JPH0290585A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH0290585A JPH0290585A JP63242795A JP24279588A JPH0290585A JP H0290585 A JPH0290585 A JP H0290585A JP 63242795 A JP63242795 A JP 63242795A JP 24279588 A JP24279588 A JP 24279588A JP H0290585 A JPH0290585 A JP H0290585A
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- JP
- Japan
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- laser chip
- light
- laser
- mount
- monitoring
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- Pending
Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Photo Coupler, Interrupter, Optical-To-Optical Conversion Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光半導体に関し、特にレーザ装置に関する。
従来、レーザ装置は、第2図に示すように、レーザチッ
プの主ビーム光2が出射される方向の反対側にモニタ用
受光素子13がパッケージのステム4から垂直に形成さ
れたマウント台15にマウントされている構造になって
いた。
プの主ビーム光2が出射される方向の反対側にモニタ用
受光素子13がパッケージのステム4から垂直に形成さ
れたマウント台15にマウントされている構造になって
いた。
上述した従来のレーザ装置は、マウントがパッケージの
ステムに対し垂直方向に立っておりレーザチップをマウ
ントするのが難かしくなるという欠点がある。
ステムに対し垂直方向に立っておりレーザチップをマウ
ントするのが難かしくなるという欠点がある。
またモニタ光を主ビームと逆の方向から出射される光か
らとるため、主ビームが出射される側の面と逆の面を全
反射構造とするレーザチップではモニタ光がとれないと
いう欠点があった。
らとるため、主ビームが出射される側の面と逆の面を全
反射構造とするレーザチップではモニタ光がとれないと
いう欠点があった。
このような問題点はレーザ装置の生産性向上、製造歩留
り向上を計る上で解決しなければならない重要な課題の
1つである。
り向上を計る上で解決しなければならない重要な課題の
1つである。
本発明のレーザ装置は、パッケージのステムと平行に形
成されたマウント台の上面にマウントされたレーザチッ
プと、表面に反射率の高い反射膜を形成した受光素子と
を備え、その受光素子をレーザチップから出射された光
に対して受光面を所定の角度に傾けて設けた構造を有し
ている。
成されたマウント台の上面にマウントされたレーザチッ
プと、表面に反射率の高い反射膜を形成した受光素子と
を備え、その受光素子をレーザチップから出射された光
に対して受光面を所定の角度に傾けて設けた構造を有し
ている。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例の断面図である。レーザチッ
プ1をパッケージのステム4に形成されたマウント台5
の上面にマウントする。表面に反射率が80〜95%の
反射膜6を形成したモニタ用受光素子3を、レーザチッ
プ1から出射された光2に対し、45°の角度に設置す
る。
プ1をパッケージのステム4に形成されたマウント台5
の上面にマウントする。表面に反射率が80〜95%の
反射膜6を形成したモニタ用受光素子3を、レーザチッ
プ1から出射された光2に対し、45°の角度に設置す
る。
レーザチップ1から出射された光をモニタ用受光素子3
の表面で反射させて80〜95%を主ビーム2として窓
から外部へ取出し、残りの5〜20%をモニタ光として
モニタ用受光素子3に入射させる。
の表面で反射させて80〜95%を主ビーム2として窓
から外部へ取出し、残りの5〜20%をモニタ光として
モニタ用受光素子3に入射させる。
尚、反射膜6には所定の反射率となるよう膜厚を定めて
5io2膜とSi3N4膜を積層した多層構造を採用し
た。受光素子はpirlフォトダイオードを用いた。
5io2膜とSi3N4膜を積層した多層構造を採用し
た。受光素子はpirlフォトダイオードを用いた。
レーザチップの構造は活性層を多層半導体層で埋め込ん
だ埋め込み構造半導体レーザ等どのような構造のもので
もよい。
だ埋め込み構造半導体レーザ等どのような構造のもので
もよい。
以上説明したように本発明はレーザチップをステムに形
成されたマウント台の上面にマウントし、80〜95%
に反射率をもつ物質を表面に形成したモニタ用受光素子
をレーザチップの出射光に対し45°傾はマウントする
ことにより、マウント・ボンディングが容易になり、か
つ主ビームが出射される逆の面から光のでない高出力用
レーザチップでも出射光のモニタができる効果がある。
成されたマウント台の上面にマウントし、80〜95%
に反射率をもつ物質を表面に形成したモニタ用受光素子
をレーザチップの出射光に対し45°傾はマウントする
ことにより、マウント・ボンディングが容易になり、か
つ主ビームが出射される逆の面から光のでない高出力用
レーザチップでも出射光のモニタができる効果がある。
第1図は本発明のレーザ装置の断面図であり、第2図は
従来のレーザ装置の断面図である。 l・・・レーザチップ、2・・・主ビーム、3.13・
・・モニタ用受光素子、4・・・パッケージのステム、
5.15・・・マウント台、6・・・反射膜。
従来のレーザ装置の断面図である。 l・・・レーザチップ、2・・・主ビーム、3.13・
・・モニタ用受光素子、4・・・パッケージのステム、
5.15・・・マウント台、6・・・反射膜。
Claims (1)
- ステム上に固定したマウント台上面にレーザチップを接
着し、表面に反射率の高い反射膜を形成した受光素子を
、前記レーザチップから出力された光に対して受光面を
所定の角度傾けて前記レーザチップ前方に設けたことを
特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63242795A JPH0290585A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63242795A JPH0290585A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | レーザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0290585A true JPH0290585A (ja) | 1990-03-30 |
Family
ID=17094405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63242795A Pending JPH0290585A (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0290585A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04253380A (ja) * | 1991-01-29 | 1992-09-09 | Sharp Corp | 光半導体素子 |
EP0786838A2 (en) * | 1996-01-25 | 1997-07-30 | Hewlett-Packard Company | Laser based light source using diffraction, scattering or transmission |
US5771254A (en) * | 1996-01-25 | 1998-06-23 | Hewlett-Packard Company | Integrated controlled intensity laser-based light source |
WO1999005758A1 (en) * | 1997-07-25 | 1999-02-04 | Cielo Communications, Inc. | Semiconductor laser power monitoring arrangements and method |
US6792178B1 (en) | 2000-01-12 | 2004-09-14 | Finisar Corporation | Fiber optic header with integrated power monitor |
US6932522B2 (en) | 1998-12-30 | 2005-08-23 | Finisar Corporation | Method and apparatus for hermetically sealing photonic devices |
JP6685482B1 (ja) * | 2019-08-06 | 2020-04-22 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
JPWO2021171545A1 (ja) * | 2020-02-28 | 2021-09-02 |
-
1988
- 1988-09-27 JP JP63242795A patent/JPH0290585A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04253380A (ja) * | 1991-01-29 | 1992-09-09 | Sharp Corp | 光半導体素子 |
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WO2021024371A1 (ja) * | 2019-08-06 | 2021-02-11 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
CN114144950A (zh) * | 2019-08-06 | 2022-03-04 | 三菱电机株式会社 | 半导体激光装置 |
JPWO2021171545A1 (ja) * | 2020-02-28 | 2021-09-02 | ||
WO2021171545A1 (ja) * | 2020-02-28 | 2021-09-02 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
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