲
第１項記載の測定変換器。８保持部材１４８が旋回ヒンジ１５２から異な
る間隔を置いて複数の可動子１６２，１６４に配
置されており、これらの可動子がそれぞれ別個の
磁気抵抗効果素子組１６４，１６６と協働するよ
うになつている特許請求の範囲第７項記載の測定
変換器。９フレーム１８２がリング状に構成されてお
り、磁極１８４，１８６がフレームの内周面から
突出しており、保持部材２１６がフレームの軸線
方向に移動可能に支承されている特許請求の範囲
第１項記載の測定変換器。１０フレーム９０が方形に構成されており、フ
レームの開口側がプレート９２によつて被われて
おり、プレートの内側にそれぞれ互いに向き合つ
て磁気抵抗効果素子組１０９，１１１が配置され
ており、フレーム９０の脚部９４に窓９６が配置
されており、窓内で第２の測定プレートのための
保持部材９８が平行な２つの板ばね１００を介し
てフレームの脚部に対して平行に案内されてお
り、保持部材のフレーム内部に向いた側に可動子
１０６が保持されている特許請求の配置第１項記
載の測定変換器。１１フレーム９０の、窓９６を取り囲む外側及
び保持部材９８の外側に、測定センサ１１０，１
１２若しくは測定アダプタ１１０，１１２，１１
４，１１６，１２８，１３２を取付けるためのね
じ孔が設けられている特許請求の範囲第１０項記
載の測定変換器。１２測定センサとしてねじ孔内にねじ込み可能
な測定プロツト１１０，１１２が設けられている
特許請求の範囲第１１項記載の測定変換器。１３測定アダプタがアーム１２８，１３２を有
しており、アームが保持部材９８の運動方向に対
して横方向へフレーム若しくは保持部材の外側か
ら離れる方向に延びており、測定尖端１３４，１
３６が互いに間隔を置いて保持部材の運動方向に
配置されている特許請求の範囲第１１項記載の測
定変換器。１４保持部材及びフレームに、保持部材の運動
方向に延びる受容スリツトを備えたフオーク状の
測定アダプタ１１４，１１６が取付けられてお
り、測定アダプタの脚部１２０に、検査しようと
する工作物１２４へ測定変換器を取付けるために
保持部材９８の運動方向に対して横方向に延びる
ねじ１２２が設けられている特許請求の範囲第１
１項記載の測定変換器。