JPH0278798A - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はターボ分子ポンプに係る。

免肚立五旦 グリース潤滑されるひれ又はゲーデ（Ｑ　ａｅｄｅ）通
路をもつグリース潤滑ターボ分子ポンプは周到な監視ド
に保持される必要がある。連続する２つの潤滑作業間の
最大時間間隔はポンプの作動温度と実際の作動時間とに
左右される。この手動式保守操作は使用者に用心深いこ
とを要求するが、このような用心深さは常に可能である
とは限らない。

潤滑作業はポンプを休止状態にし、大気圧に戻して行わ
れる。送りプラグを取外した後、潤滑は新たな潤滑に必
要な量の測定をｈ」能にするスポイトを用いて厳密な必
要■の新たなグリースを注入することによって実施され
る。

ドイツ特許文書箱２８５３７４２号はターボ分子真空ポ
ンプを潤滑するためのシステムを開示している。このシ
ステムはポンプの中心シャフトに穴を有しており、前記
穴はグリース貯ｉ室を含んでおり、室はそこから玉軸受
のボールケージに直接列る径方向通路と、さらに軸受は
内側リングを含まないから、軸受が取付けられたシャフ
トに直接に設置Ｊられたボールの内側ころがり路を備え
ている。

時々グリースを排出するために中心ピストンが用いられ
る。このピストンの端部はねじ溝が切られており、ピス
トンの推力はドライバを用いてピストンを回転させるこ
とによって得られる。第１具体例では、中心シャフトは
回転式であり、他方の貝体例では、中心シャフトは固定
式で駆動モータの固定子を担持し、モータの回転子はポ
ンプの回転子に固定され、モータの固定子の周りに位置
してる。

第１の場合には機械の作動中はシャフトが回転し、潤滑
は測定されモニタされもせず、主としてグリースを径方
向通路に押し込める延伸力に左右されるから、ピストン
は当然前進しない。シャフトが固定されている第２の場
合は、ピストンはポンプが作動している間はまだ前進を
始めることができない。何故なら前進するためには密封
板を先ず取除き、従って真空を「破る」必要があるから
である。こうしてこの場合シャフトが固定式で遠心力は
存在しないから玉軸受にグリースを運ぶものが何も無い
ので作動中はｆ！ｌ清を行うことができない。従って軸
受内のグリースが使い切られる度毎に機械を停止し、密
封板を取除き、ピストンを数回転さ眩る必要がある。

どちらの場合にもグリースは径方向から注入され、これ
は軸受の全周又は深さ全体に及んで均一に良好に潤滑を
ほどこすためには全く有利ではない。

最後にどちらの場合にも、内側リングを持たない、特殊
な軸受をシャフト自体が内側リングとして働き、こうし
てシャフトが非常に正確に加工され且つシャフトと軸受
が一体的に作られる必要があるシャフトと共に使用する
ことが必要である。

本発明の目的は、これらの欠点を緩和し且つポンプ作動
中にもポンプの自動針は潤滑が行われ得るようにするこ
とである。

１１匹１上 従って本発明は回転子と固定子を含むターボ分子ポンプ
を提供するもので、回転子は軸受上の固定子の内側に支
持され、前記軸受を担持する固定子部分にはピストンの
はまる穴があけられ、前記穴及びピストンは共にグリー
ス溜めを形成する室を区切り、首記室の各々から少なく
とも１つの径方向通路が出てａ３す、前記ピストンの外
側端部はピストンが前記穴内に押し進むことができるよ
うにする手段を含み、各通路は、回転子に固定され且つ
回転子を支える軸受の対応する１つに直接隣り合い且つ
円形周界の周りで前記軸受に軸方向にグリースを運ぶ役
割を果すねじ溝付き円筒表面Ｅに開口しており、前記ピ
ストンには２つの空の間に位置する密封リングとその外
側端部に位置する密封リングとが設けられており、ピス
トンを穴内に押し進めるための前記手段は周期的に作動
する動力手段も含んでいる。

第１具体例では、前記回転子は前記軸受がその上に取付
けられた回転子支持シｉ！フトに固定され、前記穴は前
記シャフトの軸と平行にあけられ、前記ねじ溝付き円筒
表面は前記固定子支持シャフト上に位置している。

第２具体例では、固定子は、前記軸受がその上に取付け
られ且つその周囲を前記回転子が回転する固定中心シャ
フトに固定されており、前記穴は前記固定中心シャフト
の軸に沿ってあけられている。

より有利には前記穴は、その口部にねじ満を切られてお
り且つねじ溝部分を含むピストンの外側端部と協働し、
前記ピストンは回転駆動モータと結合されている。

好ましい具体例では、前記動力手段はポンプの有効作動
時間の関数である指令によって周期的にスイッチが入る
。指令は又ポンプ温度をも考慮し、■つ又機械の軸受部
分の内圧をも考慮する。

次に添付図面を参照して本発明の具体例を例として説明
する。

１焦１ 第１図は図示された固定子部分を覆う鐘形をした回転子
４０（一部を示す）と、ゲーデ通路をもつ形式のターボ
分子ポンプの固定子の１部分１とを示す。回転子は回転
子支持シャフト３０に固定され、該軸は固定子部分１の
中心穴２に貫入し且つ２個の軸受側えば玉軸受３及び４
上に前記固定子部分１の内部で支えられているでいる。

固定子は、回転子４０を覆い且つ固定子部分１のベース
５に寄りかかり固定された第２部分（図示せず）を含む
。この第２部分はベース５がらその反対側の端部に位置
する増入れ口を含む。

本発明によれば、固定子部分１はシャフト３ｏの軸に平
行に走る穴６をありられている。この穴６は口部にねじ
溝の付いた部分７を含み遠い方の端部８は閉じである。

２つの径方向通路９及び１ｏはこの穴６から出て支持シ
ャフト３ｏのねじ溝の付いた円筒面３１及び２３に面し
て終る。これらの支え面はそれぞれ玉軸受３及び４の対
応する１つに直接に隣接する。これらの径方向通路９及
び１ｏは外側から穴あけされており、これらの通路の外
側端部はプラグ１１及び１２を用いて再び閉じられてい
る。

ピストン１３が穴６内に配置され、ねじ溝部７の近傍に
位置されるその外側端はこれに合う溝１４を含む。

ピストン１３の端部１５を越えた八６の遠い方の端部は
第１のＷ２Ｂを構成し、第２の室１７はピストン１３と
穴６との間に形成され、前記第２の室はピストン１３上
の肩部１８と穴６内の肩部１９との間に延伸する。径方
向通路９及び１０はこれら室１６及び１７のそれぞれの
穴６に口を開く。室１６及び１７はグリース溜めを構成
し、等しい体積をもつように作られている。ピストン１
３には室１７とピストン端部２６との間に位置する密封
０リング２５がはめ合わされる。

同様にＯリング５０がピストン１３の端部に配置され軸
方向へ運ばれ、シャフト３０はこうしてねじポンプとし
て働き、グリースを円形周辺に沿つ【運び、こうして軸
受がその全周に沿って完全に均一に潤滑されることを保
証する。軸受３及び４そしてねじ溝付き表面３１及び３
２のそれぞれの位置が与えられているので、これらの表
面上のねし溝は相互に逆方向に刻まれている。ピストン
１３のねじ溝付き端部１４によって、ピストンを回すと
ピストンは軸方向に動き、従って軸受は周期的にグリー
スを供給されることができる。ピストン１３は電気モー
タ２０によって回転される。これは所望のグリースを周
期的に軸受に加えるように周期的に回転され、一方では
機械自体も回転している。この指令は、熱相対によって
測定されたポンプの温度及び／又はポンプの作動時間の
関数として自動的に生じる。

また任意には軸受への圧力を考慮することも可能である
。

室１６及び１７は−たび空になるとポンプの保守の間に
満たされる。これらの室が適正に満たされるのを保証す
るため、装置が停止した後これを空にしてピストン１３
を取除くことが必要である。

第２図は本発明の変形例を示す。図では第１図と等価の
部品には同じ参照番号を付しである。この変形例は例え
ばひれ部材と、回転子を囲む固定子４２（一部を示す）
に固定された固定中心シャフト４１に関して回転する回
転子４０（一部で示す）と、図の左側に位置する取入れ
口と図の右側に位置する排出口をもつターボ分子ポンプ
によって構成される。玉軸受３及び４は固定中心シャフ
ト４１Ｆに成句けられている。図では回転子４０を駆動
する電気モータの固定子４３は固定された中心シャフト
４１に固定されて図示してあり、同様に固定子４３を囲
み且つ空洞４５の内部のポンプの回転子４０に固定され
た電気駆動モータの回転子４４も図示されている。

この具体例では、中心シャフト４１は固定式で且つポン
プの固定子４２に固定され、穴６は前記固定中心シャフ
ト４１の軸に沿って穴あｔノされている。

明らかに本発明の潤滑装置は、ひれ部材をもつか、ジー
グバーン通路又はゲーデ通路をもつかにかかわらず、さ
らに回転子が鐘形であるか無いかにかかわらず、任意の
形式のターボ分子ポンプに適用できる。

こうして本発明によれば手動潤滑による手抜かりが、人
間の失敗からは独立した潤滑を行うことによって省かれ
る。

機械が−たび作動を開始し、空いた体積部と軸受が最初
に満たされると、ピストンのその後の回転が所定角度を
通してグリースの対応する正確に限定された指を軸受に
運ぶから、１ｍＷＩは正確に規定されることが注目され
なければならない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のポンプの部分破断図、第２図は本発明
の第２の具体例の図である。 １．４２・・・・・・固定子、３．４・・・・・・軸受
、６・・・用穴、９．１０・・・・・・径方向通路、１
３・・・・・・ピストン、１４・・・・・・溝、１６．
１７・・・・・・第１苗及び第２室、２０・・・・・・
動力手段、２５・・・・・・密封周辺、２６・・・・・
・外側端部、３１．３２・・・・・・ねじ溝付き円筒面
、４０・・・・・・回転子。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転子と固定子を含むターボ分子ポンプであって
   、回転子は軸受上の固定子の内側に支持され、前記軸受
   を担持する固定子部分にはピストンのはまる穴があけら
   れ、前記穴及びピストンは共にグリース溜めを形成する
   室を区切り、前記室の各々から少なくとも１つの径方向
   通路が出ており、前記ピストンの外側端部はピストンが
   前記穴内に押し進むことができるようにする手段を含み
   、各通路は、回転子に固定され且つ回転子を支える軸受
   の対応する１つに直接隣接し且つ円形周辺部の周りで前
   記軸受に軸方向にグリースを運ぶ役割を果すねじ溝付き
   円筒表面上に開口しており、前記ピストンには２つの室
   の間に位置する密封リングとピストンの外側端部に位置
   する密封リングとがはめられており、ピストンを穴内に
   押し進めるための前記手段は周期的に作動する動力手段
   を含んでいるターボ分子ポンプ。
2. （２）前記回転子が前記軸受が配置されている回転子支
   持シャフトに固定されており、前記穴が前記シャフトの
   軸と平行に明けられており、更に前記ねじ溝付き円筒表
   面が前記回転子支持シャフト上に位置していることを特
   徴とする請求第１項に記載のターボ分子ポンプ。
3. （３）固定子が、前記軸受がその上に配置され且つその
   回りを前記回転子が回転する固定中心シャフトに固定さ
   れており、前記穴が前記固定中心シャフトの軸に沿って
   あけられていることを特徴とする請求第１項に記載のタ
   ーボ分子ポンプ。
4. （４）前記穴がその口部にねじ溝を切られており且つね
   じ溝の付いた部分を含むピストンの外側端部と協働し、
   前記ピストンが回転駆動モータに結合されていることを
   特徴とする請求第２項又は第３項に記載のターボ分子ポ
   ンプ。
5. （５）前記モータ手段が、ポンプの有効作動時間の関数
   としての指令によって周期的に作動を開始することを特
   徴とする請求項１に記載のターボ分子ポンプ。
6. （６）前記指令がポンプの温度の関数としても作用する
   ことを特徴とする請求項５に記載のターボ分子ポンプ。
7. （７）前記指令が軸受の内圧の関数としても作用するこ
   とを特徴とする請求第６項に記載のターボ分子ポンプ。