CN110788834B - 一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳 - Google Patents

一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳 Download PDF

Info

Publication number
CN110788834B
CN110788834B CN201911104253.2A CN201911104253A CN110788834B CN 110788834 B CN110788834 B CN 110788834B CN 201911104253 A CN201911104253 A CN 201911104253A CN 110788834 B CN110788834 B CN 110788834B
Authority
CN
China
Prior art keywords
rigid body
flexible hinge
piezoelectric actuator
finger
clamp
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201911104253.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110788834A (zh
Inventor
崔玉国
卢志诚
娄军强
杨依领
汪家乐
孙靖康
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ningbo University
Original Assignee
Ningbo University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ningbo University filed Critical Ningbo University
Priority to CN201911104253.2A priority Critical patent/CN110788834B/zh
Publication of CN110788834A publication Critical patent/CN110788834A/zh
Priority to EP20169566.5A priority patent/EP3822042B1/en
Application granted granted Critical
Publication of CN110788834B publication Critical patent/CN110788834B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J7/00—Micromanipulators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/08—Gripping heads and other end effectors having finger members
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0009—Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
    • B25J9/0015—Flexure members, i.e. parts of manipulators having a narrowed section allowing articulation by flexion

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

本发明公开了一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳，包括第一钳指和第二钳指，第一钳指和第二钳指的尾部设有基座，基座与第一钳指之间顺次连有第三柔性铰链和第一直角形连杆，基座与第二钳指之间顺次连有第四柔性铰链和第二直角形连杆，第一直角形连杆和第二直角形连杆之间设有一个以上的x向驱动单元，并通过第一柔性铰链连于第一直角形连杆，通过第二柔性铰链连于第二直角形连杆；还包括作用于基座的y向驱动单元，以及作用于y向驱动单元的z向驱动单元。第一钳指和第二钳指不仅能沿钳指的厚度方向和沿钳指高度方向产生微运动，还能沿钳指的长度方向产生微运动，形成x、y、z三个自由度的微运动，且不易破坏、制作成本低。

Description

一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳
技术领域
本发明属于纳米定位技术领域，涉及纳米定位系统中的末端执行器，特别涉及一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳。
背景技术
微夹钳是一种能够产生纳米级运动精度与分辨率的末端执行器，它能应用于MEMS、生物工程等前沿技术领域中。在MEMS领域，微夹钳能对微轴、微齿轮等微零件以及微马达、微泵等微部件进行拾取、搬运，同微动平台相结合，还能实现微零件、微部件的装配；在生物工程领域，微夹钳能用于捕捉和释放细胞，同微冲击探针相结合，还能实现向细胞内注入或从细胞中提取某一成分的操作。
目前的微夹钳灵活性不高，大都仅能实现夹持方向的微运动，而其他方向的微运动需通过微夹钳前端的执行机构来实现，这就使得整个微装配与微操作系统的结构复杂、体积较大、成本较高。专利ZL201510513950.9公开了一种四自由度压电微夹钳（其四自由度是指每个钳指具有两个自由度，具有两个钳指的微夹钳具有四个自由度），虽然每个钳指能沿夹持方向（即沿钳指宽度方向）和垂直于夹持方向（即沿钳指厚度方向）产生微运动，比钳指仅沿夹持方向产生微运动的微夹钳提高了灵活性，但不能沿钳指长度方向产生微运动，本质上还是两自由度微夹钳；另外，该专利所公开的微夹钳，由两层压电陶瓷晶片构成，而压电陶瓷晶片很脆，这就使得微夹钳易于破坏；还有，该专利所公开的微夹钳，制作工艺复杂，包括光刻、腐蚀、胶合、激光切割，制作成本高。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种每个钳指不仅能沿夹持方向（即沿钳指厚度方向）和垂直于夹持方向（即沿钳指高度方向）产生微运动，还能沿钳指的长度方向产生微运动，且不易破坏、制作成本低的三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳，包括第一钳指和第二钳指，第一钳指和第二钳指的尾部设有基座，基座与第一钳指之间顺次连有第三柔性铰链和第一直角形连杆，基座与第二钳指之间顺次连有第四柔性铰链和第二直角形连杆，第一直角形连杆和第二直角形连杆之间设有一个以上的x向驱动单元，并通过第一柔性铰链连于第一直角形连杆，通过第二柔性铰链连于第二直角形连杆；
还包括作用于基座的y向驱动单元，以及作用于y向驱动单元的z向驱动单元。
上述的y向驱动单元叠设于基座的上方，z向驱动单元间隙设于基座的后侧。
上述的y向驱动单元包括第二桥式放大机构，第二桥式放大机构内顶设有第二压电执行器，第二压电执行器垂直于第一钳指与第二钳指；
z向驱动单元包括第一桥式放大机构，第一桥式放大机构内顶设有第一压电执行器；
基座和第一桥式放大机构分别螺固于第二桥式放大机构的两侧边，且连接的部位分设于第二压电执行器的两侧。
上述的第一桥式放大机构包括分设于第一压电执行器两侧的第一刚性体和第二刚性体，顶设于第一压电执行器两端的第三刚性体和第四刚性体，以及顺次连接第一刚性体、第三刚性体、第二刚性体和第四刚性体的第一柔性薄板；
第二桥式放大机构包括分设于第二压电执行器两侧的第五刚性体和第六刚性体，顶设于第二压电执行器两端的第七刚性体和第八刚性体，以及顺次连接第五刚性体、第七刚性体、第六刚性体和第八刚性体的第二柔性薄板，第五刚性体螺固于第二刚性体，第六刚性体螺固于基座。
上述的基座包括凸向第一钳指和第二钳指的凸出部；x向驱动单元包括连于第一柔性铰链和凸出部之间的第四桥式放大机构，以及连于第二柔性铰链和凸出部之间的第五桥式放大机构，第四桥式放大机构内顶设有第四压电执行器，第五桥式放大机构内顶设有第五压电执行器，第四压电执行器和第五压电执行器均平行于第一钳指与第二钳指。
上述的第四桥式放大机构包括分设于第四压电执行器两侧的第十三刚性体和第十四刚性体，顶设于第四压电执行器两端的第十五刚性体和第十六刚性体，以及顺次连接第十三刚性体、第十五刚性体、第十四刚性体和第十六刚性体的第四柔性薄板，第十三刚性体连于第一柔性铰链，第十四刚性体连于凸出部；
第五桥式放大机构包括分设于第五压电执行器两侧的第十七刚性体和第十八刚性体，顶设于第五压电执行器两端的第十九刚性体和第二十刚性体，以及顺次连接第十七刚性体、第十九刚性体、第十八刚性体和第二十刚性体的第五柔性薄板，第十七刚性体连于第二柔性铰链，第十八刚性体连于凸出部。
上述的第一钳指、第一直角形连杆、第一柔性铰链、第四桥式放大机构、第五桥式放大机构、第三柔性铰链、基座、第四柔性铰链、第二直角形连杆、第二柔性铰链和第二钳指为一体成型结构。
与现有技术相比，本发明的一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳，包括第一钳指和第二钳指，第一钳指和第二钳指的尾部设有基座，基座与第一钳指之间顺次连有第三柔性铰链和第一直角形连杆，基座与第二钳指之间顺次连有第四柔性铰链和第二直角形连杆，第一直角形连杆和第二直角形连杆之间设有一个以上的x向驱动单元，并通过第一柔性铰链连于第一直角形连杆，通过第二柔性铰链连于第二直角形连杆；还包括作用于基座的y向驱动单元，以及作用于y向驱动单元的z向驱动单元。与现有技术相比，本发明的优点是：
1)钳指灵活性高，每个钳指不仅能沿夹持方向（即沿钳指厚度方向）和垂直于夹持方向（即沿钳指高度方向）产生微运动，还能沿钳指长度方向产生微运动；
2)在整个微夹钳中，驱动部分为叠堆式压电执行器，其他部分的材料为金属，整个微夹钳不易破坏；
3)在整个微夹钳中，除压电执行器、连接螺钉和预紧螺钉外，其他部分（也是构成微夹钳的主体部分）基本上通过线切割便能制作出来，制作成本低。
附图说明
图1是本发明的立体结构示意图；
图2是图1的分解示意图；
图3是图2中z向驱动单元的结构示意图；
图4是图3的分解示意图；
图5是图2中y向驱动单元的结构示意图；
图6是图5的分解示意图；
图7是本发明x向驱动单元与钳体的连接结构示意图；
图8是图7的分解示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的实施例作进一步详细描述。
图1至图8为本发明的结构示意图，其中的附图标记为：z向驱动单元1、第一桥式放大机构11、第一刚性体111、第二刚性体112、第三刚性体113、第四刚性体114、第一柔性薄板115、第一压电执行器12、y向驱动单元2、第二桥式放大机构21、第五刚性体211、第六刚性体212、第七刚性体213、第八刚性体214、第二柔性薄板215、第二压电执行器22、x向驱动单元3、第四桥式放大机构33、第十三刚性体331、第十四刚性体332、第十五刚性体333、第十六刚性体334、第四柔性薄板335、第四压电执行器34、第五桥式放大机构35、第十七刚性体351、第十八刚性体352、第十九刚性体353、第二十刚性体354、第五柔性薄板355、第五压电执行器36、基座41、凸出部411、第一直角形连杆42、第二直角形连杆43、第一钳指44、第二钳指45、第三柔性铰链46、第四柔性铰链47、第一柔性铰链48、第二柔性铰链49。
如图1至图8所示，一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳，包括第一钳指44和第二钳指45，第一钳指44和第二钳指45的尾部设有基座41，基座41与第一钳指44之间顺次连有第三柔性铰链46和第一直角形连杆42，基座41与第二钳指45之间顺次连有第四柔性铰链47和第二直角形连杆43，第一直角形连杆42和第二直角形连杆43之间设有一个以上的x向驱动单元3，并通过第一柔性铰链48连于第一直角形连杆42，通过第二柔性铰链49连于第二直角形连杆43；第一钳指44、第二钳指45、第一直角形连杆42、第三柔性铰链46、基座41、第四柔性铰链47、第二直角形连杆43和第二钳指45构成钳体。
还包括作用于基座41的y向驱动单元2，以及作用于y向驱动单元2的z向驱动单元1。x向驱动单元3能控制第一钳指44和第二钳指45在x向的松夹，y向驱动单元2负责第一钳指44和第二钳指45的在y向的进退，z向驱动单元1负责第一钳指44和第二钳指45在z向的升降。第三柔性铰链46能增加第一直角形连杆42摆动的灵活性，第四柔性铰链47能增加第二直角形连杆43摆动的灵活性。第一柔性铰链48和第二柔性铰链49能够使x向驱动单元3输出严格的直线位移。第一钳指44和第二钳指45不仅能沿钳指的宽度方向和沿钳指厚度方向产生微运动，还能沿钳指的长度方向产生微运动，形成x、y、z三个自由度的微运动，且不易破坏、制作成本低。
实施例中，如图1和图2所示，y向驱动单元2叠设于基座41的上方，z向驱动单元1间隙设于基座41的后侧，从而使装置更加紧凑。
实施例中，如图2、图5和图6所示，y向驱动单元2包括第二桥式放大机构21，第二桥式放大机构21内顶设有第二压电执行器22，第二压电执行器22垂直于第一钳指44与第二钳指45；z向驱动单元1包括第一桥式放大机构11，第一桥式放大机构11内顶设有第一压电执行器12；基座41和第一桥式放大机构11分别螺固于第二桥式放大机构21的两侧边，且连接的部位分设于第二压电执行器22的两侧。
当第二压电执行器22通电伸长时，第二桥式放大机构21被第二压电执行器22撑长，继而将基座41拉向z向驱动单元1，最终使第一钳指44和第二钳指45退向z向驱动单元1，完成回缩动作；反之，当第二压电执行器22断电时，完成第一钳指44和第二钳的前进动作。
当第一压电执行器12通电伸长时，第一桥式放大机构11被第一压电执行器12撑长，继而将y向驱动单元2和基座41拉向第一桥式放大机构11的固定部位，最终完成第一钳指44和第二钳指45的下降动作；反之，当第一压电执行器12断电时，完成第一钳指44和第二钳指45的上升动作。
实施例中，如图2、图3和图4所示，第一桥式放大机构11包括分设于第一压电执行器12两侧的第一刚性体111和第二刚性体112，顶设于第一压电执行器12两端的第三刚性体113和第四刚性体114，以及顺次连接第一刚性体111、第三刚性体113、第二刚性体112和第四刚性体114的第一柔性薄板115；第二桥式放大机构21包括分设于第二压电执行器22两侧的第五刚性体211和第六刚性体212，顶设于第二压电执行器22两端的第七刚性体213和第八刚性体214，以及顺次连接第五刚性体211、第七刚性体213、第六刚性体212和第八刚性体214的第二柔性薄板215，第五刚性体211螺固于第二刚性体112，第六刚性体212螺固于基座41。
第一刚性体111作为固定部件，当第一压电执行器12通电伸长时，第三刚性体113和第四刚性体114被顶开，同时第一刚性体111和第二刚性体112与第一压电执行器12之间的距离缩小，直接导致第二刚性体112和第一压电执行器12朝第一刚性体111移动，从而使y向驱动单元2朝第一刚性体111方向移动，最终完成z向的下降动作；反之，当第一压电执行器12断电复原时，第一桥式放大机构11复原，推动y向驱动单元2沿z向上升复位。
当第二压电执行器22通电伸长时，第七刚性体213和第八刚性体214被顶开，同时第五刚性体211和第六刚性体212与第二压电执行器22之间的距离缩小，直接导致第六刚性体212和第二压电执行器22朝第五刚性体211移动，从而使基座41朝第五刚性体211移动，最终完成y向的回缩动作；反之，当第二压电执行器22断电复原时，第二桥式放大机构21复原，推动基座41沿y向前进复位。
实施例中，如图7和图8所示，基座41包括凸向第一钳指44和第二钳指45的凸出部411；x向驱动单元3包括连于第一柔性铰链48和凸出部411之间的第四桥式放大机构33，以及连于第二柔性铰链49和凸出部411之间的第五桥式放大机构35，第四桥式放大机构33内顶设有第四压电执行器34，第五桥式放大机构35内顶设有第五压电执行器36，第四压电执行器34和第五压电执行器36均平行于第一钳指44。当第四压电执行器34和第五压电执行器36通电伸长时，第四桥式放大机构33和第五桥式放大机构35被撑长，从而通过第一柔性铰链48和第二柔性铰链49拉动第一直角形连杆42和第二直角形连杆43，最终使第一钳指44和第二钳指45沿着x向夹紧；反之当第四压电执行器34和第五压电执行器36断电复原时，第四桥式放大机构33和第五桥式放大机构35复原，第一直角形连杆42和第二直角形连杆43复位，最终使第一钳指44和第二钳指45沿着x向松开。
实施例中，如图7和图8所示，第四桥式放大机构33包括分设于第四压电执行器34两侧的第十三刚性体331和第十四刚性体332，顶设于第四压电执行器34两端的第十五刚性体333和第十六刚性体334，以及顺次连接第十三刚性体331、第十五刚性体333、第十四刚性体332和第十六刚性体334第四柔性薄板335，第十三刚性体331连于第一柔性铰链48，第十四刚性体332连于凸出部411；
第五桥式放大机构35包括分设于第五压电执行器36两侧的第十七刚性体351和第十八刚性体352，顶设于第五压电执行器36两端的第十九刚性体353和第二十刚性体354，以及顺次连接第十七刚性体351、第十九刚性体353、第十八刚性体352和第二十刚性体354第五柔性薄板355，第十七刚性体351连于第二柔性铰链49，第十八刚性体352连于凸出部411。
实施例中，如图7所示，第一钳指44、第一直角形连杆42、第一柔性铰链48、第四桥式放大机构33、第五桥式放大机构35、第三柔性铰链46、基座41、第四柔性铰链47、第二直角形连杆43、第二柔性铰链49和第二钳指45为一体成型结构。
本发明的工作原理：
第一步，给第一压电执行器12通电，使第二刚性体112沿着z向朝第一刚性体111移动，带动y向驱动单元2、x向驱动单元3和钳体沿着z向下降。
第二步，给第二压电执行器22通电，使第二桥式放大机构21被第二压电执行器22撑长，第六刚性体212朝第五刚性体211移动，从而将基座41以及整个钳体拉向z向驱动单元1，完成第一钳指44和第二钳指45沿着y向的回缩动作；
第三步，给第四压电执行器34和第五压电执行器36通电，使第四桥式放大机构33和第五桥式放大机构35撑长，拉动第一直角形连杆42和第二直角形连杆43，最终使第一钳指44和第二钳指45沿着x向夹紧物体。
本发明的最佳实施例已阐明，由本领域普通技术人员做出的各种变化或改型都不会脱离本发明的范围。

Claims (5)

1.一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳，包括第一钳指(44)和第二钳指(45)，其特征是：所述的第一钳指(44)和第二钳指(45)的尾部设有基座(41)，所述的基座(41)与所述的第一钳指(44)之间顺次连有第三柔性铰链(46)和第一直角形连杆(42)，所述的基座(41)与所述的第二钳指(45)之间顺次连有第四柔性铰链(47)和第二直角形连杆(43)，所述的第一直角形连杆(42)和所述的第二直角形连杆(43)之间设有x向驱动单元(3)，并通过第一柔性铰链(48)连于所述的第一直角形连杆(42)，通过第二柔性铰链(49)连于所述的第二直角形连杆(43)；
还包括作用于所述的基座(41)的y向驱动单元(2)，以及作用于y向驱动单元(2)的z向驱动单元(1)；
所述的y向驱动单元(2)叠设于所述的基座(41)的上方，所述的z向驱动单元(1)间隙设于所述的基座(41)的后侧；
所述的y向驱动单元(2)包括第二桥式放大机构(21)，所述的第二桥式放大机构(21)内顶设有第二压电执行器(22)，所述的第二压电执行器(22)垂直于所述的第一钳指(44)；
所述的z向驱动单元(1)包括第一桥式放大机构(11)，所述的第一桥式放大机构(11)内顶设有第一压电执行器(12)；
所述的基座(41)和所述的第一桥式放大机构(11)分别螺固于所述的第二桥式放大机构(21)的两侧边，且连接的部位分设于所述的第二压电执行器(22)的两侧。
2.根据权利要求1所述的一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳，其特征是：所述的第一桥式放大机构(11)包括分设于第一压电执行器(12)两侧的第一刚性体(111)和第二刚性体(112)，顶设于第一压电执行器(12)两端的第三刚性体(113)和第四刚性体(114)，以及顺次连接第一刚性体(111)、第三刚性体(113)、第二刚性体(112)和第四刚性体(114)的第一柔性薄板(115)；
所述的第二桥式放大机构(21)包括分设于第二压电执行器(22)两侧的第五刚性体(211)和第六刚性体(212)，顶设于第二压电执行器(22)两端的第七刚性体(213)和第八刚性体(214)，以及顺次连接第五刚性体(211)、第七刚性体(213)、第六刚性体(212) 和第八刚性体(214)的第二柔性薄板(215)，所述的第五刚性体(211)螺固于所述的第二刚性体(112)，所述的第六刚性体(212)螺固于所述的基座(41)。
3.根据权利要求2所述的一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳，其特征是：所述的基座(41)包括凸向第一钳指(44)和第二钳指(45)的凸出部(411)，所述的x向驱动单元(3)包括连于所述的第一柔性铰链(48)和所述的凸出部(411)之间的第四桥式放大机构(33)，以及连于所述的第二柔性铰链(49)和所述的凸出部(411)之间的第五桥式放大机构(35)，所述的第四桥式放大机构(33)内顶设有第四压电执行器(34)，所述的第五桥式放大机构(35)内顶设有第五压电执行器(36)，所述的第四压电执行器(34)和所述的第五压电执行器(36)均平行于所述的第一钳指(44)与第二钳指(45)。
4.根据权利要求3所述的一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳，其特征是：所述的第四桥式放大机构(33)包括分设于第四压电执行器(34)两侧的第十三刚性体(331)和第十四刚性体(332)，顶设于第四压电执行器(34)两端的第十五刚性体(333)和第十六刚性体(334)，以及顺次连接第十三刚性体(331)、第十五刚性体(333)、第十四刚性体(332)和第十六刚性体(334)的第四柔性薄板(335)，所述的第十三刚性体(331)连于所述的第一柔性铰链(48)，所述的第十四刚性体(332)连于所述的凸出部(411)；
所述的第五桥式放大机构(35)包括分设于第五压电执行器(36)两侧的第十七刚性体(351)和第十八刚性体(352)，顶设于第五压电执行器(36)两端的第十九刚性体(353)和第二十刚性体(354)，以及顺次连接第十七刚性体(351)、第十九刚性体(353)、第十八刚性体(352)和第二十刚性体(354)的第五柔性薄板(355)，所述的第十七刚性体(351)连于所述的第二柔性铰链(49)，所述的第十八刚性体(352)连于所述的凸出部(411)。
5.根据权利要求3至4任一权利要求所述的一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳，其特征是：所述的第一钳指(44)、第一直角形连杆(42)、第一柔性铰链(48)、第四桥式放大机构(33)、第五桥式放大机构(35)、第三柔性铰链(46)、基座(41)、第四柔性铰链(47)、第二直角形连杆(43)、第二柔性铰链(49)和第二钳指(45)为一体成型结构。
CN201911104253.2A 2019-11-13 2019-11-13 一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳 Active CN110788834B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911104253.2A CN110788834B (zh) 2019-11-13 2019-11-13 一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳
EP20169566.5A EP3822042B1 (en) 2019-11-13 2020-04-15 Three-degree-of-freedom flexible hinge mechanism-type piezoelectric micro-gripper

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911104253.2A CN110788834B (zh) 2019-11-13 2019-11-13 一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110788834A CN110788834A (zh) 2020-02-14
CN110788834B true CN110788834B (zh) 2020-12-04

Family

ID=69444152

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911104253.2A Active CN110788834B (zh) 2019-11-13 2019-11-13 一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP3822042B1 (zh)
CN (1) CN110788834B (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11323599B1 (en) 2020-12-23 2022-05-03 Waymo Llc Flexure amplified piezo actuator for focus adjustment
CN113829248B (zh) * 2021-10-30 2023-07-18 重庆大学 一种薄板结构的压电柔顺微夹钳
CN114378744A (zh) * 2022-01-17 2022-04-22 贵州大学 一种可调恒力微夹钳
CN114619423B (zh) * 2022-01-27 2023-11-21 华南理工大学 一种跨尺度微小零件自适应柔顺装配机构
CN115042105B (zh) * 2022-06-14 2024-09-17 天津科技大学 一种压电驱动式三爪微夹持器
CN117944086B (zh) * 2024-03-26 2024-05-28 华东交通大学 一种具有可调最大钳口的压电驱动柔顺夹持机构
CN118054692B (zh) * 2024-04-16 2024-07-19 华东交通大学 一种结构紧凑型高位移放大比的柔顺机构
CN118269024B (zh) * 2024-05-30 2024-08-13 华东交通大学 具有低寄生位移的复合压电驱动三自由度柔顺微夹持器

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3109220B2 (ja) * 1992-03-09 2000-11-13 株式会社ニコン マイクログリッパー
CN101857187A (zh) * 2010-05-12 2010-10-13 大连理工大学 一种钳口平行张合的柔性电热微夹钳
RO127385A0 (ro) * 2011-12-08 2012-05-30 Universitatea Tehnică Din Cluj-Napoca Minigriper compliant cu actuator piezoelectric
CN102581854A (zh) * 2012-02-20 2012-07-18 苏州大学 压电驱动式微夹持器
CN103331748A (zh) * 2013-06-09 2013-10-02 北京航空航天大学 基于压电陶瓷驱动的小型化柔性微夹钳
CN106737646A (zh) * 2017-01-17 2017-05-31 西安交通大学 可实现平动和转动的三自由度压电驱动调节装置及方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102497129B (zh) * 2011-12-06 2014-06-04 浙江大学 由多极化方式压电驱动器驱动的多自由度微操作器
CN104647347B (zh) * 2014-09-26 2016-08-24 浙江大学 基于柔性铰链放大的压电微夹钳
CN106553138A (zh) * 2015-09-29 2017-04-05 于平 一种微夹钳
CN105619377B (zh) * 2016-04-05 2021-04-02 江西理工大学 一种基于柔顺机构的空间微夹持器

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3109220B2 (ja) * 1992-03-09 2000-11-13 株式会社ニコン マイクログリッパー
CN101857187A (zh) * 2010-05-12 2010-10-13 大连理工大学 一种钳口平行张合的柔性电热微夹钳
RO127385A0 (ro) * 2011-12-08 2012-05-30 Universitatea Tehnică Din Cluj-Napoca Minigriper compliant cu actuator piezoelectric
CN102581854A (zh) * 2012-02-20 2012-07-18 苏州大学 压电驱动式微夹持器
CN103331748A (zh) * 2013-06-09 2013-10-02 北京航空航天大学 基于压电陶瓷驱动的小型化柔性微夹钳
CN106737646A (zh) * 2017-01-17 2017-05-31 西安交通大学 可实现平动和转动的三自由度压电驱动调节装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3822042B1 (en) 2022-05-25
CN110788834A (zh) 2020-02-14
EP3822042A1 (en) 2021-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110788834B (zh) 一种三自由度柔性铰链机构式压电微夹钳
CN102581854B (zh) 压电驱动式微夹持器
CN108000486B (zh) 三自由度柔顺压电微夹持器
CN101508108A (zh) 夹持器及其驱动方法
CN102721520A (zh) 具有精密驱动机构的振动平台
CN109176420B (zh) 一种中置移动关节式柔性解耦精密定位结构
CN109217723B (zh) 结构一体化原位驱动全位移放大式压电尺蠖直线平台
CN101969276A (zh) 二维非耦合纳米级运动平台机构
CN105355572A (zh) 压电驱动单臂式高速引线线夹
CN113922701B (zh) 一种具有力放大特性的四杆粘滑电机及驱动方法
CN110138265A (zh) 一种自定心式压电尺蠖直线电机
CN108964512A (zh) 一种惯性粘滑式跨尺度运动平台
CN208094466U (zh) 一种微驱动器
CN101521453A (zh) 重载精密位移直线电机
US20140333180A1 (en) Piezoelectric actuation device
CN109039146A (zh) 一种惯性粘滑驱动跨尺度精密运动平台
CN103326614A (zh) 由双压电堆驱动的步进式作动器
CN111571621B (zh) 一种结构一体化钳指平动式柔顺机构压电微夹钳
CN116455264A (zh) 一种串并联组合式压电平动微夹钳及方法
CN106229012A (zh) 一种大位移高频响三自由度压电驱动精密定位平台
JP4717065B2 (ja) マイクログリッパ
CN110829882A (zh) 一种t型压电驱动装置
CN110635711A (zh) 纳米位移直线步进电机
CN103427703A (zh) 基于剪切压电效应的微型纳米马达
CN111327228B (zh) 一种尺蠖式压电直线驱动器

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant