JPH0289989A

JPH0289989A - コンデンサ素体焼成用超軽量治具

Info

Publication number: JPH0289989A
Application number: JP63240456A
Authority: JP
Inventors: Masanobu Tsukagishi; 塚岸　雅信; Masashi Fujimoto; 藤本　雅司; Nobuhisa Kurono; 黒野　信久; Hiroyuki Umetsu; 博行梅津
Original assignee: Toshiba Ceramics Co Ltd
Current assignee: Coorstek KK
Priority date: 1988-09-26
Filing date: 1988-09-26
Publication date: 1990-03-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、セラミックコンデンサ素体を焼成する際に用
いられるセッター又は匣鉢等のコンデンサ素体焼成用超
軽量治具に関する。

〔従来の技術〕

従来、上記コンデンサ素体焼成用超軽量治具は、例えば
アルミナ質、アルミナ−ムライト質又はムライト質の繊
維を用いて高比重１，５以下に軽量化され、アルミナ９
５．０重量％以上とする治具本体の表面に、酸化カルシ
ウムの添加により安定化されたジルコニアの被膜を形成
して構成されている。

〔発明が解決しようとする３題〕しかしながら、上記従来のコンデンサ素体焼成用超軽量
治具においては、アルミナ質等の繊維とアルミナ粉末と
を結合するために治具本体に含まれるシリカ及び被膜に
含まれる酸化カルシウムが被焼成物であるセラミックコ
ンデンサと反応を生する。

又、上記反応に伴い被膜が収縮し、かつ使用回数が増す
に従って治具本体にクラックが生ずる問題がある。

そこで、本発明は、セラミックコンデンサと反応を生ぜ
ず、かつ寿命の長いコンデンサ索体焼成用超軽量治具の
提供を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

前記課題を解決するため、第１の発明は、アルミナ質、
アルミナ−ムライト質又はムライト質の繊維を用いて嵩
比重１．５以下に軽量化され、アルミナ９５．０１ｆｆ
ｉｆｆｉ％以上、シリカ５．Ｏｆｉｍ％以下とする治具
本体の表面に、３．０〜１２．０ｆｆｉｊ；［９６のイ
ツトリアの添加により安定化されたジルコニア８８．０
〜９７．０重量％の被膜を５０〜３００−の厚さで形成
したものである。

又、第２の発明は、アルミナ質、アルミナ−ムライト質
又はムライト質の繊維を用いて嵩比重１．５以下に軽量
化され、アルミナ９５．０ｆｆｆ量％未満とする治具本
体の表面に、純度９５，０重量％以上のアルミナの被膜
を５０〜４００−の厚さで形成し、かつアルミナの被膜
の表面に、３．０〜１２．０ｆｆｌｆｆ１％のイツトリ
アの添加により安定化されたジルコニア８８．０〜９７
，０重量％の被膜を５０〜３００１ｍの厚さで形成した
ものである。

〔作　　　用〕

第１の手段においては、治具本体のシリカが５．０重量
％を超えると、使用を重ねた場合に、被膜中にシリカが
拡散し、被膜の表面にシリカが析出し、被焼成物である
セラミックコンデンサ索体と反応を生じ、又、アルミナ
が９５．０ｆｆｌｆｌｉｌｔ％未満となるとシリカ以外
の不純物が被膜中に拡散し、セラミックコンデンサ素体
と反応する。

被膜のイツトリアが３．０重量％未満の場合は、安定化
剤として十分に機能せず、１２．０に％を超える場合は
、その価格が高くなり不適当である。

又、被膜のジルコニアは、上記イツトリアの下限との関
係から９７，０重量％以下となり、８８．０ｆｆｌＷ％
未満であるとセラミックコンデンサ素体と反応する。

一方、被膜は厚さが５０ｕｎ未満であると治具本体の成
分が被膜内に拡散し、セラミックコンデンサ素体と反応
し、厚さが３００ｍを超えると治具本体との熱膨張差に
より剥離するようになる。

第２の手段においては、治具本体のアルミナが９５重量
％以上の場合は、アルミナの被膜を形成する必要がない
。

一層目の被膜は、アルミナの純度が９５．０重量％以上
ないとその不純物成分がセラミックコンデンサ素体と反
応を生じる。又、−層目の被膜は、厚さが５０ｍ未満で
あると治具本体の成分がこの被膜内に拡散し、二層目の
被膜と反応し、厚さが４００−を超えると治具本体との
熱膨張差により剥離するようになる。

二層目の被膜は、イツトリアが３．０重工９６未満の場
合、安定化剤として十分に機能せず、１２，０重量％を
超える場合、その価格が高くなり不適当である。又、ジ
ルコニアの上限が上記イツトリアの下限によって限定さ
れ、ジルコニアが８８．０重量％未満であるとセラミッ
クコンデンサ素体と反応する。

一方、二層目の被膜は、厚さが５０μｓ未満であると一
層目の成分がセラミックコンデンサ素体と反応し、厚さ
が３００趨を超えると一層目との熱膨張差により剥離す
る。

〔実　施　例〕

以下、本発明の詳細な説明する。

実゛施例　１無定形シリカによって結合されるアルミナ粉末とアルミ
ナ質繊維とにより、両側に高さ１３龍、幅７龍の側縁を
有する長さ１４ｈ＋ｉ、幅７０ｍｍ、厚さ７ａｍの矩形
板状に形成され、かつ嵩比！ｆ！ｏ、ｇｏでアルミナ９
６．２重量％、シリカ３．２重量％の治具本体の表面に
、８．６重量％のイツトリアの添加により安定化された
ジルコニア９０．８ｉＲ量％の被膜を、スプレーコート
により平均１５０ｍの厚さに形成し、コンデンサ素体焼
成用超軽量治具を得た。

この超軽量治具を用いてチタン酸バリウム系セラミック
コンデンサを１２５０℃で焼成した結果は、従来例、比
較例１，２を併記する第１表のようになった。

なお、治具本体の外形、寸法はいずれも同一で、被膜の
厚さはいずれも平均１５０ｍである。

従って、実施例１の超軽量治具によれば、セラミックコ
ンデンサとの反応を生じないと共に、寿命を大幅に延ば
し得ることがわかる。

実施例　２無定形シリカによって結合されるアルミナ粉末とアルミ
ナ質繊維及びアルミナ−ムライト質繊維とにより、両側
に高さ１３＋ａｍ、幅７１ＩＩ１１の側縁を有する長さ
１４０＋ａ濡、幅７０ＩＩ１１．厚さ７ＩＩＩｍの矩形
板状に形成され、かつ嵩比重０．７でアルミナ８８．８
ｆｆｌ量％、シリカ１０．８ｆｆｉ量％の治具本体の表
面に、シリカ０．０２重量％、酸化ナトリウム０．２７
重量％を含むアルミナ９９．７重量％の一層目の被膜を
、スプレーコートにより平均１００μｓの厚さに形成し
、かつ−層目のアルミナの被膜の表面に、８．６重−％
のイツトリアの添加により安定化されたジルコニア９０
．８重量％の二層目の被膜を、スプレーコートにより平
均１５０ｘの厚さに形成し、コンデンサ焼成用超軽量治
具を得た。

この超軽量治具を用いてチタン酸バリウム系セラミック
コンデンサを焼成した結果は、従来例、比較例３，４を
併記する第２表のようになった。

なお、治具本体の外形、寸法はいずれも同一で、二層目
の被膜の厚さはいずれもル均１５０ｍである。

従って、実施例２の超軽量治具によれば、セラミックコ
ンデンサとの反応を生じないと共に、寿命を大幅に延ば
し得ることがわかる。

なお、上記各実施例においては、被膜の形成をスプレー
コートによる場合について述べたが、これに限らず刷毛
塗り又はプラズマ溶射等によって被膜を形成するように
してもよい。

又、治具本体の形状は、端面コ字状に限らず平板状、円
板状、林状その他の形状でもよい。

〔発明の効果〕

以上のように第１の発明によれば、従来のように治具本
体の成分と被膜の成分とが反応を生じることがないと共
に、治具本体のシリカとシリカ以外の不純物がセラミッ
クコンデンサ索体と反応することがなく、かつ被膜の剥
離及び治具本体のクラックが生じることがない。

又、第２の発明によれば、−層目の被膜を形成すること
により、安価な治具本体を用いることができると共に、
治具本体の成分と二層目の被膜の成分との反応を生じる
ことがなく、かつ治具本体のシリカとシリカ以外の不純
物がセラミックコンデンサ素体と反応することがなく、
又治具本体のクラック及び治具本体表面の凹凸が一層１
１の被膜によって減少されることも相俟って二層目の被
膜の剥離が生じることがない。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）アルミナ質、アルミナ−ムライト質又はムライト
質の繊維を用いて嵩比重１．５以下に軽量化され、アル
ミナ９５．０重量％以上、シリカ５．０重量％以下とす
る治具本体の表面に、３．０〜１２．０重量％のイット
リアの添加により安定化されたジルコニア８８．０〜９
７．０重量％の被膜を５０〜３００μｍの厚さで形成し
たことを特徴とするコンデンサ素体焼成用超軽量治具。
（２）アルミナ質、アルミナ−ムライト質又はムライト
質の繊維を用いて嵩比重１．５以下に軽量化され、アル
ミナ９５．０重量％未満とする治具本体の表面に、純度
９５．０重量％以上のアルミナの被膜を５０〜４００μ
ｍの厚さで形成し、かつアルミナの被膜の表面に、３．
０〜１２．０重量％のイットリアの添加により安定化さ
れたジルコニア８８．０〜９７．０重量％の被膜を５０
〜３００μｍの厚さで形成したことを特徴とするコンデ
ンサ素体焼成用超軽量治具。