JPH0281274A - 画像入力方式 - Google Patents
画像入力方式Info
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- JPH0281274A JPH0281274A JP63232419A JP23241988A JPH0281274A JP H0281274 A JPH0281274 A JP H0281274A JP 63232419 A JP63232419 A JP 63232419A JP 23241988 A JP23241988 A JP 23241988A JP H0281274 A JPH0281274 A JP H0281274A
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- Japan
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- pulses
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- Pending
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- Image Input (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、画像人力装置に係り、特にパターン検査装置
に好適な画像入力方式に関する。
に好適な画像入力方式に関する。
リニアイメージセンナ等のシリアル読み出し形のセンサ
を用いて画像を入力する場合には、対象物に対して相対
的にセンサを移動させながら、センナ信号を読み取る方
法がとられる。この際、移動速度が一定になるように制
御をかけて一定周期でセンサから信号を読み出すことが
多いが、移動速度の変動を完全になくすことは困難であ
る。速度変動があると画像の歪となってあられれる。こ
れはパターンを比較検査するパターン外観検査装置等に
とっては検査の障害となり問題である。そこで、このよ
うな装置では特開昭５５−１５００７５号におけるよう
に移動距離を測定し、一定距離移動するごとにセンサに
読み出しをかける方法がとられる。これは、リニアエン
コーダ等のパルス信号をカウントして距離を測定し、所
定のカウント値になっ之時にセンサに読み出しをかける
ものである。
を用いて画像を入力する場合には、対象物に対して相対
的にセンサを移動させながら、センナ信号を読み取る方
法がとられる。この際、移動速度が一定になるように制
御をかけて一定周期でセンサから信号を読み出すことが
多いが、移動速度の変動を完全になくすことは困難であ
る。速度変動があると画像の歪となってあられれる。こ
れはパターンを比較検査するパターン外観検査装置等に
とっては検査の障害となり問題である。そこで、このよ
うな装置では特開昭５５−１５００７５号におけるよう
に移動距離を測定し、一定距離移動するごとにセンサに
読み出しをかける方法がとられる。これは、リニアエン
コーダ等のパルス信号をカウントして距離を測定し、所
定のカウント値になっ之時にセンサに読み出しをかける
ものである。
一方、ＬＳＩ、プリント基板、液晶デイスプレィ等のパ
ターンの微細化と、ウエノ１や検査対象基板の大型化に
より、よシ高い分解能でしかもよシ広い面積の画像をと
ることが必要となってきている。し念がって歪のない画
像をとるために上述した方法を適用するには、高精度高
分解能で長距離を測定できるエンコーダがあればよいが
、そのようなエンコーダを製作することは実際には非常
に困難である。よって、従来のエンコーダを使用してエ
ンコーダの最小分解能以下のパルスを得ることが求めら
れる。
ターンの微細化と、ウエノ１や検査対象基板の大型化に
より、よシ高い分解能でしかもよシ広い面積の画像をと
ることが必要となってきている。し念がって歪のない画
像をとるために上述した方法を適用するには、高精度高
分解能で長距離を測定できるエンコーダがあればよいが
、そのようなエンコーダを製作することは実際には非常
に困難である。よって、従来のエンコーダを使用してエ
ンコーダの最小分解能以下のパルスを得ることが求めら
れる。
エンコーダの最小分解能以下のパルスを得るものとして
従来逓倍回路があった。これは、リニアエンコーダ等の
出力波形（たとえば正弦波）に対し、しきい値電圧を設
け、しきい値電圧を波形が横切ったときにパルスを出力
する方法を使い、しきい値電圧を複数個設けることによ
って通常の分解能以下の出力パルスを得るものや、ロー
タリエンコーダ等によく見られる９０度位相の違うエン
コーダパルスを使用して逓倍するもの等が一般によく使
用されている。しかし、しきい値電圧によるものは、エ
ンコーダの取付誤差等によ多出力波形の電圧が変動し、
逓倍パルス位置が大きく変動するため、上記目的には十
分な精度が得られない。
従来逓倍回路があった。これは、リニアエンコーダ等の
出力波形（たとえば正弦波）に対し、しきい値電圧を設
け、しきい値電圧を波形が横切ったときにパルスを出力
する方法を使い、しきい値電圧を複数個設けることによ
って通常の分解能以下の出力パルスを得るものや、ロー
タリエンコーダ等によく見られる９０度位相の違うエン
コーダパルスを使用して逓倍するもの等が一般によく使
用されている。しかし、しきい値電圧によるものは、エ
ンコーダの取付誤差等によ多出力波形の電圧が変動し、
逓倍パルス位置が大きく変動するため、上記目的には十
分な精度が得られない。
また、位相の違う波形を利用する方法では、逓倍９０度
位相の異なる波形を使うため、２倍、４倍の逓倍数しか
得られず、任意の逓倍数を得ることが困難である。
位相の異なる波形を使うため、２倍、４倍の逓倍数しか
得られず、任意の逓倍数を得ることが困難である。
本発明の目的は、高精度の逓倍パルスを発生させ、歪の
ない画像を入力することにある。
ない画像を入力することにある。
上記目的は、ステージをほぼ定速で駆動する制御装置と
、ステージが一定距離移動するごとにパルスヲ出カスる
エンコーダとエンコーダの出力パルス周期をもとに、そ
のＮ倍の周波数のパルスを出力する装置によって達成さ
れる。すなわち、エンコーダのパルス周期の間のステー
ジ速度変化の割合いを小さくしておき、エンコーダの分
解能以下の移動距離を精度良く求めるものである。
、ステージが一定距離移動するごとにパルスヲ出カスる
エンコーダとエンコーダの出力パルス周期をもとに、そ
のＮ倍の周波数のパルスを出力する装置によって達成さ
れる。すなわち、エンコーダのパルス周期の間のステー
ジ速度変化の割合いを小さくしておき、エンコーダの分
解能以下の移動距離を精度良く求めるものである。
エンコーダの出力パルスをもとに、そのＮ倍の周波数の
パルスを得る方法としては次の２つの方法がある。
パルスを得る方法としては次の２つの方法がある。
（１）エンコーダの出力パルス周期Ｔをそれより十分高
速なクロックカウンタで測定し、Ｔ／Ｎ周期でパルスを
出力する。
速なクロックカウンタで測定し、Ｔ／Ｎ周期でパルスを
出力する。
（２） エンコーダの出力パルス周期Ｔを、電圧Ｖ。
に変換し、電圧に比例した周波数のパルスを出力する発
振器により、エンコーダのパルス周波数のＮ倍の周波数
のパルスを出力する。
振器により、エンコーダのパルス周波数のＮ倍の周波数
のパルスを出力する。
前述の２つの方法についてそれぞれ動作原理を述べる。
（１）第３図に示すようにエンコーダパルス周期Ｔ、の
区間においてクロックパルスをカウントし、カウント値
Ａ、を得る。すなわちクロック周期をＴ とすると、 Ｔ、： Ｔｏ・Ａ。
区間においてクロックパルスをカウントし、カウント値
Ａ、を得る。すなわちクロック周期をＴ とすると、 Ｔ、： Ｔｏ・Ａ。
である。このカウント値Ａ、をＮ等分しての間隔のパル
スを出力すればもとの周期Ｔ、の１／Ｎ周期のパルスが
得られる。このとき、Ｔ。
スを出力すればもとの周期Ｔ、の１／Ｎ周期のパルスが
得られる。このとき、Ｔ。
のカウント後に、Ｔ、の１／Ｎ周期のパルスが出力され
るため、エンコーダのパルスと出力パルスには遅れが生
じる。（第３図では、Ｔ２の期間中にＴ、の区間に対応
するＮ逓倍パルスが出力される。） しかし、速度変化が周期Ｔに比べゆるやかな場合Ｔ、″
：Ｔ２のためこの遅れは問題とはならない。
るため、エンコーダのパルスと出力パルスには遅れが生
じる。（第３図では、Ｔ２の期間中にＴ、の区間に対応
するＮ逓倍パルスが出力される。） しかし、速度変化が周期Ｔに比べゆるやかな場合Ｔ、″
：Ｔ２のためこの遅れは問題とはならない。
（２）第４図に示すように、周波数−電圧変換器によシ
エンコーダのパルス周期ＴｔＫ比例した電圧を得、適当
な増幅率をもつアンプによシこの電圧を増幅し、電圧に
比例した周波数のパルスが得られる電圧−周波数変換器
によりもとのＮ倍の周波数のパルスを得るものである。
エンコーダのパルス周期ＴｔＫ比例した電圧を得、適当
な増幅率をもつアンプによシこの電圧を増幅し、電圧に
比例した周波数のパルスが得られる電圧−周波数変換器
によりもとのＮ倍の周波数のパルスを得るものである。
〔実施例〕
本発明による画像入力方式の一実施例は第１図のブロッ
ク図に示されるようにリニアイメージセンサ１とステー
ジ２の相対速度を一定に保つための定速制御部３とその
相対速度を検出し、速度に応じた周期のパルスを発生さ
せるエンコーダ４とエンコーダパルスの１１１期の間、
エンコーダパルスの１周期分よシも十分高速なりロック
５を用いてカウントするカウンタ部６とカウンタの値と
前の周期での誤差を加える加算器７と、加算結果を１／
Ｎにする１／Ｎ回路９と、１／Ｎしたことによって生じ
る誤差を算出するＮ倍回路１０と減算器８と、１／Ｎ周
期のパルスをＮ個発生させるパルス発生器１１とからな
っている。エンコーダ４の周期Ｔのパルスは、クロック
５とカウンタ部６によってその時間が測定される。すな
わち、Ｔ＝Ａ−Ｔ となる。次に、加算器７によって
前の周期の誤差が加えられる。前の周期のカウント値が
Ａ′であったとし、しかも前々回の周期において誤差が
なかったとすると誤差は以下のようになる。
ク図に示されるようにリニアイメージセンサ１とステー
ジ２の相対速度を一定に保つための定速制御部３とその
相対速度を検出し、速度に応じた周期のパルスを発生さ
せるエンコーダ４とエンコーダパルスの１１１期の間、
エンコーダパルスの１周期分よシも十分高速なりロック
５を用いてカウントするカウンタ部６とカウンタの値と
前の周期での誤差を加える加算器７と、加算結果を１／
Ｎにする１／Ｎ回路９と、１／Ｎしたことによって生じ
る誤差を算出するＮ倍回路１０と減算器８と、１／Ｎ周
期のパルスをＮ個発生させるパルス発生器１１とからな
っている。エンコーダ４の周期Ｔのパルスは、クロック
５とカウンタ部６によってその時間が測定される。すな
わち、Ｔ＝Ａ−Ｔ となる。次に、加算器７によって
前の周期の誤差が加えられる。前の周期のカウント値が
Ａ′であったとし、しかも前々回の周期において誤差が
なかったとすると誤差は以下のようになる。
すなわち１／Ｎ回路９で切シ捨ての誤差が生じ、それを
パルス発生器１１でＮ回繰り返すのであるから、誤差Ｅ
は、 となる、この演算を、Ｎ倍回路１０および減算器８にて
行なう、したがって加算器７の出力はＡ十Ｅとなる。こ
れを１／Ｎ回路で１／Ｎにし、パルス発生器１１にて、 周期のパルスをＮ回発生させ、これをイメージセンナの
スキャンスタートパルスとするものである。
パルス発生器１１でＮ回繰り返すのであるから、誤差Ｅ
は、 となる、この演算を、Ｎ倍回路１０および減算器８にて
行なう、したがって加算器７の出力はＡ十Ｅとなる。こ
れを１／Ｎ回路で１／Ｎにし、パルス発生器１１にて、 周期のパルスをＮ回発生させ、これをイメージセンナの
スキャンスタートパルスとするものである。
本実施例によれば、カウント値をＮで割ったときに生じ
る誤差を補正する機能があるため、誤差が蓄積すること
がない。
る誤差を補正する機能があるため、誤差が蓄積すること
がない。
第２図に他の実施例を示す、リニアイメージセンサ１と
ステージ２の相対速度を一定に保つための定速制御部３
とその相対速度を検出し、速度に応じた周期のパルスを
発生させるエンコーダ４とエンコーダパルス周波数に比
例した電圧を発生させるＦ／Ｖ変換器２０と、Ｆ／Ｖ変
換器２０の出力電圧を適当な大きさに増幅するアンプ２
１と、電圧比例した周波数のパルスを出力するｖ／ｒ変
換器と、出力した周波数がエンコーダのパルスの周波数
のＮ倍となるようにフィードバックをかけるために、Ｖ
／Ｆ変換器のパルス周期をＮ分周する分局器２３と、Ｎ
分周したパルスとエンコーダのパルスの周期を比較し、
比較結果にしたがって増幅器２１の増幅率を変えるため
の信号を出力する比較器２４とからなっている。エンコ
ーダ４からの出力パルスは、Ｆ／Ｖ変換器によって周波
数に比例した電圧に変換される。すなわち、この電圧の
変化がステージの速度変動をあられすものとなる。この
電圧をアンプ２１を経て、Ｖ／Ｆ変換器２２によシパル
スに変換する。このとき、エンコーダのパルス周波数の
Ｎ倍となるようにアンプ２１の増幅率を決める。このＮ
倍の周波数のパルスをリニアイメージセンサ１のスキャ
ンスタート信号として使う、−万、Ｎ倍周波数のパルス
をＮ分周器２Ｓで再びもとの周波数に落とし、これをエ
ンコーダ４の出力パルスと比較する。この結果によシア
ンプ２１の増幅率を増減させる。このように本実施例に
よれば、もとの周期と比較するフィードバックが行なわ
れるため、誤差の蓄積がなく精度のよい逓倍が可能であ
る。
ステージ２の相対速度を一定に保つための定速制御部３
とその相対速度を検出し、速度に応じた周期のパルスを
発生させるエンコーダ４とエンコーダパルス周波数に比
例した電圧を発生させるＦ／Ｖ変換器２０と、Ｆ／Ｖ変
換器２０の出力電圧を適当な大きさに増幅するアンプ２
１と、電圧比例した周波数のパルスを出力するｖ／ｒ変
換器と、出力した周波数がエンコーダのパルスの周波数
のＮ倍となるようにフィードバックをかけるために、Ｖ
／Ｆ変換器のパルス周期をＮ分周する分局器２３と、Ｎ
分周したパルスとエンコーダのパルスの周期を比較し、
比較結果にしたがって増幅器２１の増幅率を変えるため
の信号を出力する比較器２４とからなっている。エンコ
ーダ４からの出力パルスは、Ｆ／Ｖ変換器によって周波
数に比例した電圧に変換される。すなわち、この電圧の
変化がステージの速度変動をあられすものとなる。この
電圧をアンプ２１を経て、Ｖ／Ｆ変換器２２によシパル
スに変換する。このとき、エンコーダのパルス周波数の
Ｎ倍となるようにアンプ２１の増幅率を決める。このＮ
倍の周波数のパルスをリニアイメージセンサ１のスキャ
ンスタート信号として使う、−万、Ｎ倍周波数のパルス
をＮ分周器２Ｓで再びもとの周波数に落とし、これをエ
ンコーダ４の出力パルスと比較する。この結果によシア
ンプ２１の増幅率を増減させる。このように本実施例に
よれば、もとの周期と比較するフィードバックが行なわ
れるため、誤差の蓄積がなく精度のよい逓倍が可能であ
る。
本発明によれば、定速移動させながら画像をとシ込む画
像入力装置において、エンコーダの分解能以下でもきわ
めて高精度に移動距離を測定できるため、歪のない画像
を高い分解能で入力することが可能となる。
像入力装置において、エンコーダの分解能以下でもきわ
めて高精度に移動距離を測定できるため、歪のない画像
を高い分解能で入力することが可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
本発明の他の実施例を示すブロック図、第３図は、本発
明の動作原理を示す因、第４図は本発明の他の方式によ
る動作原理を示すブロック図である。 １・・・・・・リニアイメージセンサ、２・・・・・・
ステージ、３・・・・・・定速制御部、４・・・・・・
エンコーダ、５・・・・・・クロック、６・・・・・・
カウンタ、７・・・・・・加算器、８・・・・・・減算
器、９・・・・・・１／Ｎ回路、１０・・・Ｎ倍回路、
１１・・・・・・パルス発生器、１２・・・・・・画像
入力装置、２０・・・・・・１′／ｖ変換器、 １・・・・・・アンプ、 ２２・・・ ・・・Ｖ ／ Ｆ変換器、 ２３・・・・・・Ｎ分周器、 ２４・・・・・・比 軟量。 口 沃 第３０
本発明の他の実施例を示すブロック図、第３図は、本発
明の動作原理を示す因、第４図は本発明の他の方式によ
る動作原理を示すブロック図である。 １・・・・・・リニアイメージセンサ、２・・・・・・
ステージ、３・・・・・・定速制御部、４・・・・・・
エンコーダ、５・・・・・・クロック、６・・・・・・
カウンタ、７・・・・・・加算器、８・・・・・・減算
器、９・・・・・・１／Ｎ回路、１０・・・Ｎ倍回路、
１１・・・・・・パルス発生器、１２・・・・・・画像
入力装置、２０・・・・・・１′／ｖ変換器、 １・・・・・・アンプ、 ２２・・・ ・・・Ｖ ／ Ｆ変換器、 ２３・・・・・・Ｎ分周器、 ２４・・・・・・比 軟量。 口 沃 第３０
Claims (1)
- １、対象物を設置したステージと、リニアイメージセン
サを相対的に移動させて画像を入力する画像入力装置に
おいて、ステージとリニアイメージセンサの相対速度を
一定に保つための定速制御装置および、相対速度に応じ
た数のパルスを所定時間内に発生するエンコーダ、エン
コーダの出力パルス周期の間それより十分高速なクロッ
クカウンタでカウントするカウント部、カウンタの値を
あらかじめ決められた値Ｎで割る１／Ｎ回路、Ｎ分の一
のカウント値とそれをカウントしたクロックとからエン
コーダのパルス周期の１／Ｎの周期のパルスをＮ回発生
させ、それをリニアイメージセンサのスキャンスタート
信号とするパルス発生器とを設けたことを特徴とする画
像入力方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63232419A JPH0281274A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 画像入力方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63232419A JPH0281274A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 画像入力方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0281274A true JPH0281274A (ja) | 1990-03-22 |
Family
ID=16938960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63232419A Pending JPH0281274A (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 | 画像入力方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0281274A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2001253059B2 (en) * | 2000-03-31 | 2006-06-08 | Thermal Dynamics Corporation | Plasma arc torch and method for longer life of plasma arc torch consumable parts |
-
1988
- 1988-09-19 JP JP63232419A patent/JPH0281274A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2001253059B2 (en) * | 2000-03-31 | 2006-06-08 | Thermal Dynamics Corporation | Plasma arc torch and method for longer life of plasma arc torch consumable parts |
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