JPS5932803A - 測定変換器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 」ｉ究明は、第１の測定基準器のだめの保持部材として
の測定フレームと、第２の谷用足基準器のだめの、フレ
ームに対して運動ｌｊＪ′ｍｌな部材と、城誠・′［Ｉ
Ｎ気弐の変換系とを備えたｌｌｌＩｌｌ定装置であって
、変換系の第１の手段がフレームに取イ］けら；ｉｔ　
、かつ第２の手段がフレームに対して運動可能な保持部
材に取イ」けられており、保持部材が第２０測に基準器
のだめの部材に結合されている形式のものに関する。

接石剤バ′！′ｊのスラストによる変形を測定するだめ
に現定された公知の測定装置（西ドイツ国特、プｊ；　
ｆｔＸ、ｌ卯公開第２４３５０６８号明軸書〕において
は互いに相対運動ｆｆｉ丁能な部分間に誘導式の距離測
定装置が配置されている。このような誘導式の甲離測定
装櫛は高価な増幅装↑６．のｆｔ１．ｉ　Ｉｌｌを必要
とする。さらにこのような距離測定装置６においては誘
導コイルによって組込み容積が比！１咬的大きくなる。

さらに磁気抵抗効果式測定装置も公知である（　Ｓｉｅ
ｍｅｎｓ−Ｂａｕｔｃｉｌ−Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ　
　　６（１９６８Ｊ５．１７２　〜１７７　　ペー　）
　　、　　Ｓ　ｉｔ：ｍｅｎｓ　　１（ａｕｔ＋、１１
３、Ｌｔｅｐｏｒｌ　　、　１７　（１９７９）　２　
）。イ１ｄ気抵抗効果素子は半嗜体素子で８９、これの
抵抗ｅ」、磁ｙ、！。

内で傾く増大する。小さな１市１雑変化を測定するため
に、この場会磁気抵抗効果朱子を程度の差こそあ扛均質
石しくは不拘１↓の磁界内に進入、３せること、若しく
はｉＭ気１１（抗効−采素子、、ｆ：ｊ勾′Ｌ１の磁界
内に不動に配置して、磁界を町「助手によって変化させ
ることは公１１Ｊである３、この揚台、磁気抵抗効果素
子全可動子に結汗することも公知である。さらに無接触
式のスイッチとして直列回路若しくは並列回ｉ￥Ｔ内に
用いられるダブル磁気抵抗効果素子も公知である。

不発（ｊＪ、］の［１的は、冒頭に述べ、気形式の測定
装置６Ｂ−を改善して、μ−範囲の距離変化を温度の影
響＆Ｌに高い分：ｇ□ｌ能力でかつ製作技術的に容易に
（Ｉ用足できるようにすることである。

この［１的を達成するために本発明の構成では、少・ｔ
くとも１つの空隙を有しかつ保持部材の運動方向に対し
て横方向に向いた磁界を発生させる磁界゛Ｊへ生部４オ
が設けられており、空隙内に保持部１４″が磁界に対し
て横方向に運動可能に配置さ、ＩＬでおり、かつ空隙内
に、保持部拐の運動方向で１１ｉ１隔をおいて配置斤さ
れたそれぞれ２つの磁気抵抗効果素子を備える２つの磁
気セ（抗効果素子、１．ｌＩ力棉己置、されており、＋
ｍ気抵抗効果素−子の抵抗幼果素子、！夕がぞれぞｔ逆
に向けら〕しており１護持部（格の連動に際し、磁気抵
抗効果克子組金ｌ〃過するｆｉｎ界ケ変える手段が設け
られており、磁気Ｌ１（抗効果素子の出力側がブリッジ
に接続さ才Ｉており、ブリッジの一方の対角線分岐に測
定ｆｌｉ、ｉ、　：ｌ’！（ｉ小器が１度へ・左されて
おり、他方の対角線分岐に直流市川源が接続されている
ようにした。

本発明の有利な実施態様が特許請求の範囲２ｘ１゜２１
頁以下に記載しである。

次に図面を用いて本発明の実施例を具体的に説明する。

第１図に概略的に示した測定装置かはここではＣ字状に
構成されたフレーム２を有している。

フレームの脚部４，６の端？５１Ｓの互いに向き合った
而には永久磁石８，１０が固定されており、これらの永
久磁石は互い（ｆζ逆の砥イタをイ１し２かつ互いに平
行ＶＣ位置している。永久磁石８　、　］、　（，１の
自由面には横に並んだそれぞ扛２つの磁気抵抗効果素子
素子が、ぞ打も磁気抵抗効果素子１２゜１・１が永久磁
石８Ｖこかつ磁気抵抗効果素子１６．１８が永久磁石１
０に取伺けられている６、両方の磁気抵抗効果素子組間
の自由な空間には・２？ｌ磁性拐別から成るｏＪ動子２
０が配置さｆＵ、　、・亡７’１も運動ｆｔ４能な支持
部材２２に支承されて、Ｌ・・す、支持部刊は互いに間
隔金おいて位置する２′二）の板ばね２４．２６を介し
て２重矢印方向に（２′・１１１１可能である。板ばね
はフレーム内に緊定さｉ−かつ支持部材２２に堅く結合
されている。それぞノ１２つの電気晟続（ｉ［ｊ　（図
示せず〕ケ有する４つの磁気抵抗効果末子は第１図に示
しであるように、ブリッジに接続され、ブリッジ給電の
ための電１イー源２８を備えている。磁気抵抗効果素子
の抵抗変動が８１′器３０によって示され、記録計に記
録され若しくはＡ　Ｉ）−変換器に送られ、処理される
。ブリッジ回！烙により同時に温度補償が行わり、る。

］１１１Ｊ力の磁気抵抗効果素子組Ｎ２，１４；１６．
１８）Ｕｉ市販の差！ＩＩＩ磁気低抗効宋素子センザセ
ンて構成されている。大きな測定範囲を１尋るために、
イ！社気抵抗効果素子セセン金市販の差！ｌｌ′ＩＩ磁
′：Ａ抵抗効果素子センザにおセンよりも大きな相互ｉ
Ｍｊ　Ｗで配（バ、すると有利である。

可動−，１″−２０により、互いに向き合う国力の４１
強・ｌ？　ＩＮ、ｌの柴隙内の磁束が果申せしめら扛る
。磁束の小中は可動子の厚さに関連している。可動子２
０の移動に際して磁束の流れが両刀のイ１戒気）」（す
る。これによってブリッジが相応し７てｎｌ（調させら
れかつ計器：３０内に相応する信弓が牛Ｖしめられる。

実際に、簡単なブリッジ回路及び目的に合わせて安定さ
れた５　Ｖ　ｌ）　ｌｊの供にｉ’、　Ｔｔ−１−を用
いてｉ＋ｉｌｌ定装置の０．２ｒｎｍの測定範囲で測定
・１・ｌλ囲内の高い分前能力が・ｊ尋られることがわ
がつ／こ３、後で述べる第４図及び第５図の実施例の６
（１ｊ定装置におしては、シーメンス社（ミコンヘン）
の磁気抵抗籾果累子−差動センサＵ：　Ｉ）　Ｉｌｌ　
Ｉ・１００を用いた場＠次のような値が１＋４られる：
測定範囲は上帆２　ａｍ ブリッジのだめのび（給五圧は安定さ扛だ５〜７１）（
づ 内部抵抗ｄ、２２５Ω 供給電流２５　＋ｎＡ ＋＋４り定範囲±０．２ｎｕｎのブリッジ対角、施分岐
内の電圧ν」−±３００１ＴＩＶである。

従って簡単な整合前１誰増幅器を介して抑１定値信号発
生器を直接に制ｊｆ４１糸に）固りさせることかできる
。さらに本発明の測定装置の利点は測定装置が著しく小
さな（」法で製作可能でのることにある３゜ 第２図の実施例（ｌこおいては、ここでもＣ字状に形成
さｔ上だフレーム３２が電磁石のコー１′として４ｊ／
・成さ７Ｖ、ておンハ電磁石の巻線３４はフレーム、３
２のつ」−ブ３６に配置されている。フレームの脚部３
８．４０の自由端ｉ化のＮ極イイしくはＳう１１区をイ
ーｆする互いに向き付ったＳ１１行な端面（′こ、第１
図の実施例と同じように２つの磁気Ｉ」（抗効（４ム÷
二子組４２　、　＝１４が配置されている。この場汁（
・こもイ厳気抵抗効宋素子組−４の自由ンｊ紫間ではｎ
」・−’ＩＪ　１’　４６が保持部拐゛・１８に取付け
られ２重矢印の方向に移動可能である。保ｊ、′〔１１
已７）〕・１８は同じように板ばねを用いて！１ｉｌｌ
　Ｉ面方向に案内さｉシでいる。、両刀の磁気抵抗効果
素子組４２，１・ｌの磁気＋ｔ−を抗幼果素子は同じく
ブリ゛ソジ５（Ｌ＆こ成わ”［；さ）−している。この
場合、′電圧源５２は同゛存しこ′「ｄ（直行３・１の
ｌ″こめの電圧源としても役−仏つ。４ｉ蝕’ａ峨抗効
宋素千）ζｉｆ　４２　、４１のブ１ノ・ツノｌｒ、！
Ｉ　ｉ烙しこよって第１（ンＩの実施例と同じように温
度補償が１−Ｊ′われる。この場合、電磁石のだめのＮ
　’Ｌ”　Ｃ−抵抗若しくはＰ　Ｔ　Ｃ−抵抗を１１ｍ
えたコーイル電流制穐１４ム置５４が設けられ、磁気ト
１（抗効宋」５了の感ｊ（の温ｊ度に］回連した変化が
補償さ一７’　Ｌる３、第３１ン］Ｇ′こけ本発明によ
る測定装置の別の実施例が示しである。ここではフレー
ム６０か弘いに向き舎わされた２つの磁１本用突起ｔ３
２　、　（３４を・１１シており、これらの磁・１．メ
用突起の回りにそれぞれ励磁コイル６６．６８が配置１
テ１”され°Ｃ１■、・す、これらの励磁コイルはＩＩ
列に電圧源７０　＋／（舅と廐、さ′Ｉしている。ｒｔ
＝磁コイルＧ　６　、６８イｊ：　、ｆ１３’ｌる′市
θ１１′。

は両方の磁極用突起が伝いに逆の極イ牛忙イ１才るよう
になつ−Ｃいる。このように、、、４成さ〕Ｌ　７’（
磁／ｉシ間では移動可能な保持部１．）’　７２か２：
ｊ＋）Ｅ、矢印の方向にイ多」彷ｉ扛１止である。、ｊ
Ａ′、：１寺部ｉ７２にｔ（Ｊ、イ磁気ｊ代抗効宋素子
組７４．７６が間隔；Ｃ」、・いて配置されている。磁
気抵抗効果素子、■は不動の磁界に対して相・ス・ｊ的
に移動可能であ４．、轍気俄１）１．効果素子間の、Ｆ
」」隔は保持部材７２の最も小さい連動でずら（・、′
・（気抵抗効果素子による磁束流を変化さ」ｋ、ひいて
はｔ［（杭を変化させるように大きくしておきたい。

この用台、保持部拐７２はｌこ測の端部で同じく板ばね
７８を介して案内さ柱ているのに対して、右側の端部で
グイー■フラムばね８０に堅く結合さｊｌている６、ダ
イヤフラムばね８０はここで（・」：室８２の１つの壁
を形成しており、前記室Ｃ，Ｊ、ダイヤフラムばねと逆
の１ｆ（ｊｌを不動のノ゛レー）・８４に」二って閉じ
られており、ンル−トに（は接、扁−盾・片８Ｇが［１
［１置されている。このような配置６Ｖこよってガス若
しくは流動体の圧力が１６い精度で測定される。保持部
材７２は、５１図及び第２１ツ１の実施例のように両側
で板ばねケ介して案内さ）Ｕていてよい。

４へ３図の実施例の磁気抵抗効果素子４１１７４及び７
６は第１図及び第２図の実施例と同じようにブリッジに
接）ｌｔさ扛ている。さらに第２図の実施例に４・・け
るように、温度補償が行わｔしる。

イ４伺ろ：実ＩＩｉ！！１＋１１が第・１図及び第５図
に示しである。フレーノ・９０はここでは閉じらノ′し
た１・Ｌｉ　ｒｆＪＹ；のフレームとして構成されてお
り、このフレームはさらに９１１１方をプ■ノー１・９
２によって被わＪｌており、第４図にはもっばら後方の
プレー１・が示しであるのに対して、ｊ）１１方のプレ
ー　１・ば−７’９ｉ示して・つるにすぎない。フレー
ム９０の脚部［乃・１円には窓９６が形成さｊ主でおり
、窓内には保１青部（４９８が運動ｏｊ化（・こ配置さ
ｔｌている。保］、５部材Ｉ：Ｊ、２つの４反ばね１０
０を用いて案内さＩｔて」、・す、これらの板ばねは保
持部（Ａ２Ｂと逆の端部で以って後方のフレーム脚部１
０２内に締へみによって保持されている。

保持部材９８にはフレーム９０の内Ｒ１５’＼夕ＪＬび
る保持アーム１０４が堅く結合さ扛て尤・す、この１米
１寺アームのイ麦方瑞１９１〜（ｌこは導磁性４４本Ｉ
から成り保持部材９８の運動方向に対１〜でｊｌ’Ａ方
向（２重矢印］に延びるＩＪＪ動子１０６がＪｌ！ｊ、
　）ｌ−Ｊけらノ′１−てい８６、プレート９２の内側
に（弓、それぞれ永久磁石１０８が配置されており、χ
・↑向する６、４１らの永久磁石の互いに向き角ったＥ
ｉＩｉが互いに逆の極＋４を伯している。永久磁石１０
８には互いに間隔を・７１・・いて位置する磁気抵抗効
果素子組１０９゜１１１がそ才りぞれ１己ｉ４されてお
り、これらの磁気抵抗、２ＪＪ果素子、■の長手方向は
可動子１０６の長−丁力向に１０・いては１呆ト１部Ａ
Ａ９８の凍助力向に利し、て横方向に向いている。

フレーｌ・の１１々１部９・１の外１ｉｆｌｌ及び保持
部材９８σ）１１−面には（則定プロット若しくは則足
アダプタのだめの固定裟陥が配置されていＺ）。このだ
めに１１　：４１Ｊにはねじ孔がよけらｄ、ており、こ
れらのねし孔内に測定プロットがねじ込ま扛若しくはｉ
’：ｉｌｌ　′）’ｌニーアダプタを介して取付けられ
得る。第・１図の’ノドＭｉ例においてはル−ムの脚部
９・１の外側（′（二２つのイ１１１］定ン゛′ロット
１　］、　０が並べてｈ己（位さ！してい／）のに対し
どＣ１こＩしらの７則ボゾロノＩ−からｈｑＩ！！ｆｉ
［をｂ・い−Ｃイ呆持ｉ＜ｂ拐９８のＩｔ、而に［つ（
つ１ｌｉｌｌ定ツ″Ｔ−１〕ｌ−１，１，２が取ト］け
られている。こＩｔらの１１１１１　’、、［ニブロッ
トは図１１■」では見えない端部にねじをｆ＋ｉｉｊぐ
一尾いで、このねにを介してねじ孔内にねし込；ｔ、ｒ
、−Ｃいる。

測定センサは、第４図及び第５図（・て示さ７１でいる
ように著しくわずかな寸法で製作され、ケーシング幅が
１．１　ａｍである場合には例えばケーシング長さが２
０濁であり、ケーシング深さが１６ｍｍであって、全容
オ？ｉが３−５ｃＡて、重１ｊ１がほぼ２０７である。

第６図の実施１タリ（第４図及び第５図と同じ部拐′に
は同じ４−）−弓が付けらノＬ“−ζいる）においては
、不動の１ｉ（１１定プロツト１１０はクレームの窓９
６の片側ＶＣ配置されているのに対←２て、　ｉ＋Ｉｌ
ｌ定ゾ１７ツｌ−１１，２はＩＡ冒スｆ部材９８の中央
に配置４さ、ｔ′１ている。従って、比叔的狭幅の（ｌ
ｌｌＩ定ベースがｉ４）られ、このような測定ベース１
１こよつ−Ｃは例えばｐ７−いにｍ　ＩＮされた二Ｅ作
物１１：３と１１５との間のスラストによる変形が０１
０定され得る４、この場汗、両方の測定プロット１１０
が１−作物】】＃５に係合しているのに対して、測定プ
゛ロツｌ−１１２が工作物１１３に係合している。

第７図ｅ（二は裂断間「１測定を行う）こめの測定アダ
プタτ備えだ測定装置６゛：が／ｊ・シである３、ここ
では保持部＃９８にＵ字状の爪１　］、　４が結合され
てＪ、・す、爪の間隙ｄ：保持部材９８の運’ｔｄ＋方
向にイ装置している。フレーム９（ＮＣはアングル状の
１＜１り佃１１６がそれも一方の脚部１１８で以ってね
じによって取付けられている３、−万の脚部から泊角に
延びる他方の脚部１２０は爪１１４の脚部と整骨してい
る。爪の脚部にばそ）１それねじ１２２が１）己１浜さ
れており、これらの：：ＪｉＵＯ１内１１、ｉ！Ｉにプ
ロットを備えている。運動可５ヒな爪１１４の脚部に１
妃置されたねじ１２２は工作物１２４の裂１所開１４１
２６の一方の側に堅く結付され、アングル状の不動の部
材１１６の脚部１２０に配置１う１され／こねじ１２２
は裂１？ｉ？開口１２６の他方の１１１１１に１堅く九
吉行さノする。

第８図に／Ｊ〈シた本Ｊ自明による測定装置は、試験片
の厚さ変化を測定可能な測定アダプタを１ＩｉｉＹえで
いる。この場会、保持部’ＩＪ’　９８にアングル状の
アダプタ１２８が１堅り結旨さ７１．でいるのに貴重し
て、フ１／−ム９０には脚１本１３０が・堅く結汗さｙ
＋でおり、この脚体は脚部１３２で以ってる。脚体１；
３０の脚部１３２　（Ｑ　ｊｉｊＡｉｉ：ｔＢに（ｄ　
３１持ビン１３４が６：ｉ置され、アダプタ１２８の脚
部の端部には支持ビン１：３６が配置さ、＋１ている。

、測定を行う／こめには支持ビンが１１／１］え−ば装
置１され／こフランジ拮しくは類似のものによってぞ１
１ぞ７にＬ作物１：３８の払いに逆の側に支持１，７／
ζ、状態−Ｃ保持される。

伸々′Ｊ４なる実ノ血例で述べた１ｔｌｌｌ　″ｊＪｉ
ｊＪｉｉ缶月１いて距市変化による変形（で・ｉ、（っ
く非電気的な測′１Ｊｌｌｌｌ′Ｉ。

が庫めてｉＦ−確にかつ測定増幅器の〕こめの著り、い
費月ｊなしに、４用可４条置自イ本の質【１１．を名し
くわずかにして測定さ社る。磁気抵抗効果−ム子の・ｌ
ＪＩ別”ｌ　ＭＶ　ｉｇ　Ｋ　ヨッテ、Ｉ’Ｊ動（Ｄ　
ｇ（Ｌ　５’ｊ　カＩＩＥ　ｒｉｏｔ　Ｋ　４（’：　
ｌ’Ｊさ７Ｌでいない揚台でも測定結果に影響が及ぼさ
λしず第９図の実施例にお・いては、閉じられ／仁ル−
ム１４０が設けられており、このフレーノ・はｊｉ１方
ケフケプレートって閉じられており、第９図には前方の
プレート１４２は部分的にしか示してない。図面で見て
下■１１１に位置するフレーム脚部１４・１は開口１４
６を１ｌｉｉえており、この開口を責すて運動＋ｉＪ’
能な保持部棉１４８が突出していて、外１則に位置する
端部に測定プロット１７５０をｊＪｉｉえでいる。

保持部４′Ａ’　１４８は他方の端部１５４で以って−
に囮のフレーム脚部１５６．ζ・喝〈＜緊定されている
。保持部イζ４１１８の×冗［栢所の下側に、旋回ビン
・）１５２が設けられ、保持部材１４８が旋回させられ
ｉ？：Ａるようになっている。保持部材１・１８にぐよ
上１・“に１［）］隔をおいて鳴動子］、　６２　、１
６４のだめの２つの保持体１５８，１６０が配置さ７し
てち・す、こｉＬらの保持体は僅力向に位１＾゛、する
Ｉｉｌ動イＩ　ｆｉ　２　、　ｌ　６−１で以って差動
磁気抵Ｉノ）；幼宋素イー＞Ｉｌｌ　６６　、１６８と
１イｂ１動するようになってｂ・す、こノ１．らの差動
磁気抵抗効果ぷＪ’　Ｊｔ：Ｌは第１図及び；Ｂ；　５
図の実施例の磁気抵抗効果素子組］、　０９　、１１１
と同じ形式でプレートに取付けら」）ている。図面には
、後方（・ご位置するプレート１７０に取１１］けられ
だ追動磁気［よ（抗効宋＜＜　−ｆ−が示しである。

保持部４３’　１４８が、Ｉに！：回連動を「−ｆうの
−Ｃ１ｉ＋Ｊ動子１６２，１６４を旋回ヒンジ］５２い
二対して半径方向に配置し７かつ差動蜂気抵抗幼宋−に
１゛−を対応させて配置することがイイ利であり、磁気
抵抗効果素子が可動子に対して平行に位置する。

従って、円弧」二の用゛動子イＸす４；ｉ反の運動に活
−′つ＜非しｌ−ｉ、画性が十分にイ１）（償さ、ｆＬ
る。このネｆｌｉ償（＋１．さらに１ｎ１１　′；Ｊｌ
装：１″へ１が一般に通常１ミリノー夕、１．すＩ−’
の名しく小さな測定・如囲に合わせて設置１１さ〕じＣ
いることによってネト易になる。

所属の磁気抵（’ｊ’シ効果素子、ｔ＋１１を南する２
ニー）（ど月１」・助ｊ−の配置によって、測定装置奮
そｔＬも回じ１出隔の差動磁気抵抗効果素子を用いて７
！　／、Ｌ：　７′、）側カニ範囲に１ｊｌｊ　Ｆｉ’
ｉすることが【ｉＩ’　（ｉｌＵである３、もちろんｔ
：Ｊ！＋９図の実施例も唯一・のｉ］動子で以って（）
′４成Ｊ＼ｔ’Ｌ、この鳴動子（７ｊ、保持筒；打１４
８の長さくｌ（′、わたる任意の箇所に配置され得る。

第９図の実施例（（おいては＋ｆ＋ｊ巣なＩ１ｇ式〜“
１２１気抵Ｊ’＋’ｉ：効果克子をよごれから保護する
ことができる。、（−の７こめに、フレーム１４０の内
室に弾性的ろ°仕切り壁１７２が設けられており、この
仕切り壁を可動手のだめの保持体が貫通している。

ｒ’Ｊ”＋　９　＋ツｊの測定装置は！侍に小さな）１
／−ム寸法で（７／１１成式れイ４ｆるので、１１１１
１定ベースの／（めの十分な長さを得たいという間：但
が牛、しる。このだめしく−１−側のフレーム脚部に、
図面で示すようにゾＶ−１・１７・１が取ｆ−ｊけら）
′ｔ　、　　このプレートの端）−１九がノ１／−ムに
灯して不動の２則力しノ′ロット１７６を・１呆長し、
でいる。プレート１７４は同時（ＬＣＡ川定用足を測定
しようとする対象物上に固定するように４１１１１−成
さｉ′１ていてよい。もちろんフレー　ムに対して不動
な測定）−」ソト１７６を直１）ｉフレームに配置する
ことも原理的にｒｊ］能である。フレーム脚ンイｆｔ　
１４４が１目接フレーＡ　Ｉ　−１０を１．ｊｙえて延
Ｊ（されていてよい。

代 導磁性旧料から成る可動イの他すに磁界全土ぜしめる永
久（１芸石が保持部（」に配置され、永久磁石によって
生ぜしめられる磁界が保持部材の移動に際し磁気抵抗効
果素子素子の［［（抗を変えるようになっていて）こと
によってｚ１川廿−：　％　ｉｉ’ｉの・」′ｌ′人が
さらに小さくされ１５ンる６、この川ｆ−１（丁ｔ（−
Ｊ、　ｅ字状のフレームが１丑東局路を成す部（Ａをハ
゛均」ｋする。イメｒつて、第１図の実＋１ｊｌ１例の
（−）字状のル−ツ、の脚部に配置されたｔ）％久（直
利８　、１．０か１・心安になる。この場汁、永久１改
石がイ、ｊ利に（−１、両方のへ便を１！１助方向に対
して横力向（（二りさび状に１１４成されていイ〕。こ
ｔしにより、（磁極に１．・りる（ｌ＆東の必要な集束
性を・ｆ＋ｉ＃　、ネた心間な磁石貿；１；が１：Ｉら
Ｊする。

このようにミＫ　ｒＡｊｉ　Ｌ−た場合、第・１図ツク
（Ｚｌ’　Ｕ’、　５１ツｊの実施１９１］にし・いて
は永久１轍石１０８が小必四に７４：る。’ｉ／′Ｌっ
て、磁気抵抗効果素イ徂１０９　、１１１が１１′：１
接にプ゛レート９２に取イ」けらｔＬｌ　　これｌ／（
ニアにってフレーノ・９００幅が第５図の一４′祭から
明「。

かなように減少せ１−７められイ４！る。３永久磁石を
）足動［ＩＪ’　ＷＥな保持バ１５イ］に設はノこｉｔ
！ｌｌ　’ｙｉ装置、の有利な別の夫ｆｆ１ｔｉ例が第
１０　ＬＸＩ及び第１１図に示しである。この′友施例
の場合、測定装置１８０は導磁性４３月から成り磁束’
Ｊ？７）路を成すリング状の磁束帰路部材１８２を有し
ており、このイ直束帰路部拐は内側に互いに向き合った
２つの磁極１８４．１８６を備えており、これらの磁４
１文は互いに平行な扁・ヒな磁極ｍｆ１８８　、１９０
全そｆ’Ｌ　’ｅ　；ｉｔイ１”しており、各４１＆極
而にはそれぞれ磁気抵抗効果素子絹１９２，１９４が配
置され−こおり、これらの各磁気抵抗効果素子、１１１
の磁気抵抗効’ｉ　；ｔ＝子は磁束帰路部材１８２の１
咄所力向で互いに間隔をおいて位ｉ［べ−している。こ
の実ノイへ例の場合、磁束帰路部材１８２は円が）形の
外周面１９６　”；（：　１１１ｉｔえかつりを周面の
区分（・ＣＩ而面、縁方向に向けられ／こリング状の突
起１９８，２００をイ」Ｌ７ている。磁束帰路部材１８
２は２３１協トから成る外１＋１１１クーシング２０２
内に位置しており、この外側ケ−シングはイＩ庇東１？
１１ｐ６部４・４の突起１９８゜２００を；キむ外周面
区分のく」−法にＡ’ＩＩ応した円筒形のり欠き全備え
ている６、この実施例（・こおいては、両方のケーシン
グ部分２０・Ｉ　、　２０６が一半径方向で突起１９８
　、２００の内側に壁２０８゜２１０を・Ｄｉｉｉえて
いイ）。ケーシング部分はねじ２０５によって互い（・
こた、＋ｉ汗１１丁能でありかつづ厩東帰路部材に緊定
ｉ−，１能である。

突起１９８．２００と各ターシンク櫓１［へ分２０４．
２０６との間（こは夕゛イヤノラノ・状のはね２１．２
．２１４が、）、１″６色−まれでいる。このダ・イヤ
ンラノ、状のばねの中央にロッド状の１ζ署＃　ｉＪ　
、＋ｇ’　２１．６が保持さノ１．ており、この場会左
１１ｔ１．ｌ−ｒばね２１・１と保持部イ第２１Ｇとの
間の１結合部２１８がねじ」、′。

骨部若しくはフランジ結合部とじて小してあり、右側で
ばね２１２とＩＡ′、持１ｆｉｆ（４：Ａとの間の１結
汁部２２０がろう）」け結合ンＧＩＳイ’ｉ’　ｌ−、
＜は溶」〆）ミ１１１ｆ−ン）′１１♂、（二し。

て小しである。

保１．￥部材２１６には永久磁石２２２が配置されてお
り、こり永久磁石のＮ　他イ１Ｌ　＜はＳ　＋ｖｐが磁
気抵抗効果７．１″−、ｐＨＩ　９２若しくは１９４に
向かって位置している３、永久磁石２２２ｖま磁・隊の
区分どくさび状にｉｒ／ｊ成されており、その結果、磁
極１ａｊが比ＩＨ１）的狭くなっている。従って、磁束
が永久磁石の９薮匪においてそのつどＩ９「ｊｙ：！の
磁界幅に磁束さ、ｔシる。

［呆持部材２１６は右側で外側ケーシングの壁２０８に
形成された孔２２４を通して外側へ案内さ４１．ている
。同じように壁２１０が孔を循えており、この孔を姐し
て保持部材２１４が外側へ案内されてもよい。測定装置
１０８の外側ケーシング２０２は第１の測定基＊器を形
成しており、場合によっては外側ケーシングに測定ゾロ
ノド若（〜くは類似のものが配置されていてよい。第２
の測定基準器は直接若しくは間接的に保持部材に作用す
る。従って１−１ｉＪ述の実施例と同じように永久磁石
ひいては保持部材の磁気抵抗／−カ果素Ｊ″−：ｆｉｆ
ｌに対して横方向の運動が側足される。

第１０図から明らかなように、左側のケーシング部分２
０Ｇの壁２１０は接紹；管片２２６をｊ＋ｉｉｉえてお
り、この接続管片ケ介して流体が＝、、ｉ、：１）１０
とばね２１４との間のｄ閉された室内（で縛大可能であ
る。従ってこの測定毘１６を用いてｊＥ力１ｌｉｌＪ定
がそハも正圧並びに負圧範１用で行わ扛る。

この場合、保持部材２１６が壁２０８を通して案内され
る心安はない。しか（−ながらこの壁ると有利である６
、紙力測定装置としての−７に施例においては保持部４
Ｊ’２１５は片側でのみタ゛イヤフラム状の＝−力のば
ね２１４に取「ｔけられで」、・ればよく、他方のばね
２１２は省略さＪトる。

第１０図及び第１１図の実施例のリング状の・臓東帰路
ｉ′８１３材を・ｆｌ”する測定装置ＶＣ↓、・いては
、ｉり動子が憬導磁性材別から成っていてもよく、ｃの
」易ｆヤには第１図の実施例と同じように磁極面に永久
磁石が設けられる。

第１２図−第１５図の実施例（佳原哩的に第４図及び第
５図の実施例に相応するものである。

測定装置２　：３０はここでは方形のフレーノ・２３２
をイ〕しており、このフレー　ムは両側をゾｌ、’−１
・２３４．２３６によって被われている。シレー１−２
　：３４　、２３６には磁気抵抗幼果素子組２：３８．
２４０が配置されている。これらのイ嘱気］１（抗効果
素子組間に永久磁石２４２が位ｈｉｔしており、この永
久＜ａ石はここでも磁極区分をくさＯ・状に傾斜するよ
うに構成されている。

フレーノ、４づ、その１つの脚部に窓２４４を備えてお
り、この窓内では保持部材２・１６が図示の２！１【矢
印（第１４図ンの方向に運動可能である。

保持ｉ’４１Ｘ材２４６ば、第４図及び第５図の実施例
と同じように２つの板ばね２４８を介して案内さｉｌて
おり、これらの板ばねはフレームの窓２．１４とは朕の
側の脚部に固定されている。第１２図〜第１５図の実施
例においては、第４図及び第５図の実施例と異なって第
１５図から明らかなように梢１状に外側の２つの舌片２
５０と中火の１つの舌片２５２忙備えて構成さ４した４
反はね２４８が設けられている。、これらの板ばね２４
８はそ扛ぞれ外側の舌片２５０の端部で以って、〕ｌ／
−ノ・の窓２・１４の形成された側の脚部内に緊定され
ている。３つの舌片を結合するウコユブは、ここでｔよ
ゾレート状に構成された保持体２５・ｌに結合されてお
り、この１呆持体は中火に永久磁石２・１２ケ抹持１７
ている。中央の舌片２５２はじ一］　’ｊ’Ｉ　ｙｉｔ
、ｉ部で以って保持部材２４６　Ｖｃ結合されていイ）
４、板はねの前述のような構成によ妙イ１−効なばね長
さが２倍になる３、こノしにより、！に久磁石２４２の
浮動］！巨離が仮ばねの舌片の有効Ｉ（さの１イリ舎で
、すなわち１．２の割合で減少さＪ［る。

従って測定範囲が相応に拡大される。

特に永久磁石を有する実が９例のヒスブリシス損を減少
さぜるためシ′ζ、有利には磁気ＪＪ（抗々〕果素子の
下に軟線＋！！１．＋＊科から成る薄い層が配置さｉｌ
る。この層はほぼ０．２〜０．５＋ｌｌｌ１１の厚さで
１−づｌである。

【図面の簡単な説明】

図面は、４：発明の実施（＆１１を小ずものであ≦〕て
、第１図は永久磁石をイ１する実施例のＵｉｌｌ　′）
Ｊｌ装置の概！格的な断面図及び回路図、第２図は電気
（直イｊを有する実施例の概略図、第３図は”Ｉｆ気４
’ｒｉ’ｉイｌケ有する別の実施例の概略図、第・１図
ｄ：測ガ゛１も置の測定センサの配置形式ｋ　／Ｊくず
図、第５図は第４図のｖ−ｖ線に沿った断面図、第６図
は測５．Ｌセンサの別の配［６−１し式を示す図、第７
図及び第８図は測定アタ゛シタの配置形式を示す図、第
９図は測定装；＾′、の別の実施例の断面図、第１０図
ばさらに別の実施例の第１１図のＸ−Ｘ線に沿つ／・−
断面図、第１１図は第１０図のＸＩ−ＸＩ線に沿−）だ
断面図、第１２１ｉはさらに別の実姉例を示す図、第１
３図は第１２図のＸｌｌｌ−Ｘ１ｌｌ線に沿った断面図
、第１４図は第１２図のｘ■−ｘｔｖ線しτ沿った断面
図、第１５図は第１２図の実施例の板ばねの平面図であ
る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １１１１１１定装置であって、第１の測定基準器のだめ
   の保持部材としてのフレームと、第２の測定基準器のだ
   めの、フレームに対して運動可１止な部材と、機械・電
   気式の変換系とを備えて」？す、変換系の第１の手段が
   フレームに取付けられかつ第２の手段がフレームに対し
   て運動ｌＴ、１′化な保持部材に取付けられており、保
   Ｊ−Ｘ１部材が第２の測定基準器のだめの部材に結合δ
   れている形式のものにおいて、少なくとも１つの空隙を
   備えかつ保持部材の運動方向に対して横方向に向いた磁
   界を発生させる両界発生部材が設けられており、空隙内
   に保持部材がＭ界に対して横方向に運動可能に配置さり
   、ており、かつ空隙内に、保持部材の運動方向で間隔を
   おいて配置されたそれぞれ２つの磁気抵抗効果素子を備
   える２つの低気抵抗効果素子組が配置されており、磁気
   抵抗効果素子の’ｚｐ；抗効果素子極がそれぞれ逆に向
   けられており、保持部材の運動に際し、磁気抵抗効果素
   子ｆｉｉｌｉを透過する磁界を変える手：没が設けられ
   ており、磁気抵抗効果素子の出力側がブリッジに接続さ
   れており、ブリッジの一力の対角線分岐に測定値指示器
   が接続さ７してよ３・す、他方の対角庫分岐に直流電圧
   源がｍ　ｉ１’ｆされていることを特徴とする測定装置
   。 ２、　フレーム内に、互いに平行な極面を備え互いに；
   間隔をおいて向き合う極が設けられでおり、１帆間に空
   隙か形成されており、この空隙内で保持部（２が運動可
   能である特、ｉ′Ｆ請求の範囲第１項記載の測定装置。 ３、　極が磁極として・１選成されている時計請求の範
   囲第２項記載の測定装置。 ４、　極Ｖこ永久磁石が配置されている′持ＮＴ　Ｉ’
   ＋Ｏ求の範囲第３項記載の測定装置３． ５、磁気抵抗効果素子徂が保持部材の逆向きの側に、そ
   れぞれ磁、童に向かって位置するように配置されている
   特許請求の範囲第３項記載の１ｌｉｌｌ定装置。 ６　磁気抵抗効果素子組が磁極の極ｍ■に配置されてお
   り、保持部材に導磁性相別から成る可動子が配置されて
   いるｌ博打１、−求の範囲第３項ｄ己・（戊の　ｔＩｌ
   ｌ　定装置。 ７、　磁極が永久磁石してよって形成されている特許請
   求の範囲第３項記載の測定装置。 ８　保持部材に保持部材の運動方向に対して横方向に位
   置する永久磁石力律己ｌ寛さ了しており、磁気抵抗効果
   素子組が永久磁石の・■に対して、フレームの一部分若
   しくはフレームに結合された部分に配置されており、フ
   レームの一部分若しくはフレームに納会された部分がフ
   レームと一緒に磁束帰路を形成している特許、ｉ＋’ｒ
   求のＡ４囲第１項記載の測１岨装置。 ９　保持部材が互いに間隔をおいて配置された平ｒ′テ
   な２つの板ばねを介して案内されている・時Ｉ［請求の
   範囲第１項記載の測定装置。 １０　　保持部イ４が少なくとも１つのダイヤプラムば
   ねを用いて案内されている特許請求の範囲第１項記載の
   測定装置。 １１、ダイヤプラムばねが流体によってｖｊ、荷可能な
   室の運動可能な壁として構成されている特許請求の範囲
   第１０項記載の４１１１定装置。 １２　保持部材が一方の端７゛〜ｂで以ってダイヤプラ
   ムばねに結合されかつこのダイヤプラムばねに保持さＩ
   している特許請求の範囲第１ｏ１．Ｊ′ｌ記載の測定装
   置。 １；３　　運動可能な保持部材が片側で旋回ｉｊＪ能に
   懸架されていて、自由端部に第２の測定基（ｑ、型針保
   持している′特許請求の範囲第１項記載の測定装置。 １４　　連動可能な保持部材に旋回ヒンジから異なるｊ
   ’ｉｌ隔をおいて複数の可動子が配置−，！ｉており、
   これらの＋１１動子がそ７１．それ所属の磁気抵抗効果
   素子組と協働するようになっている特π「５６求の範囲
   第１３項記載の測定装（６”、。 １５　　運動可）化な保持部拐に、旋回ヒンジから異な
   る１ｉＪ５隔をおいて複数の永久磁石が配置されており
   、これらの永久磁石がそれぞれ所属の磁気１よ（抗効果
   素子組と協働するようになっている特許請求の範囲第１
   ３項記載の測定装置。 １６　　フレームがリング状に構成されており、極がフ
   レームの内周面から突出して゛・、・す、保持部材がフ
   レームの軸虜方向に移動可能に支承さ）１．ている特許
   請求の範囲第２項記戦の測定装置。 １７　　フレームがガ形に構成されており、フレームの
   １ｉｉ１［：］　Ｉ則がプレートによって被われており
   、プレートの内側にそれぞれ互いに向き付って磁気抵抗
   効果素子組力ｉ装置さイ′しており、フレームの脚部に
   窓が配置さη、ており、窓内で保持部材が平行な２つの
   板ばねを介してフレームの脚部に対して平行に案内され
   ており、保持部材のフンーム内部に向いたｆｕｌｌに保
   持部イオの運動に際し、磁気抵抗効果素子組を透過する
   磁界を変化させる手段が設けられている特）ｎ’　１ｉ
   ｊｖ求の範囲第２項記載の測定装置。 １８　　フレーム及び保持部材が測定センザ若しくは測
   定アダシタを取付けるだめのねじ孔を備えている羽’　
   ｉｊ″ｌ栢求の範囲第１項記載の測定装置。 １９、測定センサとしてねじ孔内にねじ込みＩ１１′能
   な測定プロットが設けられて眺るノ１．１１．汗晶求の
   範囲第１８項、記載の測定装置。 ２０　　測定アゲシタとして保持部口の運動方向に対し
   て横方向にそハも保持部材の運動方向で相前後して延び
   る枚数の測定センサ１呆持体が設けられて：、−リ、こ
   れらの？＋ｌｌｌ定七ンザ保持体に測定センサがそ７′
   Ｌぞれ配置さノ１．でいる旬モ”１１′１請求の範理第
   １８：ＬＪｌ記載の測定裟ｊｌ。 ２１　　保持１４ｉ（拐及びフレームに、保持ｔ’ｒｌ
   Ｓ材の運動方向に延びる受容スリットを１ＩＩＩｉえ／
   こ）Ａ−り状の測定センサ保持体が双伺けられており、
   測定センサ保持体の１外部に、保持部Ｕの運動方向に対
   して横方向に延びるねじがそ扛ぞれ配置されており、こ
   れらのねじが恢在しようとする工作物に・融合するよう
   ｊｆこなっている特許請求の範囲第１８項記載の測定装
   置６１゜２２　　係舎部材と１７で測定センサ保持体の
   脚部内に、工作物に係合するプロットを備えだねじが配
   置されている′特許請求の範囲第２１項記・火の測定装
   置。 ２：３　　磁気抵抗効′、４！、素子の下側に軟磁性材
   料から成る層が配置されている特Ｙ（、請求の範囲第１
   項記載の測定装置。