JPH0295848A - ポリクロロトリフルオロエチレンフィルムおよびその製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はポリクロロトリフルオロエチレン（以下、ＰＣ
ＴＦＥと称す）ｆｒ、主体とするフィルム、その製造法
および該フィルムで防湿被覆し之ニレクロトルミネセン
ス（以下、ＥＬと称す）素子とその製造法に関する。

（従来の技術） ＰＣＴＦＥフィルムは防湿性に優れ１例えばＥＬ素子の
被覆封止材としての用途があり、更にＩ１１１部品、　
′１子部品、医療材料、薬品等の被覆封止材としても有
用である。

ＰＣＴＦ’Ｅフィルムは融点が約２１０℃と高く、熱融
着するＶＣは約２３０℃以上に刀口熱する必要がある。

従って、このフィルムにエリ対象物ｋＩ！！優する場合
ＶＣは、該対象物への高温のｒ目用が不可避であり。

該対象物の劣化、変質、性能低１”（ｉ＝招くことがあ
り比。

そこで、実開昭５７−１２８７９８号公報にｄｄ載され
ているように、ＰＣＴＦＥフィルムの片面にホットメル
ト接着剤ｊ−紫膜けることにニジ、熱融者温度？下げ、
対象ａヶ熱から′ぼる方法が提案されＣいる。

（発明が解決しようとする課題〕 上記ホットメルト接着剤付さＰＣＴＦＥフィルムによＦ
）肢す封止した物品、例えば、ＥＬ累子は自動車のイン
スツルメントパ不ルに組み込み、液晶デイスプレィのバ
ックライトに用いることがあり。

その際、湾曲状に組み込まれることかめる。

自動車の単円は夏期駐車時等に高温ＶＣなることがあり
、このときＥＬ素子のホットメルト接着剤が軟化し、そ
の封止強度は低下状態となることがある。

一方、湾曲状にさｎ友ｇＬ素子には元の平面状態に戻ろ
うと−ｒる復元力が生起している。そして、この復元力
が上記封止強度の低下したホットメルト接着剤ｊ−に作
用し、＊看剤膚でのｊ−量刑ｌｌ１ｌ（所謂、凝集破壊
）を生じＣしまうことがある。

ＥＬ素子の寿命は防湿性能によって左右されるので、か
ような剥離ｒｉ素子寿命の短命化に直結する。

従って、本発明は高温に曝されても、軟化による剥ｍｔ
−生ずることのないホットメルト接着剤付きＰＣＴＦＥ
フィルムおよびその製造法、史ＶＣは該フィルムによっ
て被覆された耐熱性良好なＥＬ素子とその製造法を提供
すること金目的とする。

（課題を解決する之めの手段） 本発明ｔは上記現状に鑑み鋭意検討の結果、有機過酸化
＠をホントメルトｆｊＦ、看剤の架橋剤として用いるこ
とにニジ、対象物ｋａ覆封止した後、高温に曝さＣても
、軟化ｆ凝集破壊を有効に防止し得ること全見出し２本
発明金完既するに至ったものである。

即ち１本発明に係るＰＣＴＦＥフィルムは、　ＰＣＴＦ
Ｅ膚の方面にホットメルト接着剤Ｊｔｌが形成されてお
り、且つ該接着剤ＪΔが架橋剤としての有機過酸化物を
含有していることを特徴とするものである。

本発明ｖｃｓｐげるＰＣＴＦ’Ｅ層の厚さは、被覆対象
物に応じて決定できるが１通７ｉ？、約ｌθ〜５００μ
ｍであり、その片面にはホットメルト接着剤ｊ−が設け
られる。

このホットメルト接着剤は架橋可能なものでめｎば持に
限゛ポさｎないが、フィルムの用途から水蒸気透過性お
よび吸湿性の低いものが好ましいものである。かような
ホットメルト接着剤としてｅユ。

ポリ）「レフイノ、変性ポリオレフィン（住友化学工業
社裂、部品名ボンドファースト、三井石油化学工業社製
、商品名アトマー等）、エチレン−酢酸ビニル共重合体
（以下、ＪｊＶＡと那す）、エチレン−エチルアクリレ
ート共１合体（以゛ド、　ＥＥＡと称す）４Ｐのポリマ
ーから成るもの、これらポリマーに酸化防止剤、充填剤
、粘着付与剤等の添加剤を所定量配合したもの等をその
具体例として挙げることができる。

本発明Ｖｃ２いては上記ホットメルト接着剤ｌ＃１ｌＶ
ｃ有機過酸化物が含Ｍせしめられる。この有機過酸化物
はホットメルト接着剤のｍ酸成分であるポリマーを架橋
し得るものであれば制限なく使用でき。

その具体例としてはジアシルパーオキサイド、パーオキ
シケタール、ハイドロパーオキ丈イド、ジアルキルバー
オキサイド、パーオキシエステル等を挙げることができ
る。そして、架橋反応の容易さｐ工びポットライフの点
からジアシルバーオキティドの１つであるベンゾイルパ
ーオキサイド（以Ｔ”、ＢＰＯと称す）が好適であるこ
とが判明している。

ホットメルト接着剤Ｉ−における有機過酸化物の含有形
態としては、（ａ）ホットメルト接着剤ｊ−中に有機過
酸化物が均一に分散され友形態、（ｂ）有機過酸化物の
一部がホットメルト接着剤ｌ−中に分散されると共ＶＣ
残部が該接着剤層表面に付着せしめられた形態１等いず
れであってもよい。

ホットメルト接着剤層における有機過酸化物の含有量は
、接着剤層と構成する架橋可能なポリマーの種類、フィ
ルムにより対象物を被覆封止すると８該ポリマーの架橋
度をどの程度にするか０等の諸要因に応じて決定できる
が１通常は該ポリマーｉｏｏ重：ｉｔ部Ｖこ対し有機過
酸化物約０．２〜１０直濾部である。

かような本発明のＰＣＴ　ｉ＝’　Ｅフィルムを用いＥ
Ｌ素子等の対象物を熱融着により被覆封止すると。

接着剤層構成成分である架橋可能なポリマーが有機過酸
化物によＯ架橋さ几る。

この架橋にＬす、ホットメルト接着剤層は高温に曝され
ても軟化２．ｃび凝集破壊をし難くなり。

高温環境下に２ける防湿性が改善される。

本発明に係るＰＣＴＦ’Ｅフィルムに２ける有機過酸化
物の含有形態が上記（ｂｌの場合、このフィルムによシ
対象物を熱融着により被覆封止するとさ。

ホットメルト接着剤層の厚さ方向において架橋度の差が
生じ、それにより、高温環境Ｆにおける防湿性向ととい
う所期の目的を達成し得ない＠態も予想された。

しかしながら１本発明者の実験によれば、　）’ＣＴｌ
ｊＥフィルムにおける有機過酸化物のき有形悪が（ｂ）
の場合でも、上記のよりな不都合は生ぜず、所期の目的
は充分に達成さｎることが確認き几た。この理由は、必
らずも明らかではないが、このフィルムにより対象物全
被覆するための熱融Ｎ時に、ホツトメルト接着剤層全体
が熱峙融し、過酸化物考有部分と過酸化物非含Ｍ部が混
り合い、過酸化物が浴融したホットメルト接着剤全体に
ほぼＱ　−ＶＣ存在する状態となって架橋反応が行なり
ｉ″Ｌるためと推論される。

次に、かようなＰ　Ｃ’Ｉ’　ｐ　ｇフィルムの製造法
の一例について述べる。

この製造法は、ＰＣＴＦｔｌ−とホットメルト接着剤層
から成る積層フィルムのホントメルト朕看刑Ｌｍ面に、
該接看剤ｒ膨調せしめる溶剤に有機過酸化物を分散乃至
溶解した溶液を塗布し１次いで溶剤を除去せしめること
全特徴とするものである。

本発明の製造法に用いる積ｌ−フィルムは、ＰＣＴｉ？
ｇフィルムとフィルム状ホットメルト接着剤１に重ね合
わせ、加熱カロ圧により接合一体化する方法、或いはＰ
ＣＴＦＥフィルムの表面にホットメルト接着剤を溶融押
出しする方法１等ＶＣ，ｍり得ることかでさる。なお、
ＰＣＴＦｈｊ：　フィルムと接着剤層との接合強度向、
上のため、該フィルムの接着剤層との接触面に、スパッ
タエツチング処理（例えば、時開Ｅ　５８−１１７６７
６号公報に開示されている）、プライマー塗布処理等の
接層処理を画すことができる。

本発明の方法ＶＣＪ？いては、先ず、ｈ記積層フィルム
のホットメルト接着剤１１１０表面に、□に機過酸化物
溶液がロールコーティング法、スプレー法等に二９塗布
される。

このとき用いら几る溶剤は、；［ｆ機ｉｉ４酸化物を分
散乃至溶解せしめ、且つホットメルト接着剤４１１ｇ成
分としての架橋可能なポリマー紫膨潤せしめる４（１）
ｆ、例えバドルエン　ベンゼン　キンレン等をその具体
例として挙げることができる。

溶剤として上記特性を有するものを用いるのは。

架橋可能なポリマーを膨潤せしめ、該ポリマーのｍ洞部
に有機過酸化物を浸透させるためである。

この塗布により、有機過酸化物はその一部がホントメル
ト接着剤層の表面に付着し、残部は膨潤部に浸透する。

従って、上記溶液の塗布により。

接着剤ｊ−の全体が膨潤すれば、有機過酸化物の浸透が
より容易になるので、接着剤層における有機過酸化物の
含有形態は前記（ａ）のようになり易いことが判明して
いる。一方、接着剤ｊ−の表面近傍のみが膨潤したＪｉ
ｌ！廿には、有機過酸化物の浸透は膨潤部に限られるの
で、接着剤ｌ−に２レプる過酸化物の含有形態は、前記
（ｂ）の如くなることも確認され友。

な２．溶液中における有機過酸化物の＃度は特に限定さ
れるわけではないが１通常、約０．３〜５償量％である
。また、この溶液のホットメルト接着剤１１１への塗布
通は１通常、約３〜３０ｊｉ／イでめる。

本発明の方法に１？いては、ｈ記塗イ１ｉ後、浴剤が除
去さｆＬる。浴剤の除去に５通電、有機過酸化物の分解
温度よりも低いＹＭ度に加熱する方法により行なうが、
過酸化物の分解金招かないのならは。

他の方法（真空乾燥法等）を採用することもできる。

かような有機過酸化物を首肩するホットメルト接看剤膚
付きＰ　Ｃ’ｆ’　ｌ（″ＥフーＣルムは高温環境下に
おける防湿性が優れており、ＷＬ累子の板覆封正に好適
である。

ここで、上記ＰＣＴＦＥフィルムを用いたＥＬ累子につ
いて述べる。このＥＬｇ子は少なくとも一万が透明な互
Ｖこ対向する′４極ど１両電極間に配ばされた発光体Ｉ
−３・よびこｆＬらｆｔ彼護する防湿フィルムから成り
、■防湿フィルムはＰＣＴｂ’ＥＩ−の片面にホントメ
ルト接譬剤層が形成されており５且つ該接着剤が架腐さ
れていることｔ特徴とするものである。

このＥＬ水素子特徴は、防湿フィルムのホットメルト接
着剤ｊ−の構成成分であるポリマーが架橋されているこ
とでｔりす、素子構造自体は従来品と同じであってもよ
い。

図面はこのＥＬ水素子実例金示すものであり。

透明電極ｌとそれに対向する背面電極２（アルミニウム
箔、銅箔等から成る）（ｆ”！Ｌ、こ几ら両電極間に発
光体ｊ−３および絶縁層４が挟持されており、更に全体
が防湿フィルム５．６Ｆ（：より＊覆封止されている。

上記ｎａ　７　イルム５　、６　ｄＰｃＴＦＥ　Ｊｆｌ
Ｊ　７および８の片面にホットメルト接着剤層９２よび
１０を設けたものである。そして、ホットメルト接着剤
層は前記した如く、ポリオレフィン、変゛注ポリオレフ
ィン、ＥＶＡ、ＥＥＡ等の架橋ロエ能なポリマーを必須
成分として含むものであり、且つ該ポリマーが架橋され
ている。

な２．このＥＬ水素子両区極ｔ−透明１１Ｌ極としたり
、を極と防湿フィルムの間にポリアミド、−の如き親水
性１ｌｉｌｌを介在せしめたりする等１種々の変形が可
能である。

上記透明電極ｌとしては透明基材１１の片面Ｖこ。

可視光線領域で透明であり且つ導電性を有する厚ざが通
常約５０〜１０００　Ｘの透明導電ｊｌｌ１２を形成し
たものが用いられている。透明導電＋ｍ１２は金。

銀、ハラジウム浮の金属、酸化インジウム、酸化スズ等
の金属酸化物等から成る。

透明基材１１としては、ガラス板の他、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホ
ン、ポリアクリロニトリル等の熱可塑性樹脂あるいはエ
ボキン樹脂、ポリエステル樹脂、メラミン圏脂等の熱硬
化性樹脂から成るフィルムや板状体を用いることができ
る。

透明基材１１への透明導ｔＩ′１１１２の形成は、従来
から川ら几でいる真空蒸着法、スパッタリング法、イオ
ンブレーティング法等により行なうことができる。

発光体３　ＩＩは゛間圧の印加により発光するもので。

例えば蛍光体とバインダーとしての高分子誘電体の混合
物により形成でき、その厚さは通常約２０〜１００μｍ
である。

蛍光体とじＣは、硫化亜鉛、七Ｖン化亜鉛、硫化亜鉛と
硫化カドミウムの混晶等の主剤に活は剤としての鋼、銀
、金７マンガン等の金属粉末２よび付活性剤としての塩
素、臭素、ヨウ素等の〕・ロゲン或いはアルミニウム、
カリウム等の金属粉末を添加した混合物金用いることが
できる。この場合、主剤、活性剤および付活性剤の混合
割合は。

通常、主剤１００塩量邪に対し、活性剤０．Ｕ　ｌ−０
，１重量部、付活性剤１〜３直量部である。

′！之、バインダーとしての高分子誘電体としては、シ
アンエチルセルロース等のセルロース系樹脂、ポリフッ
化ビニリデン、フッ化ビニリデンを含む共直合体等のフ
ッ素樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル圏脂、有
機ケイ素樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、ポリウレタン
樹脂等を用いることができる。

発光体１−形成成分としての蛍光体と高分子誘電体の混
合割合は１種々の粂件によって変わり得るが通常は高分
子誘電体１００直量部に対し、蛍光体５０〜６００重賃
部である。

発光体ｊ−は１例えば高分子誘電体粉末をア七トン、メ
チルエチルケトン。ジメチルフォルムアミド、ジメチル
アセトアミド、ジメチルスルフォキサイド等の有翁溶媒
に溶解せしめ、このΔ液中に蛍光体粉末を分散せしめ、
この液を透明電極とに塗布（スクリーン印刷、スピンコ
ード法等）、乾燥する方法により形成でさる。

ま之、絶縁１−４は発光体ノ１形成に用いたのと同様の
高分子誘電体（所望によりチタン酸バリウム。

酸化チタン等の高誘電率粉本を混入）により形成できる
。この絶縁ｒｆｌは省略も可能である。

次いで、このＥＬ木子の製造法の一例について述べる。

この製造法は少なくとも一方が透明な互に対向する電極
と０両成極間に配置され次発光体／１ｍ　’ｋ　！　ｆ
る積ノ１体の両外面に、ＰｅＴＦ”Ｅ層と架橋剤として
の有機過酸化物にき有するホットメルト接着剤ｊ−から
成る防湿フィルムを配置し１次いで加熱することにより
、前記積層体を防湿フィルムでｌｌ憶すると共にホット
メルト接着剤を架橋することを特徴とするものである。

上記製造法においては、少なくとも一方が透明な互に対
向する電極と０両電＃７１間に配置され次発光体層を有
する積ノ一体の両面に防湿フィルムが配置される。

この防湿フィルムはＰＣＴＦＥｊｆａと架橋゛剤として
の有機過酸化物を含有するホットメルト接着剤ｆ−から
成るもので、該接着剤は前記のような架橋可能なポリマ
ーを必須成分とし′Ｃ含むものである。

そして２該防湿フイルムは、当然のことながら。

接着剤層が積ノ一体と接するように配置さｎる。

この方法に２いては、積ノ一体と防湿フイルムを配置し
几後、加熱が行なわ几る。この加熱は熱融着により積Ｊ
一体を防湿フィルムで被覆封止し、且つホットメルト接
着剤を架橋するためのものである。従って、ホットメル
ト接着剤の熱融着ｍ度と有機過酸化物による架橋反応温
度を考慮し、この加熱温度を設定すれば、熱融着と架橋
全同時に行なうことができる。また、架橋反応温度が熱
融着温度よりも高く、且つ両温度の隔たりが比較的大き
な場合には１元ず熱融４紫行ない１次いでより高温で架
橋を行なう多段加熱法を採用できる。

（実施例） 以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。

実施例１ 〔防湿フィルムの製造〕 厚さ２００μ懲のＰＣＴＦＥフィルムと厚さ５０μ溝の
ＥＴ／Ａ（酢酸ビニル含量２０　ｇ黛％、ビカット軟化
点５０℃）フィルムの１枚ずつを重ね合わせ。

温度１３０℃、圧力５１Ｑ？／ｄの条件で１分間加熱加
圧し２両フィルムを接合する。

なお、ＰＣＴＦＥフィルムのＥｊ／Ａフィルムとの接触
面は特開昭５８−１１７６７６号公報に開示された装置
Ｉｔおよび方法にエリ、雰囲気ガスとしてＡｒ　　を用
い、雰囲気圧ｋ　５　Ｘ　１Ｏ−３Ｔｏｒｒとし、　１
３．５６　ＭＨｚの高周ｅ成圧金印加し、放電゛成力２
０　Ｗａｔｔ／−で２秒間スパッタエツチング処理を流
した。

次に、　ＢＰＯ（／：）　ト／Ｉ／　ｘ　ン浴液（Ｂ）
’（Ｊ＃度２ｆｆ１ｍ％）ｉＥＶＡ表面に塗布しく＃ｊ
ｆｉ塗布量１１／ｒ／）。

５分間放置し、ＥＶＡのＩｌｌ潤を助長１−１更に温度
５５℃で５分間加熱乾燥することにより、トルエンを除
去すると共にＢＰＯｋＥＶＡ層に含有せしめ。

防湿フィルムを得る。

〔積層体の製造〕

厚さ７５μ鴨の透明なポリエチレンテレフタレートフィ
ルム（透明基材）の片面上に、　　Ｓｎ含ｉｔが１０重
量％であるＩｎ−Ｓｎ合金をターゲットとして用い、酸
素との反応性マグネトロンスノ（ツタリング法により、
厚さ２００Ａの透明導電ｍ’を形成する。

その後、バインダーとしてのシアン二テルセルロースの
アセトンｆｆｊ液に、蛍光体粉末を分収させ。

この液を透明導電１１！ｉｌｋ、にスクリーン印刷法に
より塗布し、６０℃で１２０分間加熱し、更に温度ヲ１
５０℃にと昇せしめ２分間加熱することにより、厚さ６
０μへの発光体ｆ−を形成する。なお、上記蛍光体粉末
としてｉ’を硫化亜鉛を主成分とする粉末を用い。

該粉末とクアノエチルセルロースとの配合比（ポ量比）
は８４　：　１６とした。

次いで１発光体ｊ−とに前記と同じ７１ノエチルセルロ
ースのア七トン溶液にチタン酸バリウム粉末を分散せし
めて塗布する。なお、チタン酸バリウムとシアノエチル
セルロースとの配合比（重賞比）は１：１とした。

その後、温度６０℃で１２０分間カロ熱しアセトンの大
部分を除去し、厚さ２００μ鴨のアルミニウム箔を載置
し、温度を１５０℃にと昇せしめ、２分間加熱すること
により１発光体ｍ　ｈに絶縁Ｎ１ヲ形成ぜしめると共に
、該絶縁ｊ−上にアルミニウム箔（背面電極）を密植さ
せ積Ｉ一体を得る。

（ＫＬ水素子製造〕 積ｊｌｉｌＩ体のポリエチレンテレフタレートフィルム
およびアルミ箔上に防湿フィルムのホットメルト接着剤
ｊ−紫内側にして配置せしめ、温度１２０℃。

圧力’ｙＫＶｃ４の条件で４分間加熱加圧し、積Ｊ一体
を熱融着により被覆封止すると共にＢＰＯによジＥＶＡ
’に架橋した。冷却後、防湿フィルム同志の融青部の幅
が３韻になるように切断し１図面と同構造のＥＬ素子（
試料１）を得た。

実施例２ 有機過酸化物としてＢＰＯに代えｌ、　　１−ビス（ｔ
−ブナルバーオキシ）３，３．５４リメテルシクロヘキ
サンを用いること、およびＥＬ　製造時における加熱加
圧時間ヲ１３５℃、２０分とすること以外は全て実施例
１と同様に作業し、ＥＬ素子（試料２）ｔ−得た。

実施例３ ＥＬ製造時ＶＣおける加熱加圧時間を１０分とすること
、およびホットメルト接着剤として第１表に示すポリマ
ーを用いること以外は全て実施例１と同様に作業し、４
棟類のＦＪＬ素子（試料３〜６）を得几。

比較例 ＥＶＡＩ−にＢＰＯｆｒ、含有せしめないこと以外は全
て来流側１と同様Ｖζ作業し、ＥＬ素子（試料７）を得
た。

上記実施例ｐよび比較例により得らｎたＥＬ索子ｒｃつ
いて下記要領によって凝集破壊試験全行ない得られた結
果を第１表に示す。

〔凝集＃ｌ壊試験〕

実施例２よび比較例により得られたｋＬ素子谷ＬＵＯ個
全湾曲状（曲率半径１００ｙ＋ｉ）とし、この形状全保
持したまま８０゛ｃの温度で５時間加熱し。

その後室＠まで冷却し、防湿フィルム同志の熱融看部の
状聾金目視観察し、この部分でホットメルト接着剤が凝
集破壊を生じている素子の個数ｔカウントした。

第１表 （発明の効果） 本発明は上記のように構成されており、実施例にも示さ
几ている如く、高温環境下ＶＣ′Ｊ？いても凝集破壊を
生じ難く、優れ之防湿注を長期持続し得る防湿フィルム
および該フィルムで被覆封止され几長寿命のＥＬ素子を
提供でき、ま几６本発明の製造法によ几ば、防湿フィル
ム２よびＥＬ素子を容易に提供できる特徴がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係るＥＬ素子の実例金示す断面図である
。 １・・・透明電極　　２・・・背面電極　　３・・・発
光体ｌｄ５，６・・・防湿フィルム　　７，８・・・Ｐ
ＣＴＦＥｊ−　　９　、　ｌ　ＬＪ・・・ホットメルト
接着剤Ｊ−特奸出願人 日東電工株式会社 代表者　謙　居　五　朗

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 　（１）ポリクロロトリフルオロエチレンの片面にホツ
   トメルト接着剤ｊ−が形成されており、且つ該接着剤が
   架橋剤としての有機過酸化物を含有していることを特徴
   とするポリクロロトリフルオロエチレンフィルム。
2. 　（２）ポリクロロトリフルオロエチレン層とホツトメ
   ルト接着剤層から成る構層フイルムのホツトメルト接着
   剤層面に、該接着剤を膨潤せしめる溶剤に有機過酸化物
   分散乃至溶解した溶液を塗布し、次いで溶剤を除去せし
   めることを特徴とするポリクロロトリフルオロエチレン
   フイルムの製造法。
3. 　（３）少なくとも一方が透明な互に対向する電極と、
   両電極間に配慮された発光体層およびこれらを被覆する
   防湿フイルムから成り．該防湿フイルムはポリクロロト
   リフルオロエチレン層の片面にホツトメルト接着剤層が
   形成されており、且つ該接着剤が架橋されていることを
   特徴とするエレクトロルミネセンス素子。
4. 　（４）少なくとも一方が透明な互に対向する電極と、
   両電極間に配置された発光体層を有する積層体の両外面
   に、ポリクロロトリフルオロエチレン層と架橋剤として
   の有機過酸化物を含有するホツトメルト接着剤層から成
   る防湿フイルムを配置し、次いで加熱することにより．
   前記積層体を防湿フイルムで被覆すると共にホツトメル
   ト接着剤を架橋することを特徴とするエレクトロルミネ
   センス素子の製造法。