JPH032570A - 加速度計 - Google Patents
加速度計Info
- Publication number
- JPH032570A JPH032570A JP1135524A JP13552489A JPH032570A JP H032570 A JPH032570 A JP H032570A JP 1135524 A JP1135524 A JP 1135524A JP 13552489 A JP13552489 A JP 13552489A JP H032570 A JPH032570 A JP H032570A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic flux
- hole
- center
- accelerometer
- spool member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 35
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 abstract 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
- G01P15/132—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electromagnetic counterbalancing means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P1/00—Details of instruments
- G01P1/006—Details of instruments used for thermal compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は加速度計、特にサーボ型加速度計に関する。
本発明が改良の対象とする従来の加速度計の一例を、そ
の断面図及び一部を除いた平面図である第3図及び第4
図を用いて説明する。
の断面図及び一部を除いた平面図である第3図及び第4
図を用いて説明する。
第3及び第4図に於いて、(1)は加速度を検出する棒
状の振子で、これは、薄肉部(2)、即ち可撓部を有す
る可撓継手、即ちヒンジ(3)により支持されている。
状の振子で、これは、薄肉部(2)、即ち可撓部を有す
る可撓継手、即ちヒンジ(3)により支持されている。
この振子〔1〕は、ヒンジ(3〕の薄肉部(2)を支点
きして、第3図の紙面と平行なx−X方向のみに回動で
きる。ヒンジ(3)の一端は、第1の基台又はフレーム
(4)のヒンジ取付台部(5)に、ヒンジ押え板(6)
を介して、例えばネジ等により、確実に取付けられてい
る。又、振子(1)には、2個の円筒状のトルカコイル
(7) (7’)がヒンジ〔3)の薄肉部〔2)の回動
軸、即ち〇一〇軸に対して垂直に取付けられている。円
板状の永久磁石(8)及び円柱状のポールピース〔9)
が一方のトルカコイル(7)に接触することなく、その
内部に挿入されるように、第1のフレーム(4)に、例
えば接着剤により取付けられ、第1のトルカマグネ7)
(30)を構成する。この第1のフレーム(4)は、電
磁軟鉄で成形されているため、永久磁石(8)によりポ
ールピース(9)との間で、磁気回路を構成し、ヨーク
(リターンパス)の役目をしており、これ等は、トル
カコイル(7)と共に、一方のトルカを構成する。この
第1のフレーム(4)には、振子(1)の偏位を検出す
る2個の受光素子(10)及び(10’)と発光素子(
11)とからなる優位検出装置が取付けられる。
きして、第3図の紙面と平行なx−X方向のみに回動で
きる。ヒンジ(3)の一端は、第1の基台又はフレーム
(4)のヒンジ取付台部(5)に、ヒンジ押え板(6)
を介して、例えばネジ等により、確実に取付けられてい
る。又、振子(1)には、2個の円筒状のトルカコイル
(7) (7’)がヒンジ〔3)の薄肉部〔2)の回動
軸、即ち〇一〇軸に対して垂直に取付けられている。円
板状の永久磁石(8)及び円柱状のポールピース〔9)
が一方のトルカコイル(7)に接触することなく、その
内部に挿入されるように、第1のフレーム(4)に、例
えば接着剤により取付けられ、第1のトルカマグネ7)
(30)を構成する。この第1のフレーム(4)は、電
磁軟鉄で成形されているため、永久磁石(8)によりポ
ールピース(9)との間で、磁気回路を構成し、ヨーク
(リターンパス)の役目をしており、これ等は、トル
カコイル(7)と共に、一方のトルカを構成する。この
第1のフレーム(4)には、振子(1)の偏位を検出す
る2個の受光素子(10)及び(10’)と発光素子(
11)とからなる優位検出装置が取付けられる。
一方、第2の基台又はフレーム(12)は、第1のフレ
ーム(4)と同じく、電磁軟鉄で成形され、トルカコイ
ル(7′)に接触せず且つその内部に在る如く、この第
2のフレーム(12)に接着された永久磁石(13)
及びポールピース(14)との間で、磁気回路を構成し
、ヨークの役目を持つ。この第2のフレーム(12)、
永久磁石(13)及びポールピース(14)の組立体ハ
、第2のトルカマグネノN31)を構成する。
ーム(4)と同じく、電磁軟鉄で成形され、トルカコイ
ル(7′)に接触せず且つその内部に在る如く、この第
2のフレーム(12)に接着された永久磁石(13)
及びポールピース(14)との間で、磁気回路を構成し
、ヨークの役目を持つ。この第2のフレーム(12)、
永久磁石(13)及びポールピース(14)の組立体ハ
、第2のトルカマグネノN31)を構成する。
第1のフレーム(4)の嵌合部(15)に、第2のフレ
ーム(12)の嵌合部(16)を挿入し、両者を一体化
する。
ーム(12)の嵌合部(16)を挿入し、両者を一体化
する。
第1のフレーム(4〕及び第2のフレーム(12)には
、図示せずも、振子(1)の動作範囲を制限するストッ
パが設けられており、ネジによりストッパを、それぞれ
回転移動し、振子(1)の制限範囲を自由に調整するこ
とが可能である。
、図示せずも、振子(1)の動作範囲を制限するストッ
パが設けられており、ネジによりストッパを、それぞれ
回転移動し、振子(1)の制限範囲を自由に調整するこ
とが可能である。
上述した構成部品は、すでに加速度計としての機能を備
えており、これらを、図示せずも、ケースに複数のネジ
で固定し、ケースと一体化すると共に、ケース内を気密
保持できるようにする。
えており、これらを、図示せずも、ケースに複数のネジ
で固定し、ケースと一体化すると共に、ケース内を気密
保持できるようにする。
偏位検出器を構成する受光素子(10)及び(10’)
等よりの電気信号や、トルカコイル(7)、(7’)に
フィードバック電流を供給するためのリード線(図示せ
ず)等の外部端子(22)を、端子ケース(23)に、
それぞれ気密構造に接着すると共に、それ等の一端が上
記ケースの内部に在る如く、端子ケース(23)をケー
スに気密に接着する。端子ケース(23)の中央の開口
部(24〉を介して、内部の装置の電気系の結線等を行
い、ケースの内部を真空又は不活性気体(例えばヘリウ
ムガス)等を充填しながら、蓋(25)を開口部(24
)に接着し、ケースの内部を気密状態に保持し、部品の
劣化等を防止し、長期間に亘り性能を安定に保持する。
等よりの電気信号や、トルカコイル(7)、(7’)に
フィードバック電流を供給するためのリード線(図示せ
ず)等の外部端子(22)を、端子ケース(23)に、
それぞれ気密構造に接着すると共に、それ等の一端が上
記ケースの内部に在る如く、端子ケース(23)をケー
スに気密に接着する。端子ケース(23)の中央の開口
部(24〉を介して、内部の装置の電気系の結線等を行
い、ケースの内部を真空又は不活性気体(例えばヘリウ
ムガス)等を充填しながら、蓋(25)を開口部(24
)に接着し、ケースの内部を気密状態に保持し、部品の
劣化等を防止し、長期間に亘り性能を安定に保持する。
上述の構成による加速度計において、その中心軸X−X
軸方向に加速度が作用すると、振子(1)はヒンジ(3
)の薄肉部(2)を支点として、微少偏位し、発光素子
(11)より振子(1)で遮蔽又は分割され、偏位検出
器の受光素子(10)及び(to’)に入射する光が変
化するので、これ等より偏位に対応した電気信号が得ら
れる。この電気信号に比例した電流をトルカコイル(7
)、(7’)にフィードバックし、これにより、振子(
1)を、受光素子(10〉及び(10’)の電気信号出
力が零になるように拘束する。この電気信号、即ち拘束
電流は、加速度に比例しているため、この電流を計測す
ることにより、人力加速度を知ることができるものであ
る。
軸方向に加速度が作用すると、振子(1)はヒンジ(3
)の薄肉部(2)を支点として、微少偏位し、発光素子
(11)より振子(1)で遮蔽又は分割され、偏位検出
器の受光素子(10)及び(to’)に入射する光が変
化するので、これ等より偏位に対応した電気信号が得ら
れる。この電気信号に比例した電流をトルカコイル(7
)、(7’)にフィードバックし、これにより、振子(
1)を、受光素子(10〉及び(10’)の電気信号出
力が零になるように拘束する。この電気信号、即ち拘束
電流は、加速度に比例しているため、この電流を計測す
ることにより、人力加速度を知ることができるものであ
る。
尚、第4図に於いて、(19−3)は、上述の加速度計
を取付ける為の取付孔である。
を取付ける為の取付孔である。
しかしながら、このような従来の加速度計においては、
永久磁石(8)の起磁力が周囲温度の変化に対応して変
動し、人力加速度に対する出力信号の比、即ちスケール
ファクタが温度変化によって変動するため、高精度の加
速度計が得られないという問題があった。
永久磁石(8)の起磁力が周囲温度の変化に対応して変
動し、人力加速度に対する出力信号の比、即ちスケール
ファクタが温度変化によって変動するため、高精度の加
速度計が得られないという問題があった。
従って、本発明は上記従来の課題に鑑みなされたもので
、その目的は上記従来の課題を一掃した新規な加速度計
を提供せんとするものである。
、その目的は上記従来の課題を一掃した新規な加速度計
を提供せんとするものである。
〔課題を解決するための手段夛7A作11 ]本発明に
よれば、壺型ヨーク(4,12)、その内側中央に取付
けた円盤状永久磁石(8,13)及びポールピース(9
,14)からなるトルカマグネット(3’0.31>を
有する加速度計において、上記トルカマグネ・ソトの中
央に貫通孔(40)を設けると共に、該貫通孔に整磁合
金製のスプール部材(50)を挿入固定することにより
スケールファクタが温度変化に全く影響されないことを
特徴とする加速度計が得られる。
よれば、壺型ヨーク(4,12)、その内側中央に取付
けた円盤状永久磁石(8,13)及びポールピース(9
,14)からなるトルカマグネット(3’0.31>を
有する加速度計において、上記トルカマグネ・ソトの中
央に貫通孔(40)を設けると共に、該貫通孔に整磁合
金製のスプール部材(50)を挿入固定することにより
スケールファクタが温度変化に全く影響されないことを
特徴とする加速度計が得られる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を、第1及び第2を参照して説
明する。
明する。
第1図は、本発明の主要部であるスケールファクタ温度
補償用のスプール部材(50)を内蔵した第1のトルカ
マグネット僉(30)の断面図である。尚、第2のトル
カマグネッ) (31)は、第1のトルカマグネット(
30)と同様の構造なので、その図示及び説明を省略す
る。又、本発明の加速度計上しての他の構成は、第3及
び第4図に示した従来例と全く同様なので、図示を省略
すると共に、その説明も省略する。
補償用のスプール部材(50)を内蔵した第1のトルカ
マグネット僉(30)の断面図である。尚、第2のトル
カマグネッ) (31)は、第1のトルカマグネット(
30)と同様の構造なので、その図示及び説明を省略す
る。又、本発明の加速度計上しての他の構成は、第3及
び第4図に示した従来例と全く同様なので、図示を省略
すると共に、その説明も省略する。
第1図に於いて、(40)は第1のトルカマグネット(
30)、即ち第1のフレーム(4)、永久磁石(8)及
びポールピース(9)の中央に設けた開孔である。尚、
第1のフレーム(4)(ヨーク)は第1図に示ず如く中
央に凹部〈4八)を有する壺型なので、壺型ヨークと称
する。(50)は磁気抵抗が温度の上昇と共に増加する
整磁合金製のスプール部材で、このスプール部材(50
)は、中央部の直径の細い円柱状の磁束補償部(52)
と、その両端に接続した直径の太い円柱形状の磁束導入
部(51)、 (51) とから構成され、上記開孔
(40)に挿入され、その直径の太い磁束導入部(51
)、 (51) に於いて開口(40)に固定される
。
30)、即ち第1のフレーム(4)、永久磁石(8)及
びポールピース(9)の中央に設けた開孔である。尚、
第1のフレーム(4)(ヨーク)は第1図に示ず如く中
央に凹部〈4八)を有する壺型なので、壺型ヨークと称
する。(50)は磁気抵抗が温度の上昇と共に増加する
整磁合金製のスプール部材で、このスプール部材(50
)は、中央部の直径の細い円柱状の磁束補償部(52)
と、その両端に接続した直径の太い円柱形状の磁束導入
部(51)、 (51) とから構成され、上記開孔
(40)に挿入され、その直径の太い磁束導入部(51
)、 (51) に於いて開口(40)に固定される
。
尚、円板状の永久磁石(8)及び円柱状のポールピース
(9)は、共に、壺型ヨーク(4)に、その凹部(4A
)に於いて同心状に固定されている。又、上記開孔(4
0)は、壺型ヨーク(4)、永久磁石(8)及びポール
ピース(9)の中央を貫通して形成されている。
(9)は、共に、壺型ヨーク(4)に、その凹部(4A
)に於いて同心状に固定されている。又、上記開孔(4
0)は、壺型ヨーク(4)、永久磁石(8)及びポール
ピース(9)の中央を貫通して形成されている。
第2図は本発明の原理説明図である。
今、マグネット、即ち永久磁石(8)の発生する磁束を
Φ8、その磁束密度をB8、磁束Φ。の磁路の断面積を
八〇、ポールピース(9)よりトルカコイル(7)の位
置までの空隙Gを通り壺型ヨーク(4)に到る磁束をΦ
。、その磁束密度B0、磁束Φ6の磁路の断面積を八〇
、又、ポールピース(9)よりスプール部材(50)を
通り磁束補償部(52)へ到る磁束をΦ5、その磁束密
度B3、磁束Φ5の磁路の断面積をASとし、説明を簡
素にするため濾洩磁束がないものとすれば第2図より Φ□−Φ。+Φs −−= (1)
’A、B、−八c Bcへ+ As Bs =
= = (2)空隙(G)を通る磁束Φ、の磁束密度B
。が温度Tに関せず一定(clBG/cJT=0)とい
う条件と、各磁路の断面積の温度変化はないものとすれ
ば、次式(3)が成立する。
Φ8、その磁束密度をB8、磁束Φ。の磁路の断面積を
八〇、ポールピース(9)よりトルカコイル(7)の位
置までの空隙Gを通り壺型ヨーク(4)に到る磁束をΦ
。、その磁束密度B0、磁束Φ6の磁路の断面積を八〇
、又、ポールピース(9)よりスプール部材(50)を
通り磁束補償部(52)へ到る磁束をΦ5、その磁束密
度B3、磁束Φ5の磁路の断面積をASとし、説明を簡
素にするため濾洩磁束がないものとすれば第2図より Φ□−Φ。+Φs −−= (1)
’A、B、−八c Bcへ+ As Bs =
= = (2)空隙(G)を通る磁束Φ、の磁束密度B
。が温度Tに関せず一定(clBG/cJT=0)とい
う条件と、各磁路の断面積の温度変化はないものとすれ
ば、次式(3)が成立する。
即ち、永久磁石(8)の起磁力の温度係数をαい整磁合
金の磁束密度の温度係数をα、とずれば但し、BM、、
Bsoは動作状態における永久磁石(8)及び整磁合
金の磁束密度である。即ち、磁束ΦSが通る磁路である
スプール部材(5o)の磁束補償部(52)の断面積A
s を、上記(6)式を満足するように設計することに
より、空隙(GVを通る磁束密度B1、即ち加速度計の
スケールファクタの温度による変動をゼロとすることが
出来る。尚、スプール部材(50)の磁束導入部(51
)の直径が磁束補償部(52)の直径に比して十分大き
い値に設計する必要があるが、この理由は、スプール部
材(5Q)と開孔(40)との間のギヤングのバラツキ
が磁気抵抗変化として磁束補償部(52)の磁束密度B
、のバラツキとなる影響を少なくする為である。
金の磁束密度の温度係数をα、とずれば但し、BM、、
Bsoは動作状態における永久磁石(8)及び整磁合
金の磁束密度である。即ち、磁束ΦSが通る磁路である
スプール部材(5o)の磁束補償部(52)の断面積A
s を、上記(6)式を満足するように設計することに
より、空隙(GVを通る磁束密度B1、即ち加速度計の
スケールファクタの温度による変動をゼロとすることが
出来る。尚、スプール部材(50)の磁束導入部(51
)の直径が磁束補償部(52)の直径に比して十分大き
い値に設計する必要があるが、この理由は、スプール部
材(5Q)と開孔(40)との間のギヤングのバラツキ
が磁気抵抗変化として磁束補償部(52)の磁束密度B
、のバラツキとなる影響を少なくする為である。
以上説明してきたように本発明によれば以下の効果が得
られる。
られる。
1、トルカマグネットの中央に開孔を設け、これに整磁
合金製のスプール部材を挿入固定するという簡単な構造
及び単純な部品により、スケールファクタの温度変化に
よる変動のない高性能な加速度計が得られる。
合金製のスプール部材を挿入固定するという簡単な構造
及び単純な部品により、スケールファクタの温度変化に
よる変動のない高性能な加速度計が得られる。
2、 スプール部材の磁束補償部の直径に比して磁束導
入部の直径を十分大きい値に設定することにより、開孔
(40〉と磁束導入1(51) 、!=の隙間のバラツ
キの影響の少ない温度補償装置が得られる。
入部の直径を十分大きい値に設定することにより、開孔
(40〉と磁束導入1(51) 、!=の隙間のバラツ
キの影響の少ない温度補償装置が得られる。
第1図は本発明によるトルカマグネットの断面図、第2
図はその原理説明図、第3図は従来の加速度計の縦断面
図、第4図はその一部を除いた平断面図である。 図に於いて、(1)は振子、(2)は薄肉部、(3)は
ヒンジ、(4)は第1のフレーム、(71(7’)はト
ルカ、(8)(13)は永久磁石、(9)、(14)は
ポールピース、(10)。 (10’)は受光素子、(11)は発光素子、(30)
は第1のトルカマグネット、(50)はスプール部材を
それぞれ示す。 代 理 人 松 隈 秀 盛
図はその原理説明図、第3図は従来の加速度計の縦断面
図、第4図はその一部を除いた平断面図である。 図に於いて、(1)は振子、(2)は薄肉部、(3)は
ヒンジ、(4)は第1のフレーム、(71(7’)はト
ルカ、(8)(13)は永久磁石、(9)、(14)は
ポールピース、(10)。 (10’)は受光素子、(11)は発光素子、(30)
は第1のトルカマグネット、(50)はスプール部材を
それぞれ示す。 代 理 人 松 隈 秀 盛
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、壺型ヨーク、その内側中央に取付けた円盤状永久磁
石及びポールピースからなるトルカマグネットを有する
加速度計において、上記トルカマグネットの中央に貫通
孔を設けると共に、該貫通孔に整磁合金型のスプール部
材を挿入固定することによりスケールファクタが温度変
化に全く影響されないことを特徴とする加速度計。 2、上記スプール部材は直径の細い磁束補償部と、その
両端に夫々設けた直径の太い磁束導入部とより成ること
を特徴とする上記特許請求の範囲第1項記載の加速度計
。 3、上記磁束導入部の直径を上記貫通孔の内径と略々等
しく設定したことを特徴とする上記特許請求の範囲第2
項記載の加速度計。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1135524A JP2789218B2 (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | 加速度計 |
US07/525,972 US5109693A (en) | 1989-05-29 | 1990-05-18 | Thermally stabilized accelerometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1135524A JP2789218B2 (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | 加速度計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH032570A true JPH032570A (ja) | 1991-01-08 |
JP2789218B2 JP2789218B2 (ja) | 1998-08-20 |
Family
ID=15153788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1135524A Expired - Lifetime JP2789218B2 (ja) | 1989-05-29 | 1989-05-29 | 加速度計 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5109693A (ja) |
JP (1) | JP2789218B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5586916A (en) * | 1994-04-15 | 1996-12-24 | Yazaki Corporation | Waterproof cover for connector |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9016126B2 (en) * | 2009-01-07 | 2015-04-28 | Honeywell International Inc. | MEMS accelerometer having a flux concentrator between parallel magnets |
US11119116B2 (en) | 2019-04-01 | 2021-09-14 | Honeywell International Inc. | Accelerometer for determining an acceleration based on modulated optical signals |
US11079227B2 (en) | 2019-04-01 | 2021-08-03 | Honeywell International Inc. | Accelerometer system enclosing gas |
US10956768B2 (en) | 2019-04-22 | 2021-03-23 | Honeywell International Inc. | Feedback cooling and detection for optomechanical devices |
US10705112B1 (en) | 2019-04-22 | 2020-07-07 | Honeywell International Inc. | Noise rejection for optomechanical devices |
US11408911B2 (en) | 2019-07-17 | 2022-08-09 | Honeywell International Inc. | Optomechanical structure with corrugated edge |
US11119114B2 (en) | 2019-07-17 | 2021-09-14 | Honeywell International Inc. | Anchor structure for securing optomechanical structure |
US11150264B2 (en) | 2019-08-13 | 2021-10-19 | Honeywell International Inc. | Feedthrough rejection for optomechanical devices using elements |
US11372019B2 (en) | 2019-08-13 | 2022-06-28 | Honeywell International Inc. | Optomechanical resonator stabilization for optomechanical devices |
US11408912B2 (en) | 2019-08-13 | 2022-08-09 | Honeywell International Inc. | Feedthrough rejection for optomechanical devices |
US11169175B2 (en) | 2020-02-11 | 2021-11-09 | Honeywell International Inc. | Multilayer excitation ring |
US11521772B2 (en) | 2020-02-11 | 2022-12-06 | Honeywell International Inc. | Multilayer magnetic circuit assembly |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6117959A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-25 | Japan Aviation Electronics Ind Ltd | 加速度計 |
JPS6187364U (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-07 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3325758A (en) * | 1965-12-08 | 1967-06-13 | Varian Associates | Negative temperature coefficient shunt means for magnetic structures |
US3325757A (en) * | 1965-12-08 | 1967-06-13 | Varian Associates | Negative temperature coefficient means for a magnet structure |
NL136155C (ja) * | 1966-09-09 |
-
1989
- 1989-05-29 JP JP1135524A patent/JP2789218B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-05-18 US US07/525,972 patent/US5109693A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6117959A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-25 | Japan Aviation Electronics Ind Ltd | 加速度計 |
JPS6187364U (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-07 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5586916A (en) * | 1994-04-15 | 1996-12-24 | Yazaki Corporation | Waterproof cover for connector |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5109693A (en) | 1992-05-05 |
JP2789218B2 (ja) | 1998-08-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100336151B1 (ko) | 서보 가속도계 | |
US7347097B2 (en) | Servo compensating accelerometer | |
JPH032570A (ja) | 加速度計 | |
JPH0238912B2 (ja) | ||
US3209601A (en) | Quartz accelerometer | |
US2888256A (en) | Accelerometers | |
US3124962A (en) | hirtreiter | |
US3513711A (en) | Subminiature single axis accelerometer | |
US4088027A (en) | Force balance servo accelerometer | |
US4649748A (en) | Accelerometer | |
US2985021A (en) | Single axis accelerometer | |
US3897690A (en) | Miniature inertial grade high shock and vibration capability accelerometer and method with axis alignment and stability features | |
US4372520A (en) | Suspension for three-axis accelerometer | |
US3020767A (en) | Linear accelerometer | |
US3948107A (en) | Velocity transducer | |
JP2913525B2 (ja) | 傾斜計 | |
JPS5890174A (ja) | 加速度計 | |
JPS6217164B2 (ja) | ||
JPH07333245A (ja) | 加速度計 | |
JPH07270260A (ja) | 電磁式の天びんまたは力測定器 | |
US2952000A (en) | Pressure measuring apparatus | |
JPH037907B2 (ja) | ||
JP3259079B2 (ja) | 加速度計 | |
JPH0980072A (ja) | 加速度計 | |
JPS62233770A (ja) | 加速度計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090612 Year of fee payment: 11 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |