JPH0287982A - 圧電リニヤモータ - Google Patents

圧電リニヤモータ

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JPH0287982A
JPH0287982A JP1190696A JP19069689A JPH0287982A JP H0287982 A JPH0287982 A JP H0287982A JP 1190696 A JP1190696 A JP 1190696A JP 19069689 A JP19069689 A JP 19069689A JP H0287982 A JPH0287982 A JP H0287982A
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JP
Japan
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piezoelectric
actuator
linear motor
clamping
bar
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Application number
JP1190696A
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English (en)
Inventor
Ruediger Mauczok
ルディガー・マウゾック
Heinrich Oepen
ハインリッヒ・エーペン
Peter Schnabel
ペーター・シュナベル
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Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • H02N2/023Inchworm motors

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、バーを交互にクランプするクランプアクチュ
エータを有する離間された圧電クランプ装置と共働する
該バーに対して直線運動を行うように構成された圧電リ
ニヤモータに関するのもである。
(従来の技術) このような圧電リニヤモータはドイツ国公開公報第19
33205号より知られている。ステータに対する作動
部材の小さな変位に対してだけ適するこのリニヤモータ
は、離間された圧電クランプ装置を有している。前記の
作動1ittは別の圧電転移アクチュエータを経て連結
され、この圧電転移アクチュエータは、該圧電転移アク
チュエータと作動部材より成るバーユニットを伸張およ
び収縮することができる。各クランプ装置は作動部材の
一つど共働する。作動部材の一つを交互にクランプし、
バーユニットをクランプ時点の間に伸張することにより
、作動部材は一方向または他方向に動かされることがで
きる。
(発明が解決しようとする課題) 圧電モータを、機械的部分例えば光学走査システムの読
取り装置を動かすのに用いるとすれば、リニヤモータは
大きな力を及ぼすことができねばならない。けれどもこ
のことは、クランプ装置が従来の構造では得られないク
ランプ特性をもたねばならないことをも意味する。
本発明の目的は、技術的に複雑な構造なしに強いクラン
プ力を発生するようにした冒頭記載のタイプの圧電リニ
ヤモータを得ることにある。
(課題を解決するための手段) 本発明は前記の目的を次のようにすることにより達成し
たものである、すなわち、クランプ装置を互に連結する
圧電転移アクチュエータによって、クランプ装置の間隔
を、該クランプ装置の交互のクランプ動作に合わせて転
移アクチュエータの伸張に等しい量だけ変化することが
でき、圧電クランプアクチュエータは、縦方向に、離間
された脚部によってクランプヨークのベースと係合し、
前記のバーは、圧電クランプアクチュエータの伸張およ
びベースのひずみの間にクランプヨークのリムの間にク
ランプされるようにしたものである。
一般に、圧電クランプアクチュエータの伸張は僅か2〜
3μmである。圧電クランプアクチュエータがクランプ
ヨークのベースのひずみを起こせば、レバー作用が確実
なりランプを保証する。
本発明の一実施態様では、リムの自由端が、その間にバ
ーをクランプすることのできる接触素子を有する。
本発明の別の実施態様では、接触素子のクランプ方向と
直角の方向にバ二に当てられることのできる加圧部材が
設けられる。この加圧部材は、ベースに取付けられた固
定端と自由端とを有するばね部材に設けられ、前記の自
由端とバーとの距離は、前記の加圧部材によりバーに加
えられる圧力を調節する設定ばねによって調節可能であ
る。したがってクランプは3点で行われ、極めて確実で
ある。
本発明の更に別の実施態様では、圧電クランプアクチュ
エータは細長い弯曲アクチュエータとして形成され、各
弯曲アクチュエータの一方の端は関係のクランプ装置上
に配設され、各弯曲アクチュエータの他方の自由端は、
バーとクランプ装置の接触素子とに対して押圧されるよ
うに配設される。
この実施態様の利点は、バーの公差の影響がこの場合最
小であるということである。細長い弯曲アクチュエータ
のクランプ力は常に適切なりランプを与える。
本発明の更に別の実施態様では、圧電クランプアクチュ
エータと圧電転移アクチュエータは、金属中間電極を有
する多数の圧電セラミック層より成る積層された多層ア
クチュエータとして形成される。例えば金属中間電極を
有する20から50の圧電セラミック層より成る。この
ような多層アクチュエータは、事実上低い付勢電圧で動
作することができる。このような付勢電圧は例えば10
v と20υの間の範囲にあることができる。
本発明の更に別の実施態様では、接触素子は夫々V状接
触くぼみで形成される。このようなくぼみは、バーとク
ランプ装置の正確に規定された係合を得ることを可能に
する。
本発明の更に別の実施態様では、接触素子の一方はV軟
接触くぼみで、他方は、前記のくぼみに対するバーの圧
力を調節する設定ねじである。この実施態様は、圧力の
集中を可能にし、クランプ動作を改良する。
本発明の更に別の実施態様では、クランプヨークの両接
触素子はV軟接触くぼみとして形成される。2つのV状
(ぼみは係合を改良する。
(実施例) 以下に本発明を添付の図面を参照して実施例によって更
に詳しく説明する。
第1図および第2図に示したりニヤモータ1は、全体と
して例えば1cm/Sの速度でバー3に沿って動くこと
ができる。2つのクランプ装置4aと4bが前記のバー
3と係合する。各クランプ装置は、2つのリム6.7と
ベース8を有するヨーク5より成る。リドの間には溝9
が形成される。前記のベース8は、境界アーク11の位
置において小さな断面の部分10を有する。ベース8に
は、アーク11の両側に1つづつ2個の脚部12が設け
られる。この脚部は圧電クランプアクチュエータ13に
固定されている。この圧電クランプアクチュエータ13
は矢印14の方向に伸張することができ、この電気的に
励起された伸張により脚部12が押し離されることがで
きる。
リム6はV状接点素子15をまたリム7は点状接触素子
16を有する。点状接触素子16はクランプねじ17で
形成され、このクランプねじは、リム7の延長部材18
に設けられ、バー3に対して調節可能なように配設され
る。
2つのクランプ装置4aと4bは圧電転移アクチュエー
タ19によって連結され、このアクチュエータは、矢印
20で示した方向に伸張することができる。
第3図に示した圧電リニヤモータは第1図および2図に
示した圧電リニヤモータと類似しており、やはりバー3
に沿ってカタピラ運動を生じることができる。図にはク
ランプ装置の1つ4Cだけが示されている。このクラン
プ装置4Cはやはりベース28で互に連結された2つの
リム26と27を有する。
このリム26と27の間には、その断面がベース28の
位置30で小さくされた溝が形成されている。ベースの
僅かに広い脚部31.32が圧電クランプアクチュエー
タ13に連結されている。第1図および2図に示したモ
ータと同様に、このモータの両クランプ装置は圧電転移
アクチュエータ19で連結されている。
リム26と27の両方の自由端には、八′−3と係合可
能なV状接触溝33.34が形成されている。更に、ば
ね部材36に固定された加圧部材35が設けられている
。このばね部材36の一端は、ねじ37によってベース
28に固定されている。他端は設定ねじ38を有し、こ
の設定ねじは、該ねじが取付けられた自由端のリム26
に対する高さを調節゛するように締めたり緩めたりする
ことができる。このねじを緩めることによって、バーへ
の加圧部材の圧力を増加することができる。
両リニヤモータは同様に働く。1つのクランプ装置、例
えば第2図のクランプ装置4aが圧電クランプアクチュ
エーク13の伸張によって作動され、バー3に押付けら
れる。クランプ装置4bのクランプアクチュエータ13
は作動されず、クランプ装置4bはバー3より遠ざけら
れている。次に転移アクチュエータ19が付勢される。
その伸長の結果、クランプ装置4bはクランプ族ff1
4aから数μm動いて遠のく。転移アクチュエータの伸
張が終了すると、クランプ装置4bがクランプアクチュ
エータ13の付勢によって前記のクランプ装置4bの位
置でバーをクランプする。次にクランプ族@4aのクラ
ンプアクチュエータ4aが消勢され、クランプ族24a
がバーを釈放する。次いで転移アクチュエータ19も消
勢されると、このアクチュエータは収縮する。クランプ
装置4aはこの場合収縮の程度に等しい長さだけクラン
プ族ff14bに向ってタカビラ運動を行う。
この過程は、クランプ族ff14aがバー3をクランプ
するために再付勢されることにより繰返される。
続いてクランプ装置4bが消勢され、転移アクチュエー
タ19が付勢される。転移アクチュエータが伸張するの
で、クランプ装置4bは転移アクチュエータの伸張の程
度に等しい距離だけ前進する。
アクチュエータ13と19は多層アクチュエータとして
構成され、金属層が圧電セラミックプレートの間に挿入
されて電極を形成するのが好ましい。
その結果、典型的にはIOVから20Vの電圧がこの場
合それ等の付勢すなわちリニヤモータの作動に対して適
当である。
第4図および5図は、バーに沿って移動可能なりニヤモ
ータの別の実施例を示す。このリニヤモータ101のク
ランプ装置104aと104bはハ゛−103を抱く。
各クランプ装置104aと104bは機械的に剛直なヨ
ーク105を有し、このヨークの下端には、2つのねじ
107によってクランプジョー106が取付けられてい
る。多層弯曲アクチュエータ108として形成された細
長い圧電弯曲アクチュエータが前記のクランプジョー1
06によってその一端でクランプされている。3つの金
、萬ラグ109が弯曲アクチュエータ108上の電極端
子と電気接触を与える。
接続は、例えば接続ワイヤ110を前記のラグ109と
接触した金属ビン111にはんだ付けすることによりつ
くることができる。
弯曲アクチュエータ108の自由端108bの近くにセ
ラミンクディスク112が例えば接着剤で該弯曲アクチ
ュエータに固定され、このディスクは、圧電リニヤモー
タ101のバー103と接触している。
このバー103はヨーク105のV状または三角状溝内
に位置し、したがって3点で支持されている。
ヨーク105 は別のクランプジョー115を有し、こ
のクランプジョーは、2つのねじ116によって転移ア
クチュエータ117を両端でクランプすることができる
。各クランプ装置104aと104bはこの場合転移ア
クチュエータ117の両端117aの一方をクランプす
る。
このリニヤモータ101の動作は、バー103がクラン
プヨークではなくて細長い弯曲アクチュエータ108の
弯曲によってクランプされることを除いては第1図から
第3図に示したりニヤモータlの動作と同様である。ク
ランプのために、弯曲アクチュエータ108はバー10
3に対して曲げられ、クランプ装置を釈放するために、
弯曲アクチュエータ108はバーより遠のくように曲げ
られる。弯曲アクチュエータの自由端108bにおける
機械的偏向は、15Vから30Vが加えられた場合路々
100 μmから200μmとなり得る。
リニヤモータ101をバー103に沿って動かすために
、例えばクランプ装置104aの弯曲アクチュエータ1
08がバー103に対して曲げられる。所望の圧力は電
気的なバイアスによって選ぶことができる。けれども、
クランプ装置104bの弯曲アクチュエータ108は八
′−より遠ざかるように曲げられている。極く僅かなり
ランプ圧力はやはり電気的に予じめ選ばれる。次に転移
アクチュエータ117が付勢されると、クランプ装置1
04は該転移アクチュエータ117の伸張に相当する距
離だけ動かされる。転移アクチュエータ117が伸張す
ると、クランプ装置の弯曲アクチュエータ108がバー
103に向けて曲げられ、このためクランプ装置104
bもバー103にクランプされる。次いでクランプ装置
104aの弯曲アクチュエータ108がバー103より
遠のくように曲げられ、クランプ族ff1104aを自
由に動かさせる。次いで、転移アクチュエータ117が
消勢されしたがって収縮すると、クランプ装置104a
はクランプ装置104bに向って動く。これ等の付勢、
消勢および再付勢を連続して繰返すことにより、リニヤ
モータ101はバー103に沿って移動する。
第4図と5図に示した実施例の利点は、バー103の製
造公差が僅かな影響しか有しないということである。
この装置は、例えばCDプレーヤーの光学ユニットの位
置決めに好適である。その駆動は簡単で、極めてコンパ
クトな構造とすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の圧iIJニヤモータの一実施例の側面
図 第2図は第1図の圧電リニヤモータの平面図第3図は別
の実施例の側面図 第4図は更に別の実施例の側面図 第5図は第4図の圧電リニヤモータの平面図である。 3103・・・バー 4a、 4b、 4c、 104a、 104b−・・
クランプ装置5、25.105・・クランプヨーク 6、7.26.27・・・リム   8,28・・・ベ
ース12、31.32・・・脚部 13、18.108・・・圧電クランプアクチュエータ
15、16.33.34.114・・・接触素子19.
117・・・圧電転移アクチュエータ35・・・加圧部
材     36・・・ばね部材38・・・設定ねじ 特 許 出 頭 人 工ヌ・べ・−・フィリップス・ フルーイランペンファブリケン 〒−1 C力 ヘ

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.バーを交互にクランプするクランプアクチュエータ
    を有する離間された圧電クランプ装置と共働する該バー
    に対して直線運動を行うように構成された圧電リニヤモ
    ータにおいて、クランプ装置を互に連結する圧電転移ア
    クチュエータによって、クランプ装置の間隔を、該クラ
    ンプ装置の交互のクランプ動作に合わせて転移アクチュ
    エータの伸張に等しい量だけ変化することができ、圧電
    クランプアクチュエータは、縦方向に、離間された脚部
    によってクランプヨークのベースと係合し、前記のバー
    は、圧電クランプアクチュエータの伸張およびベースの
    ひずみの間にクランプヨークのリムの間にクランプされ
    ることを特徴とする圧電リニヤモータ。
  2. 2.リム(6,7;26,27)の自由端は、その間に
    バー(3)をクランプすることのできる接触素子(15
    ,16;33,34)を有する請求項1記載の圧電リニ
    ヤモータ。
  3. 3.接触素子(33,34)のクランプ方向と直角の方
    向にバー(3)に当てられることのできる加圧部材(3
    5)が設けられた請求項2記載の圧電リニヤモータ。
  4. 4.加圧部材(35)は、ベース(28)に取付けられ
    た固定端と自由端とを有するばね部材(36)に設けら
    れ、前記の自由端とバー(3)との距離は、前記の加圧
    部材(35)によりバー(3)に加えられる圧力を調節
    する設定ねじ(38)によって調節可能な請求項3記載
    の圧電リニヤモータ。
  5. 5.圧電クランプアクチュエータ(108)は細長い弯
    曲アクチュエータとして形成され、各弯曲アクチュエー
    タの一方の端(108a)は関係のクランプ装置(10
    4c,104b)上に配設され、各弯曲アクチュエータ
    の他方の自由端(108b)は、バー(103)とクラ
    ンプ装置(104a,104b)の接触素子(114)
    とに対して押圧されるように配設された請求項1記載の
    圧電リニヤモータ。
  6. 6.圧電クランプアクチュエータ(13,108)と圧
    電転移アクチュエータ(19,117)は、金属中間電
    極を有する多数の圧電セラミック層より成る積層された
    多層アクチュエータとして形成された請求項1または5
    記載の圧電リニヤモータ。
  7. 7.接触素子(15)は夫々V状接触くぼみで形成され
    た請求項2または5記載の圧電リニヤモータ。
  8. 8.接触素子の一方(15)はV状接触くぼみで、他方
    (16)は、前記のくぼみに対するバー(3)の圧力を
    調節する設定ねじ(17)である請求項7記載の圧電リ
    ニヤモータ。
  9. 9. クランプヨーク(25)の両接触素子(33,3
    4)はv状接触くぼみとして形成された講求項7記載の
    圧電リニヤモータ。
JP1190696A 1988-07-28 1989-07-25 圧電リニヤモータ Pending JPH0287982A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19883825587 DE3825587A1 (de) 1988-07-28 1988-07-28 Piezoelektrischer linearmotor
DE3825587.1 1988-07-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0287982A true JPH0287982A (ja) 1990-03-28

Family

ID=6359712

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JP1190696A Pending JPH0287982A (ja) 1988-07-28 1989-07-25 圧電リニヤモータ

Country Status (3)

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EP (1) EP0352858A3 (ja)
JP (1) JPH0287982A (ja)
DE (1) DE3825587A1 (ja)

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